JPH07283911A - 画像読取装置 - Google Patents
画像読取装置Info
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- JPH07283911A JPH07283911A JP6090514A JP9051494A JPH07283911A JP H07283911 A JPH07283911 A JP H07283911A JP 6090514 A JP6090514 A JP 6090514A JP 9051494 A JP9051494 A JP 9051494A JP H07283911 A JPH07283911 A JP H07283911A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 所定面上に投影された画像情報を高精度に読
取ることのできる画像読取装置を得ること。 【構成】 投影手段で所定面上に投影した画像情報を読
取装置で読取る際、読取装置は該画像情報からの光束を
連続的に滑らかな偏向面を有した偏向手段を介して、結
像手段により複数の画素を一次元方向に配列した撮像手
段面上に結像させると共に該画像情報を該撮像手段の画
素の並び方向に複数の領域に分割して、該分割した1つ
の領域の画像情報を走査しながら読取っていること。
取ることのできる画像読取装置を得ること。 【構成】 投影手段で所定面上に投影した画像情報を読
取装置で読取る際、読取装置は該画像情報からの光束を
連続的に滑らかな偏向面を有した偏向手段を介して、結
像手段により複数の画素を一次元方向に配列した撮像手
段面上に結像させると共に該画像情報を該撮像手段の画
素の並び方向に複数の領域に分割して、該分割した1つ
の領域の画像情報を走査しながら読取っていること。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は画像読取装置に関し、特
に投影手段により所定面上に投影した画像情報に基づく
光束を結像手段(結像光学系)を介してラインセンサー
(CCD)等の撮像手段面上に結像させて読取る際、投
影した画像情報を読取幅に複数に分割して読取る、所謂
シリアルスキャン方式で読取るようにした例えば複写機
やファクシミリ等に好適な画像読取装置に関するもので
ある。
に投影手段により所定面上に投影した画像情報に基づく
光束を結像手段(結像光学系)を介してラインセンサー
(CCD)等の撮像手段面上に結像させて読取る際、投
影した画像情報を読取幅に複数に分割して読取る、所謂
シリアルスキャン方式で読取るようにした例えば複写機
やファクシミリ等に好適な画像読取装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来より反射型や透過型の原稿面上の画
像情報をCCD等の撮像手段で読取る画像読取装置が種
々と提案されている。
像情報をCCD等の撮像手段で読取る画像読取装置が種
々と提案されている。
【0003】図11(A)は従来のシリアルスキャン方
式を用いた画像読取装置の要部概略図である。同図にお
いて透過型の原稿2は照明手段3によってケーラー照明
して、投影レンズ4により原稿面5上に投影している。
原稿面5上に空中結像した画像情報101はフレネルレ
ンズ10によって反射原稿用の読取装置の結像手段6に
導かれ、複数の画素を一次元に配列した撮像手段7面上
に再結像している。そして撮像手段7により原稿2の画
像情報を読取っている。
式を用いた画像読取装置の要部概略図である。同図にお
いて透過型の原稿2は照明手段3によってケーラー照明
して、投影レンズ4により原稿面5上に投影している。
原稿面5上に空中結像した画像情報101はフレネルレ
ンズ10によって反射原稿用の読取装置の結像手段6に
導かれ、複数の画素を一次元に配列した撮像手段7面上
に再結像している。そして撮像手段7により原稿2の画
像情報を読取っている。
【0004】このとき図11(B)に示すように、結像
手段6と撮像手段7を矢印104の如く移動させて画像
情報101のうち撮像手段7の画素の並び方向に複数の
領域に分割した1領域の画像情報を読取る、所謂シリア
ルスキャン方式により読取っている。一方反射型の原稿
のときは該原稿を原稿面5上に載置し、照明手段10で
照明している。そして透過型の原稿の場合と同様にして
結像手段6と撮像手段7とを矢印の如く移動させて、画
像情報の一部をシリアルスキャン方式により読取ってい
る。
手段6と撮像手段7を矢印104の如く移動させて画像
