JPH07280830A - 加速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小形で高精度、かつ同時に３軸方向、及び２
軸方向の加速度検知が可能な加速度センサを提供する 【構成】 磁歪定数がゼロ近傍に設定された軟磁性材料
のばね性を有するワイヤー状支持ばね（２２）と、支持
ばね（２２）の上端に支持ばね（２２）で支えられた永
久磁石（２１）と、永久磁石（２１）にそれぞれ一端を
所定の距離近接させて同一円周上に９０゜の角度をもっ
て等間隔に、永久磁石（２１）の外周から所定の距離の
位置に磁場センサ（２４ａ、２５ａ、２６ａ）を備えて
なる加速度センサ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、小形軽量で、３次元方
向、２次元方向の加速度を検出する事が可能な加速度セ
ンサに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、自動車の衝突検出等に用いるもの
として小形で軽量のセンサが必要とされ、ばねで支持し
た物体の加速度による変位を静電容量の変化として検出
するものや、圧電素子にかかる応力ひずみをピエゾ電圧
として検出するものが用いられていた。

【０００３】これらは、いずれも一軸方向の加速度を検
出するものであり、３次元方向の加速度を検出するため
には、検出素子を３軸に組み合わせて用いる必要があっ
た。一方、飛行機の姿勢制御等には、基本的には３軸加
速度を検出必要があることから、高速回転を行うコマを
用いた機械式ジャイロが一般的であった。

【０００４】また、振動している物体に回転角速度を加
えると、その振動と直角方向にコリオリの力 Ｆｃ＝２
ｍ×Ｖ×ωｐ 但し、Ｆｃ：コリオリの力 ｍ：質量 Ｖ：速度 ωｐ：角速度 が発生することを利用し、当該コリオリの力を圧電素子
で検出する圧電ジャイロもある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、飛行機の姿
勢制御等に用いられる機械式ジャイロでは、精度を高め
るためには、どうしてもコマの質量を大きくして回転速
度を速めることが要求され、小形化は困難である。

【０００６】また、圧電ジャイロは、カーナビゲーショ
ンや４輪操舵システム、カメラの手ぶれ防止等に使用さ
れているが、振動子の小形化が困難であった。更に、静
電容量を構成する２枚の電極の内、一方に質量を付加し
てばね支持し、加速度による微小単位を静電容量変化と
して検出する静電容量変化型加速度計が存在するが、セ
ンサ部分のインピーダンスが容量性で高いことから外来
雑音に弱く、検出回路との接続距離が制限される等、制
約が大きいという課題が存在する。

【０００７】本発明は、従来の技術の課題に鑑み、小形
で高精度、かつ同時に３軸方向の加速度検知が可能な加
速度センサを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の加速度センサ
は、軟磁性材料でばね性を有するヤイヤー状支持ばね
と、支持ばねの上端に当該支持ばねで支えられた永久磁
石と、永久磁石の外周から所定の距離の位置に磁束変化
を検地する磁場センサを有する。

【０００９】また、本発明の加速度センサの永久磁石
は、両端面をＮ極、Ｓ極の磁極を有する円筒状、あるい
は円柱形状である。本発明の３次元方向の加速度を検出
する加速度センサは、支持部材が永久磁石を上端に支持
し、下端をさらに他の弾性部材で支持する。

【００１０】本発明の２次元方向の加速度を検出する加
速度センサは、支持部材が永久磁石を上端に支持し、下
端をさらに基台で支持する。

【００１１】本発明の加速度センサは、磁場センサと、
永久磁石の取り付け位置が、図２に示すＧで示すギャッ
プをもっている。本発明の加速度センサは、加速度セン
サの外周に磁気シールド部材を設け、加速度センサと磁
気シールド部材を、加速度センサ支持部材で固定する。

【００１２】

【作用】本発明の３次元の加速度を検出する加速度セン
サにおいて、一端を弾性部材で支持したばね性を有する
ワイヤー状支持ばねは、他の一端に永久磁石を固定して
おり、加速度変化に対し永久磁石が３軸方向に変位す
る。

