JPH07318475A - 水分計 - Google Patents
水分計Info
- Publication number
- JPH07318475A JPH07318475A JP11617794A JP11617794A JPH07318475A JP H07318475 A JPH07318475 A JP H07318475A JP 11617794 A JP11617794 A JP 11617794A JP 11617794 A JP11617794 A JP 11617794A JP H07318475 A JPH07318475 A JP H07318475A
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- Japan
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- flow rate
- gas flow
- gas
- moisture
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定対象と水分を含むガスの流量監視を極め
て容易になしうる水分計を提供する。 【構成】 熱線式流量計５で検出されたガス流量は電気
信号としてＡＤコンバータ７を介して制御手段８に入力
される。制御手段８は予めシステムに応じて設定された
規定流量と検出されたガス流量とを比較し、検出された
ガス流量が規定流量と異なる場合は、表示手段９にガス
流量が異常である旨表示させる。
て容易になしうる水分計を提供する。 【構成】 熱線式流量計５で検出されたガス流量は電気
信号としてＡＤコンバータ７を介して制御手段８に入力
される。制御手段８は予めシステムに応じて設定された
規定流量と検出されたガス流量とを比較し、検出された
ガス流量が規定流量と異なる場合は、表示手段９にガス
流量が異常である旨表示させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種工業プロセス等に
おけるガス中の水分を連続的に測定するための水分計に
関する。
おけるガス中の水分を連続的に測定するための水分計に
関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、各種工業プロセスにおけるガス
中の水分を連続的に測定する水分計は、例えば、ガス製
造工業、半導体工業、金属熱処理工業、石油化学工業、
窯業、生化学等の各分野において、煙道ガス等の水分管
理に用いられる。
中の水分を連続的に測定する水分計は、例えば、ガス製
造工業、半導体工業、金属熱処理工業、石油化学工業、
窯業、生化学等の各分野において、煙道ガス等の水分管
理に用いられる。
【０００３】かかる、水分計で測定される水分量は対象
となるガス流量に応じて変動するため、正確な水分量の
測定を行うためには、プラント等においてガス流路から
導入するガス流量を一定に保つ必要が生じる。
となるガス流量に応じて変動するため、正確な水分量の
測定を行うためには、プラント等においてガス流路から
導入するガス流量を一定に保つ必要が生じる。
【０００４】そこで、従来では、水分計のガス導入路に
図７に示すような面積式のガス流量計１１を配設し、測
定者の目視によるガス流量の監視が行われていた。この
面積式のガス流量計１１は、ガス流量に比例するガス圧
によって浮上したフロート１１ｃの高さをガラス窓１１
ａにつけた目盛り１１ｂを観察することでガス流量を測
定するものである。
図７に示すような面積式のガス流量計１１を配設し、測
定者の目視によるガス流量の監視が行われていた。この
面積式のガス流量計１１は、ガス流量に比例するガス圧
によって浮上したフロート１１ｃの高さをガラス窓１１
ａにつけた目盛り１１ｂを観察することでガス流量を測
定するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、面積式
のガス流量計１１を用いた場合、操作者が目視でガラス
窓に設けた目盛り１１ｂからガス流量を判断しなければ
ならないため、作業が煩雑になると共に、目盛り１１ｂ
から読み出したガス流量が正しいか否かの判断を行うに
は、常に基準となるガス流量を操作者が記憶しておかな
ければならず、ガス流量が異常であることを判断するの
も容易ではなかった。
