JPH07321365A - 薄膜太陽電池 - Google Patents
薄膜太陽電池Info
- Publication number
- JPH07321365A JPH07321365A JP6113243A JP11324394A JPH07321365A JP H07321365 A JPH07321365 A JP H07321365A JP 6113243 A JP6113243 A JP 6113243A JP 11324394 A JP11324394 A JP 11324394A JP H07321365 A JPH07321365 A JP H07321365A
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- JP
- Japan
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- moisture
- film
- solar cell
- layer
- solar battery
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-
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】両面に防湿フィルムをラミネートした薄膜太陽
電池の防湿フィルム表面およびラミネート端部からの水
分の侵入による効率低下を防ぐ。 【構成】防湿フィルムの内側にポリアミド樹脂からなる
捕水層を挿入して水分の侵入を防ぐ。具体的にはナイロ
ンフィルムを太陽電池セルの少なくとも一面上に接着し
てから防湿フィルムをラミネートする。
電池の防湿フィルム表面およびラミネート端部からの水
分の侵入による効率低下を防ぐ。 【構成】防湿フィルムの内側にポリアミド樹脂からなる
捕水層を挿入して水分の侵入を防ぐ。具体的にはナイロ
ンフィルムを太陽電池セルの少なくとも一面上に接着し
てから防湿フィルムをラミネートする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、可とう性の絶縁性基板
を用いた薄膜太陽電池に関する。
を用いた薄膜太陽電池に関する。
【0002】
【従来の技術】太陽電池はクリーンなエネルギー源とし
て注目されており、その技術の進歩はめざましいものが
ある。特に、アモルファスシリコンを主材料とした光電
変換層は大面積の成膜が容易で低価格であるため、それ
を用いた薄膜太陽電池に対する期待は大きい。従来の太
陽電池はガラス基板が用いられていたが、厚型で重く、
割れやすい、また屋外の屋根等への適用化による作業性
の改良等の理由により、薄型・軽量化の要望が強くなっ
ている。これらの要望に対し、可とう性のあるプラスチ
ックフィルムおよび薄膜金属フィルムを基板に用いたフ
レキシブルタイプの薄膜太陽電池の実用化が進みつつあ
る。このようなフレキシブルタイプ太陽電池を10〜1
5年の長期にわたり使用するために、太陽電池セルの表
裏両側を接着層を介して防湿フィルムをラミネートして
水分の侵入を防止している。図2はそのようなフレキシ
ブルタイプ太陽電池の断面構造を示し、可とう性のある
プラスチックフィルム基板1の一面上に金属からなる第
一電極層2、pin接合を有するアモルファス半導体層
3、ITOなどからなる透明な第二電極層4が積層さ
れ、他面側には、例えば特願平5−67976号明細書
に記載されている第三電極層5が形成され、基板1に明
けられた貫通孔を通じて第一電極層2あるいは第二電極
層4と接続されている。このような構造の太陽電池セル
が、第二電極層の上に透明接着剤層61を介した透明防
湿フィルム71と第三電極層5の上に接着剤層62を介
した防湿フィルム72とにより挟着されている。
て注目されており、その技術の進歩はめざましいものが
ある。特に、アモルファスシリコンを主材料とした光電
変換層は大面積の成膜が容易で低価格であるため、それ
を用いた薄膜太陽電池に対する期待は大きい。従来の太
陽電池はガラス基板が用いられていたが、厚型で重く、
割れやすい、また屋外の屋根等への適用化による作業性
の改良等の理由により、薄型・軽量化の要望が強くなっ
ている。これらの要望に対し、可とう性のあるプラスチ
ックフィルムおよび薄膜金属フィルムを基板に用いたフ
