JPH0730266Y2 - 高精度加工装置 - Google Patents
高精度加工装置Info
- Publication number
- JPH0730266Y2 JPH0730266Y2 JP1986123569U JP12356986U JPH0730266Y2 JP H0730266 Y2 JPH0730266 Y2 JP H0730266Y2 JP 1986123569 U JP1986123569 U JP 1986123569U JP 12356986 U JP12356986 U JP 12356986U JP H0730266 Y2 JPH0730266 Y2 JP H0730266Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contactor
- spindle
- magnet
- plate
- directions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、例えばトランスファー機械において、被加工
物とスピンドルに装着した工具を、高精度に３軸方向の
相対的な位置決めをしうる装置の改良に関するものであ
る。
物とスピンドルに装着した工具を、高精度に３軸方向の
相対的な位置決めをしうる装置の改良に関するものであ
る。
［考案の概要］ 本考案は、例えばトランスファー装置により側方移動す
る被加工物の支持部材に、非磁性材よりなる基準板と、
それぞれ直交方向に磁極の境界を有する板状磁石を設
け、かつ数値制御可能な加工ユニットに設けられて、支
持部材に向かって進退する、非磁性材よりなる１本の接
触子の先端に、上記基準板に当接しうる当接部と、板状
磁石に近接しうる第1,第２磁電変換素子を設けて、被加
工物と接触子のX,Y軸方向の相対的な位置決めを行うと
ともに、接触子の中間側部に設けた第３磁電変換素子を
設け、かつ加工ユニットのスピンドルに第３磁電変換素
子の移動域の側方に位置して、軸方向に磁極が並ぶ環状
磁石と、環状磁石を囲み、周縁部に第３磁電変換素子と
対向する窓孔を設けた磁気シールド部材を嵌設して、接
触子とスピンドルのｚ軸方向の相対的な位置決めを行う
ことにより、被加工物とスピンドルに装着した工具の３
軸方向の相対的な位置決めを高精度に行うようにしたも
のである。
る被加工物の支持部材に、非磁性材よりなる基準板と、
それぞれ直交方向に磁極の境界を有する板状磁石を設
け、かつ数値制御可能な加工ユニットに設けられて、支
持部材に向かって進退する、非磁性材よりなる１本の接
触子の先端に、上記基準板に当接しうる当接部と、板状
磁石に近接しうる第1,第２磁電変換素子を設けて、被加
工物と接触子のX,Y軸方向の相対的な位置決めを行うと
ともに、接触子の中間側部に設けた第３磁電変換素子を
設け、かつ加工ユニットのスピンドルに第３磁電変換素
子の移動域の側方に位置して、軸方向に磁極が並ぶ環状
磁石と、環状磁石を囲み、周縁部に第３磁電変換素子と
対向する窓孔を設けた磁気シールド部材を嵌設して、接
触子とスピンドルのｚ軸方向の相対的な位置決めを行う
ことにより、被加工物とスピンドルに装着した工具の３
軸方向の相対的な位置決めを高精度に行うようにしたも
のである。
［従来の技術］ トランスファー機械では、被加工物がジグまたはパレッ
トに位置決め状態で支持され、それらによって各ステー
ションごとに位置決め状態で固定される。そしてこの各
ステーションで加工ユニットによって必要な切削加工が
施される。
トに位置決め状態で支持され、それらによって各ステー
ションごとに位置決め状態で固定される。そしてこの各
ステーションで加工ユニットによって必要な切削加工が
施される。
近時、この種の加工ユニットとして数値制御装置を備え
たものが用いられるようになり、被加工物に対する工具
の位置を自動的に割り出し、その位置で必要な送り量
（加工深さ）のもとに切削加工を施すようにしている。
たものが用いられるようになり、被加工物に対する工具
の位置を自動的に割り出し、その位置で必要な送り量
（加工深さ）のもとに切削加工を施すようにしている。
ところで加工中に、加工ユニット側の送りねじ、スピン
ドルあるいはコラムやベースなどが熱的に変形し、また
トランスファー機械側のジグ自体の寸法のばらつきやジ
