JPH07311607A - シーケンス制御方法 - Google Patents
シーケンス制御方法Info
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- JPH07311607A JPH07311607A JP6107398A JP10739894A JPH07311607A JP H07311607 A JPH07311607 A JP H07311607A JP 6107398 A JP6107398 A JP 6107398A JP 10739894 A JP10739894 A JP 10739894A JP H07311607 A JPH07311607 A JP H07311607A
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Programmable Controllers (AREA)
- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 メ―カ設定の動作シ―ケンスや単位動作を適
宜組み合わせた所望のシ―ケンスを作成して実行できる
ようなシーケンス制御方法を提供する。 【構成】 コンソールからの動作指令に従って動作する
処理装置のシーケンス制御方法において、コンソール側
ＣＰＵの制御の下で複数の動作指令及びその動作指令の
実行タイミングを動作シーケンス入力手段を介して入力
するステップと、前記入力ステップでユーザ作成シーケ
ンスとして入力された動作指令／実行タイミング列を１
つのコマンドとしてそのファイル名と共に記憶手段に記
憶するステップと、前記記憶ステップで記憶されたファ
イル名が動作指令入力手段を介して指定されたとき、そ
のファイル名で作成されたユーザ作成シーケンスを処理
装置側ＣＰＵの制御の下で前記処理装置に実行させるた
めに、そのファイル内の動作指令を実行タイミングごと
に読出して前記コンソール側ＣＰＵから前記処理装置側
ＣＰＵに送信するステップを有することを特徴とするシ
ーケンス制御方法。
宜組み合わせた所望のシ―ケンスを作成して実行できる
ようなシーケンス制御方法を提供する。 【構成】 コンソールからの動作指令に従って動作する
処理装置のシーケンス制御方法において、コンソール側
ＣＰＵの制御の下で複数の動作指令及びその動作指令の
実行タイミングを動作シーケンス入力手段を介して入力
するステップと、前記入力ステップでユーザ作成シーケ
ンスとして入力された動作指令／実行タイミング列を１
つのコマンドとしてそのファイル名と共に記憶手段に記
憶するステップと、前記記憶ステップで記憶されたファ
イル名が動作指令入力手段を介して指定されたとき、そ
のファイル名で作成されたユーザ作成シーケンスを処理
装置側ＣＰＵの制御の下で前記処理装置に実行させるた
めに、そのファイル内の動作指令を実行タイミングごと
に読出して前記コンソール側ＣＰＵから前記処理装置側
ＣＰＵに送信するステップを有することを特徴とするシ
ーケンス制御方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンソールからの動作
指令に従って動作する処理装置のシーケンス制御方法、
特に、装置に標準設定されている動作を任意に組合せて
ユ―ザ独自のシ―ケンスを作成することを可能にしたシ
ーケンス制御方法に関し、例えば、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等
の半導体デバイスを製造する装置に適用することができ
る。
指令に従って動作する処理装置のシーケンス制御方法、
特に、装置に標準設定されている動作を任意に組合せて
ユ―ザ独自のシ―ケンスを作成することを可能にしたシ
ーケンス制御方法に関し、例えば、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等
の半導体デバイスを製造する装置に適用することができ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＣＰＵの制御の下で複数の動作を
行う処理装置においては、コンソールからの動作指令毎
に各動作を逐次行なうものが知られている。例えば、ス
テップアンドリピ―ト式の投影露光装置においては、装
置本来の動作である所定のシ―ケンスに従った露光動作
の他、この露光動作を構成する個々の単位動作すなわち
ウエハ挿脱やステップ送りや位置合せやＺステ―ジ駆動
等の動作をそれぞれ単独で実行させることができる。
行う処理装置においては、コンソールからの動作指令毎
に各動作を逐次行なうものが知られている。例えば、ス
テップアンドリピ―ト式の投影露光装置においては、装
置本来の動作である所定のシ―ケンスに従った露光動作
の他、この露光動作を構成する個々の単位動作すなわち
ウエハ挿脱やステップ送りや位置合せやＺステ―ジ駆動
等の動作をそれぞれ単独で実行させることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の処
理装置においては、各動作をユーザの所望のあるいは所
