JPH02207847A - クリーンドラフトチヤンバー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

に産業上の利用分野１ 本発明は、揮発性の有機溶剤や酸など有害な蒸気やガス
を発生する薬液を用いる一方で無塵の環境を必要とする
作業を行なう際に用いるクリートラフトチャンバーに関
するものである。

【従来の技術】

半導体製品や精密機械部品等の製造工程において、揮発
性の有ｍ溶剤や酸を用いる洗浄やエツチングの作業を無
塵の環境で行なう必要がある場合、クリーンドラフトチ
ャンバーが用いられる。有害ガス排出用の排気装置だけ
を備えた通常のドラフトチャンバーはその作業用開口部
からドラフトチャンバー周辺の有産空気を取り込むが、
クリーントラフトチャンバーは、第３図に示したように
、天井部に高性能エアーフィルター２１付き送ＪＩＩＩ
２２を設置して清浄化空気を天井部より作業空間２３に
供給し、作業台２４またはその周辺に排気口２５を設け
て汚染空気を排気装置２６により強制排出するようにし
てものであるから、作業空間２３はドラフトチャンバー
周辺よりも浮遊塵埃の少ない清浄な環境に保たれる。 このクリーンドラフトチャンバーを用いる場合、容器２
６に入っている有機溶剤や酸の蒸気をチャンバーの作業
用開口部２７から外に漏れないようにするためには、高
性能エアーフィルター２１を経由し３　　・ て供給する清浄空気のＩ（ＩＩ　　／１ｌｎ）Ｑｉを上
回る員Ｑ３のチャンバー内汚染空気を排気装［［２５に
より排出し、それによりＱ３−Ｑ、に等しい吊Ｑ２の周
辺空気が開口部２７からｆｆｌ速Ｖで常にチャンバー内
に流れ込むようにする。しかしながら、浮遊塵埃の多い
周辺空気の流入ΦＱ２が多いほどチャンバー内清浄度は
低下するから、その吊をあまり多くすることは好ましく
なく、チャンバー内で行なわれる作業の種類に応じて風
速Ｖとして０．２５ｔｇ／ｓｅｃ以下、０．４１１／Ｓ
ｅｃ以下、または０．５ｍ／ｓｅｃ以下に制限される。 層Ｍｖを所定の値に保つ場合、周辺空気流入量Ｑ２は、
上下動するシャッター２８により可変の開口部高さＨに
比例するから、開口部高さＨを高くするほどＱ２は多く
なる。従って、作業上の必要性から開口部高さＨを高く
した場合、周辺の空調空気がトラフトチャンバーに大量
に取り込まれて廃棄されることになり、ドラフトチャン
バー設置室の空調コストを上昇させることになる。また
、周辺空気を取り込みながらチャンバー内の清浄度を確
保するには、清浄化空気供給ＩＱ１を高い水準に設定し
なければならず、このためＱ３も多くなり、送Ｊ１機２
２および排気装置２５の動力費が高いという問題があっ
た。 Ｋ発明が解決しようとする課題］ 本発明の目的は、クリーンドラフトチャンバーにおける
上述のような問題点を解決することにある。

【１１１題を解決するための手段ス 天井部に高性能エアーフィルター付き送Ｊ１機を設置し
て清浄化空気を天井部より作業空間に供給可能にすると
ともに排気口を作業台またはその周辺に設けて汚染空気
を排気装置により強制排出するようにしたクリーンドラ
フトチャンバーにおいて、作業台にその手前側の縁部に
沿って吸気口を設けてこれを上記送ｆｆ１機の空気取り
入れ口とし、作業台に薬液容器設置用凹部を設け、該凹
部の側壁に排気口を設けてこれをダクトで排気装置に連
通させた。 このクリーンドラフトチャンバーには、薬液容器設置用
凹部設置箇所より奥の部分において作業台にシャッター
付き排気口を併設してもよい。 薬液容器設置用凹部は、必要な薬液容器のすべてを余裕
をもって収容できる大きさにしておく。 また、その深さは、薬液容器全体が入ってしまうよう十
分深くしておくことが望ましい。 【作　　　用１ 本発明のクリーンドラフトチャンバーを使用する場合は
、作業に必要な有機溶剤や酸を入れた薬液容器を薬液容
器設置用凹部に置く。これにより、作業中発生する汚染
空気は作業空間全体に拡散することなく主として薬液容
器設置用凹部内に停滞する。この汚染空気は、排気装置
を運転すると凹部側壁の排気口からダクトに入り、屋外
に排出される。一方、清浄空気供給用送風機を運転する
と、チャンバー開口部付近の比較的清浄なチャンバー内
空気と周辺空気が吸気口から吸い込まれて高性能エアー
フィルターで濾過され、清浄空気となって天井部から作
業台方向に流下する。この清浄空気の大部分は＠気口か
ら吸い込まれるから、清浄空気の大部分は上記経銘で循
環することになる。 そして、チャンバー開口部からの周辺空気流入量および
流入風速は、排気口からの排出空気量のみによって決ま
る。 【実　施　例】 第１図、第２図に示した実施例において、作業台１は２
カ所に薬液容器設置用凹部２を有し、さらに、その手前
の開口部３側の縁に沿う吸気口４と、薬液容器設置用凹
部２の奥の部分に設けられたシャッター付き排気口５と
を有する。 薬液容器股ば用凹部２は、薬液容器６を完全に収容でき
る深さのもので、その側壁には排気ロアがあり、また底
板には図示してない排水管（洗浄水等を流すためのもの
）が接続されている。 吸気口４は、Ｕ字溝状に成形された有孔板をもって形成
されており、ダクト９により、天井部の送風Ｆｓ１０に
通じている。送風機１０の下には高性能エアーフィルタ
ー１１があり、送Ｊｌ１機１０が送り出す空気はすべて
このフィルター１１を通過して作業空間１２に流下する
ようになっている。 薬液容器設置用凹部２の周囲は排気ダクト１３になって
いて、排気ロアおよびシャッター付き排気口５は、この
ダクト１３およびそれに続く排気ダクト１４により排気
装置１５に通じている。 開口部３の有効高さＨは、上下動するシャッター１６に
より調節可能である。 このドラフトチャンバーを使用して洗浄、エツチング等
の作業をする場合、シャッター付き排気口５のシャッタ
ーは通常開じておく。作業に必要な有機溶剤や酸を入れ
た平バット等の薬液容器６を薬液容器設置用凹部２に置
いて送Ｊｌ１機１０および排気装置１５を運転すると、
作業中に薬液容器６中の溶剤や酸から発生した蒸気は大
部分が凹部２中に溜まるから、それにより汚染された空
気が排気装置１５により吸引されて排気ロアからｃｉＩ
流ＩＱ４で排気ダクト１３に入り、排気ダクト１４経由
で作業空間外に排出され、溶剤等は適宜処理される。 方、高性能エアーフィルター１１からは清浄空気が流量
Ｑ１で流下し、作業空間１２を清浄に保つ。流下した清
浄空気の一部は薬液容器６の周辺に流れ、上述の汚染空
気となって排気ロアから総流ΦＱ４で排出されるが、大
部分（Ｑ−０４）は、薬液蒸気によって殆ど汚染されな
いまま吸気口４から吸い込まれてダクト９に入り、高性
能エアーフィルター１１で濾過され、再び清浄空気とな
って作業空間１２に入るという循環経路に入る。送Ｊｉ
ｌｌｌｌｌＯのための吸気口が吸気口４以外には無いた
め汚染空気となって排出される空気ＩＱ４に等しいＩＯ
２の周辺空気が吸気口４から吸い込まれる。流入空気Ｉ
Ｑ２は、シャッター１６を捜査することによる開口部高
さＨの変化によって左右されない。この周辺空気は右腹
空気であるが、高性能エアーフィルター１１から集中的
に吸気口４へ向かうエアカーテン状の清浄空気流が遮断
膜となるため、吸気口４に入る前にチャンバー内に進入
して作業空間２を浮遊塵埃で汚染することはない。 送ＦｉＡ機１０および排気装置１４を運転したまま作業
を休止する場合は、薬液容器設置用凹部２に薬液蒸気拡
散防止用の適当な有孔蓋をするとともにシャッター付き
排気口５のシャッターを開くとよい。 これにより薬液蒸気の漏れは一層少なくなり、方、排気
＠置１５による流ｆｆ１Ｑ４の空気排出は排気口５を経
由して続けられて、風量バランスの安定が保たれる。シ
ャッター付き排気口５を設けず、流量Ｑ４の排気に必要
最小限度の通気孔を薬液容器設置用凹部２の蓋に設けて
おいてもよい。 【発明の効果１ 本発明のクリーントラフＩ・チャンバーは、上述のよう
な構成に基づき、使用薬液蒸気の拡散を最小限度にし、
少量の汚染空気だけをその発生部位から速やかに屋外に
排出してしまうので、チャンバー内空気全量を吸引ｇ！
棄する従来のクリーンドラフトチャンバーにおける必要
排気量よりも遥かに少ない排気量で汚染空気の漏出を抑
えることができる。従って本発明のクリーンドラフトチ
ャンバーは、汚染空気の拡散を防ぐために同口部から著
ｉの周辺空気を流入させるとともに大巾の清浄空気を流
す必要があった従来のクリーンドラフトチャンバーと比
べて、ドラフトチャンバー設置室の空調空気を大苗に消
費して空調費用を著増させることなく、また、送風機や
排気Ｓ！置の動力費が低度であるという特長がある。ま
た、屋外排出量に見合った量だけ給気系に取り込まれる
有産の周辺空気は、高性能エアーフィルターから吸気口
に向かうエアカーテン状清浄空気流に妨げられてチャン
バー内には進入せず、直接吸気口に入るから、チャンバ
ー内に浮Ｍ塵埃を持ち込む恐れがない。 更に、清浄空気の大部分を循環再利用するから、高性能
エアーフィルターが長持ちする。 以上により、本発明のクリーントラフトチャンバーは、
清浄な作業環境を従来よりも遥かに低いコストで安定し
て実現することができるきわめて有利なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の略縦断面図、第２図は第１図
の実施例における作業台１の平面図、第３図は従来のク
リーンドラフトチャンバーの例を示す略縦断面図である
。 ２４・・・作業台、　２・・・薬液容器設置用凹部。 ２７・・・開口部、　４・・・吸気口。 ７．２５・・・排気口、５．２６・・・薬液容器。 １３・・・ダクト、　　１０．２２・・・送ＪＩ１ｍ。 ２１・・・高性能エアーフィルター

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、作業空間外に高性能エアーフィルター付き送風機を
   設置して清浄化空気を作業空間に供給する清浄化空気流
   通路を設けたクリーンドラフトチャンバーにおいて、作
   業台に薬液容器設置用凹部を設け、該凹部の側壁に排気
   口を設けてこれをダクトで排気装置に連通させたことを
   特徴とするクリーンドラフトチャンバー。 ２、天井部に高性能エアーフィルター付き送風機を設置
   して清浄化空気を天井部より作業空間に供給可能にする
   とともに排気口を作業台またはその周辺に設けて汚染空
   気を排気装置により強制排出するようにしたクリーンド
   ラフトチャンバーにおいて、作業台にその手前側の縁部
   に沿つて吸気口を設けてこれを上記送風機の空気取り入
   れ口とし、作業台に薬液容器設置用凹部を設け、該凹部
   の側壁に排気口を設けてこれをダクトで排気装置に連通
   させたことを特徴とするクリーンドラフトチャンバー。 ３、薬液容器設置用凹部設置箇所より奥の部分において
   作業台にシャッター付き排気口を併設した請求項１記載
   のクリーンドラフトチャンバー。