JPH07304173A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH07304173A JPH07304173A JP6100331A JP10033194A JPH07304173A JP H07304173 A JPH07304173 A JP H07304173A JP 6100331 A JP6100331 A JP 6100331A JP 10033194 A JP10033194 A JP 10033194A JP H07304173 A JPH07304173 A JP H07304173A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- plate
- film
- cavity plate
- plastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ノズルやインク流路の成形が容易で量産性に優
れ、かつ安価なガラス板やプラスチック板で記録ヘッド
を構成する。 【構成】振動板2 と中間膜3 、および、中間ノズル膜5
と終端ノズル板6 が接着剤で接合され、中間膜3 とキャ
ビティ板4 、および、キャビティ板4 と中間ノズル膜5
が熱融着によって接合される。ここで、ポリサルフォン
の中間膜3,中間ノズル膜5 の溶融温度190 ℃が、ずれも
ポリエーテルイミドのキャビティ板4の熱変形温度200
℃より低いから、キャビティ板4 の加圧室4dや流路4cは
熱変形しない。また、キャビティ板4 の入口4aと池4bと
流路4cと加圧室4dとからなる貫通穴の内面、および、中
間ノズル膜5 の中間ノズル5aの内面が、オゾン処理によ
って親水化処理され、終端ノズル6a内面および終端ノズ
ル6aの開口面が撥水化処理される。
れ、かつ安価なガラス板やプラスチック板で記録ヘッド
を構成する。 【構成】振動板2 と中間膜3 、および、中間ノズル膜5
と終端ノズル板6 が接着剤で接合され、中間膜3 とキャ
ビティ板4 、および、キャビティ板4 と中間ノズル膜5
が熱融着によって接合される。ここで、ポリサルフォン
の中間膜3,中間ノズル膜5 の溶融温度190 ℃が、ずれも
ポリエーテルイミドのキャビティ板4の熱変形温度200
℃より低いから、キャビティ板4 の加圧室4dや流路4cは
熱変形しない。また、キャビティ板4 の入口4aと池4bと
流路4cと加圧室4dとからなる貫通穴の内面、および、中
間ノズル膜5 の中間ノズル5aの内面が、オゾン処理によ
って親水化処理され、終端ノズル6a内面および終端ノズ
ル6aの開口面が撥水化処理される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ノズルやインク流路
の成形が容易で量産性に優れ、かつ安価なガラス板やプ
ラスチック板を用いたインクジェット記録ヘッドに関す
る。
の成形が容易で量産性に優れ、かつ安価なガラス板やプ
ラスチック板を用いたインクジェット記録ヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、微細なノズル孔よりインクを噴射
して紙などの記録媒体上に付着させて記録を行う方法
は、インクジェット記録方法として知られている。そし
て、その方法に基づくものとしてオン・デマンド型イン
クジェット記録ヘッドがある。この型式のインクジェッ
ト記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）は、一般的に
はキャビティ板の溝側から見た平面図である図３と、断
面図である図４とに示すように、シリコンやガラス，金
属板などにエッチングや機械加工等により複数のインク
噴射用ノズル12, 噴射流路13，インク加圧室15，インク
供給路16, フィルタ流路18および共通なインク溜め17を
形成したキャビティ板11と、振動板19とを積層，一体化
したのち、振動板19の外側面のインク加圧室15に対向す
る位置に電気機械変換素子としての圧電素子20が、導電
性膜21を介して接合される構造をとっている。このよう
な構造において、圧電素子20に電気信号としての電圧を
印加すると、振動板19がインク加圧室15の内側に変位し
てインク加圧室15の容積を急激に減少させ、その容積分
に相当するインクがノズル12から噴射され、それがイン
ク滴となって、対向する記録紙に点着して印字される。
して紙などの記録媒体上に付着させて記録を行う方法
は、インクジェット記録方法として知られている。そし
て、その方法に基づくものとしてオン・デマンド型イン
クジェット記録ヘッドがある。この型式のインクジェッ
ト記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）は、一般的に
はキャビティ板の溝側から見た平面図である図３と、断
面図である図４とに示すように、シリコンやガラス，金
属板などにエッチングや機械加工等により複数のインク
噴射用ノズル12, 噴射流路13，インク加圧室15，インク
供給路16, フィルタ流路18および共通なインク溜め17を
形成したキャビティ板11と、振動板19とを積層，一体化
したのち、振動板19の外側面のインク加圧室15に対向す
る位置に電気機械変換素子としての圧電素子20が、導電
性膜21を介して接合される構造をとっている。このよう
な構造において、圧電素子20に電気信号としての電圧を
印加すると、振動板19がインク加圧室15の内側に変位し
てインク加圧室15の容積を急激に減少させ、その容積分
に相当するインクがノズル12から噴射され、それがイン
ク滴となって、対向する記録紙に点着して印字される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来例において、キャ
ビティ板11と振動板19とを接合するために、キャビティ
板11がシリコンウェハで、振動板19がガラス板のときに
は、静電接合技術が適用される。また、材料費の低減と
微細な溝加工の容易化ひいては量産性を増す目的で、キ
ャビティ板11をプラスチックにするときには、接着剤を
用いた接合や、プラスチック自体を熱溶融し熱融着させ
る接合が適用される。これらの接合方法には共通して、
接合の耐久性が弱く、流路形状が正確に維持されないで
若干崩れるなどの欠点があり、信頼性の高い接合技術が
要望されてきた。たとえば、キャビティ板や振動板とし
て、耐久性や剛性の点から、ポリエーテルイミド, ポリ
サルフォン, ポリエーテルケトン, ポリエーテルスルフ
ォンなどのエンジニアリング・プラスチックが検討され
ている。これらは一般的に接着剤によって接合しにくい
材料であるから、熱融着によって接合する方法が検討さ
れている。この熱融着による接合方法は、接着剤などの
異種材料との接着界面をもたない理由で、接合の信頼性
が極めて高いという長所がある反面、接合時の加熱によ
って、キャビティ板の表面に形成された微細なインク流
路が熱変形するという問題点がある。
ビティ板11と振動板19とを接合するために、キャビティ
板11がシリコンウェハで、振動板19がガラス板のときに
は、静電接合技術が適用される。また、材料費の低減と
微細な溝加工の容易化ひいては量産性を増す目的で、キ
ャビティ板11をプラスチックにするときには、接着剤を
用いた接合や、プラスチック自体を熱溶融し熱融着させ
る接合が適用される。これらの接合方法には共通して、
接合の耐久性が弱く、流路形状が正確に維持されないで
若干崩れるなどの欠点があり、信頼性の高い接合技術が
要望されてきた。たとえば、キャビティ板や振動板とし
て、耐久性や剛性の点から、ポリエーテルイミド, ポリ
サルフォン, ポリエーテルケトン, ポリエーテルスルフ
ォンなどのエンジニアリング・プラスチックが検討され
ている。これらは一般的に接着剤によって接合しにくい
材料であるから、熱融着によって接合する方法が検討さ
れている。この熱融着による接合方法は、接着剤などの
異種材料との接着界面をもたない理由で、接合の信頼性
が極めて高いという長所がある反面、接合時の加熱によ
って、キャビティ板の表面に形成された微細なインク流
路が熱変形するという問題点がある。
【０００４】この発明が解決しようとする課題は、従来
の技術がもつ以上の問題点を解消して、ノズルやインク
流路の成形が容易で量産性に優れ、かつ安価なガラス板
やプラスチック板を用いたインクジェット記録ヘッドを
提供することにある。
の技術がもつ以上の問題点を解消して、ノズルやインク
流路の成形が容易で量産性に優れ、かつ安価なガラス板
やプラスチック板を用いたインクジェット記録ヘッドを
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、圧電素子が
設けられるガラスの振動板と、プラスチックの中間膜
と、この中間膜の溶融温度より高い熱変形温度をもち加
圧室としての貫通穴が厚さ方向にあけられたプラスチッ
クのキャビティ板と、このキャビティ板の熱変形温度よ
り低い溶融温度をもち加圧室に連通可能な中間ノズルが
厚さ方向にあけられたプラスチックの中間ノズル膜と、
その中間ノズルに連通可能な終端ノズルが厚さ方向にあ
けられたプラスチックの終端ノズル板とがこの順序に積
層され、振動板と中間膜、および、中間ノズル膜と終端
ノズル板は、それぞれ接着剤を介して接合され、中間膜
とキャビティ板、および、キャビティ板と中間ノズル膜
は、それぞれ熱融着によって接合される。また、とく
に、貫通穴内面および中間ノズル内面が親水化処理さ
れ、終端ノズル内面および終端ノズル開口面が撥水化処
理されることが好ましい。
設けられるガラスの振動板と、プラスチックの中間膜
と、この中間膜の溶融温度より高い熱変形温度をもち加
圧室としての貫通穴が厚さ方向にあけられたプラスチッ
クのキャビティ板と、このキャビティ板の熱変形温度よ
