JPH07293492A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- JPH07293492A JPH07293492A JP8203194A JP8203194A JPH07293492A JP H07293492 A JPH07293492 A JP H07293492A JP 8203194 A JP8203194 A JP 8203194A JP 8203194 A JP8203194 A JP 8203194A JP H07293492 A JPH07293492 A JP H07293492A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造簡単で、大気突入等に対する強度が得ら
れながら、高真空の排気速度を向上できるようにする。 【構成】 ねじ溝分子ポンプとしたポンプ要素１０の吸
気体で、接触外筒１４における吸気口１２の内側に、ね
じ溝１６と逆傾斜状に傾斜する複数の翼片２１をもった
案内翼２０を静止状に設けた。
れながら、高真空の排気速度を向上できるようにする。 【構成】 ねじ溝分子ポンプとしたポンプ要素１０の吸
気体で、接触外筒１４における吸気口１２の内側に、ね
じ溝１６と逆傾斜状に傾斜する複数の翼片２１をもった
案内翼２０を静止状に設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプ、詳しくは中
真空のみならず高真空が得られ、例えば半導体製造分野
におけるウェハ−チャンバーの真空引きに適用すること
ができる真空ポンプに関する。
真空のみならず高真空が得られ、例えば半導体製造分野
におけるウェハ−チャンバーの真空引きに適用すること
ができる真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、高い真空度が得られるようにした
真空ポンプは、例えば特開平２−１１５５９３号公報に
見られるようにねじ溝分子ポンプ（ＭＤＰ：モレキュラ
ードラグポンプ）や、例えば実公昭６０−９４３９号公
報に見られるように多数の静翼と動翼とを組合わせたタ
ーボ分子ポンプ（ＴＭＰ：ターボモレキュラーポンプ）
や、更に例えば特開平１−２５７７９４号公報の第４図
に見られるように前記ねじ溝分子ポンプとターボ分子ポ
ンプとを組合わせた複合分子ポンプが知られている。
真空ポンプは、例えば特開平２−１１５５９３号公報に
見られるようにねじ溝分子ポンプ（ＭＤＰ：モレキュラ
ードラグポンプ）や、例えば実公昭６０−９４３９号公
報に見られるように多数の静翼と動翼とを組合わせたタ
ーボ分子ポンプ（ＴＭＰ：ターボモレキュラーポンプ）
や、更に例えば特開平１−２５７７９４号公報の第４図
に見られるように前記ねじ溝分子ポンプとターボ分子ポ
ンプとを組合わせた複合分子ポンプが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】所が、従来知られてい
る前記した３型式の各分子ポンプのうち、ターボ分子ポ
ンプは高真空での排気速度及び圧縮比が共に大きく高性
能に排気できるが、中真空では極端にその性能が低下す
るし、また、多数の静翼と動翼とを組合わせて構成する
ものであるから、構造が複雑になるし、また、前記静翼
及び動翼は薄板構造となっていて、大気突入等に対し脆
弱な弱点を有している。
る前記した３型式の各分子ポンプのうち、ターボ分子ポ
ンプは高真空での排気速度及び圧縮比が共に大きく高性
能に排気できるが、中真空では極端にその性能が低下す
るし、また、多数の静翼と動翼とを組合わせて構成する
ものであるから、構造が複雑になるし、また、前記静翼
及び動翼は薄板構造となっていて、大気突入等に対し脆
弱な弱点を有している。
【０００４】また、前記ねじ溝分子ポンプは構造がシン
プルで大気突入等に対しては強く、また、中真空で高い
性能を有するのであるが、高真空での排気速度が前記タ
ーボ分子ポンプより小さい弱点をもっている。
プルで大気突入等に対しては強く、また、中真空で高い
