JPH0738031B2 - 水平移動装置 - Google Patents
水平移動装置Info
- Publication number
- JPH0738031B2 JPH0738031B2 JP62224000A JP22400087A JPH0738031B2 JP H0738031 B2 JPH0738031 B2 JP H0738031B2 JP 62224000 A JP62224000 A JP 62224000A JP 22400087 A JP22400087 A JP 22400087A JP H0738031 B2 JPH0738031 B2 JP H0738031B2
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- roller
- moving
- drive mechanism
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は半導体装置，プリント基盤製造用露光装置等
に用いられるレチクルの移動及び光学顕微鏡や透過型電
子顕微鏡における試料台移動、その他各種測定機の移動
等、精密機器の水平移動装置に関するものである。
に用いられるレチクルの移動及び光学顕微鏡や透過型電
子顕微鏡における試料台移動、その他各種測定機の移動
等、精密機器の水平移動装置に関するものである。
［従来の技術］ 第５図はプリント基板製造用の露光装置におけるパター
ン投影のための鏡筒部分の概略を示す図である。また、
第６図（ａ）はこの第５図のプリント基板製造用の露光
装置におけるレチクルの水平移動装置の詳細を示す平面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）の側面図である。
ン投影のための鏡筒部分の概略を示す図である。また、
第６図（ａ）はこの第５図のプリント基板製造用の露光
装置におけるレチクルの水平移動装置の詳細を示す平面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）の側面図である。
第６図において、１は基台であり、この基台１の上に移
動台２とこの移動台２にレチクル５を載置した状態で、
レチクル５と移動台２の「自重」のみだと、外部の振動
や装置そのものの振動により移動台２が基台１に対して
上方向へ跳び上がる可能性があり、その結果、上方への
位置ずれにより、例えば「ピンボケ」等の不具合が生ず
る。このため、板バネ６の移動台２を押さえている。
動台２とこの移動台２にレチクル５を載置した状態で、
レチクル５と移動台２の「自重」のみだと、外部の振動
や装置そのものの振動により移動台２が基台１に対して
上方向へ跳び上がる可能性があり、その結果、上方への
位置ずれにより、例えば「ピンボケ」等の不具合が生ず
る。このため、板バネ６の移動台２を押さえている。
また、この移動台２の駆動機構３は例えば軸受７、駆動
ネジ８、軸受７をスライドする軸部９、押圧部10及び、
この押圧部10に設けらえたローラ４とよりなり、この駆
動機構３をＸ軸方向とＹ軸方向との２方向に設けるとと
もに、スプリング機構11とスプリング12に押さえられた
ローラ４を設けて、Ｘ軸方向駆動機構、Ｙ軸方向駆動機
構とスプリング機構のスプリング12の弾性とによって水
平移動による位置決めを行う。尚、14はスプリング保持
部材、16は潤滑体である。
ネジ８、軸受７をスライドする軸部９、押圧部10及び、
この押圧部10に設けらえたローラ４とよりなり、この駆
動機構３をＸ軸方向とＹ軸方向との２方向に設けるとと
もに、スプリング機構11とスプリング12に押さえられた
ローラ４を設けて、Ｘ軸方向駆動機構、Ｙ軸方向駆動機
構とスプリング機構のスプリング12の弾性とによって水
平移動による位置決めを行う。尚、14はスプリング保持
部材、16は潤滑体である。
また、第７図は透過型電子顕微鏡における試料の水平移
動装置の要部の説明図で、21は基台であり、この基台21
上の移動台22はコイルバネ23で、基台21に押さえつけら
れている。基台21と移動台22との間には、例えばテフロ
ン系の硬質樹脂板からなる潤滑体24を設けて滑りを良く
している。尚、25は試料筒である。
動装置の要部の説明図で、21は基台であり、この基台21
上の移動台22はコイルバネ23で、基台21に押さえつけら
れている。基台21と移動台22との間には、例えばテフロ
ン系の硬質樹脂板からなる潤滑体24を設けて滑りを良く
している。尚、25は試料筒である。
［発明が解決しようとする問題点］ 上記のような従来の水平移動装置は移動台の押さえを各
種のバネで行っているので、例えば板バネの場合、滑り
摩擦力が大きかったり、またコイルバネの場合は、バネ