情報101のうち撮像手段7の画素の並び方向に複数の
領域に分割した1領域の画像情報を読取る、所謂シリア
ルスキャン方式により読取っている。一方反射型の原稿
のときは該原稿を原稿面5上に載置し、照明手段10で
照明している。そして透過型の原稿の場合と同様にして
結像手段6と撮像手段7とを矢印の如く移動させて、画
像情報の一部をシリアルスキャン方式により読取ってい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図11に示す画像読取
装置では原稿面5上の画像情報をフレネルレンズ10を
介して光束を偏向させて結像手段6に導光して読取って
いた。フレネルレンズの断面は不連続形状をしているた
めにフレネルレンズを用いると、図11(C)に示すよ
うに入力データの中央付近にフレネルのうず模様に起因
する同心円状のノイズがのっていくるという問題点が生
じてくる。
装置では原稿面5上の画像情報をフレネルレンズ10を
介して光束を偏向させて結像手段6に導光して読取って
いた。フレネルレンズの断面は不連続形状をしているた
めにフレネルレンズを用いると、図11(C)に示すよ
うに入力データの中央付近にフレネルのうず模様に起因
する同心円状のノイズがのっていくるという問題点が生
じてくる。
【0006】本発明は原稿面上に投影した透過型原稿の
画像情報を偏向手段を介して結像手段に導光して、撮像
手段面上に再結像してシリアルスキャン方式で読取る
際、偏向手段を適切に構成することによりノイズを除去
し、高精度な読取りを可能とした画像読取装置の提供を
目的とする。
画像情報を偏向手段を介して結像手段に導光して、撮像
手段面上に再結像してシリアルスキャン方式で読取る
際、偏向手段を適切に構成することによりノイズを除去
し、高精度な読取りを可能とした画像読取装置の提供を
目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の画像読取装置
は、 (1−1)投影手段で所定面上に投影した画像情報を読
取装置で読取る際、読取装置は該画像情報からの光束を
連続的に滑らかな偏向面を有した偏向手段を介して、結
像手段により複数の画素を一次元方向に配列した撮像手
段面上に結像させると共に該画像情報を該撮像手段の画
素の並び方向に複数の領域に分割して、該分割した1つ
の領域の画像情報を走査しながら読取っていることを特
徴としている。
は、 (1−1)投影手段で所定面上に投影した画像情報を読
取装置で読取る際、読取装置は該画像情報からの光束を
連続的に滑らかな偏向面を有した偏向手段を介して、結
像手段により複数の画素を一次元方向に配列した撮像手
段面上に結像させると共に該画像情報を該撮像手段の画
素の並び方向に複数の領域に分割して、該分割した1つ
の領域の画像情報を走査しながら読取っていることを特
徴としている。
【0008】特に、前記偏向手段はプリズム頂角が可変
の可変頂角プリズムと光路長が可変の複数の楔状のプリ
ズムを有していることや、前記偏向手段は前記画像情報
を走査しながら読取る際の読取領域毎に偏向作用が異な
るようにしていること、そして前記投影手段の投影面側
の有効FナンバーをFP、該投影手段の半画角をθ1
(>0)、前記結像手段の読取り側の有効Fナンバーを
FR、前記偏向手段の読取り側の偏向角をθ4(>0)
とし、 θ2=tan-1(1/FP),但し θ2>0 θ3=tan-1(1/FR),但し θ3>0 としたとき、 θ1+θ2−θ4<θ3<θ1+θ2 θ2<θ3 なる条件を満足することを特徴としている。
の可変頂角プリズムと光路長が可変の複数の楔状のプリ
ズムを有していることや、前記偏向手段は前記画像情報
を走査しながら読取る際の読取領域毎に偏向作用が異な
るようにしていること、そして前記投影手段の投影面側
の有効FナンバーをFP、該投影手段の半画角をθ1
(>0)、前記結像手段の読取り側の有効Fナンバーを
FR、前記偏向手段の読取り側の偏向角をθ4(>0)
とし、 θ2=tan-1(1/FP),但し θ2>0 θ3=tan-1(1/FR),但し θ3>0 としたとき、 θ1+θ2−θ4<θ3<θ1+θ2 θ2<θ3 なる条件を満足することを特徴としている。
【0009】(1−2)照明手段により原稿台面上に載
置した反射型原稿を照明し、該反射型原稿の画像情報を
読取手段で読取ると共に投影装置で該原稿台面上に投影
した透過型原稿の画像情報を該読取装置で読取る際、読
取装置は該画像情報からの光束を連続的に滑らかな偏向
面を有した偏向手段を介して、結像手段により複数の画
素を一次元方向に配列した撮像手段面上に結像させると
共に該画像情報を該撮像手段の画素の並び方向に複数の
領域に分割して、該分割した1つの領域の画像情報を走
査しながら読取っていることを特徴としている。
置した反射型原稿を照明し、該反射型原稿の画像情報を
読取手段で読取ると共に投影装置で該原稿台面上に投影
した透過型原稿の画像情報を該読取装置で読取る際、読
取装置は該画像情報からの光束を連続的に滑らかな偏向
面を有した偏向手段を介して、結像手段により複数の画
素を一次元方向に配列した撮像手段面上に結像させると
共に該画像情報を該撮像手段の画素の並び方向に複数の
領域に分割して、該分割した1つの領域の画像情報を走
査しながら読取っていることを特徴としている。
【0010】
【実施例】図1は本発明の実施例1の要部概略図であ
る。同図では透過型原稿の画像情報を読取る場合を示し
ている。
る。同図では透過型原稿の画像情報を読取る場合を示し
ている。
【0011】図中3aは反射原稿照明用の照明手段であ
り、例えばハロゲンランプや蛍光灯等から成っている。
5は原稿台であり、反射原稿読取りの際にはその面上に
反射原稿を載置している。
り、例えばハロゲンランプや蛍光灯等から成っている。
5は原稿台であり、反射原稿読取りの際にはその面上に
反射原稿を載置している。
【0012】8は連続的に滑らかな偏向面を有した偏向
手段であり、原稿台5を介した光束を所定方向に偏向し
ている。6は結像手段でありテレセントリック系より成
り、原稿台5面上に載置した反射原稿または後述する投
影手段4で投影された透過原稿を倍率誤差がないように
撮像手段7面上に結像している。撮像手段7は1次元の
ラインセンサーより成り、紙面に垂直方向(副走査方
向)に複数の画素が配列されている。
手段であり、原稿台5を介した光束を所定方向に偏向し
ている。6は結像手段でありテレセントリック系より成
り、原稿台5面上に載置した反射原稿または後述する投
影手段4で投影された透過原稿を倍率誤差がないように
撮像手段7面上に結像している。撮像手段7は1次元の
ラインセンサーより成り、紙面に垂直方向(副走査方
向)に複数の画素が配列されている。
【0013】各要素6,7,8は読取手段102の一要
素を構成している。尚、照明手段3aは読取手段102
と共に1つの筐体103内に収納され、後述するように
一体的に移動している。
素を構成している。尚、照明手段3aは読取手段102
と共に1つの筐体103内に収納され、後述するように
一体的に移動している。
【0014】3bは透過原稿照明用の照明手段であり、
例えばハロゲンランプや蛍光灯等から成っている。2は
透過原稿である。4は投影手段でありケーラー照明した
透過原稿2を原稿台5面上に投影している。照明手段3
bと投影手段4は投影装置1の一要素を構成している。
例えばハロゲンランプや蛍光灯等から成っている。2は
透過原稿である。4は投影手段でありケーラー照明した
透過原稿2を原稿台5面上に投影している。照明手段3
bと投影手段4は投影装置1の一要素を構成している。
【0015】図2は図1の原稿台5面上の反射原稿また
は投影手段4で投影された透過原稿等の画像情報101
を走査して読取る際の、図1を下方から見たときの説明
図である。同図では画像情報101面を撮像手段7の画
素配列方向(副走査方向)に複数に分割して、筐体10
3を原稿台5に沿って矢印104の方向に走査すること
により分割して読取る、所謂シリアルスキャン方式を用
いている。
は投影手段4で投影された透過原稿等の画像情報101
を走査して読取る際の、図1を下方から見たときの説明
図である。同図では画像情報101面を撮像手段7の画
素配列方向(副走査方向)に複数に分割して、筐体10
3を原稿台5に沿って矢印104の方向に走査すること
により分割して読取る、所謂シリアルスキャン方式を用
いている。
【0016】図2では筐体103を矢印104で示す如
く、画像情報101を順次走査することにより画像情報
101全面を読取っている。
く、画像情報101を順次走査することにより画像情報
101全面を読取っている。
【0017】図1の装置において透過原稿2を読取ると
きは原稿台5面の周辺部では該透過原稿2に基づく光束
が斜方向から入射してくる。そこで偏向手段8を用いて
斜方向から入射してくる光束を偏向させて結像手段6方
向に導光している。これにより光束の有効利用を図りつ
つ画像情報101の全面を読取っている。
きは原稿台5面の周辺部では該透過原稿2に基づく光束
が斜方向から入射してくる。そこで偏向手段8を用いて
斜方向から入射してくる光束を偏向させて結像手段6方
向に導光している。これにより光束の有効利用を図りつ
つ画像情報101の全面を読取っている。
【0018】図3,図4は図1の偏向手段8の光学的作
用の説明図である。図3は偏向手段8を用いない場合、
図4は偏向手段8を用いた場合の光束状態を示してい
る。
用の説明図である。図3は偏向手段8を用いない場合、
図4は偏向手段8を用いた場合の光束状態を示してい
る。
【0019】今、撮影手段4の投影面側の有効Fナンバ
ーをFP、投影手段4からの光束の主光線4aと最も外
側の光線とのなす角をθ2(>0)、投影手段4の半画
角をθ1(>0)、結像手段6の原稿台5側の有効Fナ
ンバーをFR、結像手段6の光軸6aと最も外側の光線
とのなす角をθ3(>0)、偏向手段8の偏向角をθ4
(>0)とすると、 θ2=tan-1(1/FP) θ3=tan-1(1/FR) となる。
ーをFP、投影手段4からの光束の主光線4aと最も外
側の光線とのなす角をθ2(>0)、投影手段4の半画
角をθ1(>0)、結像手段6の原稿台5側の有効Fナ
ンバーをFR、結像手段6の光軸6aと最も外側の光線
とのなす角をθ3(>0)、偏向手段8の偏向角をθ4
(>0)とすると、 θ2=tan-1(1/FP) θ3=tan-1(1/FR) となる。
【0020】本実施例では、 θ1+θ2−θ4<θ3<θ1+θ2 ・・・・・・(1) θ2<θ3 ・・・・・・・・(2) なる式を満足するように各要素を設定している。
【0021】これにより偏向手段8による偏向角を必要
最小限にしている。そして偏向手段8による光路長ズレ
と倍率ズレが生じたときは、補正手段により補正するこ
とにより該倍率ズレを補正している。
最小限にしている。そして偏向手段8による光路長ズレ
と倍率ズレが生じたときは、補正手段により補正するこ
とにより該倍率ズレを補正している。
【0022】(1)式において角度θ3が角度(θ1+
θ2)より大きくなると、結像手段6での光束のケラレ
が多くなってくるので良くない。又、角度θ3が角度
(θ1+θ2−θ4)よりも小さくなっても結像手段6
での光束のケラレが多くなってくるので良くない。
θ2)より大きくなると、結像手段6での光束のケラレ
が多くなってくるので良くない。又、角度θ3が角度
(θ1+θ2−θ4)よりも小さくなっても結像手段6
での光束のケラレが多くなってくるので良くない。
【0023】角度θ4が大きくなればなる程、通常、偏
向手段8の大きさが大きくなるために投影手段4と結像
手段6の主光線を完全に一致させずに装置全体の小型化
を図ることが容易となる。
向手段8の大きさが大きくなるために投影手段4と結像
手段6の主光線を完全に一致させずに装置全体の小型化
を図ることが容易となる。
【0024】(2)式は投影手段4と結像手段6との主
光線が完全に一致したときに投影手段4からの光束がケ
ラレないようにするための条件である。
光線が完全に一致したときに投影手段4からの光束がケ
ラレないようにするための条件である。
【0025】図5,図6は本発明に係る偏向手段8の具
体例を示す説明図である。
体例を示す説明図である。
【0026】図5,図6において、81は可変頂角プリ
ズムであり、シリコンゴム等を用いてプリズム頂角が連
続的に変化できるようにしている。可変頂角プリズム8
1のプリズム頂角を種々と変化させることにより偏向量
を調整している。91,92は補正手段としての楔形の
プリズムであり、矢印の如く移動させることにより可変
頂角プリズム81のプリズム頂角を変えたときに生ずる
光路長差を補正している。
ズムであり、シリコンゴム等を用いてプリズム頂角が連
続的に変化できるようにしている。可変頂角プリズム8
1のプリズム頂角を種々と変化させることにより偏向量
を調整している。91,92は補正手段としての楔形の
プリズムであり、矢印の如く移動させることにより可変
頂角プリズム81のプリズム頂角を変えたときに生ずる
光路長差を補正している。
【0027】図7は画像情報101をシリアルスキャン
方式により読取るときの各領域における偏向手段8を構
成する可変頂角プリズム81とプリズム91,92の相
対的位置関係を示す説明図である。
方式により読取るときの各領域における偏向手段8を構
成する可変頂角プリズム81とプリズム91,92の相
対的位置関係を示す説明図である。
【0028】図7(A)は画像情報101の各領域にお
ける可変頂角プリズム81のプリズム頂角の可変方向を
矢印で、また可変量を矢印の長さで示している。投影原
稿の投影中心101aに向けて偏向し、その量は同心円
状に可変量を変化させている。
ける可変頂角プリズム81のプリズム頂角の可変方向を
矢印で、また可変量を矢印の長さで示している。投影原
稿の投影中心101aに向けて偏向し、その量は同心円
状に可変量を変化させている。
【0029】図7(B)は透過原稿を読取る際に可変頂
角プリズム81のプリズム頂角と楔形の2つのプリズム
91,92の相対的位置関係を示した説明図である。
角プリズム81のプリズム頂角と楔形の2つのプリズム
91,92の相対的位置関係を示した説明図である。
【0030】図7(C)はプリズム面のような平面のと
き、画像読取幅の中で光束が発散してしまい前述の条件
式(1)を満足できない場合に可変頂角プリズム81の
入射面をレンズ面82として満足させたときを示してい
る。
き、画像読取幅の中で光束が発散してしまい前述の条件
式(1)を満足できない場合に可変頂角プリズム81の
入射面をレンズ面82として満足させたときを示してい
る。
【0031】図8は本発明に係る偏向手段の他の実施例
の概略図である。同図において83はプリズム部材であ
り、らせん状にスロープが設けられている。プリズム部
材83を回転することによりプリズム部材83の位置領
域9におけるプリズム頂角が可変となるようにしてい
る。これにより図5,図6に示す偏向手段と同様の効果
を得ている。
の概略図である。同図において83はプリズム部材であ
り、らせん状にスロープが設けられている。プリズム部
材83を回転することによりプリズム部材83の位置領
域9におけるプリズム頂角が可変となるようにしてい
る。これにより図5,図6に示す偏向手段と同様の効果
を得ている。
【0032】図9,図10は本発明の実施例2,3の要
部概略図である。
部概略図である。
【0033】図9においては投影装置1からの透過原稿
に基づく投影光束を回転しながら同一方向に偏向させる
偏向ミラー84と、それより生じる光路長のズレを2つ
のミラー94,93を八の字状に配置した補正ミラー1
05で補正している。補正ミラー105からの光束を偏
向手段8に導光し、結像手段6により撮像手段7面上に
透過原稿を結像している。尚、反射原稿は原稿台5面上
に載置して、図1の実施例1と同様にして筐体103を
走査して読取っている。
に基づく投影光束を回転しながら同一方向に偏向させる
偏向ミラー84と、それより生じる光路長のズレを2つ
のミラー94,93を八の字状に配置した補正ミラー1
05で補正している。補正ミラー105からの光束を偏
向手段8に導光し、結像手段6により撮像手段7面上に
透過原稿を結像している。尚、反射原稿は原稿台5面上
に載置して、図1の実施例1と同様にして筐体103を
走査して読取っている。
【0034】本実施例では画像情報のうち走査方向の一
方向の角度はθ1=0となるので、それと垂直の走査方
向のみ、図7(B)の方法で偏向させている。
方向の角度はθ1=0となるので、それと垂直の走査方
向のみ、図7(B)の方法で偏向させている。
【0035】図10では投影装置1の投影手段4の近傍
に回転走査ミラー85を設けて光束を偏向している。こ
れにより角度θ1が読取り手段に対して角度θ1′とな
り、これが条件式(1)を満足するようにして、垂直方
向のみ図7(B)の方法で偏向させている。尚、図10
では読取手段は省略している。
に回転走査ミラー85を設けて光束を偏向している。こ
れにより角度θ1が読取り手段に対して角度θ1′とな
り、これが条件式(1)を満足するようにして、垂直方
向のみ図7(B)の方法で偏向させている。尚、図10
では読取手段は省略している。
【0036】
【発明の効果】本発明によれば以上のように、原稿面上
に投影した透過型原稿の画像情報を偏向手段を介して結
像手段に導光して、撮像手段面上に再結像してシリアル
スキャン方式で読取る際、偏向手段を適切に構成するこ
とによりノイズを除去し、高精度な読取りを可能とした
画像読取装置を達成することができる。
に投影した透過型原稿の画像情報を偏向手段を介して結
像手段に導光して、撮像手段面上に再結像してシリアル
スキャン方式で読取る際、偏向手段を適切に構成するこ
とによりノイズを除去し、高精度な読取りを可能とした
画像読取装置を達成することができる。
【図1】 本発明の実施例1の要部概略図
【図2】 図1の一部分の説明図
【図3】 図1の偏向手段の作用の説明図
【図4】 図1の偏向手段の作用の説明図
【図5】 図1の偏向手段の作用の説明図
【図6】 図1の偏向手段の作用の説明図
【図7】 図1の読取り画像情報と偏向手段との位置関
係を示す説明図
係を示す説明図
【図8】 図1の偏向手段を構成する他の実施例の説明
図
図
【図9】 本発明の実施例2の要部概略図
【図10】 本発明の実施例3の要部概略図
【図11】 従来の画像読取装置の要部概略図
1 投影装置 2 透過型原稿 3a,3b 照明手段 4 投影手段 5 原稿台 6 結像手段 7 撮像手段 8 偏向手段 81 可変頂角プリズム 83 プリズム 84 ミラー 91,92 プリズム 101 画像情報 102 読取手段 103 筐体
Claims (5)
- 【請求項1】 投影手段で所定面上に投影した画像情報
を読取装置で読取る際、読取装置は該画像情報からの光
束を連続的に滑らかな偏向面を有した偏向手段を介し
て、結像手段により複数の画素を一次元方向に配列した
撮像手段面上に結像させると共に該画像情報を該撮像手
段の画素の並び方向に複数の領域に分割して、該分割し
た1つの領域の画像情報を走査しながら読取っているこ
とを特徴とする画像読取装置。 - 【請求項2】 前記偏向手段はプリズム頂角が可変の可
変頂角プリズムと光路長が可変の複数の楔状のプリズム
を有していることを特徴とする請求項1の画像読取装
置。 - 【請求項3】 前記偏向手段は前記画像情報を走査しな
がら読取る際の読取領域毎に偏向作用が異なるようにし
ていることを特徴とする請求項1の画像読取装置。 - 【請求項4】 前記投影手段の投影面側の有効Fナンバ
ーをFP、該投影手段の半画角をθ1(>0)、前記結
像手段の読取り側の有効FナンバーをFR、前記偏向手
段の読取り側の偏向角をθ4(>0)とし、 θ2=tan-1(1/FP),但し θ2>0 θ3=tan-1(1/FR),但し θ3>0 としたとき、 θ1+θ2−θ4<θ3<θ1+θ2 θ2<θ3 なる条件を満足することを特徴とする請求項1の画像読
取装置。 - 【請求項5】照明手段により原稿台面上に載置した反射
型原稿を照明し、該反射型原稿の画像情報を読取手段で
読取ると共に投影装置で該原稿台面上に投影した透過型
原稿の画像情報を該読取装置で読取る際、読取装置は該
画像情報からの光束を連続的に滑らかな偏向面を有した
偏向手段を介して、結像手段により複数の画素を一次元
方向に配列した撮像手段面上に結像させると共に該画像
情報を該撮像手段の画素の並び方向に複数の領域に分割
して、該分割した1つの領域の画像情報を走査しながら
読取っていることを特徴とする画像読取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6090514A JPH07283911A (ja) | 1994-04-05 | 1994-04-05 | 画像読取装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6090514A JPH07283911A (ja) | 1994-04-05 | 1994-04-05 | 画像読取装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07283911A true JPH07283911A (ja) | 1995-10-27 |
Family
ID=14000578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6090514A Pending JPH07283911A (ja) | 1994-04-05 | 1994-04-05 | 画像読取装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07283911A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001237183A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-08-31 | Asm Lithography Bv | マイクロリソグラフィ投影装置 |
-
1994
- 1994-04-05 JP JP6090514A patent/JPH07283911A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001237183A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-08-31 | Asm Lithography Bv | マイクロリソグラフィ投影装置 |
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