のガス流量計１１を用いた場合、操作者が目視でガラス
窓に設けた目盛り１１ｂからガス流量を判断しなければ
ならないため、作業が煩雑になると共に、目盛り１１ｂ
から読み出したガス流量が正しいか否かの判断を行うに
は、常に基準となるガス流量を操作者が記憶しておかな
ければならず、ガス流量が異常であることを判断するの
も容易ではなかった。
【０００６】そこで、本発明は、上記課題を解決するた
めに創案されたもので、測定対象となる水分を含むガス
の流量監視を極めて容易になしうる水分計を提供するこ
とを目的とする。
めに創案されたもので、測定対象となる水分を含むガス
の流量監視を極めて容易になしうる水分計を提供するこ
とを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガス中の水分
を連続的に測定する水分計において、ガス流量に対応し
た電気信号を出力する流量計と、前記流量計の出力が予
め設定された規定流量に対応する値であるか否かを判断
する流量異常検知手段と、ガス流量が異常であること表
示する表示手段とを備え、ガス流量が規定値と異なった
場合に前記検知手段の出力によって表示手段を作動させ
ることを特徴とする。
を連続的に測定する水分計において、ガス流量に対応し
た電気信号を出力する流量計と、前記流量計の出力が予
め設定された規定流量に対応する値であるか否かを判断
する流量異常検知手段と、ガス流量が異常であること表
示する表示手段とを備え、ガス流量が規定値と異なった
場合に前記検知手段の出力によって表示手段を作動させ
ることを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の作用を図２に基づいて説明すると、熱
線式流量計５で検出されたガス流量は電気信号としてＡ
Ｄコンバータ７を介して制御手段８（流量異常検知手
段）に入力される。制御手段８は予め水分センサ３に応
じて設定された規定流量と検出されたガス流量とを比較
し、検出されたガス流量が規定流量と異なる場合は、表
示手段９にガス流量が異常である旨表示させる。
線式流量計５で検出されたガス流量は電気信号としてＡ
Ｄコンバータ７を介して制御手段８（流量異常検知手
段）に入力される。制御手段８は予め水分センサ３に応
じて設定された規定流量と検出されたガス流量とを比較
し、検出されたガス流量が規定流量と異なる場合は、表
示手段９にガス流量が異常である旨表示させる。
【０００９】
【実施例】本発明おける水分計の一実施例を図１〜図３
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１０】図１は本発明にかかる水分計の回路図の概
略を示し、１ａ，１ｂ，１ｃはそれぞれ試料ガス、乾燥
ガス、水分発生器に供給するための乾燥ガスのフローコ
ントローラで、手動または電動によってガスの流量調節
を行う。２ａ，２ｂ，２ｃはそれぞれ試料ガス、乾燥ガ
ス、水分発生器に供給するための乾燥ガスをバイパス出
口へ切り換え排出するための電磁弁で、オンの状態の時
にガスを水分センサに導き、オフのときガスをバイパス
出口に排出する。３は通過するガス中の水分量に応じて
振動数が変化する水晶振動式の水分センサである。
略を示し、１ａ，１ｂ，１ｃはそれぞれ試料ガス、乾燥
ガス、水分発生器に供給するための乾燥ガスのフローコ
ントローラで、手動または電動によってガスの流量調節
を行う。２ａ，２ｂ，２ｃはそれぞれ試料ガス、乾燥ガ
ス、水分発生器に供給するための乾燥ガスをバイパス出
口へ切り換え排出するための電磁弁で、オンの状態の時
にガスを水分センサに導き、オフのときガスをバイパス
出口に排出する。３は通過するガス中の水分量に応じて
振動数が変化する水晶振動式の水分センサである。
【００１１】ここで、水分量の測定を行う場合、まず電
磁弁２ａをオンに、電磁弁２ｂ，２ｃをオフにして試料
ガスのみ所定時間水晶発振子３を通過させてその振動数
を測定し、その後、電磁弁２ａをオフに、電磁弁２ｂを
オンに切り換えて乾燥ガスのみ所定時間水晶発振子３を
通過させ、再びその振動数を測定する。そして、両者の
振動数の差から不図示の制御手段８（図２）によって適
宜水分量が算出されその値が表示パネル４に表示され
る。
磁弁２ａをオンに、電磁弁２ｂ，２ｃをオフにして試料
ガスのみ所定時間水晶発振子３を通過させてその振動数