の横方向のたわみによる力が位置によって異なるために
精密な移動が円滑に行われないという問題があった。
種のバネで行っているので、例えば板バネの場合、滑り
摩擦力が大きかったり、またコイルバネの場合は、バネ
の横方向のたわみによる力が位置によって異なるために
精密な移動が円滑に行われないという問題があった。
この発明はかかる従来の問題点を解決するためになされ
たもので、移動時の摩擦抵抗を小さくし、精度の高い移
動が可能な水平移動装置を提供することを目的とする。
たもので、移動時の摩擦抵抗を小さくし、精度の高い移
動が可能な水平移動装置を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を解決するために、この発明の水平移動装置
は基台と、この基台上を移動する移動台と、前記基台に
に設けられた駆動機構及びスプリング機構と、この駆動
機構と前記移動台との間に配置されたローラよりなり、
このローラを前記駆動機構及びスプリング機構に設け、
ローラに接する前記移動台の面を光軸に対して傾斜させ
るか、又はローラを前記移動台に設け、ローラに接する
前記駆動機構及びスプリング機構の面を光軸に対して傾
斜させることにより、常に移動台に基台方向への押圧力
を加えるように構成したものである。
は基台と、この基台上を移動する移動台と、前記基台に
に設けられた駆動機構及びスプリング機構と、この駆動
機構と前記移動台との間に配置されたローラよりなり、
このローラを前記駆動機構及びスプリング機構に設け、
ローラに接する前記移動台の面を光軸に対して傾斜させ
るか、又はローラを前記移動台に設け、ローラに接する
前記駆動機構及びスプリング機構の面を光軸に対して傾
斜させることにより、常に移動台に基台方向への押圧力
を加えるように構成したものである。
［作用］ 上記の構成を有することにより、移動時の摩擦抵抗は小
さくない、外部もしくは装置内部の振動に対しても、移
動台の情報への跳び上がりはなく、精度の高い水平移動
ができる。
さくない、外部もしくは装置内部の振動に対しても、移
動台の情報への跳び上がりはなく、精度の高い水平移動
ができる。
［実施例］ 第１図はこの発明の水平移動装置の一実施例の主要部を
示した図である。第１図において、水平移動機構は基台
１と、この基台１上を摺動する移動台２と、基台１に設
けられた駆動機構３及びスプリング機構11と、前記移動
台２と前記移動機構３及びスプリング機構11との間に配
置されたローラ４とよりなっている。そして、このロー
ラ４を前記駆動機構３及びスプリング機構11に設け、こ
のローラ４の接する前記移動台２の面2aを常に移動台２
を基台方向（下方）に押さえる分力が生ずる様な傾斜面
に形成することを特徴とする。
示した図である。第１図において、水平移動機構は基台
１と、この基台１上を摺動する移動台２と、基台１に設
けられた駆動機構３及びスプリング機構11と、前記移動
台２と前記移動機構３及びスプリング機構11との間に配
置されたローラ４とよりなっている。そして、このロー
ラ４を前記駆動機構３及びスプリング機構11に設け、こ
のローラ４の接する前記移動台２の面2aを常に移動台２
を基台方向（下方）に押さえる分力が生ずる様な傾斜面
に形成することを特徴とする。
さらに第２図及び第３図はこの発明の他の実施例を示す
水平移動装置の主要部を表わす図で、第１図と同一符合
は同一または相当部分を示す。
水平移動装置の主要部を表わす図で、第１図と同一符合
は同一または相当部分を示す。
第２図は第１図に於けるローラ４を移動台２に設け、傾
斜面10aを駆動機構３に設けたものである。第３図，第
４図はそれぞれ第１図，第２図に対応したもので、軸を
垂直にし、外周を曲面にしたローラ４′である。第2,3,
4図共、第１図の装置と同等の効果を奏することができ
る。
斜面10aを駆動機構３に設けたものである。第３図，第
４図はそれぞれ第１図，第２図に対応したもので、軸を
垂直にし、外周を曲面にしたローラ４′である。第2,3,
4図共、第１図の装置と同等の効果を奏することができ
る。
尚、第１図の装置において、水平移動に際して軸部９
（第４図参照）が水平面内で、左右に剛性が不足の場合
は、この軸部９に代えて、クロスローラガイド等の直線
移動要素にすると良い。
（第４図参照）が水平面内で、左右に剛性が不足の場合
は、この軸部９に代えて、クロスローラガイド等の直線
移動要素にすると良い。
以上のように、この発明においては、移動台を上方から
押さえる板バネやコイルバネを使用しないで、移動台と
駆動機構の間に介在するローラが移動台または駆動機構
に接する面を、移動体を重力方向に押さえる力が生じる
様な傾斜面としたことにある。
