JPH07286968A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JPH07286968A JPH07286968A JP8150994A JP8150994A JPH07286968A JP H07286968 A JPH07286968 A JP H07286968A JP 8150994 A JP8150994 A JP 8150994A JP 8150994 A JP8150994 A JP 8150994A JP H07286968 A JPH07286968 A JP H07286968A
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- light
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 スリット光２９を照射する投光手段１３と、
熱延鋼板１１からの反射光２６を受光するために所定の
受光立体角α、βにそれぞれ設定された２個のＣＣＤカ
メラ２１、２２と、これらへ反射光２６を導くハーフミ
ラー２５と、ＣＣＤカメラ２１、２２からの画像信号２
１ａ、２２ａを処理する信号処理手段２８とを備えてい
る表面欠陥検査装置。 【効果】 ＣＣＤカメラ２１、２２の画像信号２１ａ、
２２ａから優れたＳ／Ｎ比で凹状欠陥とスリ疵状欠陥と
を確実に検出することができるとともに、高いしきい値
で比較することができるため、凹状欠陥とスリ疵状欠陥
以外のものが欠陥として誤検出されるのを防止すること
ができる。
熱延鋼板１１からの反射光２６を受光するために所定の
受光立体角α、βにそれぞれ設定された２個のＣＣＤカ
メラ２１、２２と、これらへ反射光２６を導くハーフミ
ラー２５と、ＣＣＤカメラ２１、２２からの画像信号２
１ａ、２２ａを処理する信号処理手段２８とを備えてい
る表面欠陥検査装置。 【効果】 ＣＣＤカメラ２１、２２の画像信号２１ａ、
２２ａから優れたＳ／Ｎ比で凹状欠陥とスリ疵状欠陥と
を確実に検出することができるとともに、高いしきい値
で比較することができるため、凹状欠陥とスリ疵状欠陥
以外のものが欠陥として誤検出されるのを防止すること
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は表面欠陥検査装置に関
し、より詳細には、例えばローラー上において高速度で
搬送されている熱延鋼板表面上にある凹状欠陥、スリ疵
状欠陥等を検出するために用いられる表面欠陥検査装置
に関する。
し、より詳細には、例えばローラー上において高速度で
搬送されている熱延鋼板表面上にある凹状欠陥、スリ疵
状欠陥等を検出するために用いられる表面欠陥検査装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は搬送ライン上を高速度で搬送され
ている被検査物の表面欠陥を検出するための、従来の表
面欠陥検査装置を模式的に示したブロック図であり、図
中１１は被検査物としての鋼板を示している。鋼板１１
はローラ１２上を矢印Ａ方向へ高速度で搬送されてお
り、鋼板１１上方の所定箇所には鋼板１１表面に光を照
射する投光手段１３が配設されている。また鋼板１１上
方の所定箇所には受光手段としての１個の一次元ＣＣＤ
（Charge Coupled Device)カメラ１４が配設・固定され
ており、ＣＣＤカメラ１４の受光絞り機構（図示せず）
は所定の絞り状態に設定・保持されている。そして投光
手段１３からの照射光１３ａは鋼板表面１１ａで反射さ
れて反射光１４ａとなり、その一部が前記受光絞り機構
を通してＣＣＤカメラ１４で受光されるようになってい
る。さらにＣＣＤカメラ１４には信号処理手段１５が接
続されており、信号処理手段１５は微分処理（フィルタ
リング）回路１５ａ、比較回路１５ｂ、マイクロコンピ
ュータ１５ｃ等を含んで構成されている。
ている被検査物の表面欠陥を検出するための、従来の表
面欠陥検査装置を模式的に示したブロック図であり、図
中１１は被検査物としての鋼板を示している。鋼板１１
はローラ１２上を矢印Ａ方向へ高速度で搬送されてお
り、鋼板１１上方の所定箇所には鋼板１１表面に光を照