性能を有するのであるが、高真空での排気速度が前記タ
ーボ分子ポンプより小さい弱点をもっている。
【０００５】更に、前記複合分子ポンプは、前記ねじ溝
分子ポンプとターボ分子ポンプとを併用していることか
ら、中真空及び高真空において、ともに高い性能を有す
るのであるが、構造が複雑となり、従って、コスト高に
なるだけでなく、大気突入等に対し脆弱な弱点は依然と
して残るのである。
分子ポンプとターボ分子ポンプとを併用していることか
ら、中真空及び高真空において、ともに高い性能を有す
るのであるが、構造が複雑となり、従って、コスト高に
なるだけでなく、大気突入等に対し脆弱な弱点は依然と
して残るのである。
【０００６】本発明は、ねじ溝分子ポンプが、構造簡単
で、大気突入等に対しても強くでき、しかも中真空には
高い排気構造が得られることに着目し、このねじ溝分子
ポンプをベースとして発明したもので、その目的は、構
造簡単にでき、大気突入等に対し強くできながら中真空
はもとより高真空においても高い排気速度が得られる真
空ポンプを提供する点にある。
で、大気突入等に対しても強くでき、しかも中真空には
高い排気構造が得られることに着目し、このねじ溝分子
ポンプをベースとして発明したもので、その目的は、構
造簡単にでき、大気突入等に対し強くできながら中真空
はもとより高真空においても高い排気速度が得られる真
空ポンプを提供する点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
以上の目的を達成するため、吸気口１２と、排気口１３
とをもつ静止外筒１４と、この静止外筒１４内に、外面
が近接状に位置し、モ−タ３２で駆動される回転内筒１
５とから成り、前記静止外筒１４と回転内筒１５との一
方にねじ溝１６を設けたポンプ要素１０を備えると共
に、前記ポンプ要素１０の吸気側で、前記吸気口１２の
内側に、前記ねじ溝１６と逆傾斜状に傾斜する複数の翼
片２１をもった案内翼２０を静止状に設けたのであっ
て、ねじ溝分子ポンプをベースとしてこのねじ溝分子ポ
ンプの特性を有効に利用しながら、前記ねじ溝分子ポン
プを構成するポンプ要素１０の吸入側に、前記案内翼２
０を静止状に設けたのである。
以上の目的を達成するため、吸気口１２と、排気口１３
とをもつ静止外筒１４と、この静止外筒１４内に、外面
が近接状に位置し、モ−タ３２で駆動される回転内筒１
５とから成り、前記静止外筒１４と回転内筒１５との一
方にねじ溝１６を設けたポンプ要素１０を備えると共
に、前記ポンプ要素１０の吸気側で、前記吸気口１２の
内側に、前記ねじ溝１６と逆傾斜状に傾斜する複数の翼
片２１をもった案内翼２０を静止状に設けたのであっ
て、ねじ溝分子ポンプをベースとしてこのねじ溝分子ポ
ンプの特性を有効に利用しながら、前記ねじ溝分子ポン
プを構成するポンプ要素１０の吸入側に、前記案内翼２
０を静止状に設けたのである。
【０００８】また、請求項２記載の発明は、案内翼２０
の吸気側における気体流路の断面１に入射した気体分子
が回転内筒１５の吸気側における気体流路の断面２に通
過する通過確率をＰ12とし、前記回転内筒１５の吸気側
における気体流路の断面２から前記案内翼２０の吸気側
に向かって入射した気体分子が、前記案内翼２０の吸気
側における気体流路の断面１に通過する通過確率をＰ21
とし、前記回転内筒１５の吸気側における気体流路の断
面２に入射した気体分子が、ねじ溝１６を介して前記回
転内筒１５の排気側における気体流路の断面３に通過す
る通過確率をＰ23としたとき、前記案内翼２０を、
の吸気側における気体流路の断面１に入射した気体分子
が回転内筒１５の吸気側における気体流路の断面２に通
過する通過確率をＰ12とし、前記回転内筒１５の吸気側
における気体流路の断面２から前記案内翼２０の吸気側
に向かって入射した気体分子が、前記案内翼２０の吸気
側における気体流路の断面１に通過する通過確率をＰ21
とし、前記回転内筒１５の吸気側における気体流路の断
面２に入射した気体分子が、ねじ溝１６を介して前記回