を測定し、その後、電磁弁２ａをオフに、電磁弁２ｂを
オンに切り換えて乾燥ガスのみ所定時間水晶発振子３を
通過させ、再びその振動数を測定する。そして、両者の
振動数の差から不図示の制御手段８（図２）によって適
宜水分量が算出されその値が表示パネル４に表示され
る。
【００１２】５は一定量の水分を乾燥ガスに添加するた
めの水分発生器で、水分センサ３の振動数と水分量との
間のデータ較正に用いられる。６は熱線式流量計で、通
過するガスを加熱し、入口と出口のガスの温度差からガ
ス流量の測定を行う。そして、測定されたガス流量は電
気信号としてＡ／Ｄコンバータ７を介して制御手段８へ
出力される（図２）。
めの水分発生器で、水分センサ３の振動数と水分量との
間のデータ較正に用いられる。６は熱線式流量計で、通
過するガスを加熱し、入口と出口のガスの温度差からガ
ス流量の測定を行う。そして、測定されたガス流量は電
気信号としてＡ／Ｄコンバータ７を介して制御手段８へ
出力される（図２）。
【００１３】図２は本発明にかかる水分計の特徴部分を
示すブロック図で、熱線式流量計５、フローコントロー
ラ１ａ，１ｂ，１ｃ及び電磁弁２ａ，２ｂ，２ｃは図１
と同じである。８は制御手段で、熱線式流量計５で計測
された流量信号をＡ／Ｄコンバータ７を介して取り込
み、ガス流量の監視等種々の動作を行う。９はＬＥＤ等
によって構成される表示手段で、測定されたガス流量が
異常である旨の表示を行う。１０は出力回路で、測定さ
れたガス流量が異常である場合に制御手段８から出力さ
れた信号を外部へ出力するための回路である。
示すブロック図で、熱線式流量計５、フローコントロー
ラ１ａ，１ｂ，１ｃ及び電磁弁２ａ，２ｂ，２ｃは図１
と同じである。８は制御手段で、熱線式流量計５で計測
された流量信号をＡ／Ｄコンバータ７を介して取り込
み、ガス流量の監視等種々の動作を行う。９はＬＥＤ等
によって構成される表示手段で、測定されたガス流量が
異常である旨の表示を行う。１０は出力回路で、測定さ
れたガス流量が異常である場合に制御手段８から出力さ
れた信号を外部へ出力するための回路である。
【００１４】次に、制御手段８の動作を図３のフローチ
ャートに基づいて説明すると、まず、熱線式流量計５よ
り測定されたガス流量信号を入力し（Ｓ１）、ガス流量
が規定流量であるか否かを確認する（Ｓ２）。ここで、
規定流量とは、水分量を検出する水分センサに応じて決
まる流量であり、予め不図示の設定手段等によって制御
手段８に設定されている。そして、ガス流量が規定流量
と異なる場合、表示手段９にガス流量が異常である旨表
示させる（Ｓ３）と共に、出力回路１０に所定の信号を
出力する（Ｓ４）。
ャートに基づいて説明すると、まず、熱線式流量計５よ
り測定されたガス流量信号を入力し（Ｓ１）、ガス流量
が規定流量であるか否かを確認する（Ｓ２）。ここで、
規定流量とは、水分量を検出する水分センサに応じて決
まる流量であり、予め不図示の設定手段等によって制御
手段８に設定されている。そして、ガス流量が規定流量
と異なる場合、表示手段９にガス流量が異常である旨表
示させる（Ｓ３）と共に、出力回路１０に所定の信号を
出力する（Ｓ４）。
【００１５】ここで、表示手段９には、「流量異常」等
の文字警告を大きく表示すると共に、規定流量と測定し
たガス流量との差の値をプライスマイナスを含めて表示
する。これにより、操作者に流量が異常であることを一
目で確認させることが出来ると共に、フローコントロー
ラ１ａ，１ｂ，１ｃが手動式である場合に、バルブの回
転量の目安を与えることが可能となる。さらに、制御手
段８に導入中のガスが試料ガスであるか乾燥ガスである
か等を認識さておけば、１ａ，１ｂ，１ｃのいずれのフ
ローコントローラを操作すればよいかも表示手段９に表
示させることができるため、流量異常時の対応操作がよ
り簡単なものとなる。なお、制御手段８に対して導入中
のガスが試料ガスであるか乾燥ガスであるかを認識させ
るには、例えば試料ガスまたは乾燥ガスの導入周期が既
知であることから、水分量の測定開始当初からの時間的
経過等から判断させたり、電磁弁２ａ，２ｂ，２ｃの開
閉制御を制御手段８に行わしめることによりその認識が
可能となる。
の文字警告を大きく表示すると共に、規定流量と測定し
たガス流量との差の値をプライスマイナスを含めて表示
する。これにより、操作者に流量が異常であることを一
目で確認させることが出来ると共に、フローコントロー
ラ１ａ，１ｂ，１ｃが手動式である場合に、バルブの回
転量の目安を与えることが可能となる。さらに、制御手
段８に導入中のガスが試料ガスであるか乾燥ガスである
か等を認識さておけば、１ａ，１ｂ，１ｃのいずれのフ
ローコントローラを操作すればよいかも表示手段９に表
示させることができるため、流量異常時の対応操作がよ
り簡単なものとなる。なお、制御手段８に対して導入中
のガスが試料ガスであるか乾燥ガスであるかを認識させ
るには、例えば試料ガスまたは乾燥ガスの導入周期が既
知であることから、水分量の測定開始当初からの時間的
経過等から判断させたり、電磁弁２ａ，２ｂ，２ｃの開
閉制御を制御手段８に行わしめることによりその認識が
可能となる。
【００１６】図４は、フローコントローラ１ａ，１ｂ，
１ｃとして電動式でかつ外部信号によりコントロール可
能なものを採用し、流量異常の場合のガス流量を自動で
コントロールする場合の制御手段８の動作を示すフロー
チャートである。まず、測定されたガスの流量信号を入
力し（Ｓ２１）、入力されたガス流量が上述した規定流
量であるか否かを判断し（Ｓ２２）、規定流量と異なる
場合は、現在ガス導入が行われているフローコントロー
ラ１ａ，１ｂ，１ｃのいずれかに駆動信号を与えバルブ
を所定量回転させ（Ｓ２３）、ガス流量が規定流量にな
るまで、これらの動作を繰り返す（Ｓ２１〜Ｓ２３）。
そして、フローコントローラの制御時間を監視し（Ｓ２
４）、所定時間たってもガス流量が規定流量にならない
場合はタイムオーバとして、図３で示したように、表示
手段９に流量異常表示を行わせる（Ｓ２５）。これによ
り、ガス流量の調整作業が大幅に軽減されるとともに、
ガス流量の異常監視をより的確に行うことができる。な
お、制御手段８に対して導入中のガスが試料ガスである
か乾燥ガスであるかを認識させる方法は前述した通りで
ある。
１ｃとして電動式でかつ外部信号によりコントロール可
能なものを採用し、流量異常の場合のガス流量を自動で
コントロールする場合の制御手段８の動作を示すフロー
チャートである。まず、測定されたガスの流量信号を入
力し（Ｓ２１）、入力されたガス流量が上述した規定流
量であるか否かを判断し（Ｓ２２）、規定流量と異なる
場合は、現在ガス導入が行われているフローコントロー
ラ１ａ，１ｂ，１ｃのいずれかに駆動信号を与えバルブ
を所定量回転させ（Ｓ２３）、ガス流量が規定流量にな
るまで、これらの動作を繰り返す（Ｓ２１〜Ｓ２３）。
そして、フローコントローラの制御時間を監視し（Ｓ２
４）、所定時間たってもガス流量が規定流量にならない
場合はタイムオーバとして、図３で示したように、表示
手段９に流量異常表示を行わせる（Ｓ２５）。これによ
り、ガス流量の調整作業が大幅に軽減されるとともに、
ガス流量の異常監視をより的確に行うことができる。な
お、制御手段８に対して導入中のガスが試料ガスである
か乾燥ガスであるかを認識させる方法は前述した通りで
ある。
【００１７】図５は、検出したガス流量が異常である場
合に、ガス流量の調節を行わず検出水分量の補正を行う
と共に、ガス流量の異常があった旨の表示を行う場合の
制御手段８の動作を示したフローチャートである。ま
ず、測定されたガスの流量信号を入力し（Ｓ３１）、入
力されたガス流量が上述した規定流量であるか否かを判
断し（Ｓ３２）、規定流量と異なる場合は、検出データ
である水分量の補正を行う（Ｓ３３）。例えば、所定の
水分濃度の標準ガスのガス流量を変化させ、それぞれの
ガス流量に対する水分量を検出して、上述した規定流量
のガスについて検出された水分量との比を予め補正係数
として求めておき、ガス流量が異常である場合に、検出
されたガス流量に該当する補正係数を水分量に乗ずるこ
とによって補正がなされる。図６はガス流量毎の補正係
数を示したものである。そして、補正を行った後、特定
のデータに対してガス流量の異常があり、測定された水
分量に補正が施されている旨を表示手段９に表示させる
（Ｓ３４）。これにより、ガス流量の異常がある場合で
も、ガス流量の調整が不要になると共に、検出されたデ
ータに補正が施された旨が明らかになるため、検出され
た水分量の信頼性についての判断も可能となる。
合に、ガス流量の調節を行わず検出水分量の補正を行う
と共に、ガス流量の異常があった旨の表示を行う場合の
制御手段８の動作を示したフローチャートである。ま
ず、測定されたガスの流量信号を入力し（Ｓ３１）、入
力されたガス流量が上述した規定流量であるか否かを判
断し（Ｓ３２）、規定流量と異なる場合は、検出データ
である水分量の補正を行う（Ｓ３３）。例えば、所定の
水分濃度の標準ガスのガス流量を変化させ、それぞれの
ガス流量に対する水分量を検出して、上述した規定流量
のガスについて検出された水分量との比を予め補正係数
として求めておき、ガス流量が異常である場合に、検出
されたガス流量に該当する補正係数を水分量に乗ずるこ
とによって補正がなされる。図６はガス流量毎の補正係
数を示したものである。そして、補正を行った後、特定
のデータに対してガス流量の異常があり、測定された水
分量に補正が施されている旨を表示手段９に表示させる
（Ｓ３４）。これにより、ガス流量の異常がある場合で
も、ガス流量の調整が不要になると共に、検出されたデ
ータに補正が施された旨が明らかになるため、検出され
た水分量の信頼性についての判断も可能となる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、ガス流量を電気信号と
して取り出せる流量計を用い、検出されたガス流量が許
容範囲内にあるか否か自動的に判断できるようにし、ガ
ス流量が許容範囲内にない場合に、表示手段にガス流量
が異常である旨表示するよう構成したので、測定対象と
なるガス流量の監視が極めて容易となる。
して取り出せる流量計を用い、検出されたガス流量が許
容範囲内にあるか否か自動的に判断できるようにし、ガ
ス流量が許容範囲内にない場合に、表示手段にガス流量
が異常である旨表示するよう構成したので、測定対象と
なるガス流量の監視が極めて容易となる。
【図１】本発明にかかる水分計の回路図の概略である。
【図２】本発明にかかる水分計のブロック図である。
【図３】制御手段の動作を示すフローチャートである。
【図４】制御手段の動作を示すフローチャートである。
【図５】制御手段の動作を示すフローチャートである。
【図６】ガス流量が異常な場合の補正係数を示した図で
ある。
ある。
【図７】面積式の流量計を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 ガス中の水分を連続的に測定する水分計
において、 ガス流量に対応した電気信号を出力する流量計と、前記
流量計の出力が予め設定された規定流量に対応する値で
あるか否かを判断する流量異常検知手段と、ガス流量が
異常であること表示する表示手段とを備え、ガス流量が
規定値と異なった場合に前記検知手段の出力によって表
示手段を作動させることを特徴とする水分計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11617794A JPH07318475A (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 水分計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11617794A JPH07318475A (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 水分計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07318475A true JPH07318475A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=14680709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11617794A Pending JPH07318475A (ja) | 1994-05-30 | 1994-05-30 | 水分計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07318475A (ja) |
-
1994
- 1994-05-30 JP JP11617794A patent/JPH07318475A/ja active Pending
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