り低い溶融温度をもち加圧室に連通可能な中間ノズルが
厚さ方向にあけられたプラスチックの中間ノズル膜と、
その中間ノズルに連通可能な終端ノズルが厚さ方向にあ
けられたプラスチックの終端ノズル板とがこの順序に積
層され、振動板と中間膜、および、中間ノズル膜と終端
ノズル板は、それぞれ接着剤を介して接合され、中間膜
とキャビティ板、および、キャビティ板と中間ノズル膜
は、それぞれ熱融着によって接合される。また、とく
に、貫通穴内面および中間ノズル内面が親水化処理さ
れ、終端ノズル内面および終端ノズル開口面が撥水化処
理されることが好ましい。
【０００６】また、この発明は、圧電素子が設けられる
ガラスの振動板と、プラスチックの第１の中間膜と、こ
の第１中間膜とほぼ同じ溶融温度をもち第１の加圧室と
しての貫通穴が厚さ方向にあけられたプラスチックのキ
ャビティ板と、一方の端面に開口するノズルと、第２の
加圧室とを含むスリット状のインク流路が、第２加圧室
の箇所でキャビティ板の第１加圧室に連通可能に形成さ
れ、キャビティ板の溶融温度より高い熱変形温度をもつ
プラスチックのノズル板と、このノズル板の熱変形温度
より低い溶融温度をもつプラスチックの第２の中間膜
と、ガラスの表面板と、がこの順序に積層され、振動板
と第１中間膜、および、第２中間膜と表面板は、それぞ
れ接着剤を介して接合され、第１中間膜とキャビティ
板、キャビティ板とノズル板、および、ノズル板と第２
中間膜は、それぞれ熱融着によって接合される。また、
とくに、スリット内面が親水化処理されることが好まし
い。
ガラスの振動板と、プラスチックの第１の中間膜と、こ
の第１中間膜とほぼ同じ溶融温度をもち第１の加圧室と
しての貫通穴が厚さ方向にあけられたプラスチックのキ
ャビティ板と、一方の端面に開口するノズルと、第２の
加圧室とを含むスリット状のインク流路が、第２加圧室
の箇所でキャビティ板の第１加圧室に連通可能に形成さ
れ、キャビティ板の溶融温度より高い熱変形温度をもつ
プラスチックのノズル板と、このノズル板の熱変形温度
より低い溶融温度をもつプラスチックの第２の中間膜
と、ガラスの表面板と、がこの順序に積層され、振動板
と第１中間膜、および、第２中間膜と表面板は、それぞ
れ接着剤を介して接合され、第１中間膜とキャビティ
板、キャビティ板とノズル板、および、ノズル板と第２
中間膜は、それぞれ熱融着によって接合される。また、
とくに、スリット内面が親水化処理されることが好まし
い。
【０００７】
【作用】この発明では、振動板と中間膜、および、中間
ノズル膜と終端ノズル板が、それぞれ接着剤を介して接
合されるが、ここで、終端ノズル板のノズルは、接合時
に熱変形の恐れは全くない。また、中間膜とキャビティ
板、および、キャビティ板と中間ノズル膜は、それぞれ
熱融着によって接合されるが、ここで、中間膜および中
間ノズル膜の各溶融温度が、いずれもキャビティ板の熱
変形温度より低いから、中間膜および中間ノズル膜の各
溶融温度で熱融着による接合をおこなったとき、キャビ
ティ板の加圧室やこれにつながる流路は、その溶融温度
で熱変形することがない。また、貫通穴内面および中間
ノズル内面が親水化処理され、終端ノズル内面および終
端ノズル開口面が撥水化処理されるから、前者の親水化
処理によってインクに対する濡れ性が向上し、後者の撥
水化処理によって噴射後のノズル面にインク残留が起こ
り難くなる。
ノズル膜と終端ノズル板が、それぞれ接着剤を介して接
合されるが、ここで、終端ノズル板のノズルは、接合時
に熱変形の恐れは全くない。また、中間膜とキャビティ
板、および、キャビティ板と中間ノズル膜は、それぞれ
熱融着によって接合されるが、ここで、中間膜および中
間ノズル膜の各溶融温度が、いずれもキャビティ板の熱
変形温度より低いから、中間膜および中間ノズル膜の各
溶融温度で熱融着による接合をおこなったとき、キャビ
ティ板の加圧室やこれにつながる流路は、その溶融温度
で熱変形することがない。また、貫通穴内面および中間
ノズル内面が親水化処理され、終端ノズル内面および終
端ノズル開口面が撥水化処理されるから、前者の親水化
処理によってインクに対する濡れ性が向上し、後者の撥
水化処理によって噴射後のノズル面にインク残留が起こ
り難くなる。
【０００８】また、この発明では、振動板と第１中間
膜、および、第２中間膜と表面板は、それぞれ接着剤を
介して接合されるが、その接合時に熱変形の恐れは全く
ない。また、第１中間膜とキャビティ板、キャビティ板
とノズル板、および、ノズル板と第２中間膜は、それぞ
れ熱融着によって接合されるが、第１中間膜とキャビテ
ィ板とは、その溶融温度で熱融着によって接合しても、
いずれも細かい流路などは存在しないから熱変形の恐れ
は全くなく、また、キャビティ板および中間膜の各溶融
温度が、いずれもノズル板の熱変形温度より低いから、
キャビティ板および中間膜の各溶融温度で熱融着による
接合をおこなったとき、ノズル板の加圧室やこれにつな
がる流路は、その溶融温度で熱変形することがない。ま
た、スリット内面が親水化処理されるから、インクに対
する濡れ性が向上する。
膜、および、第２中間膜と表面板は、それぞれ接着剤を
介して接合されるが、その接合時に熱変形の恐れは全く
ない。また、第１中間膜とキャビティ板、キャビティ板
とノズル板、および、ノズル板と第２中間膜は、それぞ
れ熱融着によって接合されるが、第１中間膜とキャビテ
ィ板とは、その溶融温度で熱融着によって接合しても、
いずれも細かい流路などは存在しないから熱変形の恐れ
は全くなく、また、キャビティ板および中間膜の各溶融
温度が、いずれもノズル板の熱変形温度より低いから、
キャビティ板および中間膜の各溶融温度で熱融着による
接合をおこなったとき、ノズル板の加圧室やこれにつな
がる流路は、その溶融温度で熱変形することがない。ま
た、スリット内面が親水化処理されるから、インクに対
する濡れ性が向上する。
【０００９】
【実施例】この発明に係るインクジェット記録ヘッドの
実施例について、以下に図を参照しながら説明する。図
１は第１実施例の分解斜視図である。図において、振動
板2 はガラスからなり、接着される圧電素子1 の機械式
歪みを正確に、次に述べるキャビティ板4 の加圧室4dの
体積変化に変換することができる。中間膜3 は、ポリサ
ルフォン樹脂からなる50μｍ厚さの板状部材である。キ
ャビティ板4 は、ポリエーテルイミド樹脂からなる200
μｍ厚さの板状部材で、入口4aと、池4bと、流路4cと、
加圧室4dとが連通してなる貫通穴としてあけられる。中
間ノズル膜5は、ポリサルフォン樹脂からなる50μｍ厚
さの板状部材で、キャビティ板4 の加圧室4dに連通する
中間ノズル5aがあけられる。終端ノズル板6 は、ガラス
からなる100 μｍ厚さの板状部材で、中間ノズル膜5 の
中間ノズル5aに連通してインクが噴射される終端ノズル
6aが精密にあけられる。ここで、中間ノズル5aの径は、
終端ノズル6aの径より若干大きく、さほど精密でなくて
もよい。
実施例について、以下に図を参照しながら説明する。図
１は第１実施例の分解斜視図である。図において、振動
板2 はガラスからなり、接着される圧電素子1 の機械式
歪みを正確に、次に述べるキャビティ板4 の加圧室4dの
体積変化に変換することができる。中間膜3 は、ポリサ
ルフォン樹脂からなる50μｍ厚さの板状部材である。キ
ャビティ板4 は、ポリエーテルイミド樹脂からなる200
μｍ厚さの板状部材で、入口4aと、池4bと、流路4cと、
加圧室4dとが連通してなる貫通穴としてあけられる。中
間ノズル膜5は、ポリサルフォン樹脂からなる50μｍ厚
さの板状部材で、キャビティ板4 の加圧室4dに連通する
中間ノズル5aがあけられる。終端ノズル板6 は、ガラス
からなる100 μｍ厚さの板状部材で、中間ノズル膜5 の
中間ノズル5aに連通してインクが噴射される終端ノズル
6aが精密にあけられる。ここで、中間ノズル5aの径は、
終端ノズル6aの径より若干大きく、さほど精密でなくて
もよい。
【００１０】振動板2 と中間膜3 、および、中間ノズル
膜5 と終端ノズル板6 は、それぞれ接着剤を介して接合
される。ここで、接合には高熱が加えられないから、終
端ノズル板6 の終端ノズル6aは、接合時に熱変形するこ
とがない。また、中間膜3 とキャビティ板4 、および、
キャビティ板4 と中間ノズル膜5 は、それぞれ熱融着に
よって接合される。ここで、中間膜3 および中間ノズル
膜5 の各溶融温度は、約190 ℃で、いずれもキャビティ
板4 の熱変形温度200 ℃より低いから、中間膜3 および
中間ノズル膜5 の各溶融温度190 ℃で熱融着による接合
をおこなったとき、キャビティ板4 の加圧室4dやこれに
つながる流路4cは、その溶融温度190 ℃で熱変形するこ
とがない。ところで、中間膜3 および中間ノズル膜5
は、ポリサルフォン樹脂に代えて、これよりさらに若干
低い溶融温度、約188 ℃のポリエステル樹脂、または約
185 ℃のポリアリレート樹脂にすることができる。
膜5 と終端ノズル板6 は、それぞれ接着剤を介して接合
される。ここで、接合には高熱が加えられないから、終
端ノズル板6 の終端ノズル6aは、接合時に熱変形するこ
とがない。また、中間膜3 とキャビティ板4 、および、
キャビティ板4 と中間ノズル膜5 は、それぞれ熱融着に
よって接合される。ここで、中間膜3 および中間ノズル
膜5 の各溶融温度は、約190 ℃で、いずれもキャビティ
板4 の熱変形温度200 ℃より低いから、中間膜3 および
中間ノズル膜5 の各溶融温度190 ℃で熱融着による接合
をおこなったとき、キャビティ板4 の加圧室4dやこれに
つながる流路4cは、その溶融温度190 ℃で熱変形するこ
とがない。ところで、中間膜3 および中間ノズル膜5
は、ポリサルフォン樹脂に代えて、これよりさらに若干
低い溶融温度、約188 ℃のポリエステル樹脂、または約
185 ℃のポリアリレート樹脂にすることができる。
【００１１】また、キャビティ板4 の入口4aと、池4b
と、流路4cと、加圧室4dとからなる貫通穴内面、およ
び、中間ノズル膜5 の中間ノズル5a内面が、オゾン処理
によって親水化処理される。すなわち、内面に当たるプ
ラスチック表面の分子構造が改質され、ＯＨ基が形成さ
れて活性度が増す。その結果、インクを撥ねる性質が抑
制されて、インクに対する濡れ性が向上する。さらに、
終端ノズル6a内面および終端ノズル6aの開口面が撥水化
処理、たとえば撥水膜によるコーティングが施される。
その結果、インク噴射後に記録ヘッド側のインクのメニ
スカスが終端ノズル6aの開口面から後退し、ノズル面に
インク残留が起こり難くなる。
と、流路4cと、加圧室4dとからなる貫通穴内面、およ
び、中間ノズル膜5 の中間ノズル5a内面が、オゾン処理
によって親水化処理される。すなわち、内面に当たるプ
ラスチック表面の分子構造が改質され、ＯＨ基が形成さ
れて活性度が増す。その結果、インクを撥ねる性質が抑
制されて、インクに対する濡れ性が向上する。さらに、
終端ノズル6a内面および終端ノズル6aの開口面が撥水化
処理、たとえば撥水膜によるコーティングが施される。
その結果、インク噴射後に記録ヘッド側のインクのメニ
スカスが終端ノズル6aの開口面から後退し、ノズル面に
インク残留が起こり難くなる。
【００１２】図２は第２実施例の分解斜視図である。こ
の図において、振動板2 は、第１実施例におけると同様
の理由でガラスからなる。第１中間膜としての中間膜3
は、ポリサルフォン樹脂からなる50μｍ厚さの板状部材
である。キャビティ板7 は、ポリサルフォン樹脂からな
る200 μｍ厚さの板状部材で、加圧室7aが貫通穴として
あけられる。ノズル板8 は、ポリエーテルイミド樹脂か
らなる50μｍ厚さの板状部材で、入口8aと、池8bと、流
路8cと、加圧室8dと、ノズル8eとが連通してなるスリッ
トとして加工される。なお、ノズル板8 は当初、各部分
がバラバラに分断されないように、図示してない連結部
によって一体化され、接合後に連結部が除去されて図示
の状態になる。加圧室8dとキャビティ板7 の加圧室7aと
は連通する。第２中間膜としての中間膜9 は、ポリサル
フォン樹脂からなる50μｍ厚さの板状部材である。ま
た、表面板10はガラスからなる。
の図において、振動板2 は、第１実施例におけると同様
の理由でガラスからなる。第１中間膜としての中間膜3
は、ポリサルフォン樹脂からなる50μｍ厚さの板状部材
である。キャビティ板7 は、ポリサルフォン樹脂からな
る200 μｍ厚さの板状部材で、加圧室7aが貫通穴として
あけられる。ノズル板8 は、ポリエーテルイミド樹脂か
らなる50μｍ厚さの板状部材で、入口8aと、池8bと、流
路8cと、加圧室8dと、ノズル8eとが連通してなるスリッ
トとして加工される。なお、ノズル板8 は当初、各部分
がバラバラに分断されないように、図示してない連結部
によって一体化され、接合後に連結部が除去されて図示
の状態になる。加圧室8dとキャビティ板7 の加圧室7aと
は連通する。第２中間膜としての中間膜9 は、ポリサル
フォン樹脂からなる50μｍ厚さの板状部材である。ま
た、表面板10はガラスからなる。
【００１３】振動板2 と中間膜3 、および、中間膜9 と
表面板10は、それぞれ接着剤を介して接合されるが、そ
の接合時に熱変形の恐れは全くない。また、中間膜3 と
キャビティ板7 、キャビティ板7 とノズル板8 、およ
び、ノズル板8 と中間膜9 は、それぞれ熱融着によって
接合されるが、中間膜3 とキャビティ板7 とは、その溶
融温度190 ℃で熱融着によって接合しても、いずれも細
かい流路などは存在しないから熱変形の実害は全くな
い。また、キャビティ板7 および中間膜9 の各溶融温度
190 ℃は、ノズル板8 の熱変形温度200 ℃より低いか
ら、キャビティ板7 および中間膜9 の各溶融温度190 ℃
で熱融着による接合をおこなったとき、ノズル板8 の加
圧室8dやこれにつながる流路8c, ノズル8eは、その溶融
温度190 ℃で熱変形することがない。また、ノズル板8
のスリット内面は、第１実施例におけると同様に、たと
えばオゾン処理によって親水化処理され、インクに対す
る濡れ性が向上する。
表面板10は、それぞれ接着剤を介して接合されるが、そ
の接合時に熱変形の恐れは全くない。また、中間膜3 と
キャビティ板7 、キャビティ板7 とノズル板8 、およ
び、ノズル板8 と中間膜9 は、それぞれ熱融着によって
接合されるが、中間膜3 とキャビティ板7 とは、その溶
融温度190 ℃で熱融着によって接合しても、いずれも細
かい流路などは存在しないから熱変形の実害は全くな
い。また、キャビティ板7 および中間膜9 の各溶融温度
190 ℃は、ノズル板8 の熱変形温度200 ℃より低いか
ら、キャビティ板7 および中間膜9 の各溶融温度190 ℃
で熱融着による接合をおこなったとき、ノズル板8 の加
圧室8dやこれにつながる流路8c, ノズル8eは、その溶融
温度190 ℃で熱変形することがない。また、ノズル板8
のスリット内面は、第１実施例におけると同様に、たと
えばオゾン処理によって親水化処理され、インクに対す
る濡れ性が向上する。
【００１４】
【発明の効果】この発明では、中間膜とキャビティ板、
および、キャビティ板と中間ノズル膜は、それぞれ熱融
着によって接合されるが、ここで、中間膜および中間ノ
ズル膜の各溶融温度が、いずれもキャビティ板の熱変形
温度より低いから、中間膜および中間ノズル膜の各溶融
温度で熱融着による接合をおこなったとき、キャビティ
板の加圧室やこれにつながる流路は、その溶融温度で熱
変形することがなく、したがって、接合が強固であると
ともに、ノズルや流路の形状が維持されてインク噴射特
性が良好に維持され、ひいては印字品質が良好に維持さ
れる。また、とくに、貫通穴内面および中間ノズル内面
が親水化処理され、終端ノズル内面および終端ノズル開
口面が撥水化処理されるから、前者の親水化処理によっ
てインクに対する濡れ性が向上し、気泡の除去が容易に
なり、後者の撥水化処理によって噴射後のノズル面にイ
ンク残留がなくなり、ノズルの詰まりや印字品質の低下
が抑えられる。しかも、以上のメリットを生む前提とし
て、記録ヘッドを構成する板状部材や膜部材が、いずれ
もガラスやプラスチックからなるから、材料自体が安価
であるとともに、ノズルやインク流路の成形が容易で量
産性に優れる。
および、キャビティ板と中間ノズル膜は、それぞれ熱融
着によって接合されるが、ここで、中間膜および中間ノ
ズル膜の各溶融温度が、いずれもキャビティ板の熱変形
温度より低いから、中間膜および中間ノズル膜の各溶融
温度で熱融着による接合をおこなったとき、キャビティ
板の加圧室やこれにつながる流路は、その溶融温度で熱
変形することがなく、したがって、接合が強固であると
ともに、ノズルや流路の形状が維持されてインク噴射特
性が良好に維持され、ひいては印字品質が良好に維持さ
れる。また、とくに、貫通穴内面および中間ノズル内面
が親水化処理され、終端ノズル内面および終端ノズル開
口面が撥水化処理されるから、前者の親水化処理によっ
てインクに対する濡れ性が向上し、気泡の除去が容易に
なり、後者の撥水化処理によって噴射後のノズル面にイ
ンク残留がなくなり、ノズルの詰まりや印字品質の低下
が抑えられる。しかも、以上のメリットを生む前提とし
て、記録ヘッドを構成する板状部材や膜部材が、いずれ
もガラスやプラスチックからなるから、材料自体が安価
であるとともに、ノズルやインク流路の成形が容易で量
産性に優れる。
【００１５】また、この発明では、振動板と第１中間
膜、および、第２中間膜と表面板は、それぞれ接着剤を
介して接合されるが、ここで、細かいノズルや流路は存
在しないから熱変形の恐れは全くない。また、第１中間
膜とキャビティ板、キャビティ板とノズル板、および、
ノズル板と第２中間膜は、それぞれ熱融着によって接合
されるが、ここで、第１中間膜とキャビティ板とは、そ
の溶融温度で熱融着によって接合しても、いずれも細か
い流路などは存在しないから熱変形の恐れは全くなく、
また、キャビティ板および中間膜の各溶融温度が、いず
れもノズル板の熱変形温度より低いから、キャビティ板
および中間膜の各溶融温度で熱融着による接合をおこな
ったとき、ノズル板の加圧室やこれにつながる流路は、
その溶融温度で熱変形することがなく、したがって接合
が強固であるとともに、ノズルや流路の形状が維持され
てインク噴射特性、ひいては印字品質が良好に維持され
る。また、とくに、スリット内面が親水化処理されるか
ら、インクに対する濡れ性が向上し、気泡の除去が容易
になる。
膜、および、第２中間膜と表面板は、それぞれ接着剤を
介して接合されるが、ここで、細かいノズルや流路は存
在しないから熱変形の恐れは全くない。また、第１中間
膜とキャビティ板、キャビティ板とノズル板、および、
ノズル板と第２中間膜は、それぞれ熱融着によって接合
されるが、ここで、第１中間膜とキャビティ板とは、そ
の溶融温度で熱融着によって接合しても、いずれも細か
い流路などは存在しないから熱変形の恐れは全くなく、
また、キャビティ板および中間膜の各溶融温度が、いず
れもノズル板の熱変形温度より低いから、キャビティ板
および中間膜の各溶融温度で熱融着による接合をおこな
ったとき、ノズル板の加圧室やこれにつながる流路は、
その溶融温度で熱変形することがなく、したがって接合
が強固であるとともに、ノズルや流路の形状が維持され
てインク噴射特性、ひいては印字品質が良好に維持され
る。また、とくに、スリット内面が親水化処理されるか
ら、インクに対する濡れ性が向上し、気泡の除去が容易
になる。
【図１】この発明に係る第１実施例の分解斜視図
【図２】同じくその第２実施例の分解斜視図
【図３】従来例の平面図
【図４】従来例の断面図
１ 圧電素子 ２ 振動板 ３ 中間膜 ４ キャビティ板 ４ａ 入口 ４ｂ 池 ４ｃ 流路 ４ｄ 加圧室 ５ 中間ノズル膜 ５ａ 中間ノズル ６ 終端ノズル板 ６ａ 終端ノズル ７ キャビティ板 ７ａ 加圧室 ８ ノズル板 ８ａ 入口 ８ｂ 池 ８ｃ 流路 ８ｄ 加圧室 ８ｅ ノズル ９ 中間膜 １０ 表面板
Claims (4)
- 【請求項１】圧電素子が設けられるガラスの振動板と、
プラスチックの中間膜と、この中間膜の溶融温度より高
い熱変形温度をもち加圧室としての貫通穴が厚さ方向に
あけられたプラスチックのキャビティ板と、このキャビ
ティ板の熱変形温度より低い溶融温度をもち加圧室に連
通可能な中間ノズルが厚さ方向にあけられたプラスチッ
クの中間ノズル膜と、その中間ノズルに連通可能な終端
ノズルが厚さ方向にあけられたプラスチックの終端ノズ
ル板と、がこの順序に積層され、振動板と中間膜、およ
び、中間ノズル膜と終端ノズル板は、それぞれ接着剤を
介して接合され、中間膜とキャビティ板、および、キャ
ビティ板と中間ノズル膜は、それぞれ熱融着によって接
合されることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】請求項１に記載の記録ヘッドにおいて、貫
通穴内面および中間ノズル内面が親水化処理され、終端
ノズル内面および終端ノズル開口面が撥水化処理される
ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】圧電素子が設けられるガラスの振動板と、
プラスチックの第１の中間膜と、この第１中間膜とほぼ
同じ溶融温度をもち第１の加圧室としての貫通穴が厚さ
方向にあけられたプラスチックのキャビティ板と、一方
の端面に開口するノズルと、第２の加圧室とを含むスリ
ット状のインク流路が、第２加圧室の箇所でキャビティ
板の第１加圧室に連通可能に形成され、キャビティ板の
溶融温度より高い熱変形温度をもつプラスチックのノズ
ル板と、このノズル板の熱変形温度より低い溶融温度を
もつプラスチックの第２の中間膜と、ガラスの表面板
と、がこの順序に積層され、振動板と第１中間膜、およ
び、第２中間膜と表面板は、それぞれ接着剤を介して接
合され、第１中間膜とキャビティ板、キャビティ板とノ
ズル板、および、ノズル板と第２中間膜は、それぞれ熱
融着によって接合される構成であることを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】請求項３に記載の記録ヘッドにおいて、ス
リット内面が親水化処理されることを特徴とするインク
ジェット記録ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6100331A JPH07304173A (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | インクジェット記録ヘッド |
| US08/440,620 US5612725A (en) | 1994-05-16 | 1995-05-15 | Ink-jet recording head with plastic and glass plates |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6100331A JPH07304173A (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07304173A true JPH07304173A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14271176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6100331A Pending JPH07304173A (ja) | 1994-05-16 | 1994-05-16 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5612725A (ja) |
| JP (1) | JPH07304173A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110293687A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-10-01 | 大连理工大学 | 一种聚醚酰亚胺多岐管板键合方法 |
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| JP3663652B2 (ja) * | 1995-02-13 | 2005-06-22 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットプリンタヘッド |
| JPH1110861A (ja) * | 1997-06-19 | 1999-01-19 | Brother Ind Ltd | インクジェットプリンタヘッド |
| JP4092771B2 (ja) * | 1998-04-27 | 2008-05-28 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
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| DE69932911T2 (de) * | 1998-06-18 | 2007-02-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Fluidausstossvorrichtung und verfahren zu deren herstellung |
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| USD442626S1 (en) | 2000-07-07 | 2001-05-22 | Barouh Eaton Allen Corp. | Cover for ink cartridge |
| USD466925S1 (en) | 2000-08-09 | 2002-12-10 | Seiko Epson Corporation | Ink cartridge |
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| USD462088S1 (en) | 2000-08-30 | 2002-08-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink paper pack |
| AU145037S (en) | 2000-08-30 | 2001-08-24 | Canon Kk | Ink paper pack |
| EP1236517A1 (en) * | 2001-02-23 | 2002-09-04 | Microflow Engineering SA | Method of manufacturing a liquid droplet spray device and such spray device |
| JP4241090B2 (ja) * | 2003-02-28 | 2009-03-18 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | インクジェットヘッド |
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| WO2018186829A1 (en) | 2017-04-03 | 2018-10-11 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Cassette substrates made of polyetherimide |
Family Cites Families (3)
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| JPS5644671A (en) * | 1979-09-21 | 1981-04-23 | Seiko Epson Corp | Ink-jet head |
| US4703333A (en) * | 1986-01-30 | 1987-10-27 | Pitney Bowes Inc. | Impulse ink jet print head with inclined and stacked arrays |
| JPH05169666A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-07-09 | Rohm Co Ltd | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
-
1994
- 1994-05-16 JP JP6100331A patent/JPH07304173A/ja active Pending
-
1995
- 1995-05-15 US US08/440,620 patent/US5612725A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110293687A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-10-01 | 大连理工大学 | 一种聚醚酰亚胺多岐管板键合方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5612725A (en) | 1997-03-18 |
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