JPH0729642Y2 - 半導体ケ−ス内異物除去装置 - Google Patents
半導体ケ−ス内異物除去装置Info
- Publication number
- JPH0729642Y2 JPH0729642Y2 JP766687U JP766687U JPH0729642Y2 JP H0729642 Y2 JPH0729642 Y2 JP H0729642Y2 JP 766687 U JP766687 U JP 766687U JP 766687 U JP766687 U JP 766687U JP H0729642 Y2 JPH0729642 Y2 JP H0729642Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor case
- foreign matter
- semiconductor
- vacuum source
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 30
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体製品の組立装置に関し、特に半導体製
品の異物除去装置に関するものである。
品の異物除去装置に関するものである。
〔従来の技術〕 従来、半導体ケース内の異物除去は、エアブロー、真空
吸引振動、衝撃により行なっていたが、各機能は個別の
駆動源となっていた。
吸引振動、衝撃により行なっていたが、各機能は個別の
駆動源となっていた。
上述した従来の異物除去装置は、各駆動源が別々になっ
ているため、構造が複雑になり、また各駆動源よりゴミ
が発生するという欠点があった。
ているため、構造が複雑になり、また各駆動源よりゴミ
が発生するという欠点があった。
本考案の半導体ケース内異物除去装置は、半導体ケース
のセット部と、このセット部の下部に配置された真空源
とを備え、かつセット部の上部には真空源の作動により
セット部へ向けて突出するピストンが備えられているも
ので、真空源の作動により半導体ケースがセット部へ固
定されるとともに半導体ケースの異物が前記ピストンに
より衝撃されて真空源へ吸引される機能を有している。
のセット部と、このセット部の下部に配置された真空源
とを備え、かつセット部の上部には真空源の作動により
セット部へ向けて突出するピストンが備えられているも
ので、真空源の作動により半導体ケースがセット部へ固
定されるとともに半導体ケースの異物が前記ピストンに
より衝撃されて真空源へ吸引される機能を有している。
次に、本考案について図面を参照して説明する。
第１図は本考案の一実施例の縦断面図である。半導体ケ
ース１を裏にして、製品セット部２の上に置き、真空源
３のスイッチを入れると、半導体ケース１が下方向に引
かれ固定される。また半導体ケース１内の異物が真空に
より引かれ、落下する。かつバネ４により押し上げられ
ていたピストン５が真空により引かれ半導体ケース１を
叩き、半導体ケース１内の異物が落とされる。
ース１を裏にして、製品セット部２の上に置き、真空源
３のスイッチを入れると、半導体ケース１が下方向に引
かれ固定される。また半導体ケース１内の異物が真空に
より引かれ、落下する。かつバネ４により押し上げられ
ていたピストン５が真空により引かれ半導体ケース１を
叩き、半導体ケース１内の異物が落とされる。
第２図は本考案の他の実施例の縦断面図である。半導体
ケース６を裏にして、製品セット部７の上に置き真空源
８のスイッチを入れると、半導体ケース６が下方向に引
かれ固定される。また半導体ケース６内の異物が真空に
より引かれ落下する。かつバネ９により押し上げられた
ピストン10が真空により引かれる。その時ピストン10内
に設けられた軸11が先に半導体ケース６に当たり、バネ
12が縮み次にピストン10が半導体ケース６に当たること
により、半導体ケース６に衝撃力を与える。この実施例
では、真空で引かれるピストン内に軸を設けることによ
り、１度に２回の衝撃を与えることができるという利点
がある。
ケース６を裏にして、製品セット部７の上に置き真空源
８のスイッチを入れると、半導体ケース６が下方向に引
かれ固定される。また半導体ケース６内の異物が真空に
より引かれ落下する。かつバネ９により押し上げられた
ピストン10が真空により引かれる。その時ピストン10内
に設けられた軸11が先に半導体ケース６に当たり、バネ
12が縮み次にピストン10が半導体ケース６に当たること
により、半導体ケース６に衝撃力を与える。この実施例
では、真空で引かれるピストン内に軸を設けることによ
り、１度に２回の衝撃を与えることができるという利点
がある。
以上説明したように本考案は、半導体ケース内異物除去
装置において、駆動源を真空のみにすることにより、装
置の簡略化また装置内のクリーン化を促進する効果があ
る。
装置において、駆動源を真空のみにすることにより、装
置の簡略化また装置内のクリーン化を促進する効果があ
る。
第１図は本考案の実施例１の縦断面図、第２図は他の実
施例の縦断面図である。 １……半導体ケース、２……製品セット部、３……真空
源、４……バネ、５……ピストン、６……半導体ケー
ス、７……製品セット部、８……真空源、９……バネ、
10……ピストン、11……軸、12……バネ。
施例の縦断面図である。 １……半導体ケース、２……製品セット部、３……真空
源、４……バネ、５……ピストン、６……半導体ケー
ス、７……製品セット部、８……真空源、９……バネ、
10……ピストン、11……軸、12……バネ。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体ケース内の異物除去装置内に半導体
ケースのセット部と、前記セット部の下部に配置された
真空源とを備え、かつ前記セット部の上部には前記真空
源の作動により前記セット部へ向けて突出するピストン
が備えられているもので、前記真空源の作動により前記
半導体ケースが前記セット部へ固定されるとともに前記
半導体ケースの異物が前記ピストンにより衝撃されて前
記真空源へ吸引されることを特徴とする半導体ケース内
異物除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP766687U JPH0729642Y2 (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 半導体ケ−ス内異物除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP766687U JPH0729642Y2 (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 半導体ケ−ス内異物除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63115225U JPS63115225U (ja) | 1988-07-25 |
| JPH0729642Y2 true JPH0729642Y2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=30791332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP766687U Expired - Lifetime JPH0729642Y2 (ja) | 1987-01-21 | 1987-01-21 | 半導体ケ−ス内異物除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0729642Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-01-21 JP JP766687U patent/JPH0729642Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63115225U (ja) | 1988-07-25 |
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