射する投光手段１３が配設されている。また鋼板１１上
方の所定箇所には受光手段としての１個の一次元ＣＣＤ
（Charge Coupled Device)カメラ１４が配設・固定され
ており、ＣＣＤカメラ１４の受光絞り機構（図示せず）
は所定の絞り状態に設定・保持されている。そして投光
手段１３からの照射光１３ａは鋼板表面１１ａで反射さ
れて反射光１４ａとなり、その一部が前記受光絞り機構
を通してＣＣＤカメラ１４で受光されるようになってい
る。さらにＣＣＤカメラ１４には信号処理手段１５が接
続されており、信号処理手段１５は微分処理（フィルタ
リング）回路１５ａ、比較回路１５ｂ、マイクロコンピ
ュータ１５ｃ等を含んで構成されている。
【０００３】このように構成された表面欠陥検査装置を
用いて表面欠陥を検出する場合、まずＣＣＤカメラ１４
で鋼板表面１１ａを撮像する。すると一次元のＣＣＤカ
メラ１４の走査ごとに出力された画像信号１４ｂが信号
処理手段１５に伝送され、微分処理回路１５ａにより微
分信号１５ｄに変換され、ノイズ信号が除去される。次
に微分信号１５ｄは比較回路１５ｂに伝送され、あらか
じめ設定されたしきい値との比較処理が行なわれ、さら
にマイクロコンピュータ１５ｃで判断処理が行われて欠
陥が検出される。前記ノイズ信号にはローラ１２上を移
動する際に生じる鋼板１１のバタツキや、鋼板表面１１
ａの表面粗さの差異等に起因したＣＣＤ１４カメラの受
光ムラによるものが含まれている。したがって、前記微
分処理の際におけるノイズ信号の除去によりＳ／Ｎ比
（Signal-to-Noize ratio)が高められ、欠陥が検出され
なかったり、あるいは欠陥以外のものが欠陥として検出
されるトラブルが防止される。
用いて表面欠陥を検出する場合、まずＣＣＤカメラ１４
で鋼板表面１１ａを撮像する。すると一次元のＣＣＤカ
メラ１４の走査ごとに出力された画像信号１４ｂが信号
処理手段１５に伝送され、微分処理回路１５ａにより微
分信号１５ｄに変換され、ノイズ信号が除去される。次
に微分信号１５ｄは比較回路１５ｂに伝送され、あらか
じめ設定されたしきい値との比較処理が行なわれ、さら
にマイクロコンピュータ１５ｃで判断処理が行われて欠
陥が検出される。前記ノイズ信号にはローラ１２上を移
動する際に生じる鋼板１１のバタツキや、鋼板表面１１
ａの表面粗さの差異等に起因したＣＣＤ１４カメラの受
光ムラによるものが含まれている。したがって、前記微
分処理の際におけるノイズ信号の除去によりＳ／Ｎ比
（Signal-to-Noize ratio)が高められ、欠陥が検出され
なかったり、あるいは欠陥以外のものが欠陥として検出
されるトラブルが防止される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】鋼板１１の表面欠陥に
は凹状欠陥、スリ疵状欠陥等種類が多い。例えば凹状欠
陥は凹形状または凸形状を有しており、圧延ロールに生
じた疵が圧延の際に鋼板１１表面に転写されて形成され
たものである。またスリ疵状欠陥は光沢を有しており、
鋼板１１表面に付着した厚さ数μｍのスケールが剥れ、
その跡が欠陥となったものである。
は凹状欠陥、スリ疵状欠陥等種類が多い。例えば凹状欠
陥は凹形状または凸形状を有しており、圧延ロールに生
じた疵が圧延の際に鋼板１１表面に転写されて形成され
たものである。またスリ疵状欠陥は光沢を有しており、
鋼板１１表面に付着した厚さ数μｍのスケールが剥れ、
その跡が欠陥となったものである。
【０００５】上記した表面欠陥検査装置においては、１
個のＣＣＤカメラ１４で撮像された画像信号１４ｂが信
号処理手段１５で信号処理されることにより、欠陥が検
出されるようになっている。しかし、この信号処理だけ
では凹状欠陥は検出される一方、スリ疵状欠陥が検出さ
れ難かったり、あるいはスリ疵状欠陥は検出される一
方、凹状欠陥が検出され難かったり、欠陥の種類により
検出誤差が生じるという課題があった。
個のＣＣＤカメラ１４で撮像された画像信号１４ｂが信
号処理手段１５で信号処理されることにより、欠陥が検
出されるようになっている。しかし、この信号処理だけ
では凹状欠陥は検出される一方、スリ疵状欠陥が検出さ
