JPH0729446Y2 - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPH0729446Y2 JPH0729446Y2 JP1990099053U JP9905390U JPH0729446Y2 JP H0729446 Y2 JPH0729446 Y2 JP H0729446Y2 JP 1990099053 U JP1990099053 U JP 1990099053U JP 9905390 U JP9905390 U JP 9905390U JP H0729446 Y2 JPH0729446 Y2 JP H0729446Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- throttle means
- detection
- air
- fixed throttle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、機械加工等に際して被加工物品の固定位置を
検出するなどに使用される位置検出装置に関する。
検出するなどに使用される位置検出装置に関する。
（従来の技術） 従来、工作機械やプレス機械等に被加工物（以下ワーク
という）を固定するに当って、ワークが所定位置に正確
に着座したか否かを判定するための位置検出装置とし
て、ワークの端面などに近接した所定位置に検知ノズル
を設け、これを減圧または加圧空気源に接続しておくと
共に検知ノズルの元側の空気圧力を検出できるものを用
い、ワークがノズル先端から、たとえば0.05mm以内まで
接近したときにノズルを通過する空気の抵抗が変化する
ことによる検知ノズル元側の空気圧力の変化を検出し、
ワークの位置の検知を行うことが行われている。
という）を固定するに当って、ワークが所定位置に正確
に着座したか否かを判定するための位置検出装置とし
て、ワークの端面などに近接した所定位置に検知ノズル
を設け、これを減圧または加圧空気源に接続しておくと
共に検知ノズルの元側の空気圧力を検出できるものを用
い、ワークがノズル先端から、たとえば0.05mm以内まで
接近したときにノズルを通過する空気の抵抗が変化する
ことによる検知ノズル元側の空気圧力の変化を検出し、
ワークの位置の検知を行うことが行われている。
このような検知ノズル元側の空気圧力の変化を迅速かつ
鋭敏に検出するために、第３図に示すような構造の空気
ブリッジ回路を有する位置検出装置が用いられていた。
すなわち、この位置検出装置は、空気源１から第１固定
絞り手段３と可変絞り手段５とを経て器外に通ずる比較
空気通路ａと、空気源１から第２固定絞り手段２と近接
位置検知ノズル４とを経て外部に通ずる検知空気通路ｂ
と、第１固定絞り手段３と可変絞り手段５との中間位置
７から差圧センサ８の比較圧力導入口81に通ずる比較圧
力通路ｃと、第２固定絞り手段２と近接位置検知ノズル
４との中間位置６から差圧センサ８の検知圧力導入口82
に通ずる検知圧力通路ｄとからなる空気ブリッジ回路を
備えているものである。なおＷはワークである。
鋭敏に検出するために、第３図に示すような構造の空気
ブリッジ回路を有する位置検出装置が用いられていた。
すなわち、この位置検出装置は、空気源１から第１固定
絞り手段３と可変絞り手段５とを経て器外に通ずる比較
空気通路ａと、空気源１から第２固定絞り手段２と近接
位置検知ノズル４とを経て外部に通ずる検知空気通路ｂ
と、第１固定絞り手段３と可変絞り手段５との中間位置
７から差圧センサ８の比較圧力導入口81に通ずる比較圧
力通路ｃと、第２固定絞り手段２と近接位置検知ノズル
４との中間位置６から差圧センサ８の検知圧力導入口82
に通ずる検知圧力通路ｄとからなる空気ブリッジ回路を
備えているものである。なおＷはワークである。
この従来の位置検出装置においては、第１固定絞り手段
３および第２固定絞り手段２としてオリフィスまたはキ
ャピラリなどが用いられ、また可変絞り手段５としては
第４図に示すような半固定型のニードルバルブが用いら
れていた。ここで、51はバルブ本体でニードル53の周囲
に設けた雄ねじ部54と螺合する雌ねじ部52が設けてあ
り、ニードル53の後端部に形成した割り溝55にドライバ
ーを当てて回転させることにより空気の流通抵抗が加減
できるようになっているものであった。
３および第２固定絞り手段２としてオリフィスまたはキ
ャピラリなどが用いられ、また可変絞り手段５としては
第４図に示すような半固定型のニードルバルブが用いら
れていた。ここで、51はバルブ本体でニードル53の周囲
に設けた雄ねじ部54と螺合する雌ねじ部52が設けてあ
り、ニードル53の後端部に形成した割り溝55にドライバ
ーを当てて回転させることにより空気の流通抵抗が加減
できるようになっているものであった。
（考案が解決しようとする課題） 上記のような空気ブリッジ回路を備えた従来の位置検出
装置は、構造が比較的に簡単で小型に構成できるところ
から、小型で精密な空気抵抗調整ができるニードルバル
ブを用いることによって比較圧力を調節し、これによっ
て位置検出装置の検出位置を調整することができるよう
にしていた。
装置は、構造が比較的に簡単で小型に構成できるところ
から、小型で精密な空気抵抗調整ができるニードルバル
ブを用いることによって比較圧力を調節し、これによっ
て位置検出装置の検出位置を調整することができるよう
にしていた。
しかしながらニードルバルブは小型であるとその構造精
度を極度に高めなければならず、高価なものとなる不利
があった。そしてまた検出位置を大幅に変えようとする
と検出精度が低下するという問題もあった。
度を極度に高めなければならず、高価なものとなる不利
があった。そしてまた検出位置を大幅に変えようとする
と検出精度が低下するという問題もあった。
そこで本考案は、検出位置を大幅に変更しても検出精度
を高く維持でき、しかも検出位置の変更が極めて簡単に
正確に行える位置検出装置を安価に提供することを目的
とした。
を高く維持でき、しかも検出位置の変更が極めて簡単に
正確に行える位置検出装置を安価に提供することを目的
とした。
（課題を解決するための手段） 前記の目的を達成するために本考案においては、空気源
から第１固定絞り手段と可変絞り手段とを経て器外に通
ずる比較空気通路と、該空気源から第２固定絞り手段と
近接位置検知ノズル接続口とを経て器外に通ずる検知空
気通路と、該第１固定絞り手段と該可変絞り手段との中
間位置から差圧センサの比較圧力導入口に通ずる比較圧
力通路と、該第２固定絞り手段と該近接位置検知ノズル
接続口との中間位置から該差圧センサの検知圧力導入口
に通ずる検知圧力通路とからなる空気ブリッジ回路を有
し、前記可変絞り手段が、ノズルと、該ノズルに対向す
るフラッパ面と目盛とを周りに設けた回転ダイヤル体で
あってその回転角度に対応して該ノズルと該フラッパ面
との間隙が変化するように形成されたものとからなり、
前記回転ダイヤル体の外周の一部が器外に露出している
ように、位置検出装置を構成した。
から第１固定絞り手段と可変絞り手段とを経て器外に通
ずる比較空気通路と、該空気源から第２固定絞り手段と
近接位置検知ノズル接続口とを経て器外に通ずる検知空
気通路と、該第１固定絞り手段と該可変絞り手段との中
間位置から差圧センサの比較圧力導入口に通ずる比較圧
力通路と、該第２固定絞り手段と該近接位置検知ノズル
接続口との中間位置から該差圧センサの検知圧力導入口
に通ずる検知圧力通路とからなる空気ブリッジ回路を有
し、前記可変絞り手段が、ノズルと、該ノズルに対向す
るフラッパ面と目盛とを周りに設けた回転ダイヤル体で
あってその回転角度に対応して該ノズルと該フラッパ面
との間隙が変化するように形成されたものとからなり、
前記回転ダイヤル体の外周の一部が器外に露出している
ように、位置検出装置を構成した。
（作用） 本考案の位置検出装置は、ダイヤルを回転させることに
よって可変絞り手段のノズルとフラッパ面との距離を連
続的に変化させ、これによって可変絞り手段の空気流通
抵抗を連続的に変化させるようにしたものである。
よって可変絞り手段のノズルとフラッパ面との距離を連
続的に変化させ、これによって可変絞り手段の空気流通
抵抗を連続的に変化させるようにしたものである。
このような可変絞り手段を比較空気通路に設けた空気ブ
リッジ回路においては、空気源の空気圧力を少々変動し
ても近接位置検知ノズルの検知感度が殆ど影響を受けな
いという利点はそのまま維持しながら、検知感度やワー
クの近接位置の調整を極めて容易かつ再現性よく行うこ
とができるようにしたものである。
リッジ回路においては、空気源の空気圧力を少々変動し
ても近接位置検知ノズルの検知感度が殆ど影響を受けな
いという利点はそのまま維持しながら、検知感度やワー
クの近接位置の調整を極めて容易かつ再現性よく行うこ
とができるようにしたものである。
（実施例） 第１図に、本考案の位置検出装置の構造を示した。
図において、空気ブリッジ回路の構成は基本的には第３
図に示したものと同等であるが、９は本考案の可変絞り
手段であって、91がノズル、92が回転ダイヤル体、93は
回転ダイヤル体の周上に形成されたフラッパ面、94は回
転ダイヤル体の回転軸である。この可変絞り手段９の構
造を、説明の便のために第２図に模式的に示した。また
10は近接位置検知ノズル４（図示せず）への延長空気配
管を接続するための接続口である。
図に示したものと同等であるが、９は本考案の可変絞り
手段であって、91がノズル、92が回転ダイヤル体、93は
回転ダイヤル体の周上に形成されたフラッパ面、94は回
転ダイヤル体の回転軸である。この可変絞り手段９の構
造を、説明の便のために第２図に模式的に示した。また
10は近接位置検知ノズル４（図示せず）への延長空気配
管を接続するための接続口である。
このように構成された本考案の位置検出装置において、
空気源１に、たとえばゲージ圧が、0.3kg/cm2の圧縮空
気ラインを接続すると、器内の空気は第１固定絞り手段
３と比較空気通路ａを通ってノズル91とフラッパ面93と
の間隙Ｘから吐出される。
空気源１に、たとえばゲージ圧が、0.3kg/cm2の圧縮空
気ラインを接続すると、器内の空気は第１固定絞り手段
３と比較空気通路ａを通ってノズル91とフラッパ面93と
の間隙Ｘから吐出される。
このときのノズル91とフラッパ面93の間隙Ｘの大きさに
対応してノズル91の背後側、すなわちノズル91と第１固
定絞り手段との中間位置７に正の比較圧力が発生する。
対応してノズル91の背後側、すなわちノズル91と第１固
定絞り手段との中間位置７に正の比較圧力が発生する。
一方、接続口10に接続された延長空気配管の先に設けら
れた近接位置検知ノズル４でも、ワークＷ等の接近によ
って空気の流出抵抗が増加し、前記と同様に検知空気通
路ｂの中間位置６に正の検知圧力が発生する。
れた近接位置検知ノズル４でも、ワークＷ等の接近によ
って空気の流出抵抗が増加し、前記と同様に検知空気通
路ｂの中間位置６に正の検知圧力が発生する。
この比較圧力と検知圧力とは、それぞれ比較圧力通路ｃ
と検知圧力通路ｄとを経て差圧センサ８の比較圧力導入
口81と検知圧力導入口82とへそれぞれ導かれ、検知圧力
が比較圧力より高いか低いかによって、近接位置検知ノ
ズル４にワークＷが着座したか否かの信号が差圧センサ
８から出力されることになる。
と検知圧力通路ｄとを経て差圧センサ８の比較圧力導入
口81と検知圧力導入口82とへそれぞれ導かれ、検知圧力
が比較圧力より高いか低いかによって、近接位置検知ノ
ズル４にワークＷが着座したか否かの信号が差圧センサ
８から出力されることになる。
このような位置検出装置の作動状態において回転ダイヤ
ル体92を指などで回転軸94のまわりに回転させると、回
転ダイヤル体92の周囲にそって渦巻線にならう形状に形
成されたフラッパ面93は回転軸94との距離が回転位置に
対応して変化するようになっているので、ノズル91とフ
ラッパ面93との間隙Ｘは徐々に変化する。従って、たと
えばノズル91の先端形状を近接位置検知ノズル４の先端
形状と等しく形成しておけば、近接位置検知ノズル４に
対するワークＷの距離がノズル91とフラッパ面93の間隙
Ｘと等しくなったときにワークＷの検出信号を出力させ
るようにすることができる。
ル体92を指などで回転軸94のまわりに回転させると、回
転ダイヤル体92の周囲にそって渦巻線にならう形状に形
成されたフラッパ面93は回転軸94との距離が回転位置に
対応して変化するようになっているので、ノズル91とフ
ラッパ面93との間隙Ｘは徐々に変化する。従って、たと
えばノズル91の先端形状を近接位置検知ノズル４の先端
形状と等しく形成しておけば、近接位置検知ノズル４に
対するワークＷの距離がノズル91とフラッパ面93の間隙
Ｘと等しくなったときにワークＷの検出信号を出力させ
るようにすることができる。
具体的には、８の差圧センサ室中のダイヤフラム83上に
金属片84を設置しておき、その真上に近接スイッチ12を
設け、検知圧力が比較圧力より大きくなったとき、すな
わち、ダイヤフラム83が下から押されて上にふくれ上が
り、金属片84が近接スイッチ12に近づいたとき、近接ス
イッチのランプが点灯するようにしておく。
金属片84を設置しておき、その真上に近接スイッチ12を
設け、検知圧力が比較圧力より大きくなったとき、すな
わち、ダイヤフラム83が下から押されて上にふくれ上が
り、金属片84が近接スイッチ12に近づいたとき、近接ス
イッチのランプが点灯するようにしておく。
このようにしておいて、実際の作業の場合は、あらかじ
め近接位置検知ノズル４とワークＷの距離が0.05mmにな
ったとき、近接スイッチ12のランプが点灯するように回
転ダイヤル体92のフラッパ面93とノズル91の間隙Ｘを調
整して固定しておく。この準備をした後、作業を始めワ
ークＷを所定の位置に近づけていけば、近接スイッチの
ランプが点灯した時点で、ワークが正確に所定の位置に
着座したことを感知することができる。
め近接位置検知ノズル４とワークＷの距離が0.05mmにな
ったとき、近接スイッチ12のランプが点灯するように回
転ダイヤル体92のフラッパ面93とノズル91の間隙Ｘを調
整して固定しておく。この準備をした後、作業を始めワ
ークＷを所定の位置に近づけていけば、近接スイッチの
ランプが点灯した時点で、ワークが正確に所定の位置に
着座したことを感知することができる。
このような回転ダイヤル体92に、間隙Ｘに相当する値の
目盛を刻んで視認できるようにすることによって、前記
のような作動距離設定が極めて容易となり、また回転ダ
イヤル体92の回転角に対して間隙Ｘの変化量を小さく取
ることによって更に作動距離の設定精度を高めることも
できる。あるいはまた、複数の設定値付近でそれぞれ精
度の高い位置検出を行うことも可能となるものである。
目盛を刻んで視認できるようにすることによって、前記
のような作動距離設定が極めて容易となり、また回転ダ
イヤル体92の回転角に対して間隙Ｘの変化量を小さく取
ることによって更に作動距離の設定精度を高めることも
できる。あるいはまた、複数の設定値付近でそれぞれ精
度の高い位置検出を行うことも可能となるものである。
（考案の効果） 本考案の位置検出装置は、空気ブリツジ回路における比
較空気通路にノズルとフラッパ面とを備えた特殊な可変
絞り手段を器外から操作できるように設けたものであっ
て、物品の位置検出精度を高めることができるばかりで
なく、検出位置の設定が極めて容易となり、しかもかか
る高性能の位置検出装置を経済的に量産することが可能
であるという特長がある。
較空気通路にノズルとフラッパ面とを備えた特殊な可変
絞り手段を器外から操作できるように設けたものであっ
て、物品の位置検出精度を高めることができるばかりで
なく、検出位置の設定が極めて容易となり、しかもかか
る高性能の位置検出装置を経済的に量産することが可能
であるという特長がある。
第１図は本考案の位置検出装置の例の構造図であり、第
２図はその可変絞り手段の部分の構造および機能を説明
するための模式図である。 第３図は従来公知の位置検出装置における空気ブリッジ
回路を示す図であり、第４図は従来の空気ブリッジ回路
用の可変絞り手段であるニードルバルブの構造図であ
る。 １……空気源、２……第２固定絞り手段、３……第１固
定絞り手段、４……近接位置検知ノズル、５……可変絞
り手段、51……バルブ本体、52……雌ねじ部、53……ニ
ードル、54……雄ねじ部、55……割り溝、８……差圧セ
ンサ、81……比較圧力導入口、82……検知圧力導入口、
83……ダイアフラム、84……金属片、９……可変絞り手
段、91……ノズル、92……回転ダイヤル体、93……フラ
ッパ面、94……回転軸、10……延長空気配管接続口、12
……近接スイッチ、ａ……比較空気通路、ｂ……検知空
気通路、ｃ……比較圧力通路、ｄ……検知圧力通路、Ｗ
……ワーク、Ｘ……間隙。
２図はその可変絞り手段の部分の構造および機能を説明
するための模式図である。 第３図は従来公知の位置検出装置における空気ブリッジ
回路を示す図であり、第４図は従来の空気ブリッジ回路
用の可変絞り手段であるニードルバルブの構造図であ
る。 １……空気源、２……第２固定絞り手段、３……第１固
定絞り手段、４……近接位置検知ノズル、５……可変絞
り手段、51……バルブ本体、52……雌ねじ部、53……ニ
ードル、54……雄ねじ部、55……割り溝、８……差圧セ
ンサ、81……比較圧力導入口、82……検知圧力導入口、
83……ダイアフラム、84……金属片、９……可変絞り手
段、91……ノズル、92……回転ダイヤル体、93……フラ
ッパ面、94……回転軸、10……延長空気配管接続口、12
……近接スイッチ、ａ……比較空気通路、ｂ……検知空
気通路、ｃ……比較圧力通路、ｄ……検知圧力通路、Ｗ
……ワーク、Ｘ……間隙。
Claims (1)
- 【請求項１】空気源から第１固定絞り手段と可変絞り手
段とを経て器外に通ずる比較空気通路と、該空気源から
第２固定絞り手段と近接位置検知ノズル接続口とを経て
器外に通ずる検知空気通路と、該第１固定絞り手段と該
可変絞り手段との中間位置から差圧センサの比較圧力導
入口に通ずる比較圧力通路と、該第２固定絞り手段と該
近接位置検知ノズル接続口との中間位置から該差圧セン
サの検知圧力導入口に通ずる検知圧力通路とからなる空
気ブリッジ回路を有し、前記可変絞り手段が、ノズル
と、該ノズルに対向するフラッパ面と目盛とを周りに設
けた回転ダイヤル体であってその回転角度に対応して該
ノズルと該フラッパ面との間隙が変化するように形成さ
れたものとからなり、前記回転ダイヤル体の外周の一部
が器外に露出していることを特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990099053U JPH0729446Y2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990099053U JPH0729446Y2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0457708U JPH0457708U (ja) | 1992-05-18 |
| JPH0729446Y2 true JPH0729446Y2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=31840700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990099053U Expired - Lifetime JPH0729446Y2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729446Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10117923B4 (de) * | 2000-04-14 | 2007-03-15 | Disco Corp. | Halbleiterwaferschneidmaschine |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6443871B1 (ja) * | 2018-03-28 | 2018-12-26 | 日本空圧システム株式会社 | 隙間調整型ノズル弁及び隙間調整型ノズル弁を用いた位置検出装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0239049Y2 (ja) * | 1981-02-26 | 1990-10-19 |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP1990099053U patent/JPH0729446Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10117923B4 (de) * | 2000-04-14 | 2007-03-15 | Disco Corp. | Halbleiterwaferschneidmaschine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0457708U (ja) | 1992-05-18 |
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