押さえる板バネやコイルバネを使用しないで、移動台と
駆動機構の間に介在するローラが移動台または駆動機構
に接する面を、移動体を重力方向に押さえる力が生じる
様な傾斜面としたことにある。
［発明の効果］ 以上説明した通り、この発明は移動時の摩擦抵抗を小さ
くし、しかも外部振動、装置自体の振動があっても移動
台が上方へ跳び上がることもないから、精度の高い水平
移動機構となる。従って、高い精度の要求される前記用
途の水平移動機構に適したものが提供できる。
くし、しかも外部振動、装置自体の振動があっても移動
台が上方へ跳び上がることもないから、精度の高い水平
移動機構となる。従って、高い精度の要求される前記用
途の水平移動機構に適したものが提供できる。
第１図はこの発明の水平移動装置の一実施例の主要部を
示した図、第２図，第３図，第４図はこの発明の他の実
施例を示す水平移動装置の主要部を表わす図、第５図は
プリント基盤製造用の露光装置におけるパターン投影の
ための鏡筒部分の概略を示す図、第６図（ａ）はこの第
３図のプリント基盤製造用の露光装置におけるレチクル
の水平移動装置の詳細を示す平面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）の側面図、第７図は透過型電子顕微鏡における試
料の水平移動装置の要部の説明図である。 図中． 1:基台 2:移動台、2a,10a:傾斜面 3:駆動機構、4,4′：ローラ
示した図、第２図，第３図，第４図はこの発明の他の実
施例を示す水平移動装置の主要部を表わす図、第５図は
プリント基盤製造用の露光装置におけるパターン投影の
ための鏡筒部分の概略を示す図、第６図（ａ）はこの第
３図のプリント基盤製造用の露光装置におけるレチクル
の水平移動装置の詳細を示す平面図、同図（ｂ）は同図
（ａ）の側面図、第７図は透過型電子顕微鏡における試
料の水平移動装置の要部の説明図である。 図中． 1:基台 2:移動台、2a,10a:傾斜面 3:駆動機構、4,4′：ローラ
Claims (1)
- 【請求項１】基台と、この基台上を移動する移動台と、
前記基台に設けられた駆動機構及びスプリング機構と、
前記駆動機構及びスプリング機構と前記移動台との間に
配置されたローラとよりなり、このローラを前記駆動機
構及びスプリング機構に設け、ローラに接する前記移動
台の面を光軸に対して傾斜させるか、又はローラを前記
移動台に設け、ローラに接する前記駆動機構及びスプリ
ング機構の面を光軸に対して傾斜させることにより、常
に移動台に基台方向への押圧力を加える構成としたこと
ことを特徴とする水平移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62224000A JPH0738031B2 (ja) | 1987-09-09 | 1987-09-09 | 水平移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62224000A JPH0738031B2 (ja) | 1987-09-09 | 1987-09-09 | 水平移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6468690A JPS6468690A (en) | 1989-03-14 |
| JPH0738031B2 true JPH0738031B2 (ja) | 1995-04-26 |
Family
ID=16807018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62224000A Expired - Fee Related JPH0738031B2 (ja) | 1987-09-09 | 1987-09-09 | 水平移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0738031B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5427594B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-02-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
1987
- 1987-09-09 JP JP62224000A patent/JPH0738031B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6468690A (en) | 1989-03-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |