JPH07292453A - 高温酸化防止用遮熱コーティング方法 - Google Patents

高温酸化防止用遮熱コーティング方法

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JPH07292453A
JPH07292453A JP6089300A JP8930094A JPH07292453A JP H07292453 A JPH07292453 A JP H07292453A JP 6089300 A JP6089300 A JP 6089300A JP 8930094 A JP8930094 A JP 8930094A JP H07292453 A JPH07292453 A JP H07292453A
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勇 榧野
Masaharu Nakamori
正治 中森
Hisataka Kawai
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高温ガスと接する金属部材に適用される遮熱
コーティング方法に関する。 【構成】 高温ガスと接する金属部材に適用される遮熱
コーティング方法において、金属部材上に低圧プラズマ
溶射法にてMCrAlY(M:Ni及び/又はCo)を
コーティングした後、ZrO2 −Y2 3 を大気プラズ
マ溶射し、さらに無機質のゆう薬(必要に応じてZrO
2 −Y2 3 を混合したもの)をハケ塗り後焼成又は直
接溶射して高温酸化防止用遮熱コーティングを施こす方
法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は高温ガスと接する金属部
材に適用される遮熱コーティング方法に関し、ブロワ、
回収タービンの製作、特にガスタービンの高温化、高効
率と対応可能な動、静翼の製作に有利に適用しうる同方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】コンバインドサイクルプラントに代表さ
れる高効率化された最近の産業用ガスタービンのタービ
ン入口ガス温度の上昇は著しく1300℃以上となって
いる。このような高温ガスに曝露される動、静翼に使用
される耐熱合金は精力的に研究開発が行われ、その許容
使用温度も年々上昇しているが、実用合金では850〜
900℃程度である。このため実機ガスタービンでは薄
肉化した内部冷却翼が用いられている。一方、使用され
る燃料はLNG、副生ガスや重油および最近では石炭を
液化又はガス化して利用することも研究されており、空
気冷却翼の高温酸化や高温腐食防止を目的として低圧プ
ラズマ溶射(VPS)法によりMCrAlY(M:Ni
及び/又はCo)の耐食合金のコーティングを施したの
ち、ZrO2 −Y2 3を大気溶射でコーティングし、
この遮熱効果を利用して基材合金の温度を低下させ、結
果としてガス温度の高温化に対処している。
【0003】そのように処理された遮熱コーティングの
従来例を図5に示す。図5において、1は金属部材、2
はMCrAlY(M:Ni及び/又はCo)中間層(低
圧プラズマ溶射層)、3はZrO2 −Y2 3 セラミッ
ク層(大気プラズマ溶射層)を示す。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ガスタービン入口温度
の高温化に対応するため、ZrO2 −Y2 3 の遮熱コ
ーティングを利用されていることは前記のとおりである
が、このZrO2 −Y23 層は大気溶射で形成される
ため、燃焼ガス等が透過し、中間層のMCrAlY
(M:Ni及び/又はCo)コーティング層まで到達す
る。このため、高温条件で長時間使用すると、その中間
層表面で高温酸化又は高温腐食を生じ、これによって高
温化と対応するためのZrO2 −Y2 3 層を剥離させ
る欠点がある。本発明は上記技術水準に鑑み、ZrO2
−Y2 3 層の剥離が防止される高温酸化防止用遮熱コ
ーティングを施こす方法を提供しようとするものであ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は (1)高温ガスと接する金属部材に適用される遮熱コー
ティング方法において、金属部材上に低圧プラズマ溶射
法にてMCrAlY(M:Ni及び/又はCo)をコー
