JPH0731260B2 - 水平移動装置 - Google Patents
水平移動装置Info
- Publication number
- JPH0731260B2 JPH0731260B2 JP62138902A JP13890287A JPH0731260B2 JP H0731260 B2 JPH0731260 B2 JP H0731260B2 JP 62138902 A JP62138902 A JP 62138902A JP 13890287 A JP13890287 A JP 13890287A JP H0731260 B2 JPH0731260 B2 JP H0731260B2
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- Japan
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- movement
- moving
- horizontal
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は半導体装置，プリント基板製造用露光装置等
に用いられるレチクルの移動及び光学顕微鏡や透過型電
子顕微鏡における試料台移動、その他各種測定機の移動
等、精密機器の水平移動装置に関するものである。
に用いられるレチクルの移動及び光学顕微鏡や透過型電
子顕微鏡における試料台移動、その他各種測定機の移動
等、精密機器の水平移動装置に関するものである。
［従来の技術］ 第３図はプリント基板製造用の露光装置におけるパター
ン投影のための鏡筒部分の概略を示す図である。また、
第４図（ａ）はこの第３図のプリント基板製造用の露光
装置におけるレチクルの水平移動装置の詳細を示す平面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）の側面図である。
ン投影のための鏡筒部分の概略を示す図である。また、
第４図（ａ）はこの第３図のプリント基板製造用の露光
装置におけるレチクルの水平移動装置の詳細を示す平面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）の側面図である。
第４図において、１は基台であり、この基台１の上に移
動台２とこの移動台２にレクチル５を載置した状態で、
レチクル５と移動台２の「自重」のみだと、外部の振動
や装置そのものの振動等により移動台２が基台１に対し
て上方向へ跳び上がる可能性があり、その結果、上方へ
の位置ずれにより、例えば「ピンボケ」等の不具合が生
ずる。このため、板バネ６で移動台２を押さえている。
動台２とこの移動台２にレクチル５を載置した状態で、
レチクル５と移動台２の「自重」のみだと、外部の振動
や装置そのものの振動等により移動台２が基台１に対し
て上方向へ跳び上がる可能性があり、その結果、上方へ
の位置ずれにより、例えば「ピンボケ」等の不具合が生
ずる。このため、板バネ６で移動台２を押さえている。
また、この移動台２の駆動機構３は例えば軸受７と駆動
ネジ８とより成り、移動伝達体４は例えば軸受７をスラ
イドする軸部９と押圧部10と、ボールやローラ等の単動
体4bとよりなり、この駆動機構３をＸ軸方向とＹ軸方向
との２方向に設けるとともに、クッション機構11として
スプリング12に押さえられたローラ13を設けて、Ｘ軸方
向とＹ軸方向とスプリング12の弾性とによって、水平移
動や位置決めを行う。尚、14はスプリング保持部材であ
る。
ネジ８とより成り、移動伝達体４は例えば軸受７をスラ
イドする軸部９と押圧部10と、ボールやローラ等の単動
体4bとよりなり、この駆動機構３をＸ軸方向とＹ軸方向
との２方向に設けるとともに、クッション機構11として
スプリング12に押さえられたローラ13を設けて、Ｘ軸方
向とＹ軸方向とスプリング12の弾性とによって、水平移
動や位置決めを行う。尚、14はスプリング保持部材であ
る。
また、第５図は透過型電子顕微鏡における試料の水平移
動装置の要部の説明図で、21は基台であり、この基台21
上の移動台22はコイルバネ23で、基台21に押さえつけら
れている。基台21と移動台22との間には、例えばテフロ
ン系の硬質樹脂板からなる潤滑体24を設けて滑りを良く
している。尚、25は試料筒である。
動装置の要部の説明図で、21は基台であり、この基台21
上の移動台22はコイルバネ23で、基台21に押さえつけら
れている。基台21と移動台22との間には、例えばテフロ
ン系の硬質樹脂板からなる潤滑体24を設けて滑りを良く
している。尚、25は試料筒である。
［発明が解決しようとする問題点］ 上記のような従来の水平移動装置は移動台の押さえを各
種のバネで行っているので、例えば板バネの場合、滑り
摩擦力が大きかったり、またコイルバネの場合は、バネ
の横方向のたわみによる力が位置によって異なるために
精密な移動が円滑に行われないという問題があった。
種のバネで行っているので、例えば板バネの場合、滑り
摩擦力が大きかったり、またコイルバネの場合は、バネ
の横方向のたわみによる力が位置によって異なるために
精密な移動が円滑に行われないという問題があった。
この発明はかかる従来の問題点を解決するためになされ
たもので、移動量の比較的小さい移動機構において、移
動時の摩擦抵抗を小さくし、精度の高い移動が可能は水
平移動装置を提供することを目的とする。
たもので、移動量の比較的小さい移動機構において、移
動時の摩擦抵抗を小さくし、精度の高い移動が可能は水
平移動装置を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明の水平移動装置
は基台と、この基台上を移動する移動台と、前記基台に
設けられた駆動機構及びクッション機構と、この駆動機
構と前記移動台との間に配置された移動伝達体とよりな