転内筒１５の排気側における気体流路の断面３に通過す
る通過確率をＰ23としたとき、前記案内翼２０を、
【０００９】
【数１】
【００１０】の条件を満足するように構成したのであ
る。
る。
【００１１】
【作用】請求項１記載の発明では、ポンプ要素１０とし
て、前記静止外筒１４と回転内筒１５とから構成し、前
記静止外筒１４と回転内筒１５との一方にねじ溝１６を
設けたねじ溝分子ポンプを用い、このポンプ要素１０の
吸気側で、前記静止外筒１４の吸気口１２の内側に、前
記案内翼２０を静止状に設けたから、構造簡単で、しか
も大気突入等に対し強くできながら、高真空において高
い排気速度が得られるのである。
て、前記静止外筒１４と回転内筒１５とから構成し、前
記静止外筒１４と回転内筒１５との一方にねじ溝１６を
設けたねじ溝分子ポンプを用い、このポンプ要素１０の
吸気側で、前記静止外筒１４の吸気口１２の内側に、前
記案内翼２０を静止状に設けたから、構造簡単で、しか
も大気突入等に対し強くできながら、高真空において高
い排気速度が得られるのである。
【００１２】即ち、ねじ溝分子ポンプにおける最大排気
速度Ｓは、図３において気体流路の断面積をＡとし、分
子流コンダクタンス（l/sec/cm2 ）をＣｏとすると、次
式により求められる。
速度Ｓは、図３において気体流路の断面積をＡとし、分
子流コンダクタンス（l/sec/cm2 ）をＣｏとすると、次
式により求められる。
【００１３】
【数２】Ｓ＝Ｃｏ・Ａ（Ｐ23−Ｐ32） 但し、Ｐ23はねじ溝分子ポンプの吸気側における気体流
路の断面２に入射した気体分子が排気側における気体流
路の断面３に通過する通過確率であり、Ｐ32は前記ねじ
溝分子ポンプの排気側における気体流路の断面３から吸
気側に向かって入射した気体分子が前記吸気側気体流路
の断面２に通過する通過確率である。
路の断面２に入射した気体分子が排気側における気体流
路の断面３に通過する通過確率であり、Ｐ32は前記ねじ
溝分子ポンプの排気側における気体流路の断面３から吸
気側に向かって入射した気体分子が前記吸気側気体流路
の断面２に通過する通過確率である。
【００１４】また、前記案内翼２０を静止状に設けた場
合におけるねじ溝分子ポンプの最大排気速度Ｓ0 は、通
過確率の合成法則から、次の一般式で求められる。
合におけるねじ溝分子ポンプの最大排気速度Ｓ0 は、通
過確率の合成法則から、次の一般式で求められる。
【００１５】
【数３】
【００１６】但しＰ12は図３において前記案内翼２０の
吸気側における気体流路の断面１に入射した気体分子
が、前記回転内筒１５の吸気側における気体流路の断面
２に通過する通過確率であり、Ｐ21は、前記断面２から
前記案内翼２０の吸気側に向かって入射した気体分子
が、前記断面１に通過する通過確率である。
吸気側における気体流路の断面１に入射した気体分子
が、前記回転内筒１５の吸気側における気体流路の断面
２に通過する通過確率であり、Ｐ21は、前記断面２から
前記案内翼２０の吸気側に向かって入射した気体分子
が、前記断面１に通過する通過確率である。
【００１７】また一方、ターボ分子ポンプにおける気体
分子の通過確率Ｐ12、Ｐ21は、秋田大学教授沢田雅氏
（理化学研究所会員）が、昭和４２年４月２日に発表さ
れ、昭和４３年４月に発行された日本機械学会論文集３
４巻２６０号に記載された気体分子の通過確率計算式か
ら求められるのであって、この計算式をもとに前記動翼
の翼速度比Ｃ、即ち、
分子の通過確率Ｐ12、Ｐ21は、秋田大学教授沢田雅氏
（理化学研究所会員）が、昭和４２年４月２日に発表さ
れ、昭和４３年４月に発行された日本機械学会論文集３
４巻２６０号に記載された気体分子の通過確率計算式か
ら求められるのであって、この計算式をもとに前記動翼
の翼速度比Ｃ、即ち、
【００１８】
【数４】
【００１９】に対する気体分子通過確率Ｐ12，Ｐ21を求
めると、図４のように変化する。尚、図４における翼角
は３０°であって、この翼角により翼速度比に対する通
過確率は変化するが、傾向としては変りない。また図４
において翼速度比が零の場合はロータが静止している場
合であって、この翼速度比が零のときの通過確率π0
が、静翼に対する通過確率Ｐ12と見做すことができ、ま
た、翼速度比が零より正の場合（π1 ）が動翼の通過確
率Ｐ12となり、負の場合（π-1 )が動翼及び静翼の通過
確率Ｐ21となる。
めると、図４のように変化する。尚、図４における翼角
は３０°であって、この翼角により翼速度比に対する通
過確率は変化するが、傾向としては変りない。また図４
において翼速度比が零の場合はロータが静止している場
合であって、この翼速度比が零のときの通過確率π0
が、静翼に対する通過確率Ｐ12と見做すことができ、ま
た、翼速度比が零より正の場合（π1 ）が動翼の通過確
率Ｐ12となり、負の場合（π-1 )が動翼及び静翼の通過
確率Ｐ21となる。
【００２０】しかして、ターボ分子ポンプにおける静翼
の通過確率Ｐ12，Ｐ21をみてみると、前記通過確率Ｐ12
はπ0 となるのに対し、ねじ溝分子ポンプにおける前記
通過確率Ｐ23はねじ溝を設ける前記静止外筒と回転内筒
とのねじ溝形成部位の軸方向長さが長くなるねじ溝分子
ポンプの特性から、
の通過確率Ｐ12，Ｐ21をみてみると、前記通過確率Ｐ12
はπ0 となるのに対し、ねじ溝分子ポンプにおける前記
通過確率Ｐ23はねじ溝を設ける前記静止外筒と回転内筒
とのねじ溝形成部位の軸方向長さが長くなるねじ溝分子
ポンプの特性から、
【００２１】
【数５】Ｐ23＜π0 ＜π1 となるのである。
【００２２】従って、前記ねじ溝１６と逆傾斜状に傾斜
する複数の翼片２１をもった案内翼２０を静止状に設け
ることにより、大気突入等に対する強度を大きくできな
がら、その最大排気速度Ｓ0 を案内翼２０を設けないね
じ溝分子ポンプの最大排気速度Ｓより大きくできるので
ある。
する複数の翼片２１をもった案内翼２０を静止状に設け
ることにより、大気突入等に対する強度を大きくできな
がら、その最大排気速度Ｓ0 を案内翼２０を設けないね
じ溝分子ポンプの最大排気速度Ｓより大きくできるので
ある。
【００２３】又請求項２記載の発明は、前記案内翼２０
を
を
【００２４】
【数１】
【００２５】の条件を満足するように構成したから、排
気速度をねじ溝分子ポンプの排気速度に対し有効に増大
できるのである。
気速度をねじ溝分子ポンプの排気速度に対し有効に増大
できるのである。
【００２６】即ち、ねじ溝ポンプの圧縮比は十分に大き
く（〜１０8 ）、このため、前記断面３から吸気側に向
かって入射した気体分子が断面２に通過する通過確率Ｐ
32は小さく無視できるから、前記した最大排気速度Ｓ及
びＳ0 は、次式に換算できる。
く（〜１０8 ）、このため、前記断面３から吸気側に向
かって入射した気体分子が断面２に通過する通過確率Ｐ
32は小さく無視できるから、前記した最大排気速度Ｓ及
びＳ0 は、次式に換算できる。
【００２７】
【数６】
【００２８】従って、前記案内翼２０の大きさ及び傾斜
角度や枚数（翼ピッチ）を考慮し、Ｓ0 ／Ｓ＞１となる
ように、換言すると、
角度や枚数（翼ピッチ）を考慮し、Ｓ0 ／Ｓ＞１となる
ように、換言すると、
【００２９】
【数７】
【００３０】の条件を満足するように前記案内翼２０を
構成することにより、その排気速度を有効に増加させ得
るのである。
構成することにより、その排気速度を有効に増加させ得
るのである。
【００３１】
【実施例】図１に示した実施例は、上部に、取付フラン
ジ１１を介して例えばウエハーチャンバーに接続される
吸気口１２を設け、下部に排気口１３を設けたほゞ円筒
状の静止外筒１４の内部に、この静止外筒１４の内周面
に近接する外周面をもった回転内筒１５を内装して、こ
の回転内筒１５の外周面に、該回転内筒１５の回転で前
記吸気口１２から排気口１３へ螺進するねじ溝１６を設
けてねじ溝分子ポンプのポンプ要素１０を形成し、その
上に、このポンプ要素１０の吸気側で、前記吸気口１２
の内側に、前記ねじ溝１６と逆傾斜状に傾斜する複数の
翼片２１をもった案内翼２０を静止状に設けたのであ
る。
ジ１１を介して例えばウエハーチャンバーに接続される
吸気口１２を設け、下部に排気口１３を設けたほゞ円筒
状の静止外筒１４の内部に、この静止外筒１４の内周面
に近接する外周面をもった回転内筒１５を内装して、こ
の回転内筒１５の外周面に、該回転内筒１５の回転で前
記吸気口１２から排気口１３へ螺進するねじ溝１６を設
けてねじ溝分子ポンプのポンプ要素１０を形成し、その
上に、このポンプ要素１０の吸気側で、前記吸気口１２
の内側に、前記ねじ溝１６と逆傾斜状に傾斜する複数の
翼片２１をもった案内翼２０を静止状に設けたのであ
る。
【００３２】尚、図１において、３１は前記回転内筒１
５内に突入するほゞ円筒形の架構であって、その内部に
は高周波モ−タ３２を内装し、このモ−タ３２の駆動軸
３３を前記回転内筒１５に連続させ、前記モ−タ３２の
駆動により前記回転内筒１５を、前記ねじ溝１６が分子
速度に近い速度になるように高速回転させ、この高速回
転により前記ウエハーチャンバーの真空引きを行うので
ある。
５内に突入するほゞ円筒形の架構であって、その内部に
は高周波モ−タ３２を内装し、このモ−タ３２の駆動軸
３３を前記回転内筒１５に連続させ、前記モ−タ３２の
駆動により前記回転内筒１５を、前記ねじ溝１６が分子
速度に近い速度になるように高速回転させ、この高速回
転により前記ウエハーチャンバーの真空引きを行うので
ある。
【００３３】また３４は、前記架構３１の上部に固定さ
れ、前記モ−タ３２を内装するモ−タ室３５を、気体流
路と区画する固定壁であり、３６，３７は前記駆動軸３
３を架構３１に支持する上部及び下部ベアリングであ
る。
れ、前記モ−タ３２を内装するモ−タ室３５を、気体流
路と区画する固定壁であり、３６，３７は前記駆動軸３
３を架構３１に支持する上部及び下部ベアリングであ
る。
【００３４】しかして、前記案内翼２０は、図２のよう
に環状の外枠２２と内枠２３との間に複数の翼片２１を
前記ねじ溝１６の螺旋方向と逆方向に傾斜させて構成す
るのであって、前記外枠２２を、前記静止外筒１４の吸
気側に設ける係止段部１７に嵌合させ、環状の押えリン
グ２４により取付けるのである。
に環状の外枠２２と内枠２３との間に複数の翼片２１を
前記ねじ溝１６の螺旋方向と逆方向に傾斜させて構成す
るのであって、前記外枠２２を、前記静止外筒１４の吸
気側に設ける係止段部１７に嵌合させ、環状の押えリン
グ２４により取付けるのである。
【００３５】次に代表的な具体例とその作用効果を説明
する。前記静止外筒１の内径を直径１５０mmとし、この
外筒１に嵌合する前記案内翼２０の外枠２２の内径を前
記静止外筒１の内径と同じ１５０mmとして一致させ、ま
た前記内枠２３の外径を直径１００mmとして、これら外
枠２２と内枠２３との間に、厚さ１mm、高さ１０mmの前
記翼片２１を３０枚、水平面に対し６０度の傾斜角で等
間隔に配設する。
する。前記静止外筒１の内径を直径１５０mmとし、この
外筒１に嵌合する前記案内翼２０の外枠２２の内径を前
記静止外筒１の内径と同じ１５０mmとして一致させ、ま
た前記内枠２３の外径を直径１００mmとして、これら外
枠２２と内枠２３との間に、厚さ１mm、高さ１０mmの前
記翼片２１を３０枚、水平面に対し６０度の傾斜角で等
間隔に配設する。
【００３６】そして、前記回転内筒１５に設けるねじ溝
１６の吸気側ねじ溝径を、直径１００mmとし、前記モ−
タ３２による回転内筒１５の回転数を36000rpmとして、
ねじ溝分子ポンプのポンプ要素１０による排気速度を２
００l/min ；Ｎ2 、圧縮比１０6 に設定する。
１６の吸気側ねじ溝径を、直径１００mmとし、前記モ−
タ３２による回転内筒１５の回転数を36000rpmとして、
ねじ溝分子ポンプのポンプ要素１０による排気速度を２
００l/min ；Ｎ2 、圧縮比１０6 に設定する。
【００３７】しかして、以上の具体例において、前記案
内翼２０の断面積Ａ0 は、
内翼２０の断面積Ａ0 は、
【００３８】
【数８】Ａ0 ＝π（７．５2 −５2 ） ＝９８cm2 となり、前記案内翼２０における吸気側の前記断面１か
ら前記ポンプ要素１０の吸気側断面２に通過する気体分
子の通過確率Ｐ12及び前記断面２から吸気側に向かって
気体分子が吸気側断面１へ通過する通過確率Ｐ21は、前
記した静翼の通過確率計算式から求めると、Ｐ12＝０．
５９６，Ｐ21＝０．２９０となり、また、ねじ溝分子ポ
ンプとした前記ポンプ要素１０の吸気側断面２から排気
側断面３に通過する気体分子から通過確率Ｐ23は、前記
した数６から、
ら前記ポンプ要素１０の吸気側断面２に通過する気体分
子の通過確率Ｐ12及び前記断面２から吸気側に向かって
気体分子が吸気側断面１へ通過する通過確率Ｐ21は、前
記した静翼の通過確率計算式から求めると、Ｐ12＝０．
５９６，Ｐ21＝０．２９０となり、また、ねじ溝分子ポ
ンプとした前記ポンプ要素１０の吸気側断面２から排気
側断面３に通過する気体分子から通過確率Ｐ23は、前記
した数６から、
【００３９】
【数９】
【００４０】となる。尚、分子流コンダクタンスＣ0 を
１２としたのは、２０℃空気を想定し、分子流コンダク
タンスの計算式から算出した。
１２としたのは、２０℃空気を想定し、分子流コンダク
タンスの計算式から算出した。
【００４１】また、前記ポンプ要素１０の排気側断面３
から吸気側断面２に通過する気体分子の通過確率Ｐ
32は、圧縮比１０6 でＰ32＜１０‐6となるから無視し
た。
から吸気側断面２に通過する気体分子の通過確率Ｐ
32は、圧縮比１０6 でＰ32＜１０‐6となるから無視し
た。
【００４２】従って、案内翼２０を設けた前記具体例の
排気速度Ｓ0 と、設けないで前記ポンプ要素１０のみの
場合の排気速度Ｓとの比Ｆは、
排気速度Ｓ0 と、設けないで前記ポンプ要素１０のみの
場合の排気速度Ｓとの比Ｆは、
【００４３】
【数１０】
【００４４】となり、前記具体例の排気速度Ｓ0 は、
【００４５】
【数１１】
【００４６】となり、ポンプ要素１０のみの場合の排気
速度Ｓ、即ち、２００l/min ：Ｎ2 に比較して16.5% 増
加する。
速度Ｓ、即ち、２００l/min ：Ｎ2 に比較して16.5% 増
加する。
【００４７】以上説明した実施例は、前記回転内筒１５
の外周にねじ溝１６を設けて前記ポンプ要素１０を構成
したが、前記静止外筒１４の内周にねじ溝を設けて構成
してもよい。
の外周にねじ溝１６を設けて前記ポンプ要素１０を構成
したが、前記静止外筒１４の内周にねじ溝を設けて構成
してもよい。
【００４８】また、前記具体例は代表例であって、この
具体例に示した案内翼２０における翼片２１の枚数ピッ
チ、及び大きさ、角度に限定されることはないが、前記
ポンプ要素１０における前記通過確率Ｐ23より大きい通
過確率Ｐ12が得られ、換言すると前記案内翼２０の排出
側圧力が吸気側圧力より高くなるように構成することは
必要である。
具体例に示した案内翼２０における翼片２１の枚数ピッ
チ、及び大きさ、角度に限定されることはないが、前記
ポンプ要素１０における前記通過確率Ｐ23より大きい通
過確率Ｐ12が得られ、換言すると前記案内翼２０の排出
側圧力が吸気側圧力より高くなるように構成することは
必要である。
【００４９】
【発明の効果】請求項１記載の発明では、ポンプ要素１
０として、前記静止外筒１４と回転内筒１５とから構成
し、前記静止外筒１４と回転内筒１５との一方にねじ溝
１６を設けたねじ溝分子ポンプを用い、このポンプ要素
１０の吸気側で、前記静止外筒１４の吸気口１２の内側
に、前記案内翼２０を静止状に設けたから、構造簡単
で、しかも大気突入等に対し強くできながら、高真空に
おいて高い排気速度が得られるのである。
０として、前記静止外筒１４と回転内筒１５とから構成
し、前記静止外筒１４と回転内筒１５との一方にねじ溝
１６を設けたねじ溝分子ポンプを用い、このポンプ要素
１０の吸気側で、前記静止外筒１４の吸気口１２の内側
に、前記案内翼２０を静止状に設けたから、構造簡単
で、しかも大気突入等に対し強くできながら、高真空に
おいて高い排気速度が得られるのである。
【００５０】又請求項２記載の発明は、前記案内翼２０
を
を
【００５１】
【数１】
【００５２】の条件を満足するように構成したから、排
気速度をねじ溝分子ポンプの排気速度に対し有効に増大
できるのである。
気速度をねじ溝分子ポンプの排気速度に対し有効に増大
できるのである。
【図１】 本発明真空ポンプの一実施例を示す１部切欠
正面図。
正面図。
【図２】 その平面図。
【図３】 本発明を説明する模式図。
【図４】 ターボ分子ポンプにおける翼速度比と通過確
率との関係を示すグラフ。
率との関係を示すグラフ。
１０ ポンプ要素 １２
吸気口 １３ 排気口 １４
静止外筒 １５ 回転内筒 １６
ねじ溝 ２０ 案内翼 ２１
翼片 ３２ モ−タ
吸気口 １３ 排気口 １４
静止外筒 １５ 回転内筒 １６
ねじ溝 ２０ 案内翼 ２１
翼片 ３２ モ−タ
Claims (2)
- 【請求項１】 吸気口（１２）と、排気口（１３）とを
もつ静止外筒（１４）と、この静止外筒（１４）内に、
外面が近接状に位置し、モ−タ（３２）で駆動される回
転内筒（１５）とから成り、前記静止外筒（１４）と回
転内筒（１５）との一方にねじ溝（１６）を設けたポン
プ要素（１０）を備えると共に、前記ポンプ要素（１
０）の吸気側で、前記吸気口（１２）の内側に、前記ね
じ溝（１６）と逆傾斜状に傾斜する複数の翼片（２１）
をもった案内翼（２０）を静止状に設けていることを特
徴とする真空ポンプ。 - 【請求項２】 案内翼（２０）の吸気側における気体流
路の断面１に入射した気体分子が回転内筒（１５）の吸
気側における気体流路の断面２に通過する通過確率をＰ
12とし、 前記回転内筒（１５）の吸気側における気体流路の断面
２から前記案内翼２０の吸気側に向かって入射した気体
分子が、前記案内翼２０の吸気側における気体流路の断
面１に通過する通過確率をＰ21とし、 前記回転内筒１５の吸気側における気体流路の断面２に
入射した気体分子が、ねじ溝１６を介して前記回転内筒
（１５）の排気側における気体流路の断面３に通過する
通過確率をＰ23としたとき、前記案内翼（２０）を、 【数１】 の条件を満足するように構成している請求項１記載の真
空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8203194A JPH07293492A (ja) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8203194A JPH07293492A (ja) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07293492A true JPH07293492A (ja) | 1995-11-07 |
Family
ID=13763166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8203194A Pending JPH07293492A (ja) | 1994-04-20 | 1994-04-20 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07293492A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000077405A (ko) * | 1999-05-24 | 2000-12-26 | 다카키도시요시 | 나사홈식 진공펌프, 복합 진공펌프 및 진공펌프 시스템 |
-
1994
- 1994-04-20 JP JP8203194A patent/JPH07293492A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000077405A (ko) * | 1999-05-24 | 2000-12-26 | 다카키도시요시 | 나사홈식 진공펌프, 복합 진공펌프 및 진공펌프 시스템 |
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