ティングした後、ZrO2 −Y2 3 を大気プラズマ溶
射し、さらに無機質のゆう薬をハケ塗り後焼成又は直接
溶射することを特徴とする高温酸化防止用遮熱コーティ
ング方法。 (2)無機質のゆう薬とZrO2 −Y2 3 を混合した
混合物をハケ塗り後焼成又は直接溶射することを特徴と
する上記(1)記載の高温酸化防止用遮熱コーティング
方法。 (3)無機質のゆう薬とZrO2 −Y2 3 の混合物の
混合比を2種以上に変えて順次ハケ塗り後焼成又は直接
溶射することを特徴とする上記(2)記載の高温酸化防
止用遮熱コーティング方法。である。
【0006】MCrAlY(M:Ni及び/又はCo)
を低圧プラズマ溶射法により適用するのは、通常の遮熱
コーティングと同様に酸化物の巻き込みを少なくし、緻
密な皮膜が得られるようにするためである。一般的にそ
の皮膜厚さが50μm未満では施工対象の金属部材及び
後工程で適用されるZrO2 −Y2 3 層との熱膨張率
を緩和する中間層としての機能が不足し、また200μ
mを越えるとその効果は飽和するので、一般的にその皮
膜の厚さは50〜200μmである。
【0007】ZrO2 −Y2 3 は一般的にZrO2
加えるY2 3 量は4〜12wt%のものが使用され、
ZrO2 −Y2 3 は大気プラズマ溶射法で適用され
る。大気プラズマ溶射法に特定した理由は、低圧プラズ
マ溶射法に比しポロシティー(空孔)が多くなり、遮熱
効果が大となり、かつ熱膨張も緩和されるからである。
このZrO2 −Y2 3 の皮膜の厚さは遮熱効果を確保
するためと、剥離の難易性を考慮して一般的には100
〜300μm程度に施される。
【0008】無機質のゆう薬としてはNa2 O−BaO
−SiO2 系ゆう薬、CaO−BaO−Al2 3 −S
iO2 系ゆう薬など焼成又は溶射時のみ完全に溶融し、
皮膜を形成した後、ガスタービン運転中のガス温度では
溶融飛散しない融点をもつものが一般的に使用される。
また、これらゆう薬にZrO2 −Y2 3 の混合して使
用することもできる。混合使用の場合、ゆう薬:ZrO
2 −Y2 3 =10〜20:90〜80(wt%)の割
合で使用するのが一般的である。ゆう薬又はゆう薬とZ
rO2 −Y2 3 の混合物はハケ塗り後焼成するか直接
溶射することによって適用される。その皮膜の厚さはガ
ス侵入防止効果の下限値と先に適用したZrO2 −Y2
3 への影響(熱伝導率、熱膨張率)を考慮して一般的
には10〜70μm程度に施こされる。また、ゆう薬と
ZrO2 −Y2 3 混合物とZrO2 −Y2 3 皮膜上
に適用するに当って、上記混合割合の範囲で、混合比を
2種以上に、変えて適用してもよい。この場合、ZrO
2 −Y2 3 皮膜に接する側のものゝ混合物中のZrO
2 −Y2 3 の量を上記範囲内で多いものを適用するの
がよい。
【0009】
【作用】ZrO2 −Y2 3 コーティング層上にハケ塗
り後焼成又は直接溶射されるゆう薬又はゆう薬とZrO
2 −Y2 3 の混合物は焼成又は溶射中に一部又は全て
が溶融し、先に適用されたZrO2 −Y2 3 コーティ
ング層上で気密性の高い皮膜を形成して、燃焼ガス等腐
食性成分の侵入を防止する。また、ゆう薬の一部はZr
2 −Y2 3 コーティング層中へ侵入し、ゆう薬とZ
rO2 −Y2 3コーティング層の密着性を確保すると
ともに気密性をより一層向上させる。ゆう薬は無機混合
物であり、熱伝導率が低いため遮熱効果も向上する。ま
た、ZrO2 −Y2 3 コーティング層上に形成される
ゆう薬とZrO2 −Y2 3の混合物溶射膜は混合比を
変化させることができるので、ZrO2 −Y2 3 コー
ティング層との熱膨張率の差を小さくすることが可能で
ある。
【0010】
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例をあげ、本発
明の効果を明らかにする。 (実施例1)図1によって、本発明の一実施例を説明す
る。図1において、1は金属部材、2はNiCrAlY
中間層、3はZrO2 −Y2 3 セラミック層、4はゆ
う薬層を示す。代表的なガスタービン静翼材のCo基超
合金ECY768(重量%で、Cr:23.5%、N
i:9.86%、Ti:0.22%、W:7.18%、
Ta:3.75%、C:0.61%、Al:0.21
%、Zr:0.01%、B:0.001%、Fe:0.
06%、Si:<0.10%、Mn:<0.10%、
S:0.001%、Co:残部)を金属部材1として、
NiCrAlY(Ni−25Cr−6Al−0.5Y:
数値は重量%を示す)を中間層2として膜厚:100μ
m程度を目標に低圧プラズマ溶射を行い、引き続きZr
2 −8%Y2 3 (%は重量%)セラミック層3とし
て大気プラズマにて膜厚:250μmを目標に溶射し
た。次に2.5%Na2 O−7.0%BaO−75%S
iO2 (%は重量%)系ゆう薬を膜厚:20μmにハケ
塗りし、空気雰囲気中1000℃で焼成してゆう薬層4
とした。
【0011】この実施例で施工された遮熱コーティング
材と従来法によるゆう薬のない遮熱コーティング材とを
900℃の空気中で1000時間高温酸化試験を行った
ところ、従来材のZrO2 −Y2 3 層と接するNiC
rAlY中間層上に8〜10μm程度の酸化皮膜が形成
されていたのに対し、この実施例1では1〜3μmの酸
化皮膜が形成されていたに過ぎず、中間層の酸化抑制効
果があることが確認された。中間層の酸化皮膜厚さが1
5〜20μmに達すると、ZrO2 −Y2 3層が剥離
するトラブルが度々出現するが、この実施例1による酸
化皮膜の成長速度を著しく低減できるため、ZrO2
2 3 皮膜を剥離させるに至る時間を大幅に延長させ
る効果が奏されることが判る。
【0012】(実施例2)図2により、本発明の他の実
施例を説明する。図2において、1は金属部材、2はC
oNiCrAlY中間層、3はZrO2 −Y2 3 セラ
ミック層、4はゆう薬層を示す。代表的なガスタービン
動翼材のNi基超合金IN738LC(重量%で、C
o:8.30%、Cr:15.9%、Ti:1.75
%、W:2.54%、Ta:1.73%、C:0.09
%、Al:3.42%、Zr:0.03%、B:0.0
08%、Fe:0.10%、Si:<0.05%、M
n:<0.05%、S:<0.005%、Ni:残部)
を金属部材1として、CoNiCrAlY(Co−20
Ni−25Cr−8Al−0.5Y:数値は重量%を示
す)を中間層2として膜厚:100μm程度を目標に低
圧プラズマ溶射後、ZrO2 −8%Y2 3 をセラミッ
ク層3として大気プラズマ溶射にて膜厚:250μmを
目標に溶射した。次に10%CaO−5%BaO−15
%Al2 3 −65%SiO2 系ゆう薬を膜厚:約50
μmを目標にアセチレンガス溶射機を利用して溶射して
ゆう薬層4とした。
【0013】この実施例で施工された遮熱コーティング
材を900℃の空気中で1000時間高温酸化試験を行
ったところ、CoNiCrAlY中間層上に僅かに2〜
5μm程度の酸化皮膜が形成されたに過ぎなかった。
【0014】(実施例3)図3により、本発明の他の実
施例を説明する。図3において、1は金属部材、2はN
iCrAlY中間層、3はZrO2 −Y2 3 セラミッ
ク層、5はゆう薬とZrO2 −Y2 3 セラミック混合
層を示す。実施例1に示した代表的なガスタービン静翼
材のCo基超合金ECY768を金属部材1として、同
じく実施例1に示したNiCrAlYを中間層2として
膜厚:100μm程度を目標に低圧プラズマ溶射を行
い、引き続き実施例1と同じZrO2 −8%Y2 3
セラミック層3として大気プラズマにて膜厚:250μ
mを目標に溶射した。次に、実施例1に示したNa2
・BaO・SiO2 系のゆう薬粉末20wt%とZrO
2 −8%Y2 3 粉末80wt%よりなる混合物を大気
プラズマ溶射し、約20μm膜厚のセラミック−ゆう薬
混合層5を形成した。
【0015】この実施例で施工された遮熱コーティング
材を900℃の空気中で1000時間高温酸化試験を行
ったところ、NiCrAlY中間層上に形成された酸化
皮膜層は3μm以下であり、中間層の酸化抑制効果が確
認された。
【0016】(実施例4)図4により、本発明の他の実
施例を説明する。図4中、1,2及び3は実施例3にお
いて説明した金属部材、中間層及びZrO2 −Y2 3
セラミック層と同じものを示す。5A,5Bは共にゆう
薬とZrO2 −Y2 3 セラミック混合層であるが、そ
の混合割合の異なるものを示す。実施例3のZrO2
8%Y2 3 粉末を大気プラズマ溶射するまでは同じ処
理を行い、この層3上に実施例2に示したCaO−Ba
O−Al2 3 −SiO 2 系ゆう薬粉末とZrO2 −8
%Y2 3 粉末の混合割合の異なる混合物5A,5Bを
大気プラズマ溶射した。すなわち、先ず前記ゆう薬粉末
10wt%とZrO2 −8%Y2 3 粉末90wt%よ
りなる混合物Aを大気プラズマ溶射して混合層5Aを形
成させた後、前記ゆう薬粉末20wt%とZrO2 −8
%Y2 3粉末80wt%よりなる混合物Bを大気プラ
ズマ溶射して混合層5Bを形成させ、その合計の膜厚を
30〜50μmとした。
【0017】この実施例で施工された遮熱コーティング
材の実施例3に示した高温酸化試験の結果、中間層上に
形成された酸化皮膜層は3μm以下であり、中間層の酸
化抑制効果が確認された。この実施例の場合、ZrO2
−8%Y2 3 セラミック層に接する側の混合物中のZ
rO2 −8%Y2 3 の割合が多いので、ZrO2 −8
%Y2 3 セラミック層と熱膨張率が近似し、混合物層
の剥離が防止できる効果も奏する。
【0018】
【発明の効果】本発明によれば、ゆう薬の作用により外
部からの燃焼ガスの侵入を抑制することができるので、
中間層(MCrAlY層)の酸化皮膜の成長速度を著し
く低減でき、ZrO2 −Y2 3 層の剥離に至るまでの
時間を大幅に延長させることができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1によって遮熱コーティングを
施こされた金属部材の断面模式図。
【図2】本発明の実施例2によって遮熱コーティングを
施こされた金属部材の断面模式図。
【図3】本発明の実施例3によって遮熱コーティングを
施こされた金属部材の断面模式図。
【図4】本発明の実施例4によって遮熱コーティングを
施こされた金属部材の断面模式図。
【図5】従来の遮熱コーティングを施こされた金属部材
の一態様の断面模式図。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 高温ガスと接する金属部材に適用される
    遮熱コーティング方法において、金属部材上に低圧プラ
    ズマ溶射法にてMCrAlY(M:Ni及び/又はC
    o)をコーティングした後、ZrO2 −Y2 3 を大気
    プラズマ溶射し、さらに無機質のゆう薬をハケ塗り後焼
    成又は直接溶射することを特徴とする高温酸化防止用遮
    熱コーティング方法。
  2. 【請求項2】 無機質のゆう薬とZrO2 −Y2 3
    混合した混合物をハケ塗り後焼成又は直接溶射すること
    を特徴とする請求項1記載の高温酸化防止用遮熱コーテ
    ィング方法。
  3. 【請求項3】 無機質のゆう薬とZrO2 −Y2 3
    混合物の混合比を2種以上に変えて順次ハケ塗り後焼成
    又は直接溶射することを特徴とする請求項2記載の高温
    酸化防止用遮熱コーティング方法。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001226759A (ja) * 1999-10-01 2001-08-21 General Electric Co <Ge> 保護皮膜の表面を平滑化する方法
WO2001063006A1 (de) * 2000-02-25 2001-08-30 Forschungszentrum Jülich GmbH Kombinierte wärmedämmschichtsysteme
JP2002530525A (ja) * 1998-11-13 2002-09-17 フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング ガラス−金属/セラミック−断熱層
DE102004034687A1 (de) * 2004-07-17 2006-02-02 Öko-Insel Energietechnik GmbH Verfahren zur Herstellung eines Bauteils aus Keramik-Verbund-Werkstoff für thermisch und mechanisch hoch beanspruchbare Turbinen, und Turbine aus Keramik-Verbund-Werkstoff, insbesondere Mikrogasturbine in Axialbauweise
JP2008088548A (ja) * 2006-08-18 2008-04-17 United Technol Corp <Utc> タービンエンジンコンポーネント
JP2011012287A (ja) * 2009-06-30 2011-01-20 Hitachi Ltd 耐熱部材およびガスタービン用高温部品
JP2011167994A (ja) * 2010-02-22 2011-09-01 Hitachi Ltd 遮熱コーティングを有する耐熱部材と、それを用いたガスタービン用部品
JP2012137073A (ja) * 2010-12-28 2012-07-19 Hitachi Ltd 遮熱コーティングを有するガスタービン用部品と、それを用いたガスタービン
DE102011103731A1 (de) * 2011-05-31 2012-12-06 Man Diesel & Turbo Se Verfahren zum Aufbringen einer Schutzschicht, mit einer Schutzschicht beschichtetes Bauteil und Gasturbine mit einem solchen Bauteil
WO2014069180A1 (ja) 2012-10-31 2014-05-08 福田金属箔粉工業株式会社 耐高温腐食特性を備えたNi-Cr-Co系合金とそれを用いて表面改質したポペットバルブ

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002530525A (ja) * 1998-11-13 2002-09-17 フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング ガラス−金属/セラミック−断熱層
JP2001226759A (ja) * 1999-10-01 2001-08-21 General Electric Co <Ge> 保護皮膜の表面を平滑化する方法
WO2001063006A1 (de) * 2000-02-25 2001-08-30 Forschungszentrum Jülich GmbH Kombinierte wärmedämmschichtsysteme
EP1514953A3 (de) * 2000-02-25 2005-05-18 Forschungszentrum Jülich Gmbh Kombinierte Wärmedämmschichtsysteme
DE102004034687A1 (de) * 2004-07-17 2006-02-02 Öko-Insel Energietechnik GmbH Verfahren zur Herstellung eines Bauteils aus Keramik-Verbund-Werkstoff für thermisch und mechanisch hoch beanspruchbare Turbinen, und Turbine aus Keramik-Verbund-Werkstoff, insbesondere Mikrogasturbine in Axialbauweise
JP2008088548A (ja) * 2006-08-18 2008-04-17 United Technol Corp <Utc> タービンエンジンコンポーネント
JP2011012287A (ja) * 2009-06-30 2011-01-20 Hitachi Ltd 耐熱部材およびガスタービン用高温部品
US8460799B2 (en) 2009-06-30 2013-06-11 Hitachi, Ltd. High-temperature resistant component and gas turbine hot part
JP2011167994A (ja) * 2010-02-22 2011-09-01 Hitachi Ltd 遮熱コーティングを有する耐熱部材と、それを用いたガスタービン用部品
JP2012137073A (ja) * 2010-12-28 2012-07-19 Hitachi Ltd 遮熱コーティングを有するガスタービン用部品と、それを用いたガスタービン
DE102011103731A1 (de) * 2011-05-31 2012-12-06 Man Diesel & Turbo Se Verfahren zum Aufbringen einer Schutzschicht, mit einer Schutzschicht beschichtetes Bauteil und Gasturbine mit einem solchen Bauteil
WO2014069180A1 (ja) 2012-10-31 2014-05-08 福田金属箔粉工業株式会社 耐高温腐食特性を備えたNi-Cr-Co系合金とそれを用いて表面改質したポペットバルブ
US9441287B2 (en) 2012-10-31 2016-09-13 Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd. Ni-Cr-Co-based alloy having high-temperature corrosion resistance, and poppet valve surface-modified with the same

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