JPH08100800A - 真空排気装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 停電時に油の逆流が生じない油拡散ポンプを
用いた真空排気装置を提供する。 【構成】 油拡散ポンプ２の低温ケーシング部２ｂを冷
却する冷却ファン３と、商用電源４の通電状態を監視す
るリレー１１と、冷却ファン３に接点１２を介して接続
される電池１０とを備え、商用電源４が停電したとき
に、電池１０により冷却ファン３を駆動するようにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、油拡散ポンプを用いた
真空排気装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】油拡散ポンプは、中高真空用の真空排気
装置として、さまざまな分野において使用されている。

【０００３】図２は従来からの油拡散ポンプを用いた真
空排気装置を示すものである。図において、１はたとえ
ば分析装置の真空チャンバのような内部に真空状態が形
成されるための真空容器であり、２は真空容器１に取り
付けられた油拡散ポンプである。この油拡散ポンプ２は
そのケース内部に入れられている油をヒータＨにて加熱
することにより油蒸気にするボイラ部２ａと、ボイラ部
２ａの上部にあって生成された油蒸気を噴出して真空排
気作用を生じさせる低温ケーシング部２ｂとから成り立
っている。低温ケーシング部２ｂのケース近傍には冷却
ファン３が対向するように取り付けられており、空冷に
より低温ケーシング部２ｂを冷却するようにしてある。

【０００４】４は油拡散ポンプのボイラ部２ａのヒータ
や冷却ファン３に電力を供給するための電源であり、一
般には商用電源が用いられている。ボイラ部２ａのヒー
タへの電源ラインには５で示したスイッチが設けられ、
冷却ファン３の電源ラインには６で示したタイマスイッ
チが設けられている。このスイッチ５をＯＮにするとタ
イマスイッチ６は連動してＯＮになる。またタイマスイ
ッチ６は、スイッチ５がＯＦＦになった後一定時間（た
とえば１５分程度）ＯＮ状態を持続した後で遅れてＯＦ
Ｆになるように設定されている。

【０００５】上記のような油拡散ポンプを用いた真空排
気装置で真空排気を行うときは、スイッチ５を起動して
ボイラ部２ａを加熱するとともに冷却ファン３を駆動し
低温ケーシング部２ｂを冷却することにより油蒸気が真
空容器１に逆流しない様にしてある。ボイラ部２ａが十
分高温に加熱されて油蒸気が発生するようになると、真
空容器１内を真空排気する。ただし、図示しない油回転
ポンプなどの補助ポンプを油拡散ポンプの排気口側に設
けて補助排気することや、真空容器を予め低真空領域ま
で予備排気しておくことは当然になされているものとす
る。

【０００６】真空排気中はボイラ部２ａのヒータＨと同
時に冷却ファン３が通電されており、低温ケーシング部
２ｂの外ケースが空冷されるので、低温ケーシング部２
ｂ内部の油蒸気が冷却されることにより真空排気作用を
終えた油蒸気が再び凝縮して液体状態となってボイラ部
２ａに還流するようになっている。

【０００７】そして、真空排気を終了するときは、油拡
散ポンプ２のスイッチ５をＯＦＦにしてヒータＨの加熱
を停止する。ヒータＨを停止してもしばらくの間ボイラ
部２ａは高温であるので、油蒸気が発生しつづけている
ことから冷却ファン３はその後しばらくの間駆動しつづ
ける必要がある。そのためスイッチ５がＯＦＦになると
同時にタイマスイッチ６が計時を開始し、所定時間だけ
冷却ファン３の通電状態を維持して空冷を続け、室温近
くませ油温度が下がり油蒸気が発生しなくなるまで冷却
した後でタイマスイッチ６がＯＦＦになるようにしてあ
る。

【０００８】終了作業をタイマスイッチによらず、手動
で行う場合でも上記と同様にヒータを停止後、しばらく
の間冷却ファンを駆動しておき、油蒸気が発生しなくな
ってから冷却ファンを停止するようにする。

【０００９】図３は従来からの他の油拡散ポンプを用い
た真空排気装置の図である。この油拡散ポンプは、低温
ケーシング部２ｂの冷却を水冷方式としたものであり、
水冷パイプ２ｃを低温ケーシング部２ｂの外ケース外周
に巻き付けるようにしてハンダで固定し、冷却水路７
ａ、７ｂを介して水冷パイプ２ｃに冷却水循環装置７か
ら冷却水を供給することにより低温ケーシング部２ｂの
冷却を行うようにしている。この例のものでも、ボイラ
部２ａのヒータＨがＯＦＦになってもしばらく冷却水循
環装置をＯＮ状態で維持して冷却水を流し続け、ボイラ
部２ａが十分に冷却された後で、冷却水循環装置７が停
止するようにしてある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の真空
排気装置では、停電が生じた場合（商用電源以外の電源
を用いた場合でその電源が故障したりすることによって
電力供給が停止した場合なども含む）に、油拡散ポンプ
のボイラ部のヒータが停止すると同時に冷却ファンある
いは冷却水循環装置が停止することになる。電力供給が
停止することによりヒータの加熱が停止したとしても、
しばらくはボイラ部の温度が高温であることから油蒸気
が発生しつづける。ところが、冷却ファンあるいは冷却
水循環装置が停止しているために低温ケーシング部の冷
却がなされないため、低温ケーシング部の温度が上昇
し、油蒸気が凝縮されなくなる。そのため、油蒸気は油
拡散真空ポンプから上部の真空容器に逆流し、真空容器
が油で汚染されてしまうこととなった。

【００１１】本発明はこのような問題を解決するために
なされたものであり、停電等で電力供給が停止したとし
ても、真空容器を汚染することがなく、停電復帰後にメ
ンテナンス作業をする必要がない真空排気装置を提供す
ることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
になされた本発明の真空排気装置は、油拡散ポンプを用
いて真空容器を排気する真空排気装置において、油拡散
ポンプの低温ケーシング部を冷却する冷却ファンと、真
空排気装置への商用電源の通電状態を監視するリレー
と、冷却ファンに接点を介して接続される電池と、を備
え、商用電源が停電したときに、電池により冷却ファン
を駆動するようにしたことを特徴とする。以下、本発明
の真空排気装置がどのように作用するかを説明する。

【００１３】

【作用】本発明の真空排気装置では、商用電源から電力
供給がなされている間は商用電源から真空排気装置全体
の電力が供給されている。不慮の停電が発生すると、商
用電源の通電状態を監視するリレーが作動して冷却ファ
ンと電池との間にある接点を接続し、これによって冷却
ファンが電池からの電力供給により駆動される。したが
って、油拡散ポンプの動作中に停電が生じた場合でも、
低温ケーシング部の冷却が続行されるので、油蒸気が真
空容器内に逆流したり、排気口側から油拡散ポンプ外に
飛散したりすることはなくなる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の実施例を図を用いて説明す
る。図１は本発明による一実施例を示した真空排気装置
を示す図である。この図において、従来例と同じものは
同符号を用いることで、説明を省略する。

【００１５】図２に示した従来例と同様に低温ケーシン
グ部２ｂのケース近傍には冷却ファン３が対向するよう
に取り付けられており、空冷により低温ケーシング部２
ｂを冷却するようにしてある。

【００１６】４は油拡散ポンプのボイラ部２ａのヒータ
や冷却ファン３に電力を供給するための電源であり、一
般には商用電源が用いられている。ボイラ部２ａのヒー
タへの電源ラインには１５で示したスイッチが設けら
れ、冷却ファン３の電源ラインには１６で示したスイッ
チと直流電源１３とが設けられている。スイッチ１５、
とスイッチ１６とをＯＮにしてポンプを起動させる。も
ちろん、従来例のようにこれらが連動するようにしても
よい。

【００１７】１１は商用電源４の通電状態を監視するリ
レーであり、リレー１１からの信号は接点１２に送られ
るようにしてある。この接点１２は冷却ファン３と電池
１０との間に接続されており、商用電源が供給されてい
る状態ではリレー１１からの信号が接点１２が開状態に
なるようにしてある。逆に、商用電源が供給されなくな
ると、リレー１１の信号により接点１２が閉状態になる
ように設定されている。

【００１８】次に、この真空排気装置の動作を説明す
る。商用電源が通電されている時は、スイッチ１５、１
６をＯＮにして真空排気装置を運転し、終了時にはスイ
ッチ１５を先にＯＦＦとすることにより、ボイラ部２ａ
のヒータが停止され、一定時間経過後に遅れてスイッチ
１６をＯＦＦにして冷却ファン３が停止するようにす
る。 次にスイッチ１５、１６がＯＮ状態のときに突然
停電となった場合の動作を説明する。

【００１９】停電とともにボイラ部２ａのヒータＨへの
商用電源の電力供給が停止するが、同時に冷却ファン３
への電力供給も停止してしまう。一方、停電と同時にリ
レー１１が作動して接点１２を閉じる。これにより電池
１０から冷却ファンへの電力供給が可能となり、冷却フ
ァン３だけは引き続き駆動される。以後、電池が空にな
るまで冷却ファン３が駆動される。なお、電池の無駄な
消費をなくすために、電池１０と冷却ファンとの回路内
にタイマを設け一定時間だけ電池から電力供給するよう
にしてもよい。

【００２０】本発明は図２の空冷用の油拡散ポンプにお
いて特に有効であるが、図３の水冷型の油拡散ポンにお
いても冷却ファン、電池、リレー、接点からなるバック
アップ用の冷却機構を追加することで、同様の効果を得
ることができる。

【００２１】

【発明の効果】以上、説明したように本発明の真空排気
装置では停電時に冷却気体を噴出することにより低温ケ
ーシング部の冷却を続行できるので、油蒸気の逆流や油
の飛散を防止できる。さらに、水冷式の油拡散ポンプを
用いたものでは、水冷パイプを接合するためのハンダが
溶けることによる水冷パイプの脱落が防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である真空排気装置を示す
図。

【図２】従来からの真空排気装置を示す図。

【図３】従来からの他の真空排気装置を示す図。

【符号の説明】

１：真空容器 ２：油拡散ポンプ ２ａ：ボイラ部 ２ｂ：低温ケーシング部 ３：冷却ファン ４：電源 １０：電池 １１：リレー １２：接点 １３：直流電源

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】油拡散ポンプを用いて真空容器を排気する
   真空排気装置において、油拡散ポンプの低温ケーシング
   部を冷却する冷却ファンと、真空排気装置への商用電源
   の通電状態を監視するリレーと、冷却ファンに接点を介
   して接続される電池と、を備え、商用電源が停電したと
   きに、電池により冷却ファンを駆動するようにしたこと
   を特徴とする真空排気装置。