【００１３】加速度の大きさと方向を磁場センサで検知
する。すなわち、２次元的な動きは、互いに対向する磁
場センサの出力差分を比較することで検知できる。ま
た、支持ばねの鉛直方向の上下の動きに対しては、４つ
の磁場センサの出力が同じように増減するので、それら
の同相成分の比較により検知する。

【００１４】一方、本発明の２次元方向を検知する加速
度センサにおいては、一端を基台で固定し、ばね性を有
するワイヤー状支持ばねは、他の一端に永久磁石を固定
しており、加速度変化に対し永久磁石が２軸方向にしか
変位しないので、２次元的な動きのみを磁場センサで検
知する。

【００１５】本発明は、構造的に簡単で、高性能の加速
度センサを容易に実現出来、さらに、外部電磁ノイズ
は、磁気シールド部材に吸収されるので外部電磁ノイズ
にも影響されない。

【００１６】

【実施例】

（１）第一実施例 本発明の第一実施例を図面に基づいて説明する。図１
は、本発明の加速度センサの全体構造を説明する平面
図、図２は本発明の加速度センサの断面図である。

【００１７】図２において、永久磁石２１は図３に示す
様に中心穴３２を有する円柱形状の磁石である。そし
て、円柱状の両端面方向にＮ極，Ｓ極の磁極を有する。
支持ばね２２は、上端で永久磁石２１を固定し、下端は
支持ばね台２９に固定する。支持ばね２２の材料は、磁
歪定数がゼロ近傍に設定された軟磁性材料であり、例え
ばＮｉＦｅ合金、ＣｏＺｒ系アモルファス材料である。

【００１８】支持ばね台２９は、基台２３と係合支持さ
れていて、上下方向に動くことが出来る。支持ばね台２
９、基台２３の材質も磁気特性の優れた材料、例えば軟
磁性材料で構成する。さらに、支持ばね台２９の上下に
は、ばね２１０、２１１が配されている。ばね２１１
は、ばね押さえ２１２で保持固定する。

【００１９】磁極棒２４ａ、２４ｂには、検出コイル２
５ａ、２５ｂ、駆動コイル２６ａ、２６ｂが巻かれてお
り、両端を基台２３と磁極棒支持リング２８により固定
支持する。磁極棒の材質も軟磁性材料である。磁極棒支
持リング２８の材質は、非磁性材料である。

【００２０】磁極棒は、図１の様に、永久磁石１１を中
心として、平面内の同円上にそれぞれ内端を臨ませて、
１４ａ、１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの様に互いに直交する
ように配置されている。第一実施例の加速度センサは、
図１で示す磁極棒１４ａ、１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ、及
び図２で示す基台２３、支持ばね台２９、支持ばね２
２、永久磁石２１と空隙とで磁気回路を構成する構造と
なっている。

【００２１】永久磁石２１から発生する磁束は、磁極棒
２４ａ、２４ｂ（図１では、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、
１４ｄ）を通り基台２３、支持ばね台２９、支持ばね２
２で構成される磁気回路を通過して流れる。図１で示す
磁極棒１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄには駆動コイル
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄと検出コイル１５ａ、
１５ｂ、１５ｃ、１５ｄが巻き線されている。駆動コイ
ル１６ａ〜１６ｄには、交流電流を通電してある。

【００２２】つぎに、本発明の加速度センサの動作を説
明する。加速度変化に伴い永久磁石１１が変位すると、
各磁極棒１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄと永久磁石１
１との距離が変化し、各磁極棒を流れる磁束が変化す
る。磁極棒１４ａ〜１４ｄは交流で励磁されているの
で、磁束の変化は磁極棒１４ａ〜１４ｄの磁気動作点を
変化させる。その結果、磁極棒１４ａ〜１４ｄに巻かれ
た検出コイル１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄの出力と
して、磁束変化がなければ発生しない駆動電流の周波数
の第２高調波成分が現れる。

