JPH0546256B2

JPH0546256B2 -

Info

Publication number: JPH0546256B2
Application number: JP6204590A
Authority: JP
Inventors: Kosuke Hirasawa; Yoshihide Isobe
Original assignee: NIPPON EAATETSUKU KK
Current assignee: NIPPON EAATETSUKU KK
Priority date: 1990-03-13
Filing date: 1990-03-13
Publication date: 1993-07-13
Also published as: JPH03262543A

Description

【発明の詳細な説明】〓産業上の利用分野〓本発明は、揮発性の有機溶剤や酸など有害な蒸
気やガスを発生する薬液を用いる一方で無塵の環
境を必要とする作業を行なう際に用いるクリーン
ドラフトチヤンバーに関するものである。

〓従来の技術〓半導体製品や精密機械部品等を製造工程におい
て、揮発性の有機溶剤や酸を用いる洗浄やエツチ
ングの作業を無塵の環境で行なう必要がある場
合、クリーンドラフトチヤンバーが用いられる。
有害ガス排出用の排気装置だけを備えた通常のド
ラフトチヤンバーはその作業用開口部からドラフ
トチヤンバー周辺の有塵空気を取り込むが、クリ
ーンドラフトチヤンバーは、第４図に示したよう
に、天井部に高性能エアーフイルター２１付き送
風機２２を設置して清浄化空気を天井部より作業
空間２３に供給し、作業台２４またはその周辺に
排気口２５を設けて汚染空気を排気装置２９によ
り強制排出するようにしたものであるから、作業
空間２３はドラフトチヤンバー周辺よりも浮遊塵
埃の少ない清浄な環境に保たれる。

このクリーンドラフトチヤンバーを用いる場
合、容器２６に入つている有機溶剤や酸の蒸気を
チヤンバーの作業用開口部２７から外に漏れない
ようにするためには、高性能エアーフイルター２
１を経由して供給する清浄空気の量（m³／min）
Q₁を上回る量のチヤンバー内汚染空気Q₃を排気
装置２５により排出し、それによりQ₃−Q₁に等
しい量Q₂の周辺空気が開口部２７から風速ｖで
常にチヤンバー内に流れ込むようにする。しかし
ながら、浮遊塵埃の多い周辺空気を流入量Q₂が
多いほどチヤンバー内清浄度は低下するから、そ
の量をあまり多くすることは好ましくなく、チヤ
ンバー内で行なわれる作業の種類に応じて風速ｖ
として0.25ｍ／sec以下、0.4ｍ／sec以下、または
0.5ｍ／sec以下に制限される。

風速ｖを所定の値に保つ場合、周辺空気流入量
Q₂は、上下動するシヤツター２８により可変の
開口部高さＨに比例するから、開口部高さＨを高
くするほど周辺空気流入量Q₂は多くなる。従つ
て、作業上の必要性から開口部高さＨを高くした
場合、周辺の空調空気がドラフトチヤンバーに大
量に取り込まれて廃棄されることになり、ドラフ
トチヤンバー設置室の空調コストを上昇させるこ
とになる。また、周辺空気を取り込みながらチヤ
ンバー内の清浄度を確保するには、清浄化空気供
給量Q₁を高い水準に設定しなければならず、こ
のためチヤンバー内汚染空気Q₃も多くなり、送
風機２２および排気装置２９の動力費が高いとい
う問題があつた。

〓発明が解決しようとする課題〓本発明の目的は、クリーンドラフトチヤンバー
における上述のような問題点を解決し、周辺空気
取り込み量が少なく、且つ少ない動力費で清浄か
つ広い作業空間を確保できるクリーンドラフトチ
ヤンバーを提供することにある。

〓課題を解決するための手段〓天井部に高性能エアーフイルター付き送風機を
設置した清浄化空気を天井部により作業空間に供
給可能にするとともに排気口を作業台またはその
周辺に設けて汚染空気を排気装置により強制排出
するようにしたクリーンドラフトチヤンバーにお
いて、作業台にその手前側の縁部に沿つて吸気口
を設けてこれを上記送風機の空気取り入れ口と
し、作業台に薬液容器設置用凹部を設け、該凹部
の側壁に排気口を設けてこれをダクトで排気装置
に連通させ、さらに、作業台の上記凹部が設置さ
れていない部分の上方を横切つて凹部に流入する
高速空気流を生じさせる清浄化空気噴射ノズルを
天井部に設置した。

このクリーンドラフトチヤンバーには、薬液容
器設置用凹部設置箇所より奥の部分において作業
台にシヤツター付き排気口を併設してもよい。

薬液容器設置用凹部は、必要な薬液容器のすべ
てを余裕もつて収容できる大きさにしておく。ま
た、その深さは、薬液容器全体が入つてしまうよ
う十分深くしておくことが望ましい。

〓作用〓本発明のクリーンドラフトチヤンバーを使用す
る場合は、作業に必要な有機溶剤や酸を入れた薬
液容器を原則として薬液容器設置用凹部に置く。
これにより、作業中発生する汚染空気は作業空間
全体に拡散することなく主として薬液容器設置用
凹部内に停滞する。この汚染空気は、排気装置を
運転すると凹部側壁の排気口からダクトに入り、
屋外に排出される。一方、清浄空気供給用送風機
を運転すると、チヤンバー開口部付近の比較的清
浄なチヤンバー内空気と周辺空気が吸気口から吸
い込まれて高性能エアーフイルターで濾過され、
清浄空気となつて天井部から作業台方向に流下す
る。この清浄空気の大部分は吸気口から吸い込ま
れるから、清浄空気の大部分は上記経路で循環す
ることになる。作業台の、薬液容器設置用凹部以
外の部分に薬液容器等、空気汚染源となるものを
置いた場合、それにより作業台上で発生する汚染
空気は、清浄化空気噴射装置から噴射されて凹部
に流入する高速空気流に誘引されて凹部に流入
し、凹部内で発生した汚染空気と合流して排気装
置により屋外に排出される。

清浄化空気噴射ノズルからの空気噴射量は送風
機により清浄化空気循環量と比べると無視できる
程度の少量でよく、従つて、チヤンバー開口部か
らの周辺空気流入量および流入風速は、事実上、
排気口からの排気空気量のみによつて決まる。

〓実施例〓第１図、第２図に示した実施例において、作業
台１は２カ所に薬液容器設置用凹部２を有し、さ
らに、その手前の開口部３側の縁に沿う吸気口４
と、薬液容器設置用凹部２の奥の部分に設けられ
たシヤツター付き排気口５とを有する。

薬液容器設置用凹部２は、薬液容器６を完全に
収容できる深さのもので、その側壁には排気口７
があり、また底板には図示してない排気管（洗浄
水等を流すためのもの）が接続されている。

吸気口４は、Ｕ字溝状に成形された有孔板をも
つて形成されており、ダクト９により、天井部の
送風機１０に通じている。送風機１０の下には高
性能エアーフイルター１１があり、送風機１０が
送り出す空気はすべてこのフイルター１１を通過
して作業空間１２に流下するようになつている。

薬液容器設置用凹部２の周囲は排気ダクト１３
になつていて、排気口７およびシヤツター付き排
気口５は、このダクト１３およびそれに続く排気
ダクト１４により排気装置１５に通じている。

天井部には、高性能エアーフイルター１１のほ
かに清浄化空気噴射ノズル１６が固定されている
が、その取付け姿勢は、ノズル１６の中心軸線Ｘ
が、作業台１上、凹部２がない部分の上方の作業
空間１２を横切つて凹部２の中心に向かうように
選定されている。ノズル１６は、パイプ１７によ
り高性能エアーフイルター１８付きコンプレツサ
ー１９に連結されている。

開口部３には上下動可能なシヤツター２０があ
り、これを上下動させることにより、開口部３の
有効高さＨの調節が可能である。

このドラフトチヤンバーを使用して洗浄、エツ
チング等の作業をする場合、シヤツター付き排気
口５のシヤツターは通常閉じておく。作業に必要
な有機溶剤や酸を入れた平バツト等の薬液容器６
を薬液容器設置用凹部２に置いて送風機１０、排
気装置１５およびコンプレツサー１９を運転する
と、作業中に薬液容器６中の溶剤や酸から発生し
た蒸気は大部分が凹部２中に溜まるから、それに
より汚染された空気が排気装置１５により吸引さ
れて排気口７から総流量Q₄で排気ダクト１３に
入り、排気ダクト１４経由で屋外に排出され、溶
剤等は適宜処理される。一方、高性能エアーフイ
ルター１１からは清浄空気が流量Q₁で流下し、
作業空間１２を清浄に保つ。流下した清浄空気の
一部は薬液容器６の周辺に流れ、上述の汚染空気
となつて排気口７から総流量Q₄で排出されるが、
大部分（Q₁−Q₄）は、薬液蒸気によつて殆ど汚
染されないまま吸気口４から吸い込まれてダクト
９に入り、高性能エアーフイルター１１で濾過さ
れ、再び清浄空気となつて作業空間１２に入ると
いう循環経路に入る。さらに、ノズル１６から凹
部２に向かう清浄化空気噴射気流が作業台１上の
空気を凹部２内に誘引するので、作業台１（凹部
２の無い部分）に薬液溶液６′の空気汚染源を置
いた場合に発生する汚染空気は大部分が凹部２に
流入し、凹部２内で発生した汚染空気と共に排気
口７、排気ダクト１３、同１４を経由して屋外に
排出される。これにより、作業台１上で発生した
汚染空気が吸気口４に流入することによる上記循
環空気流の汚染が防がれる。

ノズル１６からの空気噴射量は、送風機１０に
よる送風量に比べればごく僅かである。そして、
送風機１０のための吸気口は吸気口４以外には無
いから、汚染空気となつて排出される空気量Q₄
に実質的に等しい量Q₂の周辺空気が吸気口４か
ら吸い込まれる。流入空気量Q₂は、シヤツター
１６を操作することによる開口部高さＨの変化に
よつて左右されない。この周辺空気は有塵空気で
あるが、高性能エアーフイルター１１から集中的
に吸気口４へ向かうエアカーテン状の清浄空気流
が遮断膜となるため、吸気口４に入る前にチヤン
バー内に進入して作業空間２を浮遊塵埃で汚染す
ることはない。

送風機１０等を運転したまま作業を休止する場
合は、薬液容器設置用凹部２に薬液蒸気拡散防止
用の適当な有孔蓋をするとともにシヤツター付き
排気口５のシヤツターを開くとよい。これにより
薬液蒸気の漏れは一層少なくなり、一方、排気装
置１５による流量Q₄の空気排出は排気口５を経
由して続けられて、風量バランスの安定が保たれ
る。シヤツター付き排気口５を設けず、流量Q₄
の排気に必要最小限度の通気孔を薬液容器設置用
凹部２の蓋に設けておいてもよい。

〓発明の効果〓本発明のクリーンドラフトチヤンバーは、上述
のような構成に基づき、使用薬液蒸気の拡散を最
小限度にし、少量の重度汚染空気だけをその発生
部位から速やかに屋外に排出してしまうので、チ
ヤンバー内空気全量を吸引廃棄する従来のクリー
ンドラフトチヤンバーにおける必要排気量よりも
遥かに少ない排気量で、汚染空気の漏出を抑える
ことができる。従つて本発明のクリーンドラフト
チヤンバーは、汚染空気の拡散を防ぐために開口
部から著量の周辺空気を流入させるとともに大量
の清浄空気を流す必要があつた従来のクリーンド
ラフトチヤンバーと比べて、ドラフトチヤンバー
設置室の空調空気を大量に消費して空調費用を著
増させることなく、また、送風機や排気装置の動
力費が低廉であるという特長がある。また、屋外
排出量に見合つた量だけ給気系に取り込まれる有
塵の周辺空気は、高性能エアーフイルターから吸
気口に向かうエアカーテン状清浄空気流に妨げら
れてチヤンバー内には進入せず、直接吸気口に入
るから、チヤンバー内に浮遊塵埃を持ち込む恐れ
がない。更に、清浄空気の大部分を循環再利用す
るから、高性能エアーフイルターが長持ちする。

さらに、天井部から凹部に向けての空気噴射に
より、凹部以外の作業台上で発生する汚染空気も
凹部に誘導して排出するので、循環空気の汚染度
を高める恐れなしに、作業の内容に応じて凹部内
と作業台上の何れをも使用することができる。

以上により、本発明のクリーンドラフトチヤン
バーは、清浄な作業環境を従来よりも遥かに低い
コストで安定して実現することができるきわめて
有利なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明実施例の略縦断面
図であつて、第１図は正面図、第２図は側面図で
ある。第３図は上記実施例における作業台１の平
面図、第４図は従来のクリーンドラフトチヤンバ
ーの例を示す略縦断面図である。１，２４……作業台、２……薬液容器設置用凹
部、３，２７……開口部、４……吸気口、５，
７，２５……排気口、６，２６……薬液容器、
９，１３……ダクト、１０，２２……送風機、１
１，１８，２１……高性能エアーフイルター、１
２，２３……作業空間、１５，２５……排気装
置、１６……ノズル、１９……コンプレツサー、
２０……シヤツター。

Claims

【特許請求の範囲】

１天井部に高性能エアーフイルター付き送風機
を設置して清浄化空気を天井部により作業空間に
供給可能にするとともに排気口を作業台またはそ
の周辺に設けて汚染空気を排気装置により強制排
出するようにしたクリーンドラフトチヤンバーに
おいて、作業台にその手前側の縁部に沿つて吸気
口を設けてこれを上記送風機の空気取り入れ口と
し、作業台に薬液容器設置用凹部を設け、該凹部
の側壁に排気口を設けてこれをダクトで排気装置
に連通させ、作業台の上記凹部が設置されていな
い部分の上方を横切つて凹部に流入する高速空気
流を生じさせる清浄化空気噴射ノズルを天井部に
設置したことを特徴とするクリーンドラフトチヤ
ンバー。