JPH0730207U - 基板収納状態検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板がキャリア内に正しく収納されているか
否かを容易に検出できるようにする。 【構成】 基板収納状態検出装置は、多数枚の基板を整
列させて収納する多数の保持溝３４を有するキャリアＣ
の基板収納状態を検出する装置であって、基板保持具２
０と昇降駆動装置と光センサとを備えている。基板保持
具２０は、キャリアＣ内に正しく収納された基板Ｗ１が
入り込む多数の溝３３ｂを有する基板検出部３１と、キ
ャリア内に傾斜して収納された基板Ｗ２をキャリアＣに
対して相対的に押し上げる押し上げ部３２とを有してい
る。昇降駆動部は、キャリアＣ内に正しく収納された基
板Ｗ１が溝３３ｂ内に入り込むように基板保持具２０を
下降させる。光センサは、基板保持具２０が昇降駆動部
により下降させられたときに、溝３３内に基板が入り込
んだか否かを検出する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、基板収納状態検出装置、特に、多数枚の基板を整列させて収納する 多数の保持溝を有するキャリアの基板収納状態を検出する基板収納状態検出装置 に関する。

【０００２】

【従来の技術及びその課題】

たとえば半導体や液晶表示装置の製造工程では、多数の基板がキャリア内に収 納された状態で一括して搬送される。基板処理装置では、基板がキャリアから取 り出され、処理槽等の処理部において種々の処理が基板に施される。処理の済ん だ基板は、再びキャリア内に収納される。キャリアと処理部との間の基板の受け 渡しは、キャリアの保持溝に対応する多数の保持溝を有するアームを備えた基板 搬送ロボットが行う。

【０００３】 基板搬送ロボットによる基板受け渡しの際には、キャリア内の基板の収納状態 を検出する必要がある。たとえば、キャリア内に斜めに基板が収納されていると 、基板が正常に受け渡されなかったり、受け渡しの際に基板が損傷することがあ る。 ところで、キャリア内の基板の有無を検出するため装置として、特開昭６４− ７４３号公報に開示されたウエハカウンタがある。このウエハカウンタは、キャ リア内に収納された基板が入り込む多数の溝を有する検出部と、キャリア内に収 納された基板が検出部の溝内に入り込むように検出部を昇降させる駆動部と、検 出部の溝内に基板が入り込んだか否かを検出する基板検知手段とを備えている。

【０００４】 このウエハカウンタでは、キャリア内に基板が所定枚数存在するか否かについ ての検出はできるが、キャリア内に斜めに基板が収納されている不具合は検出で きない。すなわち、斜め収納の問題も含めて基板収納状態の不具合を検出するこ とはできない。場合によっては、検出部の溝に基板が斜めに入り込むことで、基 板割れ等の新たな問題をも生じる。

【０００５】 本考案の目的は、基板がキャリア内に正しく収納されているか否かを容易に検 出できるようにすることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る基板収納状態検出装置は、多数枚の基板を整列させて保持する多 数の保持溝を有するキャリアの基板収納状態を検出する装置であって、検出部と 駆動部と基板検知手段とを備えている。 検出部は、キャリア内に正しく収納された基板が入り込む多数の溝と、キャリ ア内に傾斜して収納された基板をキャリアに対して相対的に押し上げる押し上げ 部とを有している。駆動部は、キャリア内に正しく収納された基板が溝内に入り 込むように検出部をキャリアに対して相対的に昇降させる。基板検知手段は、検 出部が駆動部により昇降させられたときに、溝内に基板が入り込んだか否かを検 知する。

【０００７】

【作用】

本考案に係る基板収納状態検出装置では、正しくキャリアに収納された基板は 、検出部の溝に入り込み、基板検知手段によって検出される。一方、キャリア内 に傾斜して収納された不良状態の基板は、押し上げ部により押し上げられ、溝に 入り込まないので、基板検知手段によっては検知されない。これにより、キャリ ア内の全ての基板が正しく収納されているか否かを検出できる。

【０００８】

【実施例】

図１において、本考案の一実施例が採用された浸漬型基板処理装置１は、基板 を収納するためのキャリアＣを搬入・搬出するための搬入搬出部２と、基板移載 装置３と、基板処理槽４と、乾燥装置５と、基板搬送ロボット６とを備えている 。また、基板処理装置１は、複数の薬液貯留容器７ａ〜７ｅを有している。各容 器７ａ〜７ｅ内の薬液は、所定のプログラムに従って基板処理槽４に供給される 。

【０００９】 搬入搬出部２には、搬入されたキャリアＣ内の基板の収納状態を検出する基板 収納状態検出装置９と、キャリアＣを搬送するキャリア移載ロボット１０とが設 けられている。キャリア移載ロボット１０は、昇降及び回転が可能であり、また 図１の矢印Ａに示す方向（装置奥行き方向）に移動可能である。 基板移載装置３、基板処理槽４及び乾燥装置５は、左右方向に並設されている 。基板搬送ロボット６は、基板を把持するための１対のアーム１１を有している 。また基板搬送ロボット６は、矢印Ｂで示す方向（装置左右方向）に移動可能で あり、かつ昇降可能である。この基板搬送ロボット６により、基板を基板移載装 置３から乾燥装置５の間で搬送可能である。また、基板処理槽４には、処理液内 で基板を浸漬するための昇降可能な基板保持具１２が設けられている。