【００２３】図４は本実施例における各磁極棒の磁気動
作説明図である。図４（ａ）は、磁極棒の磁化曲線を表
すグラフで横軸は印加磁場、縦軸は磁束量を表してい
る。図４（ｂ）は磁極棒の時間的に変化する出力磁束を
表している。検出コイルに出力される電圧は、磁束の時
間変化であるから、この時間微分波形が現れる。

【００２４】図４（ｃ）は磁極棒に印加される磁場の時
間的変化を示している。実線で示した波形は、駆動コイ
ルにる外部からの正弦波電流によって発生する磁場であ
る。点線は、計測対象である外部磁場が加わった場合の
磁場を示している。この時、図４（ａ）において、磁極
棒の動作点は（ｄ）点に移り、図４（ｂ）の出力波形
は、点線の様になる。すなわち、磁極棒の磁気飽和のた
めに、対称性が崩れて、高調波が含まれた出力波形とな
る。この高調波から偶数次高調波を取り出して、その大
きさと位相を見ると外部磁場に比例した外部磁場の大き
さと方向を表す出力がえられるので、高感度の磁場セン
サとなる。

【００２５】この様な磁場変化の検出は、フラックスゲ
ート形磁場センサと同じ原理である。図５にフラックス
ゲート形磁場センサの機能ブロック図を示す。フラック
スゲート形磁場センサは発信器５１、増幅器５２、高透
磁率磁心５３、駆動コイル５４、検出コイル５５、バン
ドパスフィルター５６、位相検波器５７、位相変換器５
８、及び、周波数逓倍器５９より構成する。

【００２６】このフラックスゲート形磁場センサの原理
を使い、平面内の各軸の第２高調波成分を比較すれば、
永久磁石１１の動きとその方向をを検出できる。すなわ
ち、２次元的な動きは、互いに直角方向に配置された、
各磁極棒の組である１４ａと１４ｂ、１４ｃと１４ｄに
巻かれている検出コイルの出力差分を比較することで得
られる。例えば、図１で、永久磁石１１が磁極棒１４ａ
の方向に移動したとき、磁極棒１４ａの検出コイル１５
ａの出力が増大し、磁極棒１４ｂの検出コイル１５ｂの
出力は減少する。磁極棒１４ｃ，１４ｄの検出コイル１
５ｃ，１５ｄの出力は変化しない。

【００２７】また、支持ばね１２の延直方向の上下の動
きに対しては、４つの磁極棒１４ａ、１４ｂ，１４ｃ，
１４ｄの出力が同じように増減するのでそれらの同相成
分を比較することにより変位が検出出来る。図２で示し
たＧは、磁極棒の断面中心と永久磁石２１の厚み方向の
中央部とのギャップであり、永久磁石の上方向の動きに
対しては、１４ａ〜１４ｄの磁極棒の検出コイル１５ａ
〜１５ｄの出力が増大し、下方向の動きに対しては検出
コイル１５ａ〜１５ｄの出力が減少するので、このギャ
ップＧを設けることにより、上下方向の方向性も検出で
きる。

【００２８】次に本実施例の磁場センサの製作方法を図
６に基づいて述べる。図６の磁極棒６１は、線径φ１５
０μｍ以下のアモルファス材料であり、アモルファス材
料の磁極棒６１の表面には、電気的絶縁特性に秀れたコ
ーテング材６２でコーテングされている。コーテング材
の材料としては、例えば、ポリウレタン材の焼き付けコ
ーテング等である。さらに、コーテング材６２でコーテ
ングされた磁極棒６１の外周には、平行ワイヤー６３が
巻かれている。平行ワイヤー６１は２本の極細線ワイヤ
ーをポリウレタン材で互いに絶縁性を確保した状態で２
本並列に結束されたものである。そして、巻線後に平行
ワイヤー６１がほどけない様に、ボンデング材５４で固
めて磁場センサを構成する。この様な構造にする事によ
り、磁場センサの製作が極めて容易になる。