レキシブルタイプの薄膜太陽電池の実用化が進みつつあ
る。このようなフレキシブルタイプ太陽電池を10〜1
5年の長期にわたり使用するために、太陽電池セルの表
裏両側を接着層を介して防湿フィルムをラミネートして
水分の侵入を防止している。図2はそのようなフレキシ
ブルタイプ太陽電池の断面構造を示し、可とう性のある
プラスチックフィルム基板1の一面上に金属からなる第
一電極層2、pin接合を有するアモルファス半導体層
3、ITOなどからなる透明な第二電極層4が積層さ
れ、他面側には、例えば特願平5−67976号明細書
に記載されている第三電極層5が形成され、基板1に明
けられた貫通孔を通じて第一電極層2あるいは第二電極
層4と接続されている。このような構造の太陽電池セル
が、第二電極層の上に透明接着剤層61を介した透明防
湿フィルム71と第三電極層5の上に接着剤層62を介
した防湿フィルム72とにより挟着されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の方法による太陽電池は水分の侵入をある程度防止
できるが実用的には未だ充分でなく、さらに改良が望ま
れていた。侵入する水分としては、屋外での雨水および
空気中にあるガス状の水分が考えられ、長期の屋外使用
により防湿フィルム表面およびラミネート端部の合わせ
面を通して侵入し、太陽電池の効率を低下する要因とな
っていた。
従来の方法による太陽電池は水分の侵入をある程度防止
できるが実用的には未だ充分でなく、さらに改良が望ま
れていた。侵入する水分としては、屋外での雨水および
空気中にあるガス状の水分が考えられ、長期の屋外使用
により防湿フィルム表面およびラミネート端部の合わせ
面を通して侵入し、太陽電池の効率を低下する要因とな
っていた。
【0004】この発明は前記の問題点に鑑みなされたも
のであり、その目的は防湿性を向上し、耐候性に優れた
薄膜太陽電池を提供することにある。
のであり、その目的は防湿性を向上し、耐候性に優れた
薄膜太陽電池を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、可とう性の基板上に少なくとも第一電
極層、光電変換半導体層、透明第二電極層を積層され、
2枚の防湿フィルムにより挟着された薄膜太陽電池にお
いて、少なくとも一方の防湿フィルムの内面側に捕水層
を備えたものとする。捕水層がポリアミド樹脂よりなる
ことが有効である。そして、捕水層の両面が接着剤に接
することが有効である。その場合、捕水層の内面側の接
着剤に接する面が粗面化されたことが良い。
めに、本発明は、可とう性の基板上に少なくとも第一電
極層、光電変換半導体層、透明第二電極層を積層され、
2枚の防湿フィルムにより挟着された薄膜太陽電池にお
いて、少なくとも一方の防湿フィルムの内面側に捕水層
を備えたものとする。捕水層がポリアミド樹脂よりなる
ことが有効である。そして、捕水層の両面が接着剤に接
することが有効である。その場合、捕水層の内面側の接
着剤に接する面が粗面化されたことが良い。
【0006】
【作用】防湿フィルムの内側に、例えばポリアミド樹脂
からなる捕水層を備えたことにより、屋外使用時に雨水
に曝されるおよび空気中にあるガス状の水分が防湿フィ
ルム表面およびラミネート端部の合わせ面を通して侵入
してくる水分を太陽電池セルに到達する前に捕まれる、
すなわち「貯水池」の役割を果たして太陽電池本体への
水分の影響を防止することができる。
からなる捕水層を備えたことにより、屋外使用時に雨水
に曝されるおよび空気中にあるガス状の水分が防湿フィ
ルム表面およびラミネート端部の合わせ面を通して侵入
してくる水分を太陽電池セルに到達する前に捕まれる、
すなわち「貯水池」の役割を果たして太陽電池本体への
水分の影響を防止することができる。
【0007】
【実施例】以下、図2と共通の部分に同一の符号を付し
た図を引用して本発明の実施例について述べる。可とう
性の基板としては絶縁性フィルムあるいは金属フィルム
を用いることができる。フィルム状絶縁基板は、その上
に電極層およびアモルファス半導体層が200℃前後で
成膜されるため耐熱性が要求される。したがって、耐熱
性を有するプラスチックフィルムとして、ポリイミド、
ポリエーテルイミド、ポリサルホン、ポリエーテルサル
ホン、ポリフェニレンサルファンド、パラ系アラミド、
ポリエーテルケトンあるいはふっ素系全般のフィルムが
挙げられるが、特にポリイミド、パラ系アラミド、ふっ
素系全般のフィルムが好適である。金属フィルムは、ス
テンレス鋼、ニッケル、銅等箔を用いれば耐熱性の点で
は問題がなく、そのまま第一電極層を兼ねる導電性基板
として用いることも、表面に耐熱性絶縁膜を被着して絶
縁性基板として用いることもできる。本発明の第一の実
施例の太陽電池モジュールは図1の断面構造を有し、絶
縁性フィルム基板1として、ポリイミドフィルム (東レ
デュポン社製、商品名:カプトン) を用い、第一電極層
2はAg膜、アモルファス半導体層3としてnip接合
膜、透明第二電極層4はITO膜、絶縁基板1の裏側に
第三電極層5としてAg膜をそれぞれ所定の装置により
形成し、太陽電池セルとした。この太陽電池セルの両側
に、接着剤層61、62として共通のエチレン−酢酸ビ
ニル共重合体 (EVA) フィルム (三井ケミカル社、商
品名:エバレックス) と、捕水層8として共通のポリア
ミドフィルム (ナイロン−6フィルム) とを130℃の
温度で15分間真空加熱加圧の条件でラミネートした。
ポリアミドフィルムは、EVAフィルム側の面をプラズ
マ処理により粗面化して接着剤を向上させた。さらに、
その上から同様にEVAフィルムを用いる接着剤層6
1、62と片面を粗面化したポリフェニレンサルファイ
ド (東レ社、商品名:トレニナ) を用いる防湿フィルム
71、72を、130℃の温度で15分間真空加熱加圧
の条件でラミネートし太陽電池モジュールを作製した。
捕水層8にはポリアミド樹脂であるナイロン−6、ナイ
ロン−66あるいはナイロン−6−66−6・10共重
合体のフィルムを用いることができるが、好適にはナイ
ロン−6フィルムが挙げられる。さらに、片面を粗面化
するか、あるいは予め接着剤層をラミネートしておく。
さもないと、太陽電池セル側の接着剤層との接着が悪く
なり、最悪の場合剥離等の現象が生ずるため、太陽電池
モジュールが作製不可能になる。捕水層8は光の入射側
にも挿入されるため、透光性であることが望ましいこと
は言うまでもない。
た図を引用して本発明の実施例について述べる。可とう
性の基板としては絶縁性フィルムあるいは金属フィルム
を用いることができる。フィルム状絶縁基板は、その上
に電極層およびアモルファス半導体層が200℃前後で
成膜されるため耐熱性が要求される。したがって、耐熱
性を有するプラスチックフィルムとして、ポリイミド、
ポリエーテルイミド、ポリサルホン、ポリエーテルサル
ホン、ポリフェニレンサルファンド、パラ系アラミド、
ポリエーテルケトンあるいはふっ素系全般のフィルムが
挙げられるが、特にポリイミド、パラ系アラミド、ふっ
素系全般のフィルムが好適である。金属フィルムは、ス
テンレス鋼、ニッケル、銅等箔を用いれば耐熱性の点で
は問題がなく、そのまま第一電極層を兼ねる導電性基板
として用いることも、表面に耐熱性絶縁膜を被着して絶
縁性基板として用いることもできる。本発明の第一の実
施例の太陽電池モジュールは図1の断面構造を有し、絶
縁性フィルム基板1として、ポリイミドフィルム (東レ
デュポン社製、商品名:カプトン) を用い、第一電極層
2はAg膜、アモルファス半導体層3としてnip接合
膜、透明第二電極層4はITO膜、絶縁基板1の裏側に
第三電極層5としてAg膜をそれぞれ所定の装置により
形成し、太陽電池セルとした。この太陽電池セルの両側
に、接着剤層61、62として共通のエチレン−酢酸ビ
ニル共重合体 (EVA) フィルム (三井ケミカル社、商
品名:エバレックス) と、捕水層8として共通のポリア
ミドフィルム (ナイロン−6フィルム) とを130℃の
温度で15分間真空加熱加圧の条件でラミネートした。
ポリアミドフィルムは、EVAフィルム側の面をプラズ
マ処理により粗面化して接着剤を向上させた。さらに、
その上から同様にEVAフィルムを用いる接着剤層6
1、62と片面を粗面化したポリフェニレンサルファイ
ド (東レ社、商品名:トレニナ) を用いる防湿フィルム
71、72を、130℃の温度で15分間真空加熱加圧
の条件でラミネートし太陽電池モジュールを作製した。
捕水層8にはポリアミド樹脂であるナイロン−6、ナイ
ロン−66あるいはナイロン−6−66−6・10共重
合体のフィルムを用いることができるが、好適にはナイ
ロン−6フィルムが挙げられる。さらに、片面を粗面化
するか、あるいは予め接着剤層をラミネートしておく。
さもないと、太陽電池セル側の接着剤層との接着が悪く
なり、最悪の場合剥離等の現象が生ずるため、太陽電池
モジュールが作製不可能になる。捕水層8は光の入射側
にも挿入されるため、透光性であることが望ましいこと
は言うまでもない。
【0008】光入射側の防湿フィルム71には、透明
で、かつ水分透過率の小さいプラスチックフィルムが用
いられ、ふっ素系全般、ポリメチルメタアクリレート、
ポリアリレート、ポリエチレンナフタレート、ポリサル
ホン、ポリエーテルサルホン、ポリ塩化ビニル、ポリカ
ーボネートあるいはポリフェニレンサルファイド等のフ
ィルムが挙げられる。また、光入射側と反対面の防湿フ
ィルム72は、必ずしも透明である必要はなく、たとえ
ば、上記フィルムの他にアルミニウム等の金属箔をプラ
スチックフィルムでサンドイッチしたもので、プラスチ
ックフィルム自体は若干水分透過率の大きいものでも、
プラスチックフィルムでサンドイッチされた金属箔よ
り、侵入してくる水分を遮断するものを用いることがで
きる。
で、かつ水分透過率の小さいプラスチックフィルムが用
いられ、ふっ素系全般、ポリメチルメタアクリレート、
ポリアリレート、ポリエチレンナフタレート、ポリサル
ホン、ポリエーテルサルホン、ポリ塩化ビニル、ポリカ
ーボネートあるいはポリフェニレンサルファイド等のフ
ィルムが挙げられる。また、光入射側と反対面の防湿フ
ィルム72は、必ずしも透明である必要はなく、たとえ
ば、上記フィルムの他にアルミニウム等の金属箔をプラ
スチックフィルムでサンドイッチしたもので、プラスチ
ックフィルム自体は若干水分透過率の大きいものでも、
プラスチックフィルムでサンドイッチされた金属箔よ
り、侵入してくる水分を遮断するものを用いることがで
きる。
【0009】接着剤層61、62に用いられる材料はポ
リビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリオレ
フィン系でエチレン−酢酸ビニル共重合体 (EVA) 、
塩化ビニル共重合体、プロピレン共重合体あるいはアク
リロニトリル共重合体等が挙げられる。光入射側の接着
剤層61は透明であることが望ましい。本発明の第二の
実施例の太陽電池モジュールは、図3の断面構造を有
し、捕水層8は太陽電池セルの光入射側にのみ挿入し、
太陽電池セルの裏面側には、EVAフィルムを接着剤層
62として、アルミニウム箔をポリふっ化ビニル (PV
F) でサンドイッチした防湿性の高い白色フィルム (デ
ュポン社、商品名:テドラ−PVF) 9を防湿フィルム
72の代わりに用いた。
リビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリオレ
フィン系でエチレン−酢酸ビニル共重合体 (EVA) 、
塩化ビニル共重合体、プロピレン共重合体あるいはアク
リロニトリル共重合体等が挙げられる。光入射側の接着
剤層61は透明であることが望ましい。本発明の第二の
実施例の太陽電池モジュールは、図3の断面構造を有
し、捕水層8は太陽電池セルの光入射側にのみ挿入し、
太陽電池セルの裏面側には、EVAフィルムを接着剤層
62として、アルミニウム箔をポリふっ化ビニル (PV
F) でサンドイッチした防湿性の高い白色フィルム (デ
ュポン社、商品名:テドラ−PVF) 9を防湿フィルム
72の代わりに用いた。
【0010】本発明の第三の実施例の太陽電池モジュー
ルは、図1の断面構造を有し、第一の実施例のEVAフ
ィルム接着剤層61、62と捕水層8の代わりに、あら
かじめ片面にポリオレフィン系接着剤層を被着したナイ
ロン−6フィルム (東レ合成社、商品番号:#100
0) を用いた。本発明の第四の実施例の太陽電池モジュ
ールは図1の断面構造を有し、防湿フィルム71、72
に片面を粗面化した3ふっ化塩化エチレン (PCTF
E) ( ダイキン社、商品名:ダイフロン) 防湿フィルム
を用いた以外は第一の実施例の場合と同様である。
ルは、図1の断面構造を有し、第一の実施例のEVAフ
ィルム接着剤層61、62と捕水層8の代わりに、あら
かじめ片面にポリオレフィン系接着剤層を被着したナイ
ロン−6フィルム (東レ合成社、商品番号:#100
0) を用いた。本発明の第四の実施例の太陽電池モジュ
ールは図1の断面構造を有し、防湿フィルム71、72
に片面を粗面化した3ふっ化塩化エチレン (PCTF
E) ( ダイキン社、商品名:ダイフロン) 防湿フィルム
を用いた以外は第一の実施例の場合と同様である。
【0011】本発明の第五の実施例の薄膜太陽電池は図
1の断面構造を有し、第一の実施例のEVAフィルム接
着剤層61、62とポリフェニレンサルファイド防湿フ
ィルム71、72の代わりに、あらかじめ片面にポリオ
レフィン系接着剤層を被着したPCTFE (日東電工
社、商品番号:#4820) 防湿フィルムを用いた。比
較試験のために次の2種の太陽電池モジュールを作製し
た。
1の断面構造を有し、第一の実施例のEVAフィルム接
着剤層61、62とポリフェニレンサルファイド防湿フ
ィルム71、72の代わりに、あらかじめ片面にポリオ
レフィン系接着剤層を被着したPCTFE (日東電工
社、商品番号:#4820) 防湿フィルムを用いた。比
較試験のために次の2種の太陽電池モジュールを作製し
た。
【0012】第一比較例:第一実施例の太陽電池モジュ
ールの捕水層8とその内側の接着剤層61、62を除い
た以外は第一実施例の場合と同様である。 第二比較例 第一実施例の太陽電池モジュールの捕水層8に粗面化処
理をしていないナイロン−6フィルムを用いた以外は第
一実施例の場合と同様である。
ールの捕水層8とその内側の接着剤層61、62を除い
た以外は第一実施例の場合と同様である。 第二比較例 第一実施例の太陽電池モジュールの捕水層8に粗面化処
理をしていないナイロン−6フィルムを用いた以外は第
一実施例の場合と同様である。
【0013】これら5種類の実施例、2種類の従来例の
太陽電池モジュールは、電極より外部へリード線を引き
出し、特性評価できる構造となっている。特性評価は、
60℃、95%RHの条件で2000時間の高温高湿試
験で行った。結果、第一ないし第五のすべての実施例に
おいては外観上変化は見られず、第一、第二比較例では
モジュール端部が若干黒っぽく変色していた。第二比較
例では片面の粗面化処理をしていないナイロンフィルム
を捕水層8に用いたが、太陽電池セル側の接着際層6
1、62との接着が悪くなり、上記結果になったものと
考える。
太陽電池モジュールは、電極より外部へリード線を引き
出し、特性評価できる構造となっている。特性評価は、
60℃、95%RHの条件で2000時間の高温高湿試
験で行った。結果、第一ないし第五のすべての実施例に
おいては外観上変化は見られず、第一、第二比較例では
モジュール端部が若干黒っぽく変色していた。第二比較
例では片面の粗面化処理をしていないナイロンフィルム
を捕水層8に用いたが、太陽電池セル側の接着際層6
1、62との接着が悪くなり、上記結果になったものと
考える。
【0014】また、太陽電池出力特性での変換効率を測
定した結果、各実施例では初期値と同値を示したが、比
較例では1〜1.5%低下していた。
定した結果、各実施例では初期値と同値を示したが、比
較例では1〜1.5%低下していた。
【0015】
【発明の効果】本発明によれば、可とう性基板に少なく
とも第一電極層、光電変換半導体層、透明第二電極層が
積層され、2枚の防湿フィルムより挟着された薄膜太陽
電池において、少なくとも一方の防湿フィルムの内面側
に捕水層を備えることとしたので、この捕水層が吸湿性
および保水性を発揮して防湿性が向上し、耐候性に優れ
た長寿命の薄膜太陽電池を得ることができる。
とも第一電極層、光電変換半導体層、透明第二電極層が
積層され、2枚の防湿フィルムより挟着された薄膜太陽
電池において、少なくとも一方の防湿フィルムの内面側
に捕水層を備えることとしたので、この捕水層が吸湿性
および保水性を発揮して防湿性が向上し、耐候性に優れ
た長寿命の薄膜太陽電池を得ることができる。
【0016】特に、両面が接着剤層に接するポリアミド
樹脂フィルムなどを用いて捕水層を形成した場合、およ
び、少なくとも一方の接着剤層に接する面を粗面化され
た面として捕水層を形成した場合、捕水層の接着性が向
上し、上記の効果はさらに著しいものとなる。
樹脂フィルムなどを用いて捕水層を形成した場合、およ
び、少なくとも一方の接着剤層に接する面を粗面化され
た面として捕水層を形成した場合、捕水層の接着性が向
上し、上記の効果はさらに著しいものとなる。
【図1】本発明の第一の実施例の太陽電池モジュールの
構造を示す断面図
構造を示す断面図
【図2】従来の太陽電池モジュールの構造を示す断面図
【図3】本発明の別の実施例の太陽電池モジュールの構
造を示す断面図
造を示す断面図
1 絶縁性フィルム基板 2 第一電極層 3 アモルファス半導体層 4 透明第二電極層 5 第三電極層 61 透明接着剤層 62 接着剤層 71 透明防湿フィルム 72 防湿フィルム 8 補水層 9 白色フィルム
Claims (4)
- 【請求項1】可とう性基板上に少なくとも第一電極層、
光電変換半導体層、透明第二電極層が積層され、2枚の
防湿フィルムにより挟着されたものにおいて、少なくと
も一方の防湿フィルムの内面側に捕水層を備えたことを
特徴とする薄膜太陽電池。 - 【請求項2】捕水層がポリアミド樹脂よりなる請求項1
記載の薄膜太陽電池。 - 【請求項3】捕水層の両面が接着剤層に接する請求項1
あるいは2記載の薄膜太陽電池。 - 【請求項4】捕水層の内面側の接着剤層に接する面が粗
面化されている請求項3記載の薄膜太陽電池。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6113243A JPH07321365A (ja) | 1994-05-27 | 1994-05-27 | 薄膜太陽電池 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6113243A JPH07321365A (ja) | 1994-05-27 | 1994-05-27 | 薄膜太陽電池 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07321365A true JPH07321365A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=14607202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6113243A Pending JPH07321365A (ja) | 1994-05-27 | 1994-05-27 | 薄膜太陽電池 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07321365A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011044766A1 (zh) * | 2009-10-14 | 2011-04-21 | Guo Jianguo | 外加电源提供电场效应的薄膜光伏电池 |
| WO2025220244A1 (ja) * | 2024-04-18 | 2025-10-23 | 内山工業株式会社 | バリアフィルム及びこれを用いた太陽電池 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022850U (ja) * | 1988-06-15 | 1990-01-10 | ||
| JPH0266963A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-07 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPH04328292A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-17 | Nec Kansai Ltd | 電界発光灯及びその製造方法 |
| JPH0541153U (ja) * | 1991-11-06 | 1993-06-01 | 三洋電機株式会社 | 光起電力装置 |
-
1994
- 1994-05-27 JP JP6113243A patent/JPH07321365A/ja active Pending
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