グに対する被加工物の位置決めのばらつき、更に部品相
互の加工精度の累積誤差などによって、被加工物と加工
ユニットとの間に相対的な位置決め誤差が生じている。
ドルあるいはコラムやベースなどが熱的に変形し、また
トランスファー機械側のジグ自体の寸法のばらつきやジ
グに対する被加工物の位置決めのばらつき、更に部品相
互の加工精度の累積誤差などによって、被加工物と加工
ユニットとの間に相対的な位置決め誤差が生じている。
従って、加工ユニットがあらかじめ設定された数値制御
プログラム通りに位置決めや送り量を高精度で制御した
としても、上記のような熱的変形や各部分の寸法のばら
つきによって被加工物に加工誤差が現われることにな
る。
プログラム通りに位置決めや送り量を高精度で制御した
としても、上記のような熱的変形や各部分の寸法のばら
つきによって被加工物に加工誤差が現われることにな
る。
この問題を解決するため、本件出願人は、被加工物とス
ピンドルに装着した工具の相対的な位置ずれを、電磁気
的に検知して、数値制御により加工位置と加工深さを補
正する技術を、実願昭59−99669号や実願昭60−61111号
や実願昭60−186699号や実願昭61−60429号等の考案と
して提供した。
ピンドルに装着した工具の相対的な位置ずれを、電磁気
的に検知して、数値制御により加工位置と加工深さを補
正する技術を、実願昭59−99669号や実願昭60−61111号
や実願昭60−186699号や実願昭61−60429号等の考案と
して提供した。
［考案が解決しようとする問題点］ 上記の各考案により、被加工物を高速高精度で、自動的
に量産加工しうるようになったが、またスピンドルの熱
変位の補正が不十分である。
に量産加工しうるようになったが、またスピンドルの熱
変位の補正が不十分である。
工具のＺ軸方向の位置精度を向上させるには、誤差の検
知手段に、上記実願昭60−61111号の考案に提案したよ
うに、環状磁石を使用した方がよいのであるが、この磁
石がX,Y方向の精度に悪影響を及ぼしていた。
知手段に、上記実願昭60−61111号の考案に提案したよ
うに、環状磁石を使用した方がよいのであるが、この磁
石がX,Y方向の精度に悪影響を及ぼしていた。
［問題点を解決するための手段］ 本考案は、被加工物の支持部材に固設され、夫々x,yの
直交方向に磁極の境界を有するように配設された板状磁
石及び該板状磁石のx,y方向の磁極の境界の略中心部に
設けられた基準板と、数値制御可能な加工ユニットによ
って上記支持部材に向かってx,y方向に直交するｚ方向
に進退させられる非磁性材よりなる接触子と、上記接触
子の先端部に設けられていて、該接触子の進出により接
触子の先端当接部が前記基準板に当接する時、前記板状
磁石のx,y方向の磁極の境界に近接する第１及び第２の
x,y方向の基準位置検出用磁電変換素子と、 上記接触子の中間部に設けられた第３のｚ方向の基準位
置検出用磁電変換素子と、 先端部に上記被加工物の加工用刃具を有し、上記接触子
の側方において前記加工ユニットによって回転されかつ
ｚ方向に送られるスピンドルの軸方向に磁極の境界が並
ぶように該スピンドルの周方向に取付けた環状磁石と、 スピンドルホルダーに固定され上記スピンドルと共にｚ
方向に送られるようになっていて、上記磁石を囲んで周
縁部に窓孔を有し、前記接触子の基準板へ当接した状態
でスピンドルの送りの途中で上記窓孔が前記第３の磁電
変換素子と対向するようになっている磁気シールド部材
と、 を備えることにより、上述の問題点の解決を図ったもの
である。
直交方向に磁極の境界を有するように配設された板状磁
石及び該板状磁石のx,y方向の磁極の境界の略中心部に
設けられた基準板と、数値制御可能な加工ユニットによ
って上記支持部材に向かってx,y方向に直交するｚ方向
に進退させられる非磁性材よりなる接触子と、上記接触
子の先端部に設けられていて、該接触子の進出により接
触子の先端当接部が前記基準板に当接する時、前記板状
磁石のx,y方向の磁極の境界に近接する第１及び第２の
x,y方向の基準位置検出用磁電変換素子と、 上記接触子の中間部に設けられた第３のｚ方向の基準位
置検出用磁電変換素子と、 先端部に上記被加工物の加工用刃具を有し、上記接触子
の側方において前記加工ユニットによって回転されかつ
ｚ方向に送られるスピンドルの軸方向に磁極の境界が並
ぶように該スピンドルの周方向に取付けた環状磁石と、 スピンドルホルダーに固定され上記スピンドルと共にｚ
方向に送られるようになっていて、上記磁石を囲んで周
縁部に窓孔を有し、前記接触子の基準板へ当接した状態
でスピンドルの送りの途中で上記窓孔が前記第３の磁電
変換素子と対向するようになっている磁気シールド部材
と、 を備えることにより、上述の問題点の解決を図ったもの
である。
［作用］ 本考案は、支持部材に設けた基準板及び板状磁石と、接
触子に設けた当接部及び第1,第２磁電変換素子が、上記
実願昭60−186699号考案及び実願昭61−60429号考案に
記載したように、被加工物と接触子のX,Y軸方向の相対
的な位置決めを行うとともに、接触子に設けた第３磁電
変換素子と、スピンドルに設けた磁石が、上記実願昭60
−61111号考案に記載したように、接触子とスピンドル
のＺ軸方向の相対的な位置決めを行うことにより、被加
工物とスピンドルのX,Y,Z3軸方向の相対的な位置決めを
行い、しかも上記磁石の大部分が磁気シールド部材で覆
われているので、X,Y軸方向の位置決め精度に悪影響を
及ぼさず、本考案を適用した加工装置の精度が著しく向
上する。
触子に設けた当接部及び第1,第２磁電変換素子が、上記
実願昭60−186699号考案及び実願昭61−60429号考案に
記載したように、被加工物と接触子のX,Y軸方向の相対
的な位置決めを行うとともに、接触子に設けた第３磁電
変換素子と、スピンドルに設けた磁石が、上記実願昭60
−61111号考案に記載したように、接触子とスピンドル
のＺ軸方向の相対的な位置決めを行うことにより、被加
工物とスピンドルのX,Y,Z3軸方向の相対的な位置決めを
行い、しかも上記磁石の大部分が磁気シールド部材で覆
われているので、X,Y軸方向の位置決め精度に悪影響を
及ぼさず、本考案を適用した加工装置の精度が著しく向
上する。
［考案の実施例］ 第１図と第２図は、本考案を適用した高精度加工装置を
示すもので、数値制御装置１によりX,Y,Zの３軸方向に
制御される加工ユニット２は、前方（同図左方）を向く
特殊シリンダ３によりＺ軸方向に進退する接触子４を備
え、接触子４の先端の当接部５の近くには、X,Y両軸方
向のセンサである、第1,第２両磁電変換素子6,7が装着
され、接触子４の中間側部には、Ｚ軸方向のセンサであ
る第３磁電変換素子８が装着されている。
示すもので、数値制御装置１によりX,Y,Zの３軸方向に
制御される加工ユニット２は、前方（同図左方）を向く
特殊シリンダ３によりＺ軸方向に進退する接触子４を備
え、接触子４の先端の当接部５の近くには、X,Y両軸方
向のセンサである、第1,第２両磁電変換素子6,7が装着
され、接触子４の中間側部には、Ｚ軸方向のセンサであ
る第３磁電変換素子８が装着されている。
接触子４と平行をなすスピンドル９は、スピンドルホル
ダ10により、加工ユニット２の前面に装着され、スピン
ドル９におけるスピンドルホルダ10の直前には、上記第
３磁電変換素子８の移動域の側方において近接する、両
磁極を軸線方向に向ける、プラスチック製環状磁石11が
嵌着し、環状磁石11は、スピンドルホルダ10の前面にお
いて磁性材よりなる環状のベアリング押さえ12と蓋13に
より、若干の間隙を設けて囲まれて、磁気的にシールド
されている。
ダ10により、加工ユニット２の前面に装着され、スピン
ドル９におけるスピンドルホルダ10の直前には、上記第
３磁電変換素子８の移動域の側方において近接する、両
磁極を軸線方向に向ける、プラスチック製環状磁石11が
嵌着し、環状磁石11は、スピンドルホルダ10の前面にお
いて磁性材よりなる環状のベアリング押さえ12と蓋13に
より、若干の間隙を設けて囲まれて、磁気的にシールド
されている。
スピンドルホルダ10とベアリング押さえ12と蓋13の上部
は平面に切欠かれて、切欠面14の中央に形成された窓孔
15からは環状磁石11の一部が露呈し、切欠面14は、非磁
性材のカバー16により防塵されている。17は工具であ
る。
は平面に切欠かれて、切欠面14の中央に形成された窓孔
15からは環状磁石11の一部が露呈し、切欠面14は、非磁
性材のカバー16により防塵されている。17は工具であ