【００２９】また、磁場センサの他の実施例として、前
記磁場センサの実施例において、平行ワイヤー６１は、
２本の極細線ワイヤーを自己融着性ボンドメット材で互
いに絶縁性を確保した状態で２本並列に結束したものを
使用する。自己融着性ボンドメット材の特徴は、熱をか
けるとボンドメット材が軟化して、互いに融着するとい
う性質を有するものである。この平行ワイヤーを磁極棒
６１に巻線後、加熱する事により、巻線後の互いのワイ
ヤーが融着しあうので、ボンデング材６４が不要にな
る。

【００３０】図６において、平行ワイヤー６３の巻き始
めの一方が駆動コイル巻き始め６５となり、平行ワイヤ
ー６３の巻き終わりの駆動コイル巻き始め６５と電気的
導通がとれる方が駆動コイル巻き終わり６６となる。同
じ様に、平行ワイヤー６３の巻き始めの一方が検出コイ
ル巻き始め６７となり、平行ワイヤー６３の巻き終わり
の駆動コイル巻き始め６５と電気的導通がとれる方が検
出コイル巻き終わり６８となる。

【００３１】（２）第二実施例 次に、本発明の加速度センサの第二実施例を図７により
説明する。図７において、ばね７１０は、支持ばね７２
の下端と、支持ばね締結部７１２で固定され、さらに、
ばね７１０は、ばね支持台７１３とばね支持台締結部７
１１で固定する。ばね支持台７１３は、基台７３と固定
する。

【００３２】支持ばね７２の延直方向、すなわち上下方
向に支持ばねが動くとき、支持ばね７２の側面と基台７
３の中心穴がすべりがら動く。第一実施例では、ばね２
１０、および２１１を関係部材と締結することを避ける
ため、２つのばねで支持ばねの動きの制動をしていた
が、第２実施例では１つのばねで実現可能である。

【００３３】（３）第三実施例 本発明の加速度センサの第三実施例を図８により説明す
る。図８において、支持ばねの下端８２は、基台８３に
設けられた支持ばね固定穴８７に挿入固定する。これに
より、支持ばね８２に固定された永久磁石８１は、支持
ばね８２の鉛直方向、すなわち上下方向に動かなくな
る。永久磁石８１の動きを２次元的な動きに制限したこ
とにより、２次元の加速度センサとなるが、検出回路の
構成が簡略化出来、さらに、永久磁石８１の加速度変化
による挙動も安定するので安定した測定値を得ることが
出きる。

【００３４】磁極棒は、図１の様に、永久磁石１１を中
心として、平面内の同円上にそれぞれ内端を臨ませて、
１４ａ、１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの様に互いに直交する
ように配置されている。

【００３５】（４）第四実施例 本発明の加速度センサの第四実施例の平面図を図９、第
四実施例の断面図を図１０に示す。磁極棒は、図９の様
に、永久磁石９１を中心として、それぞれ内端を臨ませ
て、９４ａ、９４ｂの様に互いに直交する様に配置され
ている。

【００３６】図１０において、永久磁石１０１は、図３
に示す円柱形状の磁石である。そして円柱状両端面方向
にＮ極、Ｓ極の磁極を有する。支持ばね１０２は、上端
で永久磁石１０１を固定し、下端は、支持ばね固定穴１
０９に打ち込み、基台１０３に固定する。

【００３７】第四実施例の加速度センサは、図９で示す
磁極棒９４ａ、９４ｂ、及び図１０で示す基台１０３、
支持ばね１０２、永久磁石１０１と空隙とで磁気回路を
構成する構造となっている。第四実施例においては、永
久磁石９１を中心として、それぞれ内端を臨ませて互い
に直交する様に、９４ａ、９４ｂの２つの磁極棒よりな
っているので、第一実施例、第二実施例、第三実施例の
様に、互いに対向する磁極棒に巻かれている検出コイル
の出力差分の比較で加速度とその方向を検出するという
方法はとれないので、測定精度は劣るが、９４ａ、９４
ｂの２つの磁極棒に取り付けられた２つの検出コイルで
検出される信号を処理するだけでよい。

【００３８】また、支持ばね１０２は、基台１０３に固
定されているため、二次元の加速度しか測定出来ない構
造である。しかしながら、第四実施例の優れている点
は、磁極棒を２本にしたこと、さらに永久磁石の動きも
二次元的な動きに制限したことにより、検出回路の構成
が大幅に簡略化出来、低コストで２次元加速度センサを
実現できる。

【００３９】（５）第五実施例 本発明の加速度センサの第五実施例を図１１に示す。磁
極棒は、図１１の様に、永久磁石１１１を中心として、
それぞれ内端を臨ませて、１１４ａ、１１４ｂ、１１４
ｃの様に同一平面上に互いに、１２０°の角度をもって
配置されている。その他の磁気回路上の構成は、第一実
施例、あるいは、第四実施例のいずれでも良い。

【００４０】この様な磁場センサの配置をとることによ
り、それぞれの磁極棒に巻かれている検出コイルの出力
差分の比較で２次元的な加速度とその方向を検出するこ
とが可能であり、なおかつ、第一実施例に対して、磁極
棒が３本で済む。 （６）第六実施例 本発明の加速度センサの第六実施例を図１２に示す。

【００４１】図１２において、加速度センサ１２１は、
第一実施例、第二実施例、第三実施例、第四実施例、あ
るいは、第五実施例で説明した加速度センサである。加
速度センサ１２１と、磁気シールド部材１２３は、加速
度センサ支持部材１２２で互いに連結固定されている。
加速度センサ支持部材１２２は、非磁性材料で構成す
る。また、磁気シールド部材１２３は、磁性材料で構成
される。磁気シールド部材１２３は、理想的には、なる
べく飽和磁束密度の高い材料で、さらには透磁率が高い
材料が好ましい。磁気シールド部材１２３は、具体的に
は、パーマロイ材、電磁純鉄、珪素鋼板、炭素鋼板等で
実施可能である。

【００４２】この様な構造にすることにより、磁気シー
ルド部材１２３は、加速度センサ１２１に対する外部か
らの磁気ノイズ、あるいは地磁気の影響による測定誤差
を完全に防止する事と、加速度センサ１２１の保護ケー
スとを兼ねるものであり、加速度センサの実用性を向上
させている。

【００４３】

【発明の効果】本発明の構造をとることにより、３軸方
向、及び２軸方向の加速度が同時に検出する支持ばね構
造が簡単になり、容易に高精度の加速度センサの製造が
実現可能となる。また、加速度の測定のときに、外部磁
気ノイズの影響もなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の加速度センサの第一実施例の平面図で
ある。

【図２】本発明の加速度センサの第一実施例の断面図で
ある。

【図３】本発明の加速度センサの永久磁石である。

【図４】実施例の各磁極棒の磁気動作説明図である。

【図５】フラックスゲート形磁場センサの機能ブロック
図である。

【図６】本発明の磁場センサである。

【図７】本発明の加速度センサの第二実施例の断面図で
ある。

【図８】本発明の加速度センサの第三実施例の断面図で
ある。

【図９】本発明の加速度センサの第四実施例の平面図で
ある。

【図１０】本発明の加速度センサの第四実施例の断面図
である。

【図１１】本発明の加速度センサの第五実施例の平面図
で有る。

【図１２】本発明の加速度センサの第六実施例の断面図
である。

【符号の説明】

１１、２１、３１、７１、８１、９１、１０１、１１１
永久磁石 １２、２２、７２、８２、９２、１０２、１１２ 支持
ばね １３、２３、７３、８３、９３、１０３、１１３ 基台 １４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、２４ａ、２４ｂ、６
１、７４ａ、７４ｂ、８４ａ、８４ｂ、９４ａ、９４
ｂ、１０４ａ、１０４ｂ、１１４ａ、１１４ｂ、１１４
ｃ 磁極棒 １５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ、２５ａ、２５ｂ、５
５、７５ａ、７５ｂ、８５ａ、８５ｂ、９５ａ、９５
ｂ、１０５ａ、１０５ｂ、１１５ａ、１１５ｂ、１１５
ｃ 検出コイル １６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、２６ａ、２６ｂ、５
４、７６ａ、７６ｂ、８６ａ、８６ｂ、９６ａ、９６
ｂ、１０６ａ、１１６ａ、１１６ｂ、１１６ｃ駆動コイ
ル １７、２７、９７、１０７、１１７ 中心凹部 １８、２８、７８、８８、９８、１０８、１１８ 磁極
棒支持リング ２９ 支持ばね台 ３２ 中心穴 ５１ 発信器 ５２ 増幅器 ５３ 高透磁率磁心 ５６ バンドパスフィルター ５７ 位相検出器 ５８ 位相変換器 ５９ 周波数逓倍器 ６２ コーテング材 ６３ 平行ワイヤー ６４ ボンデング材 ６５ 駆動コイル巻き始め ６６ 駆動コイル巻き終わり ６７ 検出コイル巻き始め ６８ 検出コイル巻き終わり ８７、１０９ 支持ばね固定穴 １２１ 加速度センサ １２２ 加速度センサ支持部材 １２３ 磁気シールド部材 ２１０、２１１、７１０ ばね ２１２ ばね押さえ ７１１ ばね支持台締結部 ７１２ 支持ばね締結部 ７１３ ばね支持台

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 越本 泰弘 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 川田 忠通 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 板生 清 神奈川県鎌倉市浄明寺６−６−８ (72)発明者 内山 哲夫 東京都千代田区駿河台３丁目６番１号 株 式会社エイティアイ内