り、かつ前記移動台と前記移動伝達体とは直接もしくは
各々の側面に固定されたブッシュを介して配置された転
動体とによって駆動力を伝達される構成を有し、さらに
前記転動体と接する移動台、駆動機構及び一対のブッシ
ュのなかから選択された要素の各面からなる組のうち少
なくとも一組の対向する面を相互に平行かつ傾斜させる
ことにより、駆動機構によって移動伝達体を移動台の方
向へ押したとき、クッション機構によるクッション作用
と協働して、常に移動台に重力方向への押圧力を加える
ように構成したものである。
は基台と、この基台上を移動する移動台と、前記基台に
設けられた駆動機構及びクッション機構と、この駆動機
構と前記移動台との間に配置された移動伝達体とよりな
り、かつ前記移動台と前記移動伝達体とは直接もしくは
各々の側面に固定されたブッシュを介して配置された転
動体とによって駆動力を伝達される構成を有し、さらに
前記転動体と接する移動台、駆動機構及び一対のブッシ
ュのなかから選択された要素の各面からなる組のうち少
なくとも一組の対向する面を相互に平行かつ傾斜させる
ことにより、駆動機構によって移動伝達体を移動台の方
向へ押したとき、クッション機構によるクッション作用
と協働して、常に移動台に重力方向への押圧力を加える
ように構成したものである。
［作用］ 上記の構成を有することにより、移動時の摩擦抵抗は小
さくなり、外部もしくは装置内部の振動に対しても、移
動台の上方への跳び上がりはなく、精度の高い水平移動
ができる。
さくなり、外部もしくは装置内部の振動に対しても、移
動台の上方への跳び上がりはなく、精度の高い水平移動
ができる。
［実施例］ 第１図はこの発明の水平移動装置の一実施例の主要部を
示した図である。第１図において、水平移動機構は基台
１と、この基台１上を摺動する移動台２と、基台１に設
けられた駆動機構３と、前記移動台２と前記駆動機構３
との間に配置された移動伝達体４とより成っている。そ
して、前記移動台２と移動伝達体“とのそれぞれの対向
面2aと4aとを、不図示の駆動機構によって移動伝達体４
を移動台２の方向へ押した時、クッション機構によるク
ッション作用と協働して、常に移動台２を重力方向（下
方）に押さえる分力が生ずる様な互いに平行な傾斜面に
形成するとともに、その対向面2a−4a間に転動体4bを配
置してなることを特徴とする。さらに詳細に説明すると
以下のようになる。転動体4bは、転動体保持レール15で
保持され、移動台２に固定されたブッシュ16と移動伝達
体４の側面4aに固定されたブッシュ17とに接する。ブッ
シュ16,17自体は転動体4bの例えばボールの硬さに負け
ないような硬鋼等でできており、このボールとボールの
保持とブッシュ16,17の組合せ自体は従来技術としても
使用されており既知であるが、前記の通り、対向面2a,4
aが傾斜しているから、ブッシュ16,17の面自体も両者平
行であって重力方向に傾斜しており、ボールが水平方向
に押されると、傾きの角度α゜に応じて重力方向へ所定
の大きさの力が加わる。また、面2a,4aの両者もしくは
一方が硬鋼の面でできていれば、ブッシュが不要の場合
もある。
示した図である。第１図において、水平移動機構は基台
１と、この基台１上を摺動する移動台２と、基台１に設
けられた駆動機構３と、前記移動台２と前記駆動機構３
との間に配置された移動伝達体４とより成っている。そ
して、前記移動台２と移動伝達体“とのそれぞれの対向
面2aと4aとを、不図示の駆動機構によって移動伝達体４
を移動台２の方向へ押した時、クッション機構によるク
ッション作用と協働して、常に移動台２を重力方向（下
方）に押さえる分力が生ずる様な互いに平行な傾斜面に
形成するとともに、その対向面2a−4a間に転動体4bを配
置してなることを特徴とする。さらに詳細に説明すると
以下のようになる。転動体4bは、転動体保持レール15で
保持され、移動台２に固定されたブッシュ16と移動伝達
体４の側面4aに固定されたブッシュ17とに接する。ブッ
シュ16,17自体は転動体4bの例えばボールの硬さに負け
ないような硬鋼等でできており、このボールとボールの
保持とブッシュ16,17の組合せ自体は従来技術としても
使用されており既知であるが、前記の通り、対向面2a,4
aが傾斜しているから、ブッシュ16,17の面自体も両者平
行であって重力方向に傾斜しており、ボールが水平方向
に押されると、傾きの角度α゜に応じて重力方向へ所定
の大きさの力が加わる。また、面2a,4aの両者もしくは
一方が硬鋼の面でできていれば、ブッシュが不要の場合
もある。
さらに、第２図はこの発明の他の実施例を示す水平移動
装置の主要部を表わす図で、第１図と同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。
装置の主要部を表わす図で、第１図と同一符号は同一ま
たは相当部分を示す。
第２図において、対向面2a,4aは重力方向と平行ではな
いが、ブッシュの対向面16a−17aが両者平行であって重
力方向に対して傾いている。このように転動体4bと接す
る対向面が平行であって、かつ重力方向に対して傾いて
いれば、第１図の装置と同等の効果を奏することができ
る。つまり、転動体4bと接する対向面の組合せとして
は、面2aと4a,面2aと17a,面16aと4a,面16aと17aの４組
が代表的に例示できる。
いが、ブッシュの対向面16a−17aが両者平行であって重
力方向に対して傾いている。このように転動体4bと接す
る対向面が平行であって、かつ重力方向に対して傾いて
いれば、第１図の装置と同等の効果を奏することができ
る。つまり、転動体4bと接する対向面の組合せとして
は、面2aと4a,面2aと17a,面16aと4a,面16aと17aの４組
が代表的に例示できる。
尚、第１図の装置において、水平移動に際して軸部９
（第４図参照）が水平面内で、左右に鋼性が不足の場合
は、この軸部９に代えて、クロスローラガイド等の直線
移動要素にすると良い。
（第４図参照）が水平面内で、左右に鋼性が不足の場合
は、この軸部９に代えて、クロスローラガイド等の直線
移動要素にすると良い。
以上のように、この発明においては、移動台を押さえる
上方から板バネやコイルバネを使用しないで移動台と移
動伝達体の間に入れる転動体０（ボールまたはローラ）
のそれぞれへの接面が移動体を重力方向に押さえる力が
生じる様な傾斜面としたことにある。
上方から板バネやコイルバネを使用しないで移動台と移
動伝達体の間に入れる転動体０（ボールまたはローラ）
のそれぞれへの接面が移動体を重力方向に押さえる力が
生じる様な傾斜面としたことにある。
［発明の効果］ 以上説明したとおり、この発明は移動時の摩擦抵抗を小
さくし、しかも外部振動、装置自体の振動があっても移
動台が上方へ跳び上がることもないから、精度の高い水
平移動機構となる。従って、移動量は比較的小さいが、
高い精度の要求される前記用途の水平移動機構に適した
ものが提供できる。
さくし、しかも外部振動、装置自体の振動があっても移
動台が上方へ跳び上がることもないから、精度の高い水
平移動機構となる。従って、移動量は比較的小さいが、
高い精度の要求される前記用途の水平移動機構に適した
ものが提供できる。
第１図はこの発明の水平移動装置の一実施例の主要部を
示した図、第２図はこの発明の他の実施例を示す水平移
動装置の主要部を表わす図、第３図はプリント基板製造
用の露光装置におけるパターン投影のための鏡筒部分の
概略を示す図、第４図（ａ）は第３図のプリント基板製
造用の露光装置におけるレチクルの水平移動装置の詳細
を示す平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）の側面図、第５
図は透過型電子顕微鏡における試料の水平移動装置の要
部の説明図である。 図中． 1:基台、2:移動台 3:駆動機構、4:移動伝達体 4b:転動体、16,17:ブッシュ
示した図、第２図はこの発明の他の実施例を示す水平移
動装置の主要部を表わす図、第３図はプリント基板製造
用の露光装置におけるパターン投影のための鏡筒部分の
概略を示す図、第４図（ａ）は第３図のプリント基板製
造用の露光装置におけるレチクルの水平移動装置の詳細
を示す平面図、同図（ｂ）は同図（ａ）の側面図、第５
図は透過型電子顕微鏡における試料の水平移動装置の要
部の説明図である。 図中． 1:基台、2:移動台 3:駆動機構、4:移動伝達体 4b:転動体、16,17:ブッシュ
Claims (1)
- 【請求項１】基台と、この基台上を移動する移動台と、
前記基台に設けられた駆動機構及びクッション機構と、
前記駆動機構と前記移動台との間に配置された移動伝達
体とよりなり、かつ前記移動台と前記移動伝達体とは直
接もしくは各々の側面に固定されたブッシュを介して配
置された転動体とによって駆動力を伝達される構成を有
し、さらに、前記転動体と接する移動台、駆動機構及び
一対のブッシュのなかから選択された要素の各面からな
る一組の対向する面を相互に平行かつ傾斜させることに
より、駆動機構によって移動伝達体を移動台の方向へ押
したとき、クッション機構によるクッション作用と協働
して、常に移動台に重力方向への押圧力を加える構成と
したことを特徴とする水平移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62138902A JPH0731260B2 (ja) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | 水平移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62138902A JPH0731260B2 (ja) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | 水平移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63304219A JPS63304219A (ja) | 1988-12-12 |
| JPH0731260B2 true JPH0731260B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=15232798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62138902A Expired - Fee Related JPH0731260B2 (ja) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | 水平移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731260B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT510799B1 (de) * | 2010-11-29 | 2012-12-15 | Leica Microsystems Schweiz Ag | Halterung für einen elektronenmikroskopischen probenträger |
-
1987
- 1987-06-04 JP JP62138902A patent/JPH0731260B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63304219A (ja) | 1988-12-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |