JPH07281171A - カラーフィルタ製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カラーフィルタ製造処理に当って、高稼働率
の維持、作業効率の向上、加工不良品の発生の低減、高
収率化を達成する。 【構成】 カラーフィルタ製造装置を構成する工程のう
ち、少なくとも２つの工程１，２を連続させ、各工程
１，２の所定位置にインライン検査装置１ｃ，２ｂおよ
び不良品抜き取り装置１ｄ，２ｃを配置した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はカラーフィルタ製造装
置に関し、さらに詳細にいえば、液晶ディスプレイ（以
下、ＬＣＤと略称する）用のカラーフィルタを製造する
ための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤ用のカラーフィルタを製造するに
当っては、ガラス基板上に格子状のブラックマトリクス
膜を形成する工程、色の３原色のそれぞれのパターン加
工を行なう工程等が必要であり、しかも、これら各工程
は、各種処理（膜形成処理、露光処理、現像処理等）を
順次行なう必要があるので、全体として工程が長く、し
かも複雑になる。

【０００３】そして、カラーフィルタ製造装置全体とし
ての稼働率を高く維持するとともに、何れかの工程が故
障等に起因して停機した場合における加工不良品の発生
を低減するために、上記各工程は互に独立させられてい
る。したがって、各工程の停機等が直接的に他の工程に
影響を及ぼすという不都合を解消することができ、カラ
ーフィルタ製造装置全体としての稼働率を高く維持する
ことができるとともに、加工不良品の発生の可能性を低
減することができる。ここで、加工不良品の発生に関し
ては、例えば、ブラックマトリクス膜形成工程、パター
ン加工工程等に含まれる現像処理においては、所定時間
だけ被処理基板を現像液に浸漬させることが必要であ
り、この浸漬時間をかなり高精度に制御することが要求
されるのである。しかし、次の工程が故障により停機し
たような場合であって、両工程を連続させている場合に
は、被処理基板が必要以上に長時間停止してしまう。こ
の結果、現像時間が著しく長くなって、加工不良品が発
生してしまう。これに対して、各工程をそれぞれ独立さ
せておけば、次の工程が停機したような場合であって
も、該当する工程における処理所要時間等を正確に制御
することができ、上述のように加工不良品が発生する可
能性を著しく低減することができる。また、稼働率に関
しては、複数の工程が連続させられている場合であっ
て、何れかの工程が停機した場合には、被処理基板が次
の工程に送られなくなってしまい、次の工程以降の全て
の工程を稼働させることができなくなってしまうので、
カラーフィルタ製造装置全体としての稼働率が著しく低
下してしまう。しかし、各工程を独立させておけば、何
れかの工程が停機した場合であっても、他の工程を動作
させ続けることができ、カラーフィルタ製造装置全体と
しての稼働率を高めることができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、各工程を他の
工程から独立させれば、１の工程と他の工程との間にお
いてガラス基板をハンドリングしなければならないの
で、カラーフィルタ製造装置全体としての作業効率を高
めることができないとともに、加工収率を余り高めるこ
とかできない。

【０００５】これらの点についてさらに詳細に説明す
る。各工程を他の工程から独立させ、ハンドリング部を
設ける場合には、予め一体的に装置構成を設定してなる
工程を配置し、各工程の配置が定まった後に、これらの
配置に対応させて被処理基板をハンドリングするための
ハンドリング部を配置することになる。したがって、各
工程の配置状態によっては、ハンドリング所要距離が長
いハンドリング部とハンドリング所要距離が短いハンド
リング部とが混在することになり、ハンドリング部にお
ける所要時間がばらついてしまう。この結果、カラーフ
ィルタ製造装置全体としての作業効率が、最も所要時間
が長いハンドリング部により規定されてしまうのであ
る。

【０００６】また、カラーフィルタの加工収率を向上さ
せるためには、塵芥の発生源になる作業者によるハンド
リングの機会を少なくすること、被処理基板を、工程間
ハンドリングに使用されるカセットに出し入れする回数
を少なくすることが有効であることが知られている。し
かし、各工程を他の工程から独立させると、作業者によ
るハンドリングの機会、工程間ハンドリングに使用され
るカセットへの被処理基板の出し入れ回数が必然的に増
加することになるので、加工収率を余り高めることがで
きない。

【０００７】即ち、高稼働率の維持、作業効率の向上、
加工不良品の発生の低減、高収率化を全て満足すること
ができるカラーフィルタ製造装置は提供されていなかっ
た。

【０００８】

【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、高稼働率の維持、作業効率の向上、加工
不良品の発生の低減、高収率化を満足することができる
カラーフィルタ製造装置を提供することを目的としてい
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１のカラーフィル
タ製造装置は、カラーフィルタを製造するための、ブラ
ックマトリクス膜を形成するブラックマトリクス膜形成
装置、色の３原色の各色のパターン加工を行なうパター
ン加工装置、オーバーコート膜を塗布するオーバーコー
ト塗布装置を含むカラーフィルタ製造装置であって、所
定位置に、インライン検査装置および不良品抜き出し装
置をこの順に配置してある。

【００１０】請求項２のカラーフィルタ製造装置は、ブ
ラックマトリクス膜形成装置、パターン加工装置、オー
バーコート塗布装置の少なくとも２つの装置が連続して
配置されてある。請求項３のカラーフィルタ製造装置
は、不良品の抜き出しに応答して、次段の装置で処理を
行なうべき被処理基板を供給する被処理基板供給装置を
さらに含んでいる。

【００１１】請求項４のカラーフィルタ製造装置は、カ
ラーフィルタを製造するための、ブラックマトリクス膜
を形成するブラックマトリクス膜形成装置、色の３原色
の各色のパターン加工を行なうパターン加工装置、オー
バーコート膜を塗布するオーバーコート塗布装置を含む
カラーフィルタ製造装置であって、連続配置された装置
の接続部に、アンローダ手段と、ローダ手段と、アンロ
ーダ手段およびローダ手段をバイパスするバイパス手段
とを配置してある。

【００１２】請求項５のカラーフィルタ製造装置は、ブ
ラックマトリクス膜形成装置、パターン加工装置、オー
バーコート塗布装置の少なくとも２つの装置が連続して
配置されてある。

【００１３】

【作用】請求項１のカラーフィルタ製造装置であれば、
カラーフィルタを製造するための、ブラックマトリクス
膜を形成するブラックマトリクス膜形成装置、色の３原
色の各色のパターン加工を行なうパターン加工装置、オ
ーバーコート膜を塗布するオーバーコート塗布装置を含
むカラーフィルタ製造装置を用いてカラーフィルタを製
造するに当って、所定位置に配置されたインライン検査
装置により処理が正常に行なわれたか否かを検査し、正
常に行なわれていない場合に、該当する不良品を不良品
抜き出し装置により抜き取ることができ、不良品に対し
て次段以降の処理を行なうことを未然に防止することが
できる。したがって、不良品に対する加工処理を必要最
小限にでき、最終的な不良品の発生を大幅に低減し、高
収率化を達成することができる。また、不良品の発生に
より次段以降の工程が影響される可能性が著しく低減さ
れるので、装置全体として高稼働率を維持することがで
きる。

【００１４】請求項２のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、ブラックマトリクス膜形成装置、パターン加工装
置、オーバーコート塗布装置の少なくとも２つの装置が
連続して配置されてあるのて、装置全体としての作業効
率を高めることができるほか、従来の連続加工工程では
達成不可能であった、請求項１と同様の作用をも達成す
ることができる。

【００１５】請求項３のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、不良品の抜き出しに応答して、次段の装置で処理を
行なうべき被処理基板を供給する被処理基板供給装置を
さらに含んでいるので、不良品の抜き出しに拘らず、次
段の装置に必要な数の被処理基板を供給することがで
き、カラーフィルタ製造装置の製造能力を最大限に発揮
させることができる。

【００１６】請求項４のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、カラーフィルタを製造するための、ブラックマトリ
クス膜を形成するブラックマトリクス膜形成装置、色の
３原色の各色のパターン加工を行なうパターン加工装
置、オーバーコート膜を塗布するオーバーコート塗布装
置を含むカラーフィルタ製造装置を用いてカラーフィル
タを製造するに当って、連続配置された装置の接続部
に、アンローダ手段と、ローダ手段と、アンローダ手段
およびローダ手段をバイパスするバイパス手段とを配置
してあるので、何れの装置も故障していない場合には、
バイパス手段を動作させることにより、所期のカラーフ
ィルタ製造作業を遂行させることができる。また、何れ
かの装置が故障した場合には、前段のアンローダ手段に
より被処理基板を搬出し、次段のローダ手段により被処
理基板を搬入することにより、故障が発生していない装
置を動作させることができ、カラーフィルタ製造装置全
体としての稼働率の低下を必要最小限にすることができ
る。

【００１７】請求項５のカラーフィルタ製造装置であれ
ば、ブラックマトリクス膜形成装置、パターン加工装
置、オーバーコート塗布装置の少なくとも２つの装置が
連続して配置されてあるので、装置全体としての作業効
率を高めることができるほか、従来の連続加工工程では
達成不可能であった、請求項４と同様の作用をも達成す
ることができる。

【００１８】

【実施例】以下、実施例を示す添付図面によってこの発
明を詳細に説明する。図１はこの発明のカラーフィルタ
製造装置の一実施例の一部を示す概略図であり、色の３
原色の各パターンの加工処理を行なう工程のうち、２つ
のみを示している。そして、一方を第１工程１、他方を
第２工程２と称する。

【００１９】第１工程１は、被処理基板を搬入するロー
ダ１ａ、第１工程１の処理を行なう処理装置１ｂ、イン
ライン検査装置１ｃ、互に並列配置された不良品抜き出
し装置１ｄおよびバイパス装置１ｅ、第１工程１の残余
の処理を行なう処理装置１ｆをこの順に配置してなるも
のである。また、第２工程２は、第２工程２の処理を行
なう処理部２ａ、インライン検査装置２ｂ、互に並列配
置された不良品抜き出し装置２ｃおよびバイパス装置２
ｄ、第２工程２の残余の処理を行なう処理装置２ｅ、被
処理基板を排出するアンローダ２ｆをこの順に配置して
なるものである。そして、第１工程１と第２工程２と
を、被処理基板補充機能を有する搬送装置３を介して接
続している。

【００２０】したがって、ローダ１ａにより供給される
被処理基板に対して、処理装置１ｂにより必要な処理を
行ない、インライン検査装置１ｃにより、加工された基
板の検査を行なう。そして、検査の結果、不良品であっ
た場合には、不良品抜き出し装置１ｄにより加工ライン
外へ抜き出され、次段以降の加工処理が行なわれること
を未然に防止する。逆に、不良品でなかった場合には、
バイパス装置１ｅにより処理装置１ｆに搬送され、第１
工程１の残余の処理を行なう。

【００２１】第１工程１の加工処理が行なわれた被処理
基板は搬送装置３により第２工程２に搬送されるが、不
良品抜き出し装置１ｄにより抜き出された被処理基板に
対応する位置には、搬送装置３の被処理基板補充機能に
より代わりの被処理基板が補充される。したがって、第
２工程２には、抜けがない状態で被処理基板が供給され
る。尚、第２工程２における処理は第１工程１における
処理と同様であるから詳細な説明を省略する。以上の説
明から明らかなように、第１工程１において不良品が発
生し、抜き出された場合であっても、第２工程２には抜
けがない状態で被処理基板が供給され、全体としての稼
働率を高めることができる。

【００２２】尚、図１には示していないが、各工程の途
中にインラインバッファを設けることが可能であり、こ
の場合には、小停機、停機に起因する稼働率の低下を未
然に防止することができる。

【００２３】

【実施例２】図２はこの発明のカラーフィルタ製造装置
の他の実施例の一部を示す概略図であり、色の３原色の
各パターンの加工処理を行なう工程のうち、２つのみを
示している。そして、一方を第１工程１、他方を第２工
程２と称する。この実施例においては、第１工程１と第
２工程２との間にアンローダ４ａとローダ４ｂとがこの
順に配置されているとともに、アンローダ４ａおよびロ
ーダ４ｂをバスパイするバイパス搬送装置４ｃが配置さ
れている。尚、第１工程１，２の構成は従来公知の構成
である。即ち、インライン検査装置、不良品抜き出し装
置、バイパス搬送装置を含まない構成である。

【００２４】したがって、第１工程１，２が正常に動作
している場合には、第１工程１において加工された被処
理基板を、バイパス搬送装置４ｃにより第２工程２に搬
送することができ、第１工程１による加工、第２工程２
による加工を順次行なわせることができる。また、第１
工程１が停機した場合には、ローダ４ｂにより被処理基
板を第２工程２に供給し、第２工程２による加工を行な
わせることができる。逆に、第２工程２が停機した場合
には、第１工程１により加工された被処理基板をアンロ
ーダ４ａにより抜き出すことができ、この結果、第１工
程１による加工を継続させることができる。

【００２５】以上から明らかなように、何れかの工程が
停機した場合であっても、他方の工程による被処理基板
の加工を継続させることができ、カラーフィルタ製造装
置全体として稼働率の低下を大幅に抑制することができ
る。尚、図２には示していないが、各工程の途中にイン
ラインバッファを設けることが可能であり、この場合に
は、小停機、停機に起因する稼働率の低下を一層抑制す
ることができる。