定のシーケンスおよびタイミングで行なうためには、ユ
ーザは各動作をその実行タイミングに合わせていちいち
装置に指令を与えなければならないという煩雑さがあ
る。例えば前記投影露光装置においては、露光動作以外
の動作例えばＺステ―ジの駆動量を較正するための一連
の動作等はシ―ケンスとしては実装されておらず、この
ような動作を実行させようとする場合はオペレ―タが装
置に付きっきりで、装置の動作に合せて、Ｚステ―ジ駆
動、エアマイクロセンサ値計測表示等の動作指令を必要
回数繰返しキ―入力しなければならず、その手間と時間
は大変なものであった。
理装置においては、各動作をユーザの所望のあるいは所
定のシーケンスおよびタイミングで行なうためには、ユ
ーザは各動作をその実行タイミングに合わせていちいち
装置に指令を与えなければならないという煩雑さがあ
る。例えば前記投影露光装置においては、露光動作以外
の動作例えばＺステ―ジの駆動量を較正するための一連
の動作等はシ―ケンスとしては実装されておらず、この
ような動作を実行させようとする場合はオペレ―タが装
置に付きっきりで、装置の動作に合せて、Ｚステ―ジ駆
動、エアマイクロセンサ値計測表示等の動作指令を必要
回数繰返しキ―入力しなければならず、その手間と時間
は大変なものであった。
【０００４】本発明の目的は、上述の従来技術における
問題点に鑑み、処理装置において、ユ―ザが、メ―カ設
定の動作シ―ケンスや単位動作を適宜組み合わせせた所
望のシ―ケンスを作成して実行できるようなシーケンス
制御方法を提供することにある。
問題点に鑑み、処理装置において、ユ―ザが、メ―カ設
定の動作シ―ケンスや単位動作を適宜組み合わせせた所
望のシ―ケンスを作成して実行できるようなシーケンス
制御方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明では、コンソールからの動作指令に従って動作す
る処理装置のシーケンス制御方法において、コンソール
側ＣＰＵの制御の下で複数の動作指令及びその動作指令
の実行タイミングを動作シーケンス入力手段を介して入
力するステップと、前記入力ステップでユーザ作成シー
ケンスとして入力された動作指令／実行タイミング列を
１つのコマンドとしてそのファイル名と共に記憶手段に
記憶するステップと、前記記憶ステップで記憶されたフ
ァイル名が動作指令入力手段を介して指定されたとき、
そのファイル名で作成されたユーザ作成シーケンスを処
理装置側ＣＰＵの制御の下で前記処理装置に実行させる
ために、そのファイル内の動作指令を実行タイミングご
とに読出して前記コンソール側ＣＰＵから前記処理装置
側ＣＰＵに送信するステップを有することを特徴とす
る。ここで、前記動作シーケンス入力手段と前記動作指
令入力手段を兼用するのが好ましい。
本発明では、コンソールからの動作指令に従って動作す
る処理装置のシーケンス制御方法において、コンソール
側ＣＰＵの制御の下で複数の動作指令及びその動作指令
の実行タイミングを動作シーケンス入力手段を介して入
力するステップと、前記入力ステップでユーザ作成シー
ケンスとして入力された動作指令／実行タイミング列を
１つのコマンドとしてそのファイル名と共に記憶手段に
記憶するステップと、前記記憶ステップで記憶されたフ
ァイル名が動作指令入力手段を介して指定されたとき、
そのファイル名で作成されたユーザ作成シーケンスを処
理装置側ＣＰＵの制御の下で前記処理装置に実行させる
ために、そのファイル内の動作指令を実行タイミングご
とに読出して前記コンソール側ＣＰＵから前記処理装置
側ＣＰＵに送信するステップを有することを特徴とす
る。ここで、前記動作シーケンス入力手段と前記動作指
令入力手段を兼用するのが好ましい。
【０００６】
【作用】これによれば、ユーザサイドでユーザの希望す
るシーケンスに応じた一連の動作指令およびそれら指令
のタイミングが１つのコマンドとして登録され、そのコ
マンドがファイル名で管理される。そして、登録後に、
このファイル名を指定することにより、そのファイル名
で記憶されている各動作指令による動作が指定されたタ
イミングで順次実行される。したがって、例えば半導体
製造装置のＺ駆動装置の精度検査や駆動量較正のように
従来極めて面倒であった操作が、ファイル名を指定する
という極めて簡単な操作だけで実行され、処理装置の使
い勝手が格段に向上する。
るシーケンスに応じた一連の動作指令およびそれら指令
のタイミングが１つのコマンドとして登録され、そのコ
マンドがファイル名で管理される。そして、登録後に、
このファイル名を指定することにより、そのファイル名
で記憶されている各動作指令による動作が指定されたタ
イミングで順次実行される。したがって、例えば半導体
製造装置のＺ駆動装置の精度検査や駆動量較正のように
従来極めて面倒であった操作が、ファイル名を指定する
という極めて簡単な操作だけで実行され、処理装置の使
い勝手が格段に向上する。
【０００７】
【実施例】以下、図面に従って本発明の実施例を説明す
る。図１は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外