れ難かったり、あるいはスリ疵状欠陥は検出される一
方、凹状欠陥が検出され難かったり、欠陥の種類により
検出誤差が生じるという課題があった。
【０００６】本発明はこのような課題に鑑みなされたも
のであり、多くの種類の表面欠陥を確実に検出すること
ができる表面欠陥検査装置を提供することを目的として
いる。
のであり、多くの種類の表面欠陥を確実に検出すること
ができる表面欠陥検査装置を提供することを目的として
いる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る表面欠陥検査装置は、被検査物に光を照
射し、前記被検査物からの反射光量に基づいて前記被検
査物の表面欠陥を検出するための表面欠陥検査装置にお
いて、前記被検査物に光を照射する投光手段と、前記被
検査物からの反射光を受光するために所定の受光立体角
に設定された複数個の受光手段と、これらそれぞれの受
光手段へ前記反射光を導く導光手段と、前記受光手段か
らの信号を処理する信号処理手段とを備えていることを
特徴としている。
に本発明に係る表面欠陥検査装置は、被検査物に光を照
射し、前記被検査物からの反射光量に基づいて前記被検
査物の表面欠陥を検出するための表面欠陥検査装置にお
いて、前記被検査物に光を照射する投光手段と、前記被
検査物からの反射光を受光するために所定の受光立体角
に設定された複数個の受光手段と、これらそれぞれの受
光手段へ前記反射光を導く導光手段と、前記受光手段か
らの信号を処理する信号処理手段とを備えていることを
特徴としている。
【０００８】
【作用】図３は欠陥部または正常部に光を照射し、これ
らから反射される光の光量と散乱角との関係を比較調査
した結果を示した曲線図であり、（ａ）は凹状欠陥部
（曲線Ａ）、正常部（曲線Ｃ）の場合、（ｂ）はスリ疵
状欠陥部（曲線Ｂ）、正常部（曲線Ｃ）の場合を示して
いる。この結果から明らかなように、散乱角がα以内の
範囲における凹状欠陥部と正常部との光量比は７：１０
であり、散乱角がβ以内の範囲における前記光量比は
６：７である（ａ）。一方、散乱角がα以内の範囲にお
けるスリ疵状欠陥部と正常部との光量比は５：４であ
り、散乱角がβ以内の範囲における前記光量比は５：３
である（ｂ）。このように欠陥の種類により、反射パタ
ーンが異なっていることが分かる。したがって、凹状欠
陥の場合、散乱角がα以内の範囲の反射光を撮像すると
Ｓ／Ｎ比が高められ、凹状欠陥が確実に検出されること
となる。またスリ疵状欠陥の場合、散乱角がβ以内の範
囲の反射光を撮像するとＳ／Ｎ比が高められ、スリ疵状
欠陥が確実に検出されることとなる。
らから反射される光の光量と散乱角との関係を比較調査
した結果を示した曲線図であり、（ａ）は凹状欠陥部
（曲線Ａ）、正常部（曲線Ｃ）の場合、（ｂ）はスリ疵
状欠陥部（曲線Ｂ）、正常部（曲線Ｃ）の場合を示して
いる。この結果から明らかなように、散乱角がα以内の
範囲における凹状欠陥部と正常部との光量比は７：１０
であり、散乱角がβ以内の範囲における前記光量比は
６：７である（ａ）。一方、散乱角がα以内の範囲にお
けるスリ疵状欠陥部と正常部との光量比は５：４であ
り、散乱角がβ以内の範囲における前記光量比は５：３
である（ｂ）。このように欠陥の種類により、反射パタ
ーンが異なっていることが分かる。したがって、凹状欠
陥の場合、散乱角がα以内の範囲の反射光を撮像すると
Ｓ／Ｎ比が高められ、凹状欠陥が確実に検出されること
となる。またスリ疵状欠陥の場合、散乱角がβ以内の範
囲の反射光を撮像するとＳ／Ｎ比が高められ、スリ疵状
欠陥が確実に検出されることとなる。
【０００９】また、ＣＣＤカメラにより所定の散乱角内
の光を受光するには、前記ＣＣＤカメラの受光立体角を
調整する必要があり、この受光立体角は前記ＣＣＤカメ
ラと被検査物との距離、または前記ＣＣＤカメラにおけ
る入射光の絞り度合いにより変え得ることとなる。
の光を受光するには、前記ＣＣＤカメラの受光立体角を
調整する必要があり、この受光立体角は前記ＣＣＤカメ
ラと被検査物との距離、または前記ＣＣＤカメラにおけ
る入射光の絞り度合いにより変え得ることとなる。
【００１０】本発明に係る表面欠陥検査装置によれば、
被検査物に光を照射する投光手段と、前記被検査物から
の反射光を受光するために所定の受光立体角に設定され
た複数個の受光手段と、これらそれぞれの受光手段へ前
記反射光を導く導光手段と、前記受光手段からの信号を
処理する信号処理手段とを備えているので、各欠陥種の
反射パターンに適合する前記受光立体角を選ぶことによ
り、複数個の受光手段の画像信号から優れたＳ／Ｎ比で
前記各欠陥種をそれぞれ確実に検出し得るとともに、高
いしきい値で比較し得るため、前記欠陥種以外のものが
欠陥として誤検出されるのが防止されることとなる。
被検査物に光を照射する投光手段と、前記被検査物から
の反射光を受光するために所定の受光立体角に設定され
た複数個の受光手段と、これらそれぞれの受光手段へ前
記反射光を導く導光手段と、前記受光手段からの信号を
処理する信号処理手段とを備えているので、各欠陥種の
反射パターンに適合する前記受光立体角を選ぶことによ
り、複数個の受光手段の画像信号から優れたＳ／Ｎ比で
前記各欠陥種をそれぞれ確実に検出し得るとともに、高
いしきい値で比較し得るため、前記欠陥種以外のものが
欠陥として誤検出されるのが防止されることとなる。
【００１１】
【実施例及び比較例】以下、本発明に係る表面欠陥検査
装置の実施例を図面に基づいて説明する。なお、従来例
と同一の機能を有する構成部品には同一の符号を付すこ
ととする。図１は本発明に係る表面欠陥検査装置の実施
例を模式的に示したブロック図であり、図中１１は被検
査物としての熱延鋼板を示している。熱延鋼板１１は複
数個のローラ１２上を矢印Ａ方向へ高速度で搬送されて
おり、熱延鋼板１１上方の所定箇所には投光手段１３が
配設されている。投光手段１３は直流点灯式のメタルハ
ライド光源１３ｂと集光レンズ１３ｃとにより構成され
ており、メタルハライド光源１３ｂから発射された光が
集光レンズ１３ｃを通ってスリット光２９となり、鋼板
表面１１ａに照射されるようになっている。一方、鋼板
表面１１ａ上の法線１１ｂに関してスリット光２９と対
称位置にある反射光２６線上の所定箇所には、第１の受
光手段としての一次元ＣＣＤカメラ２１が配設されてい
る。また反射光２６線上における鋼板表面１１ａとＣＣ
Ｄカメラ２１との間の所定箇所には、導光手段としての
ハーフミラー２５が配設されている。さらにハーフミラ
ー２５の後方の所定箇所には第２の受光手段としての一
次元ＣＣＤカメラ２２が配設されており、ハーフミラー
２５により、鋼板表面１１ａからの反射光２６がＣＣＤ
カメラ２１、２２方向にそれぞれ分離されるようになっ
ている。ＣＣＤカメラ２１、２２は同一の光学的分解能
を有する一方、例えば、ＣＣＤカメラ２１の受光立体角
は比較的大きいαに設定され、凹状欠陥が検出され易い
ように構成されており、ＣＣＤカメラ２２の受光立体角
は比較的小さいβに設定され、スリ疵状欠陥が検出され
易いように構成されている。ＣＣＤカメラ２１の前方に
は遮光フィルタ２４が配設され、受光立体角がそれぞれ
異なっていても、ＣＣＤカメラ２１、２２の受光量が同
一となるように補正されており、共通のしきい値により
比較回路２８ｂで比較処理が行なえるようになってい
る。またＣＣＤカメラ２２、遮光フィルタ２４の前方に
は熱線吸収フィルタ２３がそれぞれ装着されており、熱
線吸収フィルタ２３により鋼板１１からの放射熱が遮断
され、この放射熱でＣＣＤカメラ２１、２２が損傷する
のが防止されるようになっている。
装置の実施例を図面に基づいて説明する。なお、従来例
と同一の機能を有する構成部品には同一の符号を付すこ
ととする。図１は本発明に係る表面欠陥検査装置の実施
例を模式的に示したブロック図であり、図中１１は被検
査物としての熱延鋼板を示している。熱延鋼板１１は複
数個のローラ１２上を矢印Ａ方向へ高速度で搬送されて
おり、熱延鋼板１１上方の所定箇所には投光手段１３が
配設されている。投光手段１３は直流点灯式のメタルハ
ライド光源１３ｂと集光レンズ１３ｃとにより構成され
ており、メタルハライド光源１３ｂから発射された光が
集光レンズ１３ｃを通ってスリット光２９となり、鋼板
表面１１ａに照射されるようになっている。一方、鋼板