る。
被加工物18は、パレット等の支持部材19に装着されて、
トランスファー装置20により、加工ユニット２の正面、
即ち加工ステーションに順次案内される。
トランスファー装置20により、加工ユニット２の正面、
即ち加工ステーションに順次案内される。
支持部材19の背面上部に設けた角皿状磁性体21の凹部に
は、４個の方形板状磁石22が、異極同士を突き合わせて
貼着され、その中心部には、上記接触子４の当接部５よ
り若干大径の円形をなす、例えば厚さ約1mmのセラミッ
ク等の非磁性材よりなる基準板23が貼着され、板状磁石
22と基準板23の外面は、X,Y平面と平行をなしている。
は、４個の方形板状磁石22が、異極同士を突き合わせて
貼着され、その中心部には、上記接触子４の当接部５よ
り若干大径の円形をなす、例えば厚さ約1mmのセラミッ
ク等の非磁性材よりなる基準板23が貼着され、板状磁石
22と基準板23の外面は、X,Y平面と平行をなしている。
支持部材19が、X,Y方向の基準位置に正しくセットされ
ている場合には、板状磁石22のＮ・Ｓ両磁極の境界に、
上記第1,第２両磁電変換素子6,7が近接して対向し、数
値制御装置１の加工プログラムには、両磁極の境界が原
点として組み込んである。
ている場合には、板状磁石22のＮ・Ｓ両磁極の境界に、
上記第1,第２両磁電変換素子6,7が近接して対向し、数
値制御装置１の加工プログラムには、両磁極の境界が原
点として組み込んである。
次に上述構成の高精度加工装置の動作を説明する。
加工ユニット２は、数値制御装置１の加工プログラムに
従って動作し、接触子４とスピンドル９が復帰位置に戻
っている状態で、被加工物18が正面に来ると、特殊シリ
ンダ３が作動して、接触子４が前進し、先端の当接部５
が基準板23に当接すると僅かに（0.1〜0.2mm）後退して
停止し、第1,第２両磁電変換素子6,7が、板状磁石22に
近接して対向する。
従って動作し、接触子４とスピンドル９が復帰位置に戻
っている状態で、被加工物18が正面に来ると、特殊シリ
ンダ３が作動して、接触子４が前進し、先端の当接部５
が基準板23に当接すると僅かに（0.1〜0.2mm）後退して
停止し、第1,第２両磁電変換素子6,7が、板状磁石22に
近接して対向する。
この時、各部材の熱変位や装置の位置決め誤差等が累積
して、両磁電変換素子6,7が各板状磁石22の境界よりず
れている場合は、両磁電変換素子6,7からずれ量に応じ
たアナログ信号が発生し、デジタル信号に変換されて、
数値制御装置１に入力し、ずれ量だけプログラムが自動
的に補正され、接触子４は、図示を省略したサーボモー
タによりX,Y軸方向の正しい位置に移動する。
して、両磁電変換素子6,7が各板状磁石22の境界よりず
れている場合は、両磁電変換素子6,7からずれ量に応じ
たアナログ信号が発生し、デジタル信号に変換されて、
数値制御装置１に入力し、ずれ量だけプログラムが自動
的に補正され、接触子４は、図示を省略したサーボモー
タによりX,Y軸方向の正しい位置に移動する。
これと平行して、加工ユニット２は、スピンドル９を回
転させながら前進させ、工具17を被加工物18に接近させ
る。
転させながら前進させ、工具17を被加工物18に接近させ
る。
この前進過程において、先端が基準板23に当接して停止
している接触子４の第３磁電変換素子８に、環状磁石11
が対向し、その磁極境界を第３磁電変換素子８が検知し
て、信号を数値制御装置１に入力する。
している接触子４の第３磁電変換素子８に、環状磁石11
が対向し、その磁極境界を第３磁電変換素子８が検知し
て、信号を数値制御装置１に入力する。
数値制御装置１はこの入力を加工の原点として、プログ
ラムスタートさせ、回転するスピンドル９を予め設定さ
れている所定の送り量だけ前進させて、工具17により被
加工物18を所定の深さだけ切削加工する。
ラムスタートさせ、回転するスピンドル９を予め設定さ
れている所定の送り量だけ前進させて、工具17により被
加工物18を所定の深さだけ切削加工する。
なお、特殊シリンダ３はピストンロッドを有しており、
これを直交方向よりシリンダ等で押さえるロック手段が
設けられているが、これのみに限定されないこと勿論
で、弱い力で基準面に当接し得る機能を有し、高精度の
ものであれば良い。
これを直交方向よりシリンダ等で押さえるロック手段が
設けられているが、これのみに限定されないこと勿論
で、弱い力で基準面に当接し得る機能を有し、高精度の
ものであれば良い。
また前記原点の入力方向としては、下記のような手順で
更に高精度化することもできる。
更に高精度化することもできる。
（イ）シリンダ３を前進させる。
（ロ）接触子４の当接部５を磁石22の基準板23に突き当
てＺ方向センサとしての第３磁電変換素子８が出力を発
生した所で停止させＺ方向原点とする。この所で特殊シ
リンダ３のピストンロッドをロックする。
てＺ方向センサとしての第３磁電変換素子８が出力を発
生した所で停止させＺ方向原点とする。この所で特殊シ
リンダ３のピストンロッドをロックする。
（ハ）所定パルスを与えることによりＺ軸方向に後退さ
せ接触子を基準板23から離し、非接触で接近状態とす
る。
せ接触子を基準板23から離し、非接触で接近状態とす
る。
（ニ）Ｘ方向に接触子を所定量移動させ、Ｘ方向センサ
としての第１磁電変換素子６の出力のピーク位置を検出
して、Ｘ方向原点とする。
としての第１磁電変換素子６の出力のピーク位置を検出
して、Ｘ方向原点とする。
（ホ）Ｙ方向に接触子を所定量移動させ、Ｙ方向センサ
としての第２磁電変換素子７の出力のピーク位置を検出
して、Ｙ方向原点とする。
としての第２磁電変換素子７の出力のピーク位置を検出
して、Ｙ方向原点とする。
（ヘ）異常の動作でX,Y方向原点を決め、これを基準に
所定の加工プログラムを開始する。なおX,Y,Zの原点検
出終了後、特殊シリンダのロックを解除すると共に原位
置に戻して加工を行う。
所定の加工プログラムを開始する。なおX,Y,Zの原点検
出終了後、特殊シリンダのロックを解除すると共に原位
置に戻して加工を行う。
以上のような方法によると、種々の誤差要素が精度のル
ープに入らないので加工精度に影響を与えなくなり、加
工の都度高精度補正が可能となるので、恒温室等の設備
が不要となる。
ープに入らないので加工精度に影響を与えなくなり、加
工の都度高精度補正が可能となるので、恒温室等の設備
が不要となる。
［考案の効果］ 本考案装置は、接触子とスピンドルのＺ軸方向の相対位
置検知に、磁石を使用し、この磁石は必要個所以外は磁
気的にシールドされているので、板状磁石と第1,第２磁
電変換素子からなる、基準点と接触子のX,Y軸方向の相
対位置検知に悪影響を及ぼさず、その機能が充分に発揮
されて、精度が著しく向上し、しかもＺ軸方向の位置検
知精度も向上するので、本考案を適用すれば、本来高能
力のフレキシブルトランスファーマシンで高精度加工す
ることができる。
置検知に、磁石を使用し、この磁石は必要個所以外は磁
気的にシールドされているので、板状磁石と第1,第２磁
電変換素子からなる、基準点と接触子のX,Y軸方向の相
対位置検知に悪影響を及ぼさず、その機能が充分に発揮
されて、精度が著しく向上し、しかもＺ軸方向の位置検
知精度も向上するので、本考案を適用すれば、本来高能
力のフレキシブルトランスファーマシンで高精度加工す
ることができる。
第１図は本考案を適用した高精度加工装置を略示する側
面図、第２図は、第１図の要部の一部中央縦断拡大側面
図、第３図は第２図の板状磁石付近を示す中央縦断拡大
側面図、第４図は板状磁石の拡大正面図、第５図は第２
図の環状磁石付近を示す中央縦断拡大正面図である。 ２…加工ユニット、４…接触子、５…当接部、６…第１
磁電変換素子、７…第２磁電変換素子、８…第３磁電変
換素子、９…スピンドル、11…環状磁石、12…ベアリン
グ押さえ、13…蓋、15…窓孔、18…被加工物、19…支持
部材、20…トランスファー装置、22…板状磁石、23…基
準板。
面図、第２図は、第１図の要部の一部中央縦断拡大側面
図、第３図は第２図の板状磁石付近を示す中央縦断拡大
側面図、第４図は板状磁石の拡大正面図、第５図は第２
図の環状磁石付近を示す中央縦断拡大正面図である。 ２…加工ユニット、４…接触子、５…当接部、６…第１
磁電変換素子、７…第２磁電変換素子、８…第３磁電変
換素子、９…スピンドル、11…環状磁石、12…ベアリン
グ押さえ、13…蓋、15…窓孔、18…被加工物、19…支持
部材、20…トランスファー装置、22…板状磁石、23…基
準板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−165702（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−16254（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭48−29175（ＪＰ，Ｙ１)
Claims (1)
- 【請求項１】被加工物の支持部材に固設され、夫々x,y
の直交方向に磁極の境界を有するように配設された板状
磁石及び該板状磁石のx,y方向の磁極の境界の略中心部
に設けられた基準板と、数値制御可能な加工ユニットに
よって上記支持部材に向かってx,y方向に直交するｚ方
向に進退させられる非磁性材よりなる接触子と、上記接
触子の先端部に設けられていて、該接触子の進出により
接触子の先端当接部が前記基準板に当接する時、前記板
状磁石のx,y方向の磁極の境界に近接する第１及び第２
のx,y方向の基準位置検出用磁電変換素子と、 上記接触子の中間部に設けられた第３のｚ方向の基準位
置検出用磁電変換素子と、 先端部に上記被加工物の加工用刃具を有し、上記接触子
の側方において前記加工ユニットによって回転されかつ
ｚ方向に送られるスピンドルの軸方向に磁極の境界が並
ぶように該スピンドルの周方向に取付けた環状磁石と、 スピンドルホルダーに固定され上記スピンドルと共にｚ
方向に送られるようになっていて、上記磁石を囲んで周
縁部に窓孔を有し、前記接触子の基準板へ当接した状態
でスピンドルの送りの途中で上記窓孔が前記第３の磁電
変換素子と対向するようになっている磁気シールド部材
と、 を備えたことを特徴とする高精度加工装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986123569U JPH0730266Y2 (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 | 高精度加工装置 |
| US07/040,523 US4784541A (en) | 1986-04-21 | 1987-04-17 | High-precision equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986123569U JPH0730266Y2 (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 | 高精度加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332750U JPS6332750U (ja) | 1988-03-02 |
| JPH0730266Y2 true JPH0730266Y2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=31014793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986123569U Expired - Lifetime JPH0730266Y2 (ja) | 1986-04-21 | 1986-08-11 | 高精度加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0730266Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5856912B2 (ja) * | 1981-04-06 | 1983-12-17 | 株式会社 マコメ研究所 | ２次元磁気スケ−ル装置 |
| JPS6116254U (ja) * | 1984-07-03 | 1986-01-30 | 株式会社三協精機製作所 | トランスフア−式加工装置 |
-
1986
- 1986-08-11 JP JP1986123569U patent/JPH0730266Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6332750U (ja) | 1988-03-02 |
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