観を示す。同図において、１は集積回路パタ―ンを具え
たマスクであり、他にマスクアライメントマ―クやマス
ク・ウエハ・アライメントマ―クを具えるものとする。
２はマスクステ―ジであり、マスク１を保持してマスク
１を平面内（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に移動
させる。３は縮小投影レンズ、４は感光層を具えるウエ
ハであり、マスク・ウエハ・アライメントマ―クとテレ
ビ・ウエハアライメントマ―クを具えるものとする。５
はウエハステ―ジである。ウエハステ―ジ５はウエハ４
を保持してそれを平面内および回転方向に移動させるも
のであり、またウエハ焼付位置（投影野内）とテレビ・
ウエハアライメント位置間を移動する。６はテレビ・ウ
エハアライメント用検知装置の対物レンズ、７は撮像管
（または固体撮像素子）である。９は双眼ユニットであ
り、投影レンズ３を介してウエハ４の表面を観察するた
めに役立つ。１０は照明光学系ならびにマスク・ウエハ
・アライメント用の検知装置を収容する上部ユニットで
ある。１１はモニタ受像機（コンソ―ルＣＲＴ）、１２
は装置における各種の動作指令やパラメ―タを入力する
ためのキ―ボ―ドである。
る。図１は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外
観を示す。同図において、１は集積回路パタ―ンを具え
たマスクであり、他にマスクアライメントマ―クやマス
ク・ウエハ・アライメントマ―クを具えるものとする。
２はマスクステ―ジであり、マスク１を保持してマスク
１を平面内（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に移動
させる。３は縮小投影レンズ、４は感光層を具えるウエ
ハであり、マスク・ウエハ・アライメントマ―クとテレ
ビ・ウエハアライメントマ―クを具えるものとする。５
はウエハステ―ジである。ウエハステ―ジ５はウエハ４
を保持してそれを平面内および回転方向に移動させるも
のであり、またウエハ焼付位置（投影野内）とテレビ・
ウエハアライメント位置間を移動する。６はテレビ・ウ
エハアライメント用検知装置の対物レンズ、７は撮像管
（または固体撮像素子）である。９は双眼ユニットであ
り、投影レンズ３を介してウエハ４の表面を観察するた
めに役立つ。１０は照明光学系ならびにマスク・ウエハ
・アライメント用の検知装置を収容する上部ユニットで
ある。１１はモニタ受像機（コンソ―ルＣＲＴ）、１２
は装置における各種の動作指令やパラメ―タを入力する
ためのキ―ボ―ドである。
【０００８】図２は、図１の装置の電気回路構成を示
す。同図において、２１は装置全体の制御を司る本体Ｃ
ＰＵであり、マイクロコンピュ―タまたはミニコンピュ
―タ等の中央演算処理装置からなる。２２はウエハステ
―ジ駆動装置、２３はアライメント検出系、２４はレチ
クルステ―ジ駆動装置、２５は照明系、２６はシャッタ
駆動装置、２７はフォ―カス検出系、２８はＺ駆動装置
で、これらは、本体ＣＰＵ２１により制御される。２９
は搬送系である。３０はコンソ―ルユニットであり、本
体ＣＰＵ２１にこの露光装置の動作に関する各種の指令
やパラメ―タを与えるためのものである。３１はコンソ
―ルＣＰＵ、３２はパラメ―タ等を記憶する外部メモリ
である。なお、ＣＲＴ１１およびキ―ボ―ド１２は図１
のものと同一である。
す。同図において、２１は装置全体の制御を司る本体Ｃ
ＰＵであり、マイクロコンピュ―タまたはミニコンピュ
―タ等の中央演算処理装置からなる。２２はウエハステ
―ジ駆動装置、２３はアライメント検出系、２４はレチ
クルステ―ジ駆動装置、２５は照明系、２６はシャッタ
駆動装置、２７はフォ―カス検出系、２８はＺ駆動装置
で、これらは、本体ＣＰＵ２１により制御される。２９
は搬送系である。３０はコンソ―ルユニットであり、本
体ＣＰＵ２１にこの露光装置の動作に関する各種の指令
やパラメ―タを与えるためのものである。３１はコンソ
―ルＣＰＵ、３２はパラメ―タ等を記憶する外部メモリ
である。なお、ＣＲＴ１１およびキ―ボ―ド１２は図１
のものと同一である。
【０００９】次に、図３および図５のフロ―チャ―トな
らびに図４の表示画面例を参照しながら、図１の装置の
動作を説明する。図３のフロ―チャ―トは、本発明の特
徴とするユ―ザ・プログラマブル・シ―ケンス作成処理
（以下、自動シ―ケンス作成処理という）を示す。図１
の装置においては、電源投入後の初期化が終了したとき
等にコマンド入力待機状態となる。つまり、コンソ―ル
ＣＰＵ３１はキ―ボ―ド１２におけるキ―操作を待機
し、本体ＣＰＵ２１はコンソ―ルＣＰＵ３１からの通信
待ち状態となる。そして、この状態でキ―ボ―ド１２か
ら自動シ―ケンス作成のためのコマンド（例えばＡＳ）
が入力されると、コンソ―ルＣＰＵ３１の制御のもとに
以下の自動シ―ケンス作成処理を開始する。
らびに図４の表示画面例を参照しながら、図１の装置の
動作を説明する。図３のフロ―チャ―トは、本発明の特
徴とするユ―ザ・プログラマブル・シ―ケンス作成処理
（以下、自動シ―ケンス作成処理という）を示す。図１
の装置においては、電源投入後の初期化が終了したとき
等にコマンド入力待機状態となる。つまり、コンソ―ル
ＣＰＵ３１はキ―ボ―ド１２におけるキ―操作を待機
し、本体ＣＰＵ２１はコンソ―ルＣＰＵ３１からの通信
待ち状態となる。そして、この状態でキ―ボ―ド１２か
ら自動シ―ケンス作成のためのコマンド（例えばＡＳ）
が入力されると、コンソ―ルＣＰＵ３１の制御のもとに
以下の自動シ―ケンス作成処理を開始する。
【００１０】図３において、ステップ５１では、ＣＲＴ
１１の画面表示を図４（ａ）のもの（但し、点線部４３
内のデ―タは表示されていない）に切換え、キ―ボ―ド
１２から順次入力される数字または英字をＣＲＴ１１の
画面の最下段（図４（ａ）の点線部４３）に表示し、さ
らに、キ―ボ―ド１２で改行キ―が押下された後この改
行キ―が押下される前までに入力されたデ―タ（または
デ―タ列）に基づいてＣＲＴ１１の画面に表示された項
目（１．ファイル名、２．コメント、３．エディタ）で
示されるモ―ドまたは終了モ―ドのうちいずれが選択さ
れたかを判定する。ここでは、各モ―ドは上記項目に付
された１〜３の数字または終了を示す英字「Ｅ」により
選択される。なお、自動シ―ケンス作成処理に入ったば
かりの時点では図４（ａ）の点線部４１および４２内に
は未だ何も表示されない。また、点線部４３内の改行マ
―クは便宜的に表示したものであり、実際上は表示され
ない。
１１の画面表示を図４（ａ）のもの（但し、点線部４３
内のデ―タは表示されていない）に切換え、キ―ボ―ド
１２から順次入力される数字または英字をＣＲＴ１１の
画面の最下段（図４（ａ）の点線部４３）に表示し、さ
らに、キ―ボ―ド１２で改行キ―が押下された後この改
行キ―が押下される前までに入力されたデ―タ（または
デ―タ列）に基づいてＣＲＴ１１の画面に表示された項
目（１．ファイル名、２．コメント、３．エディタ）で
示されるモ―ドまたは終了モ―ドのうちいずれが選択さ
れたかを判定する。ここでは、各モ―ドは上記項目に付
された１〜３の数字または終了を示す英字「Ｅ」により
選択される。なお、自動シ―ケンス作成処理に入ったば
かりの時点では図４（ａ）の点線部４１および４２内に
は未だ何も表示されない。また、点線部４３内の改行マ
―クは便宜的に表示したものであり、実際上は表示され
ない。
【００１１】ステップ５１において１のファイル名登録
モ―ドが選択されたときは、ステップ５２に進む。そし
て、以後、改行キ―が押下されるまでのキ―入力デ―タ
を順次、ＣＲＴ１１の画面中、図４（ａ）の点線部４１
に表示するとともに、改行キ―が押下されると、それま
でに入力されたデ―タ（ここではＺ ＭＥＡＳＵＲＥ）
を現在作成しようとしている（または作成中の）動作シ
―ケンスのファイル名として外部メモリ３２のファイル
名エリアに登録し、その後、ステップ５１に戻る。な
お、このコマンド名は、装置を動作させる際、メ―カ設
定のコマンドと同列に扱われる。つまり、後述するよう
に、前述のコマンド待ち状態において、このファイル名
をキ―入力すると、装置はこのファイル名で作成された
動作シ―ケンスを実行する。
モ―ドが選択されたときは、ステップ５２に進む。そし
て、以後、改行キ―が押下されるまでのキ―入力デ―タ
を順次、ＣＲＴ１１の画面中、図４（ａ）の点線部４１
に表示するとともに、改行キ―が押下されると、それま
でに入力されたデ―タ（ここではＺ ＭＥＡＳＵＲＥ）
を現在作成しようとしている（または作成中の）動作シ
―ケンスのファイル名として外部メモリ３２のファイル
名エリアに登録し、その後、ステップ５１に戻る。な
お、このコマンド名は、装置を動作させる際、メ―カ設
定のコマンドと同列に扱われる。つまり、後述するよう
に、前述のコマンド待ち状態において、このファイル名
をキ―入力すると、装置はこのファイル名で作成された
動作シ―ケンスを実行する。
【００１２】また、ステップ５１において２のコマンド
登録モ―ドが選択されたときは、ステップ５３に進む。
ステップ５３では、以後、改行キ―が押下されるまでの
キ―入力デ―タを順次、ＣＲＴ１１の画面中、図４
（ａ）の点線部４２に表示するとともに、改行キ―が押
下されると、それまでに入力されたデ―タを現在作成し
ようとしているかまたは作成中の動作シ―ケンスのコメ
ント、つまり注意書きとして外部メモリ３２のコメント
エリアに登録し、その後、ステップ５１に戻る。なお、
このコメントは上記ファイル名をコマンドとして使用す
る際、何ら影響しない。
登録モ―ドが選択されたときは、ステップ５３に進む。
ステップ５３では、以後、改行キ―が押下されるまでの
キ―入力デ―タを順次、ＣＲＴ１１の画面中、図４
（ａ）の点線部４２に表示するとともに、改行キ―が押
下されると、それまでに入力されたデ―タを現在作成し
ようとしているかまたは作成中の動作シ―ケンスのコメ
ント、つまり注意書きとして外部メモリ３２のコメント
エリアに登録し、その後、ステップ５１に戻る。なお、
このコメントは上記ファイル名をコマンドとして使用す
る際、何ら影響しない。
【００１３】また、ステップ５１において３のエディタ
モ―ドが選択されたときは、ステップ５４に進む。この