表面１１ａ上の法線１１ｂに関してスリット光２９と対
称位置にある反射光２６線上の所定箇所には、第１の受
光手段としての一次元ＣＣＤカメラ２１が配設されてい
る。また反射光２６線上における鋼板表面１１ａとＣＣ
Ｄカメラ２１との間の所定箇所には、導光手段としての
ハーフミラー２５が配設されている。さらにハーフミラ
ー２５の後方の所定箇所には第２の受光手段としての一
次元ＣＣＤカメラ２２が配設されており、ハーフミラー
２５により、鋼板表面１１ａからの反射光２６がＣＣＤ
カメラ２１、２２方向にそれぞれ分離されるようになっ
ている。ＣＣＤカメラ２１、２２は同一の光学的分解能
を有する一方、例えば、ＣＣＤカメラ２１の受光立体角
は比較的大きいαに設定され、凹状欠陥が検出され易い
ように構成されており、ＣＣＤカメラ２２の受光立体角
は比較的小さいβに設定され、スリ疵状欠陥が検出され
易いように構成されている。ＣＣＤカメラ２１の前方に
は遮光フィルタ２４が配設され、受光立体角がそれぞれ
異なっていても、ＣＣＤカメラ２１、２２の受光量が同
一となるように補正されており、共通のしきい値により
比較回路２８ｂで比較処理が行なえるようになってい
る。またＣＣＤカメラ２２、遮光フィルタ２４の前方に
は熱線吸収フィルタ２３がそれぞれ装着されており、熱
線吸収フィルタ２３により鋼板１１からの放射熱が遮断
され、この放射熱でＣＣＤカメラ２１、２２が損傷する
のが防止されるようになっている。
【００１２】ＣＣＤカメラ２１、２２にはコントローラ
２７が接続されており、コントローラ２７により電荷蓄
積時間が調整され、各ＣＣＤカメラ２１、２２が同様の
タイミングで高速に走査されるようになっている。また
ＣＣＤカメラ２１、２２には信号処理手段２８が接続さ
れており、信号処理手段２８はＡ／Ｄコンバータ２８
ａ、比較回路２８ｂ、マイクロコンピュータ２８ｃ等を
含んで構成されている。
２７が接続されており、コントローラ２７により電荷蓄
積時間が調整され、各ＣＣＤカメラ２１、２２が同様の
タイミングで高速に走査されるようになっている。また
ＣＣＤカメラ２１、２２には信号処理手段２８が接続さ
れており、信号処理手段２８はＡ／Ｄコンバータ２８
ａ、比較回路２８ｂ、マイクロコンピュータ２８ｃ等を
含んで構成されている。
【００１３】このように構成された表面欠陥検査装置を
用いて表面欠陥を検出する場合、ＣＣＤカメラ２１、２
２により同一の鋼板表面１１ａを撮像する。すると一次
元のＣＣＤカメラ２１、２２の走査ごとに出力された画
像信号２１ａ、２２ａが信号処理手段２８に伝送され
る。画像信号２１ａには凹状欠陥信号が含まれ、画像信
号２２ａにはスリ疵状欠陥信号が含まれている。画像信
号２１ａ、２２ａはＡ／Ｄコンバータ２８ａによりデジ
タル信号２８ｄに変換された後、比較回路２８ｂに伝送
される。そしてあらかじめ設定されたしきい値と比較さ
れ、しきい値を超える信号の論理和が出力され、マイク
ロコンピュータ２８ｃで判断処理が行われて凹状欠陥、
スリ疵状欠陥が検出される。
用いて表面欠陥を検出する場合、ＣＣＤカメラ２１、２
２により同一の鋼板表面１１ａを撮像する。すると一次
元のＣＣＤカメラ２１、２２の走査ごとに出力された画
像信号２１ａ、２２ａが信号処理手段２８に伝送され
る。画像信号２１ａには凹状欠陥信号が含まれ、画像信
号２２ａにはスリ疵状欠陥信号が含まれている。画像信
号２１ａ、２２ａはＡ／Ｄコンバータ２８ａによりデジ
タル信号２８ｄに変換された後、比較回路２８ｂに伝送
される。そしてあらかじめ設定されたしきい値と比較さ
れ、しきい値を超える信号の論理和が出力され、マイク
ロコンピュータ２８ｃで判断処理が行われて凹状欠陥、
スリ疵状欠陥が検出される。
【００１４】以下に、実施例に係る表面欠陥検査装置を
用い、凹状欠陥とスリ疵状欠陥とを撮像した結果につい
て説明する。なお、ＣＣＤカメラ２１は受光立体角αが
約１×１０-3ｓｔｒ、ＣＣＤカメラ２２は受光立体角β
が約２×１０-4ｓｔｒに設定されたものを用いた。また
比較例として前記受光立体角とは別の受光立体角に設定
された装置を用いて欠陥を撮像した。
用い、凹状欠陥とスリ疵状欠陥とを撮像した結果につい
て説明する。なお、ＣＣＤカメラ２１は受光立体角αが
約１×１０-3ｓｔｒ、ＣＣＤカメラ２２は受光立体角β
が約２×１０-4ｓｔｒに設定されたものを用いた。また
比較例として前記受光立体角とは別の受光立体角に設定
された装置を用いて欠陥を撮像した。
【００１５】図２はＳ／Ｎ比と受光立体角との関係を調
査した結果を示した曲線図であり、図中曲線Ａは凹状欠
陥、曲線Ｂはスリ疵状欠陥を示している。この結果から
明らかなように、約１×１０-3ｓｔｒの受光立体角に設
定されたＣＣＤカメラ２１（画像信号２１ａ）のＳ／Ｎ
比は、凹状欠陥がピークを示す一方、スリ疵状欠陥は検
出限界（Ｓ／Ｎ比３）以下になっている。また約２×１
０-4ｓｔｒの受光立体角に設定されたＣＣＤカメラ２２
（画像信号２２ａ）のＳ／Ｎ比は、スリ疵状欠陥がピー
クを示す一方、凹状欠陥は検出限界（Ｓ／Ｎ比３）以下
になっている。したがって実施例に係る装置の場合、Ｃ
ＣＤカメラ２１、２２の画像信号により凹状欠陥、スリ
疵状欠陥がそれぞれ明瞭に判別される。他方、ＣＣＤカ
メラ２１、２２のうちいずれか１台しか備えていない比
較例の装置の場合、凹状欠陥またはスリ状欠陥のいずれ
かの欠陥の判別が困難となった。さらに散乱角α、βか
ら大きく外れた例えば受光立体角が５×１０-4ｓｔｒに
設定された比較例の装置の場合、凹状欠陥、スリ状欠陥
ともに判別が困難となった。
査した結果を示した曲線図であり、図中曲線Ａは凹状欠
陥、曲線Ｂはスリ疵状欠陥を示している。この結果から
明らかなように、約１×１０-3ｓｔｒの受光立体角に設
定されたＣＣＤカメラ２１（画像信号２１ａ）のＳ／Ｎ
比は、凹状欠陥がピークを示す一方、スリ疵状欠陥は検
出限界（Ｓ／Ｎ比３）以下になっている。また約２×１
０-4ｓｔｒの受光立体角に設定されたＣＣＤカメラ２２
（画像信号２２ａ）のＳ／Ｎ比は、スリ疵状欠陥がピー
クを示す一方、凹状欠陥は検出限界（Ｓ／Ｎ比３）以下
になっている。したがって実施例に係る装置の場合、Ｃ
ＣＤカメラ２１、２２の画像信号により凹状欠陥、スリ
疵状欠陥がそれぞれ明瞭に判別される。他方、ＣＣＤカ
メラ２１、２２のうちいずれか１台しか備えていない比
較例の装置の場合、凹状欠陥またはスリ状欠陥のいずれ
かの欠陥の判別が困難となった。さらに散乱角α、βか
ら大きく外れた例えば受光立体角が５×１０-4ｓｔｒに
設定された比較例の装置の場合、凹状欠陥、スリ状欠陥
ともに判別が困難となった。
【００１６】この結果から明らかなように、実施例に係
る表面欠陥検査装置では、熱延鋼板１１にスリット光２
９を照射する投光手段１３と、熱延鋼板１１からの反射
光２６を受光するために所定の受光立体角α、βにそれ
ぞれ設定された２個のＣＣＤカメラ２１、２２と、ＣＣ
Ｄカメラ２１、２２へ反射光２６を導くハーフミラー２
５と、ＣＣＤカメラ２１、２２からの画像信号２１ａ、
２２ａを処理する信号処理手段２８とを備えているの
で、凹状欠陥、スリ疵状欠陥の反射パターンにそれぞれ
適合する受光立体角α、βを選ぶことにより、ＣＣＤカ
メラ２１、２２の画像信号２１ａ、２２ａから３以上の
Ｓ／Ｎ比で２種類の凹状欠陥、スリ疵状欠陥をそれぞれ
確実に検出することができる。またＳ／Ｎ比が大きく、
高いしきい値で比較処理を行なうことができるため、凹
状欠陥、スリ疵状欠陥以外が欠陥として検出されるのを
防止することができる。
る表面欠陥検査装置では、熱延鋼板１１にスリット光２
９を照射する投光手段１３と、熱延鋼板１１からの反射
光２６を受光するために所定の受光立体角α、βにそれ
ぞれ設定された２個のＣＣＤカメラ２１、２２と、ＣＣ
Ｄカメラ２１、２２へ反射光２６を導くハーフミラー２
５と、ＣＣＤカメラ２１、２２からの画像信号２１ａ、
２２ａを処理する信号処理手段２８とを備えているの
で、凹状欠陥、スリ疵状欠陥の反射パターンにそれぞれ
適合する受光立体角α、βを選ぶことにより、ＣＣＤカ
メラ２１、２２の画像信号２１ａ、２２ａから３以上の
Ｓ／Ｎ比で２種類の凹状欠陥、スリ疵状欠陥をそれぞれ
確実に検出することができる。またＳ／Ｎ比が大きく、
高いしきい値で比較処理を行なうことができるため、凹
状欠陥、スリ疵状欠陥以外が欠陥として検出されるのを
防止することができる。
【００１７】なお上記実施例では、受光手段として２個
のＣＣＤカメラ２１、２２を備えた装置について説明し
たが、欠陥の種類が多い場合には３個以上のＣＣＤカメ
ラを用いてもよい。
のＣＣＤカメラ２１、２２を備えた装置について説明し
たが、欠陥の種類が多い場合には３個以上のＣＣＤカメ
ラを用いてもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上詳述したように本発明に係る表面欠
陥検査装置にあっては、被検査物に光を照射する投光手
段と、前記被検査物からの反射光を受光するために所定
の受光立体角に設定された複数個の受光手段と、これら
それぞれの受光手段へ前記反射光を導く導光手段と、前
記受光手段からの信号を処理する信号処理手段とを備え
ているので、各欠陥種の反射パターンに適合する前記受
光立体角を選ぶことにより、複数個の受光手段の画像信
号から優れたＳ／Ｎ比で前記各欠陥種をそれぞれ確実に
検出することができるとともに、高いしきい値で比較す
ることができるため、前記欠陥種以外のものが欠陥とし
て誤検出されるのを防止することができる。
陥検査装置にあっては、被検査物に光を照射する投光手
段と、前記被検査物からの反射光を受光するために所定
の受光立体角に設定された複数個の受光手段と、これら
それぞれの受光手段へ前記反射光を導く導光手段と、前
記受光手段からの信号を処理する信号処理手段とを備え
ているので、各欠陥種の反射パターンに適合する前記受
光立体角を選ぶことにより、複数個の受光手段の画像信
号から優れたＳ／Ｎ比で前記各欠陥種をそれぞれ確実に
検出することができるとともに、高いしきい値で比較す
ることができるため、前記欠陥種以外のものが欠陥とし
て誤検出されるのを防止することができる。
【図１】本発明に係る表面欠陥検査装置の実施例を模式
的に示したブロック図でる。
的に示したブロック図でる。
【図２】実施例と比較例の装置を用い、Ｓ／Ｎ比と受光
立体角との関係を調査した結果を示した曲線図であり、
図中Ａは凹状欠陥、Ｂはスリ疵状欠陥を示している。
立体角との関係を調査した結果を示した曲線図であり、
図中Ａは凹状欠陥、Ｂはスリ疵状欠陥を示している。
【図３】欠陥部または正常部に光を照射し、これらから
反射される光の光量と散乱角との関係を調査した結果を
示した曲線図であり、（ａ）は凹状欠陥（曲線Ａ）、正
常部（曲線Ｃ）の場合、（ｂ）はスリ疵状欠陥（曲線
Ｂ）、正常部（曲線Ｃ）の場合を示している。
反射される光の光量と散乱角との関係を調査した結果を
示した曲線図であり、（ａ）は凹状欠陥（曲線Ａ）、正
常部（曲線Ｃ）の場合、（ｂ）はスリ疵状欠陥（曲線
Ｂ）、正常部（曲線Ｃ）の場合を示している。
【図４】搬送ライン上高速度で搬送される被検査物の表
面欠陥を検出するための従来の表面欠陥検査装置を模式
的に示したブロック図である。
面欠陥を検出するための従来の表面欠陥検査装置を模式
的に示したブロック図である。
１１ 熱延鋼板 １３ 投光手段 ２１、２２ ＣＣＤカメラ ２１ａ、２２ａ 画像信号 ２５ ハーフミラー ２６ 反射光 ２８ 信号処理手段 ２９ スリット光
Claims (1)
- 【請求項１】 被検査物に光を照射し、前記被検査物か
らの反射光量に基づいて前記被検査物の表面欠陥を検出
するための表面欠陥検査装置において、前記被検査物に
光を照射する投光手段と、前記被検査物からの反射光を
受光するために所定の受光立体角に設定された複数個の
受光手段と、これらそれぞれの受光手段へ前記反射光を
導く導光手段と、前記受光手段からの信号を処理する信
号処理手段とを備えていることを特徴とする表面欠陥検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8150994A JPH07286968A (ja) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8150994A JPH07286968A (ja) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07286968A true JPH07286968A (ja) | 1995-10-31 |