【００１０】 基板収納状態検出装置９は、図２に示すように、第１及び第２の基板保持装置 １５，１６と、２つのキャリアＣを載置して昇降する昇降テーブル１８と、昇降 テーブル１８を昇降させるための昇降駆動装置１９とを有している。 第１及び第２の基板保持装置１５，１６は、多数の基板を保持する基板保持具 ２０，２１と、基板保持具２０，２１をそれぞれ支持する支持具２２，２３と、 支持具２２，２３を基板処理装置１のフレーム（図示せず）に固定するための固 定フレーム２４とを有している。昇降テーブル１８には、キャリアＣを位置決め するための位置決め部材４５が設けられている。

【００１１】 基板保持具２０，２１は同じ構成であるので、基板保持具２０について以下に 説明する。 基板保持具２０は、図３〜図６に示すように、基板Ｗの配列方向に長いベース フレーム３０と、ベースフレーム３０上の中央部に長手方向等間隔で配置された 基板検出部３１と、基板検出部３１の両側方（図３の上下両側方）に配置された 基板押し上げ部３２とを有している。ベースフレーム３０は支持具２２の上端に 固定されている。

【００１２】 基板押し上げ部３２及び基板検出部３１は、ベースフレーム３０上に矩形の薄 板を立設した櫛歯形状であり、ガイド溝３３ａ，３３ｂがそれぞれ形成されてい る。このガイド溝３３ａ，３３ｂは、キャリアＣに形成された基板保持溝３４と 等間隔に形成されている。なお、斜めに収納された基板Ｗ２を確実に押し上げ得 るように、ガイド溝３３ａの溝幅はガイド溝３３ｂの溝幅より狭くなっており、 また基板押し上げ部３２の上端は水平面となっている。

【００１３】 隣り合う基板検出部３１には、ガイド溝３３ｂに入り込んだ基板Ｗ１を検出す るための透過型の光センサ３５が配置されている。各光センサ３５は、１対の投 光部３５Ｔ及び受光部３５Ｒが対向配置されて構成されている。１つの基板検出 部３１には、１つの光センサの透光部３５Ｔと、それに隣り合う別の光センサ３ ５の受光部３５Ｒとが配置されており、この結果、光センサ３５は千鳥状に配列 されている。なお、投光部３５Ｔ及び受光部３５Ｒの先端部は、たとえばサイド ビュー型の光ファイバにより構成されている。

【００１４】 昇降駆動装置１９は、図２に示すように、基板処理装置１のフレームに、上下 方向に配置されたガイドレール４０を有している。昇降テーブル１８の側壁部１ ８ａには、このガイドレール４０にスライド自在に係合するガイド部４１が設け られている。また、昇降テーブル１８の側壁部１８ａには、ボールナット４２が 設けられている。

【００１５】 一方、基板処理装置１の図示しないフレームには、上下方向に延びるボールね じ４３が支持されており、その下端はモータ４４に連結されている。ボールねじ ４３に昇降テーブル１８のボールナット４２が螺合している。これにより、昇降 テーブル１８は、モータ４４の駆動によってガイドレール４０に沿い昇降が可能 である。

【００１６】 基板移載装置３は、図７に示すように、第１及び第２の基板保持装置５５，５ ６と、２つのカセットＣを載置して昇降する昇降テーブル５８と、昇降テーブル ５８を昇降させるための昇降駆動装置５９とを有している。 第１及び第２の基板保持装置５５，５６は、それぞれ基板を保持する保持手段 ６０，６１と、保持手段６０，６１を支持する支持手段６２，６３と、支持手段 ６２，６３を相互に接近、離反させるための移動機構６４とを有している。この 移動機構６４は、２つのキャリアＣから取り出された基板Ｗを、アーム１１で一 括して保持するために接近させるものである。

【００１７】 支持手段６２，６３は、基板処理装置１のフレーム（図示せず）に固定された 固定フレーム６５に図７の左右方向に移動自在に支持されている。この左右方向 の移動を移動機構６４が行う。 昇降駆動装置５９は、基板処理装置１のフレームに、上下方向に配置されたガ イドレール６６を有している。昇降テーブル５８の側壁部５８ｃには、このガイ ドレール６６にスライド自在に係合するガイド部６７が設けられている。また、 昇降テーブル５８の側壁部５８ａにはボールナット６８が設けられている。

【００１８】 一方、基板処理装置１の図示しないフレーム側には、上下方向に延びるボール ねじ６９が支持されており、この下端には、モータ７０が連結されている。この モータ７０によって、ガイドレール６６に沿い昇降テーブル５８が昇降可能であ る。 基板処理装置１は、図８に示すような制御部８０を有している。制御部８０は 、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭを含むマイクロコンピュータから構成されている。制 御部８０には、操作パネル８１、基板収納状態検出装置９のモータ４４、キャリ ア移載ロボット１０、基板搬送ロボット６、基板移載装置３、基板処理槽４及び 乾燥装置５が接続されている。また制御部８０には、多数の光センサ３５及び他 の入出力部も接続されている。

【００１９】 次に上述の実施例の動作について説明する。 基板が搬入搬出部２に載置されると、基板収納状態検出装置９がキャリアＣ内 に収納された基板Ｗの収納状態を検出する。 ここでは、制御部８０は図９に示す制御を行う。まず、ステップＳ１でキャリ アＣが載置されたか否かを判断する。この判断は図示しないセンサからの入力に より行う。キャリアＣが載置されるとステップＳ２に移行する。ステップＳ２で は、モータ４４を駆動して昇降テーブル１８を下降させる。この下降中において 、図３及び図５に示すように、正しく基板保持溝３４に保持された基板Ｗ１は、 ガイド溝３３ａ，３３ｂ内に嵌め込まれ、投光部３５Ｔから受光部３５Ｒに向か う光を遮断する。一方、たとえば隣り合う保持溝３４に誤って斜めに収納された 基板Ｗ２は、図５に示すように基板押し上げ部３２上に乗った状態で、基板押し 上げ部３２により押し上げられる。この結果、投光部３５Ｔから出た光は、斜め に収納された基板Ｗ２によっては遮断されず、受光部３５Ｒで受光される。

【００２０】 ステップＳ３では、光センサ３５の検出結果からキャリアＣに正しく収納され た基板Ｗの枚数及び位置を検出する。ステップＳ４では、検出された枚数と予め 設定された枚数とを比較する。ステップＳ５では、比較結果が一致したか否かを 判断する。比較結果が一致していなければステップＳ６に移行し、エラー処理を 実行する。そして、ステップＳ７では、昇降テーブル１８を上昇させ元の位置に 戻す。

【００２１】 なお、エラー処理では、操作者に対する警報が発せられ、またステップ７後の 基板処理動作が停止させられる。 基板Ｗの収納状態が正常であれば、キャリア移載ロボット１０がキャリアＣを 保持して基板移載装置３に搬送する。２つのキャリアＣが基板移載装置３に移載 されると、基板移載装置３の昇降テーブル５８が下降し、基板保持装置５５，５ ６によってキャリアＣ内から基板Ｗが取り出される。取り出された基板Ｗは、基 板搬送ロボット６のアーム１１に一括して保持されて、基板処理槽４に搬送され る。基板処理槽４では、搬送された基板Ｗを基板保持具１２が受け取って処理槽 内に浸漬させる。そして所定の薬液処理がなされる。薬液処理が終了した基板Ｗ は、基板保持具１２から基板搬送ロボット６に渡され、乾燥装置５に搬送される 。乾燥装置５では、基板Ｗを受け取って乾燥させる。乾燥が終了した基板Ｗは、 基板移載装置３に搬送され、基板移載装置３でキャリアＣ内に収納される。基板 Ｗが収納されたキャリアＣは、キャリア移載ロボット１０により搬入搬出部２に 戻される。

【００２２】 この段階で、再び図９の処理が実行される。これによって、この段階でもキャ リアＣ内での基板Ｗの収納状態の良否が判断される。 〔他の実施例〕 キャリアＣを下降させる代わりに、ベースフレーム３０を上昇させてもよい。

【００２３】

【考案の効果】

本考案に係る基板収納状態検出装置では、キャリア内に正しく収納された基板 だけが多数の溝に入り込み、傾斜して収納された基板は押し上げ部により押し上 げられるので、基板が正しくキャリア内に収納されているか否かを容易に検出で きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例が採用された浸漬型基板処理
装置の斜視図。

【図２】基板収納状態検出装置の一部破断側面図。

【図３】キャリアと基板保持具との関係を示す平面図。

【図４】基板保持具の縦断面図。

【図５】図４のＶ−Ｖ断面拡大図。

【図６】図４のＶＩ矢視部分拡大図。

【図７】基板移載装置の一部破断側面図。

【図８】基板処理装置の制御ブロック図。

【図９】基板保持状態検出処理の制御フローチャート。

【符号の説明】

９ 基板収納状態検出装置 １９ 昇降駆動装置 ２０，２１ 基板保持具 ３１ 基板検出部 ３２ 基板押し上げ部 ３３ｂ ガイド溝 ３５ 光センサ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】多数枚の基板を整列させて収納する多数の
   保持溝を有するキャリアの基板収納状態を検出する基板
   収納状態検出装置であって、 前記キャリア内に正しく収納された前記基板が入り込む
   多数の溝と、前記キャリア内に傾斜して収納された前記
   基板を前記キャリアに対し相対的に押し上げる押し上げ
   部とを有する検出部と、 前記キャリア内に正しく収納された前記基板が前記溝内
   に入り込むように前記検出部を前記キャリアに対し相対
   的に昇降させる駆動部と、 前記溝内に前記基板が入り込んだか否かを検知する基板
   検知手段と、 を備えた基板収納状態検出装置。