エディタモ―ドは、新たな動作シ―ケンスを作成した
り、現在作成中の動作シ―ケンスを訂正するためのモ―
ドである。ステップ５４では、ＣＲＴ１１の画面表示を
図４（ｂ）のもの（但し、点線部４４内のデ―タは表示
されていない）に切換え、キ―ボ―ド１２から順次入力
される数字または英字を点線部４４に表示し、さらに、
キ―ボ―ド１２で改行キ―が押下された後、上記点線部
４４の表示デ―タがコマンドのステップナンバを示すＳ
１、Ｓ２、…および終了を示す英字「Ｅ」のいずれであ
るかを判定する。もし、ステップナンバが入力されてい
れば、ステップ５５に進む。ステップ５５ではキ―ボ―
ド１２から入力されるコマンドを上記キ―入力により指
定されたステップナンバのコマンドとして図４（ｃ）の
ようにＣＲＴ１１に表示するとともに外部メモリ３２に
記憶させた後、ステップ５４に戻る。このステップ５４
と５５を繰返すことにより、図４（ｃ）に示すような一
連の動作シ―ケンスが作成される。また、既にコマンド
が書込まれているステップナンバを指定して新たなコマ
ンドをキ―入力すれば、動作シ―ケンスを訂正すること
ができる。このエディタモ―ドは、ステップ５４におい
て、キ―ボ―ド１２から「Ｅ」が入力されると終了し、
処理はステップ５１に戻る。このステップ５１における
ＣＲＴ１１の表示は前述の図４（ａ）に示すものであ
る。
モ―ドが選択されたときは、ステップ５４に進む。この
エディタモ―ドは、新たな動作シ―ケンスを作成した
り、現在作成中の動作シ―ケンスを訂正するためのモ―
ドである。ステップ５４では、ＣＲＴ１１の画面表示を
図４（ｂ）のもの（但し、点線部４４内のデ―タは表示
されていない）に切換え、キ―ボ―ド１２から順次入力
される数字または英字を点線部４４に表示し、さらに、
キ―ボ―ド１２で改行キ―が押下された後、上記点線部
４４の表示デ―タがコマンドのステップナンバを示すＳ
１、Ｓ２、…および終了を示す英字「Ｅ」のいずれであ
るかを判定する。もし、ステップナンバが入力されてい
れば、ステップ５５に進む。ステップ５５ではキ―ボ―
ド１２から入力されるコマンドを上記キ―入力により指
定されたステップナンバのコマンドとして図４（ｃ）の
ようにＣＲＴ１１に表示するとともに外部メモリ３２に
記憶させた後、ステップ５４に戻る。このステップ５４
と５５を繰返すことにより、図４（ｃ）に示すような一
連の動作シ―ケンスが作成される。また、既にコマンド
が書込まれているステップナンバを指定して新たなコマ
ンドをキ―入力すれば、動作シ―ケンスを訂正すること
ができる。このエディタモ―ドは、ステップ５４におい
て、キ―ボ―ド１２から「Ｅ」が入力されると終了し、
処理はステップ５１に戻る。このステップ５１における
ＣＲＴ１１の表示は前述の図４（ａ）に示すものであ
る。
【００１４】ステップ５１において、キ―ボ―ド１２か
ら「Ｅ」が入力されたとき（図４（ｄ））は、終了モ―
ドが選択されたときである。この場合は、ステップ５６
に進み、自動シ―ケンス作成処理を終了する。
ら「Ｅ」が入力されたとき（図４（ｄ））は、終了モ―
ドが選択されたときである。この場合は、ステップ５６
に進み、自動シ―ケンス作成処理を終了する。
【００１５】この装置において、自動シ―ケンスを作成
する際の操作を示すと以下の通りである。 装置のコマンド待ち状態においてキ―ボ―ド１２よ
り自動シ―ケンス作成コマンド（ＡＳ）を入力する。 ＣＲＴ１１への表示（図４（ａ））に従って、キ―
ボ―ド１２で「３」を入力し、エディタモ―ドを選択す
る。 ＣＲＴ１１への表示（図４（ｂ））を見ながら、キ
―ボ―ド１２を操作してステップナンバおよび該ステッ
プナンバにおけるコマンドを必要数だけ繰返し入力す
る。 上記キ―入力の結果、所望の動作シ―ケンスが完成
したことをＣＲＴ１１への表示（図４（ｃ））により確
認したら、キ―ボ―ド１２より「Ｅ」を入力し、エディ
タモ―ドを終了する。 ＣＲＴ表示が図４（ａ）に示す状態において、キ―
ボ―ド１２より「１」を入力し、さらにファイル名を入
力して完成した動作シ―ケンスのファイル名を登録す
る。 ＣＲＴ表示が図４（ａ）に示す状態において、キ―
ボ―ド１２より「２」を入力し、さらにコメントを入力
してこのファイルのコメントを登録する。 最後に、ＣＲＴ表示が図４（ａ）に示す状態のとき
キ―ボ―ド１２より「Ｅ」を入力し、この自動シ―ケン
ス作成モ―ドを終了する。 なお、上記〜の操作、の操作、およびの操作の
順序は相前後してもよい。また、の操作は省略するこ
ともできる。
する際の操作を示すと以下の通りである。 装置のコマンド待ち状態においてキ―ボ―ド１２よ
り自動シ―ケンス作成コマンド（ＡＳ）を入力する。 ＣＲＴ１１への表示（図４（ａ））に従って、キ―
ボ―ド１２で「３」を入力し、エディタモ―ドを選択す
る。 ＣＲＴ１１への表示（図４（ｂ））を見ながら、キ
―ボ―ド１２を操作してステップナンバおよび該ステッ
プナンバにおけるコマンドを必要数だけ繰返し入力す
る。 上記キ―入力の結果、所望の動作シ―ケンスが完成
したことをＣＲＴ１１への表示（図４（ｃ））により確
認したら、キ―ボ―ド１２より「Ｅ」を入力し、エディ