Family
ID=13748333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8150994A Pending JPH07286968A (ja) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | 表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07286968A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008267972A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Jfe Steel Kk | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
| WO2010010229A1 (en) * | 2008-07-23 | 2010-01-28 | Lappeenrannan Teknillinen Yliopisto | Imaging arrangement |
| JP2010237008A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Toyota Central R&D Labs Inc | 高温物体の形状計測装置及び形状計測方法 |
| JP2013044635A (ja) * | 2011-08-24 | 2013-03-04 | Kobe Steel Ltd | 欠陥検出装置 |
| CN109540918A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-29 | 鞍钢集团自动化有限公司 | 一种热轧卷边部缺陷检测装置及方法 |
| JP7296085B1 (ja) * | 2023-04-02 | 2023-06-22 | マシンビジョンライティング株式会社 | 撮像レンズ |
-
1994
- 1994-04-20 JP JP8150994A patent/JPH07286968A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008267972A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Jfe Steel Kk | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
| WO2010010229A1 (en) * | 2008-07-23 | 2010-01-28 | Lappeenrannan Teknillinen Yliopisto | Imaging arrangement |
| JP2010237008A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Toyota Central R&D Labs Inc | 高温物体の形状計測装置及び形状計測方法 |
| JP2013044635A (ja) * | 2011-08-24 | 2013-03-04 | Kobe Steel Ltd | 欠陥検出装置 |
| CN109540918A (zh) * | 2018-11-28 | 2019-03-29 | 鞍钢集团自动化有限公司 | 一种热轧卷边部缺陷检测装置及方法 |
| CN109540918B (zh) * | 2018-11-28 | 2021-04-16 | 鞍钢集团自动化有限公司 | 一种热轧卷边部缺陷检测装置及方法 |
| JP7296085B1 (ja) * | 2023-04-02 | 2023-06-22 | マシンビジョンライティング株式会社 | 撮像レンズ |
| WO2024209975A1 (ja) * | 2023-04-02 | 2024-10-10 | マシンビジョンライティング株式会社 | 撮像レンズ |
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