【００２６】

【実施例３】図３はこの発明のカラーフィルタ製造装置
のさらに他の実施例の一部を示す概略図であり、図１の
実施例と異なる点は、被処理基板補充機能を有する搬送
装置３に換えて、図２の実施例のアンローダ４ａ、ロー
ダ４ｂおよびバイパス搬送装置４ｃを採用した点のみで
ある。

【００２７】したがって、この実施例の場合には、図１
の実施例の作用および図２の実施例の作用を達成するこ
とができる。尚、この実施例においても、上記実施例と
同様にインラインバッファを設けることが可能である。

【００２８】

【発明の効果】以上のように請求項１の発明は、不良品
に対する加工処理を必要最小限にでき、最終的な不良品
の発生を大幅に低減し、高収率化を達成することができ
るとともに、不良品の発生により次段以降の工程が影響
される可能性を著しく低減して、装置全体として高稼働
率を維持することができるという特有の効果を奏する。
請求項２の発明は、装置全体としての作業効率を高める
ことができるほか、従来の連続加工工程では達成不可能
であった、請求項１と同様の効果をも達成することがで
きる。

【００２９】請求項３の発明は、不良品の抜き出しに拘
らず、次段の装置に必要な数の被処理基板を供給するこ
とができ、カラーフィルタ製造装置の製造能力を最大限
に発揮させることができる。請求項４の発明は、何れか
の装置が故障した場合に、前段のアンローダ手段により
被処理基板を搬出し、次段のローダ手段により被処理基
板を搬入することにより、故障が発生していない装置を
動作させることができ、カラーフィルタ製造装置全体と
しての稼働率の低下を必要最小限にすることができると
いう特有の効果を奏する。

【００３０】請求項５の発明は、装置全体としての作業
効率を高めることができるほか、従来の連続加工工程で
は達成不可能であった、請求項４と同様の効果をも達成
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明のカラーフィルタ製造装置の一実施例
の一部を示す概略図である。

【図２】この発明のカラーフィルタ製造装置の他の実施
例の一部を示す概略図である。

【図３】この発明のカラーフィルタ製造装置のさらに他
の実施例の一部を示す概略図である。

【符号の説明】

１ 第１工程 ２ 第２工程 １ｃ，２ｂ インライン検査装置 １ｄ，２ｃ 不良
品抜き出し装置 ３ 被処理基板補充機能を有する搬送装置 ４ａ ア
ンローダ ４ｂ ローダ ４ｃ バイパス搬送装置

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カラーフィルタを製造するための、ブラ
   ックマトリクス膜を形成するブラックマトリクス膜形成
   装置、色の３原色の各色のパターン加工を行なうパター
   ン加工装置、オーバーコート膜を塗布するオーバーコー
   ト塗布装置を含むカラーフィルタ製造装置であって、所
   定位置に、インライン検査装置（１ｃ）（２ｂ）および
   不良品抜き出し装置（１ｄ）（２ｃ）をこの順に配置し
   てあることを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
2. 【請求項２】 ブラックマトリクス膜形成装置、パター
   ン加工装置、オーバーコート塗布装置の少なくとも２つ
   の装置が連続して配置されてある請求項１に記載のカラ
   ーフィルタ製造装置。
3. 【請求項３】 不良品の抜き出しに応答して、次段の装
   置で処理を行なうべき被処理基板を供給する被処理基板
   供給装置（３）をさらに含んでいる請求項１または請求
   項２に記載のカラーフィルタ製造装置。
4. 【請求項４】 カラーフィルタを製造するための、ブラ
   ックマトリクス膜を形成するブラックマトリクス膜形成
   装置、色の３原色の各色のパターン加工を行なうパター
   ン加工装置、オーバーコート膜を塗布するオーバーコー
   ト塗布装置を含むカラーフィルタ製造装置であって、連
   続配置された装置（１）（２）の接続部に、アンローダ
   手段（４ａ）と、ローダ手段（４ｂ）と、アンローダ手
   段（４ａ）およびローダ手段（４ｂ）をバイパスするバ
   イパス手段（４ｃ）とを配置してあることを特徴とする
   カラーフィルタ製造装置。
5. 【請求項５】 ブラックマトリクス膜形成装置、パター
   ン加工装置、オーバーコート塗布装置の少なくとも２つ
   の装置が連続して配置されてある請求項４に記載のカラ
   ーフィルタ製造装置。