タモ―ドを終了する。 ＣＲＴ表示が図４（ａ）に示す状態において、キ―
ボ―ド１２より「１」を入力し、さらにファイル名を入
力して完成した動作シ―ケンスのファイル名を登録す
る。 ＣＲＴ表示が図４（ａ）に示す状態において、キ―
ボ―ド１２より「２」を入力し、さらにコメントを入力
してこのファイルのコメントを登録する。 最後に、ＣＲＴ表示が図４（ａ）に示す状態のとき
キ―ボ―ド１２より「Ｅ」を入力し、この自動シ―ケン
ス作成モ―ドを終了する。 なお、上記〜の操作、の操作、およびの操作の
順序は相前後してもよい。また、の操作は省略するこ
ともできる。
【００１６】図５は上述のようにして作成した動作シ―
ケンスを実行する際の処理を示す。上記コマンド入力待
ち状態において、ファイル名（例えば上記「Ｚ ＭＥＡ
ＳＵＲＥ」を入力すると、先ず、コンソ―ルＣＰＵ３１
が外部メモリ３２に格納されているファイル名を検索
し、該当するファイルに書き込まれているデ―タを読出
す。これにより、露光装置における自動動作シ―ケンス
実行処理を開始する。
ケンスを実行する際の処理を示す。上記コマンド入力待
ち状態において、ファイル名（例えば上記「Ｚ ＭＥＡ
ＳＵＲＥ」を入力すると、先ず、コンソ―ルＣＰＵ３１
が外部メモリ３２に格納されているファイル名を検索
し、該当するファイルに書き込まれているデ―タを読出
す。これにより、露光装置における自動動作シ―ケンス
実行処理を開始する。
【００１７】この処理においては、コンソ―ルＣＰＵ３
１が外部メモリ３２から１ライン分ずつのデ―タを読出
して解析し（ステップ６１，６２）、この解析結果に応
じて以下の処理を行なう。すなわち、上記デ―タがコマ
ンドであれば、そのコマンドを本体ＣＰＵ２１に送信し
た後（ステップ６３）、本体ＣＰＵ２１から該コマンド
処理実行終了コ―ドが送信されるまで待機する（ステッ
プ６４）。これに対し、本体ＣＰＵ２１では、コンソ―
ルＣＰＵ３１から受信したコマンドに従って露光装置各
部を制御するとともに、コマンドの実行状況に応じて該
当するコマンド処理の実行終了コ―ドをコンソ―ルＣＰ
Ｕ３１に送信する。これは、本体ＣＰＵ２１とコンソ―
ルＣＰＵ３１とを同期させるためである。ステップ６４
で待機中のコンソ―ルＣＰＵ３１は、本体ＣＰＵ２１か
らのコマンド処理実行終了コ―ドを受信するとステップ
６１に戻って、次ラインのデ―タ読出を行なう。
１が外部メモリ３２から１ライン分ずつのデ―タを読出
して解析し（ステップ６１，６２）、この解析結果に応
じて以下の処理を行なう。すなわち、上記デ―タがコマ
ンドであれば、そのコマンドを本体ＣＰＵ２１に送信し
た後（ステップ６３）、本体ＣＰＵ２１から該コマンド
処理実行終了コ―ドが送信されるまで待機する（ステッ
プ６４）。これに対し、本体ＣＰＵ２１では、コンソ―
ルＣＰＵ３１から受信したコマンドに従って露光装置各
部を制御するとともに、コマンドの実行状況に応じて該
当するコマンド処理の実行終了コ―ドをコンソ―ルＣＰ
Ｕ３１に送信する。これは、本体ＣＰＵ２１とコンソ―
ルＣＰＵ３１とを同期させるためである。ステップ６４
で待機中のコンソ―ルＣＰＵ３１は、本体ＣＰＵ２１か
らのコマンド処理実行終了コ―ドを受信するとステップ
６１に戻って、次ラインのデ―タ読出を行なう。
【００１８】また、ステップ６１で読出したデ―タがコ
マンドの繰返し実行を表わすステ―トメント「ＬＯＯ
Ｐ」であれば、ステップ６５に進んでル―プ処理を実行
する。このル―プ処理は、繰返して実行すべきコマンド
（またはコマンド群）が記載されているステップナンバ
範囲と繰返し回数とを記憶し、上記１ラインを読出す際
のいわばライン（またはステップナンバ）ポインタとも
いうべきカウンタをセットするものである。
マンドの繰返し実行を表わすステ―トメント「ＬＯＯ
Ｐ」であれば、ステップ６５に進んでル―プ処理を実行
する。このル―プ処理は、繰返して実行すべきコマンド
（またはコマンド群）が記載されているステップナンバ
範囲と繰返し回数とを記憶し、上記１ラインを読出す際
のいわばライン（またはステップナンバ）ポインタとも
いうべきカウンタをセットするものである。
【００１９】例えば、図４（ｃ）に示す動作シ―ケンス
を実行する場合について説明すると、ステップナンバＳ
１のデ―タは、ステ―トメント「ＬＯＯＰ」であるか
ら、繰返して実行すべきコマンドが記載されているステ
ップナンバ範囲Ｓ２〜Ｓ３および繰返し回数１０をコン
ソ―ルＣＰＵ３１内のＲＡＭエリアに記憶しておく。そ
して、次のステップナンバＳ２からＳ３の間の読出処理
（ステップ６３，６４実行）の際、ステップナンバＳ３
の実行回数を計数してこれが１０回未満であれば、上記
カウンタをステップナンバＳ３からステップナンバＳ２
に戻し、１０回になって初めて、ステップナンバＳ３か
ら次のステップナンバＳ４に進める。
を実行する場合について説明すると、ステップナンバＳ
１のデ―タは、ステ―トメント「ＬＯＯＰ」であるか
ら、繰返して実行すべきコマンドが記載されているステ
ップナンバ範囲Ｓ２〜Ｓ３および繰返し回数１０をコン
ソ―ルＣＰＵ３１内のＲＡＭエリアに記憶しておく。そ
して、次のステップナンバＳ２からＳ３の間の読出処理
（ステップ６３，６４実行）の際、ステップナンバＳ３
の実行回数を計数してこれが１０回未満であれば、上記
カウンタをステップナンバＳ３からステップナンバＳ２
に戻し、１０回になって初めて、ステップナンバＳ３か
ら次のステップナンバＳ４に進める。
【００２０】また、ステップ６１で読出したデ―タがス
テ―トメント「ＥＮＤ」であれば、このステ―トメント
「ＥＮＤ」は動作シ―ケンスが終了したことを示すか
ら、ステップ６６に進んで、この動作シ―ケンス実行処
理を終了する。
テ―トメント「ＥＮＤ」であれば、このステ―トメント
「ＥＮＤ」は動作シ―ケンスが終了したことを示すか
ら、ステップ６６に進んで、この動作シ―ケンス実行処
理を終了する。
【００２１】従って、この露光装置においては、前述の
コマンド入力待ち状態で、キ―ボ―ド１２よりコマンド
としてファイル名「Ｚ ＭＥＡＳＵＲＥ」を入力する
と、図４（ｃ）に示す動作シ―ケンスを実行する。つま
り、図６に示すように、Ｚステ―ジを０．５μｍ上昇さ
せて（ステップナンバＳ２）はフォ―カス検出装置２７
で計測したウエハ４の位置（ｚ座標）をＣＲＴ１１に表
示する（ステップナンバＳ３）という動作を１０回繰返
した（ステップナンバＳ１）後、動作を終了する（ステ
ップナンバＳ４）。
コマンド入力待ち状態で、キ―ボ―ド１２よりコマンド
としてファイル名「Ｚ ＭＥＡＳＵＲＥ」を入力する
と、図４（ｃ）に示す動作シ―ケンスを実行する。つま
り、図６に示すように、Ｚステ―ジを０．５μｍ上昇さ
せて（ステップナンバＳ２）はフォ―カス検出装置２７
で計測したウエハ４の位置（ｚ座標）をＣＲＴ１１に表
示する（ステップナンバＳ３）という動作を１０回繰返
した（ステップナンバＳ１）後、動作を終了する（ステ
ップナンバＳ４）。
【００２２】従来の装置において、このようにＺステ―
ジを０．５μｍずつ上昇させてエアフォ―カス検出装置
２７でＺステ―ジ位置を計測しコンソ―ル表示しようと
すれば、オペレ―タが付きっきりで、コマンド入力待ち
状態において先ずコマンド「ＺＤ」を入力し、その露光
装置がＺ駆動を終了してコマンド入力待ち状態に戻った
ことを確認した後、コマンド「ＦＣ」を入力するという
ようなキ―入力操作を１０回繰返す必要があった。
ジを０．５μｍずつ上昇させてエアフォ―カス検出装置
２７でＺステ―ジ位置を計測しコンソ―ル表示しようと
すれば、オペレ―タが付きっきりで、コマンド入力待ち
状態において先ずコマンド「ＺＤ」を入力し、その露光
装置がＺ駆動を終了してコマンド入力待ち状態に戻った
ことを確認した後、コマンド「ＦＣ」を入力するという
ようなキ―入力操作を１０回繰返す必要があった。
【００２３】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ユ―ザ
サイドでユ―ザの希望する動作シ―ケンスを１つのコマ
ンドとして登録し実行することができるため、従来極め
て面倒であった操作、例えば処理装置の半導体製造装置
のＺ駆動装置の精度検査や駆動量較正における各動作の
指令操作をいちいち行う必要なく、所望のシーケンスお
よびタイミングによる一連の動作を、１つのコマンドを
入力するという極めて簡単な操作だけで装置に自動的に
行なわせることができ、処理装置の使い勝手を格段に向
上させることができる。
サイドでユ―ザの希望する動作シ―ケンスを１つのコマ
ンドとして登録し実行することができるため、従来極め
て面倒であった操作、例えば処理装置の半導体製造装置
のＺ駆動装置の精度検査や駆動量較正における各動作の
指令操作をいちいち行う必要なく、所望のシーケンスお
よびタイミングによる一連の動作を、１つのコマンドを
入力するという極めて簡単な操作だけで装置に自動的に
行なわせることができ、処理装置の使い勝手を格段に向
上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
斜視図である。
斜視図である。
【図２】 図１の装置の電気回路構成図である。
【図３】 図１の装置の動作を説明するためのフロ―チ
ャ―トである。
ャ―トである。
【図４】 図１の装置におけるＣＲＴの表示画面例を示
す図である。
す図である。
【図５】 図１の装置の動作を説明するための別のフロ
―チャ―トである。
―チャ―トである。
【図６】 図１の装置の動作を説明するためのさらに別
のフロ―チャ―トである。
のフロ―チャ―トである。
１１：モニタ用ＣＲＴ、１２：キ―ボ―ド、２１：本体
ＣＰＵ、３０：コンソ―ルＣＰＵ、３４：外部メモリ。
ＣＰＵ、３０：コンソ―ルＣＰＵ、３４：外部メモリ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５１６ (72)発明者 綾田 直樹 神奈川県川崎市中原区今井上町53番地キヤ ノン株式会社小杉事業所内
Claims (2)
- 【請求項１】 コンソールからの動作指令に従って動作
する処理装置のシーケンス制御方法において、コンソー
ル側ＣＰＵの制御の下で複数の動作指令及びその動作指
令の実行タイミングを動作シーケンス入力手段を介して
入力するステップと、前記入力ステップでユーザ作成シ
ーケンスとして入力された動作指令／実行タイミング列
を１つのコマンドとしてそのファイル名と共に記憶手段
に記憶するステップと、前記記憶ステップで記憶された
ファイル名が動作指令入力手段を介して指定されたと
き、そのファイル名で作成されたユーザ作成シーケンス
を処理装置側ＣＰＵの制御の下で前記処理装置に実行さ
せるために、そのファイル内の動作指令を実行タイミン
グごとに読出して前記コンソール側ＣＰＵから前記処理
装置側ＣＰＵに送信するステップを有することを特徴と
するシーケンス制御方法。 - 【請求項２】 前記動作シーケンス入力手段と前記動作
指令入力手段を兼用したことを特徴とする請求項１記載
のシーケンス制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6107398A JPH07311607A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | シーケンス制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6107398A JPH07311607A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | シーケンス制御方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60164798A Division JPS6225417A (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07311607A true JPH07311607A (ja) | 1995-11-28 |
Family
ID=14458142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6107398A Pending JPH07311607A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | シーケンス制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07311607A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7615961B2 (en) | 2006-05-11 | 2009-11-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Control device for stepping motor |
| WO2021005691A1 (ja) * | 2019-07-08 | 2021-01-14 | 三菱電機株式会社 | 制御装置、プログラム監視方法及びプログラム |
| JP2022029899A (ja) * | 2020-08-06 | 2022-02-18 | オムロン株式会社 | 制御システム、制御装置およびプログラム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58221405A (ja) * | 1982-06-16 | 1983-12-23 | Omron Tateisi Electronics Co | プログラマブル・コントロ−ラ |
-
1994
- 1994-04-25 JP JP6107398A patent/JPH07311607A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58221405A (ja) * | 1982-06-16 | 1983-12-23 | Omron Tateisi Electronics Co | プログラマブル・コントロ−ラ |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7615961B2 (en) | 2006-05-11 | 2009-11-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Control device for stepping motor |
| WO2021005691A1 (ja) * | 2019-07-08 | 2021-01-14 | 三菱電機株式会社 | 制御装置、プログラム監視方法及びプログラム |
| JPWO2021005691A1 (ja) * | 2019-07-08 | 2021-09-13 | 三菱電機株式会社 | 制御装置、プログラム監視方法及びプログラム |
| JP2022029899A (ja) * | 2020-08-06 | 2022-02-18 | オムロン株式会社 | 制御システム、制御装置およびプログラム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060404 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |