JPH07293500A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
- Publication number
- JPH07293500A JPH07293500A JP8942294A JP8942294A JPH07293500A JP H07293500 A JPH07293500 A JP H07293500A JP 8942294 A JP8942294 A JP 8942294A JP 8942294 A JP8942294 A JP 8942294A JP H07293500 A JPH07293500 A JP H07293500A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- vacuum
- oil
- diffusion pump
- injection nozzle
- Prior art date
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- Pending
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 停電時に油の逆流が生じない油拡散ポンプを
用いた真空排気装置を提供する。 【構成】 油拡散ポンプの噴流部に向けて取り付けた気
体噴射ノズルと、気体噴射ノズルに冷却用気体を送る配
管の途中に設けられた通電閉型のバルブとを備え、停電
時に気体噴射ノズルから冷却気体が噴出されるようにす
る。
用いた真空排気装置を提供する。 【構成】 油拡散ポンプの噴流部に向けて取り付けた気
体噴射ノズルと、気体噴射ノズルに冷却用気体を送る配
管の途中に設けられた通電閉型のバルブとを備え、停電
時に気体噴射ノズルから冷却気体が噴出されるようにす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、油拡散ポンプを用いた
真空排気装置に関する。
真空排気装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】油拡散ポンプは、中高真空用の真空排気
装置として、さまざまな分野において使用されている。
装置として、さまざまな分野において使用されている。
【０００３】図２は従来からの油拡散ポンプを用いた真
空排気装置を示すものである。図において、１はたとえ
ば分析装置の真空チャンバのような内部に真空状態が形
成されるための真空容器であり、２は真空容器１に取り
付けられた油拡散ポンプである。この油拡散ポンプ２は
そのケース内部に入れられている油をヒータＨにて加熱
することにより油蒸気にするボイラ部２ａと、ボイラ部
２ａの上部にあって生成された油蒸気を噴出して真空排
気作用を生じさせる噴流部２ｂとから成り立っている。
噴流部２ｂのケース近傍には冷却ファン３が対向するよ
うに取り付けられており、空冷により噴流部２ｂを冷却
するようにしてある。
空排気装置を示すものである。図において、１はたとえ
ば分析装置の真空チャンバのような内部に真空状態が形
成されるための真空容器であり、２は真空容器１に取り
付けられた油拡散ポンプである。この油拡散ポンプ２は
そのケース内部に入れられている油をヒータＨにて加熱
することにより油蒸気にするボイラ部２ａと、ボイラ部
２ａの上部にあって生成された油蒸気を噴出して真空排
気作用を生じさせる噴流部２ｂとから成り立っている。
噴流部２ｂのケース近傍には冷却ファン３が対向するよ
うに取り付けられており、空冷により噴流部２ｂを冷却
するようにしてある。
【０００４】４は油拡散ポンプのボイラ部２ａのヒータ
や冷却ファン３に電力を供給するための電源であり、一
般には商用電源が用いられている。ボイラ部２ａのヒー
タへの電源ラインには５で示したスイッチが設けられ、
冷却ファン３の電源ラインには６で示したタイマスイッ
チが設けられている。このスイッチ５をＯＮにするとタ
イマスイッチ６は連動してＯＮになる。またタイマスイ
ッチ６は、スイッチ５がＯＦＦになった後一定時間（た
とえば１５分程度）ＯＮ状態を持続した後で遅れてＯＦ
Ｆになるように設定されている。
や冷却ファン３に電力を供給するための電源であり、一
般には商用電源が用いられている。ボイラ部２ａのヒー
タへの電源ラインには５で示したスイッチが設けられ、
冷却ファン３の電源ラインには６で示したタイマスイッ
チが設けられている。このスイッチ５をＯＮにするとタ
イマスイッチ６は連動してＯＮになる。またタイマスイ
ッチ６は、スイッチ５がＯＦＦになった後一定時間（た
とえば１５分程度）ＯＮ状態を持続した後で遅れてＯＦ
Ｆになるように設定されている。
【０００５】上記のような油拡散ポンプを用いた真空排
気装置で真空排気を行うときは、スイッチ５を起動して
ボイラ部２ａを加熱するとともに冷却ファン３を駆動し
噴流部２ｂを冷却することにより油蒸気が真空容器１に
逆流しない様にしてある。ボイラ部２ａが十分高温に加
熱されて油蒸気が発生するようになると、真空容器１内
を真空排気する。ただし、図示しない油回転ポンプなど
の補助ポンプを油拡散ポンプの排気口側に設けて補助排
気することや、真空容器を予め低真空領域まで予備排気
しておくことは当然になされているものとする。
気装置で真空排気を行うときは、スイッチ５を起動して
ボイラ部２ａを加熱するとともに冷却ファン３を駆動し
噴流部２ｂを冷却することにより油蒸気が真空容器１に
逆流しない様にしてある。ボイラ部２ａが十分高温に加
熱されて油蒸気が発生するようになると、真空容器１内
を真空排気する。ただし、図示しない油回転ポンプなど
の補助ポンプを油拡散ポンプの排気口側に設けて補助排
気することや、真空容器を予め低真空領域まで予備排気
しておくことは当然になされているものとする。
【０００６】真空排気中はボイラ部２ａのヒータＨと同
時に冷却ファン３が通電されており、噴流部２ｂの外ケ
ースが空冷されるので、噴流部２ｂ内部の油蒸気が冷却
されることにより真空排気作用を終えた油蒸気が再び凝
縮して液体状態となってボイラ部２ａに還流するように
なっている。
時に冷却ファン３が通電されており、噴流部２ｂの外ケ
ースが空冷されるので、噴流部２ｂ内部の油蒸気が冷却
されることにより真空排気作用を終えた油蒸気が再び凝
縮して液体状態となってボイラ部２ａに還流するように
なっている。
【０００７】そして、真空排気を終了するときは、油拡
散ポンプ２のスイッチ５をＯＦＦにしてヒータＨの加熱
を停止する。ヒータＨを停止してもしばらくの間ボイラ
部２ａは高温であるので、油蒸気が発生しつづけている
ことから冷却ファン３はその後しばらくの間駆動しつづ
ける必要がある。そのためスイッチ５がＯＦＦになると
同時にタイマスイッチ６が計時を開始し、所定時間だけ
冷却ファン３の通電状態を維持して空冷を続け、油蒸気
が発生しなくなるまで冷却した後でタイマスイッチ６が
ＯＦＦになるようにしてある。
散ポンプ２のスイッチ５をＯＦＦにしてヒータＨの加熱
を停止する。ヒータＨを停止してもしばらくの間ボイラ
部２ａは高温であるので、油蒸気が発生しつづけている
ことから冷却ファン３はその後しばらくの間駆動しつづ
ける必要がある。そのためスイッチ５がＯＦＦになると
同時にタイマスイッチ６が計時を開始し、所定時間だけ
冷却ファン３の通電状態を維持して空冷を続け、油蒸気
が発生しなくなるまで冷却した後でタイマスイッチ６が
ＯＦＦになるようにしてある。
【０００８】図３は従来からの他の油拡散ポンプを用い
た真空排気装置の図である。この油拡散ポンプは、噴流
部２ｂの冷却を水冷方式としたものであり、水冷パイプ
２ｃを噴流部２ｂの外ケース外周に巻き付けるようにし
てハンダで固定し、冷却水路７ａ、７ｂを介して水冷パ
イプ２ｃに冷却水循環装置７から冷却水を供給すること
により噴流部２ｂの冷却を行うようにしている。この例
のものでも、ボイラ部２ａのヒータＨがＯＦＦになって
もしばらく冷却水循環装置をＯＮ状態で維持して冷却水
を流し続け、ボイラ部２ａが十分に冷却された後で、冷
却水循環装置７が停止するようにしてある。
た真空排気装置の図である。この油拡散ポンプは、噴流
部２ｂの冷却を水冷方式としたものであり、水冷パイプ
２ｃを噴流部２ｂの外ケース外周に巻き付けるようにし
てハンダで固定し、冷却水路７ａ、７ｂを介して水冷パ
イプ２ｃに冷却水循環装置７から冷却水を供給すること
により噴流部２ｂの冷却を行うようにしている。この例
のものでも、ボイラ部２ａのヒータＨがＯＦＦになって
もしばらく冷却水循環装置をＯＮ状態で維持して冷却水
を流し続け、ボイラ部２ａが十分に冷却された後で、冷
却水循環装置７が停止するようにしてある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の真空
排気装置では、停電が生じた場合（商用電源以外の電源
を用いた場合でその電源が故障したりすることによって
電力供給が停止した場合なども含む）に、油拡散ポンプ
のボイラ部のヒータが停止すると同時に冷却ファンある
いは冷却水循環装置が停止することになる。電力供給が
停止することによりヒータの加熱が停止したとしても、
しばらくはボイラ部の温度が高温であることから油蒸気
が発生しつづける。ところが、冷却ファンあるいは冷却
水循環装置が停止しているために噴流部の冷却がなされ
ないため、噴流部の温度が上昇し、油蒸気が凝縮されな
くなる。そのため、油蒸気は油拡散真空ポンプから上部
の真空容器に逆流し、真空容器が油で汚染されてしまう
こととなった。
排気装置では、停電が生じた場合（商用電源以外の電源
を用いた場合でその電源が故障したりすることによって
電力供給が停止した場合なども含む）に、油拡散ポンプ
のボイラ部のヒータが停止すると同時に冷却ファンある
いは冷却水循環装置が停止することになる。電力供給が
停止することによりヒータの加熱が停止したとしても、
しばらくはボイラ部の温度が高温であることから油蒸気
が発生しつづける。ところが、冷却ファンあるいは冷却