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁歪定数がゼロ近傍に設定された軟磁性
   材料のばね性を有するワイヤー状支持ばね（２２）と、 支持ばね（２２）の一端に支持された永久磁石（２１）
   と、 支持ばね（２２）で支えられた永久磁石（２１）と、 それぞれの一端が同一円周上に配置され、かつ、お互い
   がほぼ９０゜の角度をもってほぼ等しい間隔に配置さ
   れ、しかも、永久磁石（２１）の外周から所定の距離に
   配置した磁場センサ（２４ａ、２５ａ、２６ａ）と、を
   有することを特徴とする加速度センサ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の加速度センサにおいて、
   永久磁石（２１）の両端面がＮ極、およびＳ極の磁極を
   有し、その形状が円柱形状である加速度センサ。
3. 【請求項３】 請求項１記載の加速度センサにおいて、
   磁場センサ（２４ａ、２５ａ、２６ａ）と永久磁石（２
   １）の取り付け位置が、磁極棒（２４ａ）の中心軸と永
   久磁石（２１）の厚さ方向の中央断面部から所定の距離
   だけ離れている加速度センサ。
4. 【請求項４】 請求項１記載の加速度センサにおいて、
   ワイヤー状支持ばね（２２）の一端を弾性部材（２１
   ０、２１１）で支持する加速度センサ。
5. 【請求項５】 請求項４記載の加速度センサにおいて、
   ワイヤー状支持ばね（２２）と磁極棒（２４ａ）との支
   持ばね（２２）の長手方向の距離が変化できるようにす
   るために、支持ばね（２２）の長手方向の第１の方向に
   加圧する第１のばね（２１０）と、第１の方向とは逆の
   第２の方向に加圧する第２のばね（２１１）を有する加
   速度センサ。
6. 【請求項６】 請求項４記載の加速度センサにおいて、
   ワイヤー状支持ばね（２２）と磁極棒（２４ａ）との支
   持ばね（２２）の長手方向の距離が変化できるようにす
   るために、一端を支持ばね（２２）に固定し、他の一端
   をばね支持台（７１３）に固定したばね（７１０）を有
   する加速度センサ。
7. 【請求項７】 請求項１記載の加速度センサにおいて、
   磁場センサ（２４ａ、２５ａ、２６ａ）の磁極棒（２４
   ａ）の外周にコーテング材をコーテングし、その外周に
   平行ワイヤを巻線し、駆動コイル（２６ａ）と検出コイ
   ル（２５ａ）を形成した加速度センサ。
8. 【請求項８】 請求項１記載の加速度センサにおいて、
   加速度センサ（１２１）の外周に磁気シールド部材（１
   ２３）を設け、加速度センサ（１２１）と磁気シールド
   部材（１２３）を非磁性部材（１２２）で連結固定した
   加速度センサ。
9. 【請求項９】 請求項５記載の加速度センサにおいて、
   磁気シールド部材（１２３）が、加速度センサ（１２
   １）の保護ケースの一部を構成する加速度センサ。
10. 【請求項１０】 請求項１記載の加速度センサにおい
    て、支持ばね（２２）を固定した支持ばね台（２９）を
    支持ばね（２２）の長手方向に移動可能に支持し、か
    つ、ばね（２１０、２１１）を支持ばね台（２９）に所
    定の圧力がかかるように保持し、しかも、磁極棒（２４
    ａ）を支持する基台（２３）を有する加速度センサ。
11. 【請求項１１】 磁歪定数がゼロ近傍に設定された軟磁
    性材料のばね性を有する磁石支持手段（２２）と、 磁石支持手段（２２）に固定した永久磁石（２１）と、 互いにほぼ９０゜の角度をもってほぼ等しい間隔に配置
    され、しかも、永久磁石（２１）の外周から所定の距離
    に配置した４個の磁気検出手段（２４ａ、２５ａ、２６
    ａ）と、を有することを特徴とする加速度センサ。
12. 【請求項１２】 ４個の磁気検出手段（２４ａ、２５
    ａ、２６ａ）をほぼ同一平面に配置し、この平面と永久
    磁石（２１）の一方の磁極の端面がほぼ平行に所定の距
    離をもって配置する請求項１１記載の加速度センサ。
13. 【請求項１３】 永久磁石（２１）と４個の磁気検出手
    段（２４ａ、２５ａ、２６ａ）との距離を変化させる方
    向に磁石支持手段（２２）、弾性力を加える弾性支持手
    段（２１０、２１１）を有する請求項１１記載の加速度
    センサ。
14. 【請求項１４】 ４個の磁気検出手段（２４ａ，２５
    ａ，２６ａ）を支持し、磁石支持手段（２２）を動作可
    能に支持し、弾性支持手段（２１０、２１１）を支持す
    るセンサ支持手段を有する請求項１３記載の加速度セン
    サ。
15. 【請求項１５】 磁歪定数がゼロ近傍に設定された軟磁
    性材料のばね性を有するワイヤー状支持ばね（１０２）
    と、支持ばね（１０２）の一端に支持された永久磁石
    （１０１）と、お互いが９０°の角度をもって配置さ
    れ、永久磁石（９１）の外周から所定の距離に配置され
    た、第１の磁場センサ（９４ｂ，９５ｂ、９６ｂ）と、
    ワイヤー状支持ばね（１０２）の一端を支持ばね固定穴
    （１０９）により固定した基台（１０３）より構成され
    た加速度センサ。
16. 【請求項１６】 磁歪定数がゼロ近傍に設定された軟磁
    性材料のばね性を有するワイヤー状支持ばね（１１２）
    と、 支持ばね（１１２）の一端に支持された永久磁石（１１
    １）と、 支持ばね（１１２）で支えられた永久磁石（１１１）
    と、 それぞれの一端が同一円周上に配置され、かつ、お互い
    がほぼ１２０゜の角度をもってほぼ等しい間隔に配置さ
    れ、しかも、永久磁石（１１１）の外周から所定の距離
    に配置した第１の磁場センサ（１１４ａ、１１５ａ、１
    １６ａ）と、第２の磁場センサ（１１４ｂ、１１５ｂ、
    １１６ｂ）と、第３の磁場センサ（１１４ｃ、１１５
    ｃ、１１６ｃ）を有することを特徴とする加速度セン
    サ。