水循環装置が停止しているために噴流部の冷却がなされ
ないため、噴流部の温度が上昇し、油蒸気が凝縮されな
くなる。そのため、油蒸気は油拡散真空ポンプから上部
の真空容器に逆流し、真空容器が油で汚染されてしまう
こととなった。
【００１０】本発明はこのような問題を解決するために
なされたものであり、停電等で電力供給が停止したとし
ても、真空容器を汚染することがなく、停電復帰後にメ
ンテナンス作業をする必要がない真空排気装置を提供す
ることを目的とする。
なされたものであり、停電等で電力供給が停止したとし
ても、真空容器を汚染することがなく、停電復帰後にメ
ンテナンス作業をする必要がない真空排気装置を提供す
ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
になされた本発明の真空排気装置は、油拡散ポンプを用
いて真空容器を排気する真空排気装置において、油拡散
ポンプの噴流部に向けて取り付けた気体噴射ノズルと、
前記気体噴射ノズルに冷却用気体を送る配管の途中に設
けられた通電閉型のバルブとを備え、停電時に気体噴射
ノズルから冷却気体が噴出されるようにしたことを特徴
とする。
になされた本発明の真空排気装置は、油拡散ポンプを用
いて真空容器を排気する真空排気装置において、油拡散
ポンプの噴流部に向けて取り付けた気体噴射ノズルと、
前記気体噴射ノズルに冷却用気体を送る配管の途中に設
けられた通電閉型のバルブとを備え、停電時に気体噴射
ノズルから冷却気体が噴出されるようにしたことを特徴
とする。
【００１２】以下、本発明の真空排気装置がどのように
作用するかを説明する。
作用するかを説明する。
【００１３】
【作用】本発明の真空排気装置では、停電が発生する
と、気体噴射ノズルに冷却気体を送るための配管に設け
られた通電閉型のバルブは開状態になり、冷却気体が気
体噴射ノズルから噴出される。これにより、停電開始後
は冷却気体による油拡散ポンプの噴流部の空冷が持続で
きるので、油蒸気が真空容器内に逆流したり、排気口側
から油拡散ポンプ外に飛散したりすることはなくなる。
と、気体噴射ノズルに冷却気体を送るための配管に設け
られた通電閉型のバルブは開状態になり、冷却気体が気
体噴射ノズルから噴出される。これにより、停電開始後
は冷却気体による油拡散ポンプの噴流部の空冷が持続で
きるので、油蒸気が真空容器内に逆流したり、排気口側
から油拡散ポンプ外に飛散したりすることはなくなる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を用いて説明す
る。図１は本発明による一実施例を示した真空排気装置
を示す図である。この図において、従来例と同じものは
同符号を用いることで、説明を省略する。
る。図１は本発明による一実施例を示した真空排気装置
を示す図である。この図において、従来例と同じものは
同符号を用いることで、説明を省略する。
【００１５】この真空排気装置では、図２に示した従来
の油拡散ポンプの噴流部２ｂに向けて気体噴射ノズル９
が取り付けられている。気体噴射ノズル９は冷却気体源
としてのボンベ１０に配管接続されている。冷却気体と
しては圧縮空気が適当であるが、真空容器に使用する目
的で装置近辺に設置されているＡｒ、Ｎ2 などのガスボ
ンベを併用してもよい。噴射ノズル９とボンベ１０とを
接続する配管の途中には通電閉型バルブ８が取り付けら
れている。通電閉型バルブ８はボイラ部２ｂのヒータや
冷却ファン３がＯＮ、ＯＦＦのいずれの状態であっても
無関係に電源４が停電か否か確認できるように、これら
の電源ラインと独立したライン、すなわちボイラ部２ｂ
のヒータや冷却ファン３とは並列に電源４に接続されて
いる。
の油拡散ポンプの噴流部２ｂに向けて気体噴射ノズル９
が取り付けられている。気体噴射ノズル９は冷却気体源
としてのボンベ１０に配管接続されている。冷却気体と
しては圧縮空気が適当であるが、真空容器に使用する目
的で装置近辺に設置されているＡｒ、Ｎ2 などのガスボ
ンベを併用してもよい。噴射ノズル９とボンベ１０とを
接続する配管の途中には通電閉型バルブ８が取り付けら
れている。通電閉型バルブ８はボイラ部２ｂのヒータや
冷却ファン３がＯＮ、ＯＦＦのいずれの状態であっても
無関係に電源４が停電か否か確認できるように、これら
の電源ラインと独立したライン、すなわちボイラ部２ｂ
のヒータや冷却ファン３とは並列に電源４に接続されて
いる。
【００１６】次に、この真空排気装置の動作を説明す
る。通電時は従来例と同じく、スイッチ５をＯＮにして
真空排気装置を運転し、終了時にはスイッチ５をＯＦＦ
とすることにより、ボイラ部２ａのヒータが停止される
とともにタイマスイッチ６が計時動作を始め、一定時間
経過後に遅れて冷却ファン３が停止するように動作す
る。 この間は通電閉型バルブ８は閉状態であるので気
体噴射ノズル９からは冷却気体は供給されることはな
い。
る。通電時は従来例と同じく、スイッチ５をＯＮにして
真空排気装置を運転し、終了時にはスイッチ５をＯＦＦ
とすることにより、ボイラ部２ａのヒータが停止される
とともにタイマスイッチ６が計時動作を始め、一定時間
経過後に遅れて冷却ファン３が停止するように動作す
る。 この間は通電閉型バルブ８は閉状態であるので気
体噴射ノズル９からは冷却気体は供給されることはな
い。
【００１７】次にスイッチ５がＯＮ状態のときに突然停
電となった場合の動作を説明する。停電とともにボイラ
部２ａのヒータＨが停止するが、同時に冷却ファン３も
停止してしまう。一方、停電と同時に通電閉型バルブ８
が開状態となることにより冷却気体源１０から気体噴射
ノズル９に冷却気体が流れ、冷却気体が噴流部２ｂに向
けて吹き付けられる。したがって、冷却ファン３のかわ
りに冷却気体によって冷却が続行される。この状態でボ
ンベのガスがなくなるまで冷却が続けられ、その間にボ
イラ部２ａの温度が下がって油蒸気が発生しなくなる。
このようにして、油が真空容器に拡散することや排気
口から逃げていくことを防ぐことができる。
電となった場合の動作を説明する。停電とともにボイラ
部２ａのヒータＨが停止するが、同時に冷却ファン３も
停止してしまう。一方、停電と同時に通電閉型バルブ８
が開状態となることにより冷却気体源１０から気体噴射
ノズル９に冷却気体が流れ、冷却気体が噴流部２ｂに向
けて吹き付けられる。したがって、冷却ファン３のかわ
りに冷却気体によって冷却が続行される。この状態でボ
ンベのガスがなくなるまで冷却が続けられ、その間にボ
イラ部２ａの温度が下がって油蒸気が発生しなくなる。
このようにして、油が真空容器に拡散することや排気
口から逃げていくことを防ぐことができる。
【００１８】本実施例では空冷式の油拡散ポンプを示し
たが、水冷式のものであっても同じようにすることがで
きる。
たが、水冷式のものであっても同じようにすることがで
きる。
【００１９】また、本実施例では圧縮気体源としてボン
ベを使用したが、これに限るものではない。工場などで
はライン窒素などを接続していてもよい。
ベを使用したが、これに限るものではない。工場などで
はライン窒素などを接続していてもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上、説明したように本発明の真空排気
装置では停電時に冷却気体を噴出することにより噴流部
の冷却を続行できるので、油蒸気の逆流や油の飛散を防
止できる。さらに、水冷式の油拡散ポンプを用いたもの
では、水冷パイプを接合するためのハンダが溶けること
による水冷パイプの脱落が防止できる。
装置では停電時に冷却気体を噴出することにより噴流部
の冷却を続行できるので、油蒸気の逆流や油の飛散を防
止できる。さらに、水冷式の油拡散ポンプを用いたもの
では、水冷パイプを接合するためのハンダが溶けること
による水冷パイプの脱落が防止できる。
【図１】本発明の一実施例である真空排気装置を示す
図。
図。
【図２】従来からの真空排気装置を示す図。
【図３】従来からの他の真空排気装置を示す図。
１：真空容器 ２：油拡散ポンプ ２ａ：ボイラ部 ２ｂ：噴流部 ３：冷却ファン ４：電源 ８：通電閉型バルブ ９：噴射ノズル １０：ボンベ
Claims (1)
- 【請求項１】油拡散ポンプを用いて真空容器を排気する
真空排気装置において、油拡散ポンプの噴流部に向けて
取り付けた気体噴射ノズルと、前記気体噴射ノズルに冷
却用気体を送る配管の途中に設けられた通電閉型のバル
ブとを備え、停電時に気体噴射ノズルから冷却気体が噴
出されるようにしたことを特徴とする真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8942294A JPH07293500A (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8942294A JPH07293500A (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 真空排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07293500A true JPH07293500A (ja) | 1995-11-07 |
Family
ID=13970229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8942294A Pending JPH07293500A (ja) | 1994-04-27 | 1994-04-27 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07293500A (ja) |
-
1994
- 1994-04-27 JP JP8942294A patent/JPH07293500A/ja active Pending
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