JPH0732958U - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板搬送手段による基板群の幅寄せを一軸で
行なうことで、コンパクト化と、アーム回転軸の芯出し
の調整の容易化とを図る。 【構成】 基板搬送ロボットは、基台８１からほぼ水平
に突出した左右１対の第１アーム回転軸８３と、この第
１アーム回転軸８３に固定されかつ基板Ｗ群を起立整列
状態で一括保持する左右一対の第１基板チャック８５
と、第１基板チャック８５から同方向に突出した左右一
対の第２アーム回転軸８７と、第２アーム回転軸８７に
固定されかつ基板Ｗ群を起立整列状態で一括保持する左
右一対の第２基板チャック８９とを備える。第１アーム
回転軸８３は第２アーム回転軸８７を軸としてスライド
可能であり、第１アーム回転軸８３の突出量が増大側に
制御されることにより、第１基板チャック８５で挟持さ
れる基板群と第２基板チャック８９で挟持される基板群
とが近接される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体基板、ガラス基板等の基板（以下、単に「基板」という） を処理する基板処理装置に関し、詳しくは、複数の基板からなる基板群を搬送す る基板搬送手段を備える基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の基板処理装置として、多数枚の基板を一度に処理するために、 例えば、２５枚の基板を収納したカセットを２個搬送し、これらのカセットから 基板群をそれぞれ取り出し、同時に５０枚の基板を薬液処理することができる装 置がある。このような基板処理装置では、一方のカセットから取り出した基板群 と他方のカセットから取りだした基板群との間隔が広いと、処理槽が大型化した り、両基板群の端に位置する基板に処理むらを生じ易い。こうした課題を解決す る技術として、図１２に示すような基板搬送装置がある。

【０００３】 この基板搬送装置は、図１２に示すように、所定方向（図中、矢印ａで示す方 向）に移動する走行台Ａ１と、走行台Ａ１からほぼ水平に突出した左右１対の第 １アーム回転軸Ｂ１と、第１アーム回転軸Ｂ１より短く同じく走行台Ａ１からほ ぼ水平に突出した左右一対の第２アーム回転軸Ｂ２と、両アーム回転軸Ｂ１，Ｂ ２にそれぞれ設けられ、複数（例えば、２５枚）の基板からなる第１の基板群Ｃ １と第２の基板群Ｃ２とをそれぞれ挟持する第１および第２基板挟持アームＢ３ ，Ｂ４とを備えている。

【０００４】 こうした構成の基板搬送装置は、第１の基板群Ｃ１を第１基板挟持アームＢ３ で挟持し、第２の基板群Ｃ２を第２基板挟持アームＢ４で挟持する。そして、第 １アーム回転軸Ｂ１を短くして、第１アーム回転軸Ｂ１に挟持された第１の基板 群Ｃ１を第２の基板群Ｃ２に近づける。これにより、第１の基板群Ｃ１と第２の 基板群Ｃ２とを互いに近接させる幅寄せ動作を行なう。次いで、走行台Ａ１を矢 印ａ方向に移動することにより、それら挟持された第１および第２の基板群Ｃ１ ，Ｃ２を他の位置、例えば処理槽の位置に搬送する。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記従来の技術では、２対のアーム回転軸Ｂ１，Ｂ２を必要と することから、基板搬送装置の部分が大きくなるといった問題があった。また、 第１基板挟持アームＢ３で挟持される第１の基板群Ｃ１と第２基板挟持アームＢ ４で挟持される第２の基板群Ｃ２とが平行となるように、第１アーム回転軸Ｂ１ と第２アーム回転軸Ｂ２とを平行にして芯出し調整することが困難であるといっ た問題もあった。

【０００６】 この考案の基板処理装置は、基板搬送装置部分をコンパクトなものとし、且つ 、アーム回転軸の芯出しの調整を容易なものとして作業性の向上を図ることを目 的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

このような目的を達成するため、前記課題を解決するための手段として、この 考案の基板処理装置は、 複数の基板からなる第１の基板群を起立整列状態で保持する第１の基板保持手 段と、 複数の基板からなる第２の基板群を前記第１の基板群と直列に、同じく起立整 列状態で保持する第２の基板保持手段と、 前記両基板保持手段により保持される前記第１および第２の基板群を同時に他 の処理手段へ搬送する基板搬送手段と を備える基板処理装置であって、 前記基板搬送手段は、 前記第１および第２の基板群の配列方向に突出したアーム部と、 該アーム部を水平方向へ移動するアーム駆動部と、 該アーム部に沿ってスライド可能に設けられたスライド部と、 前記アーム部に設けられ、前記第１の基板群を起立整列状態のまま一括して挟 持する第１の基板挟持部と、 前記スライド部に設けられ、前記第２の基板群を起立整列状態のまま一括して 挟持する第２の基板挟持部と、 前記第１の基板挟持部と第２の基板挟持部との間の距離が短縮される方向に、 前記スライド部を前記アーム部に沿って移動するスライド駆動部と を有するものであることを、その要旨としている。

【０００８】 こうした構成の基板処理装置において、好ましくは、 前記第１および第２の基板保持手段は、 当該基板群を起立整列状態で収容し、かつ上方に設けられて該基板群を受け渡 すための開口部を有するカセットと、 該カセットの下方から前記基板群を押し上げて、前記開口部を通じて前記カセ ットから前記基板群を取り出す基板受け渡し具と を有するものとしてもよい。

【０００９】

【作用】

以上のように構成されたこの考案の基板処理装置によれば、第１の基板挟持部 と第２の基板挟持部との間の距離が短縮される方向に、スライド駆動部により、 スライド部がアーム部に沿って移動される。この結果、第１の基板挟持部により 起立整列状態のまま挟持される第１の基板群と、第２の基板挟持部により起立整 列状態のまま挟持される第２の基板群とが互いに近接されて幅寄せの動作がなさ れる。

【００１０】

【実施例】

以上説明したこの考案の構成・作用を一層明らかにするために、以下この考案 の好適な実施例について説明する。

【００１１】 図１はこの考案の一実施例である基板処理装置１０の外観を示す斜視図である 。図２は基板処理装置１０の平面図である。両図１，２に示すように、基板処理 装置１０は、カセット搬出入ステージ１１と、カセット搬送ロボット１３と、基 板移載部１５と、基板搬送ロボット１７と、基板処理部１９と、基板乾燥部２１ と、カセット洗浄器２３とを備えている。なお、この実施例で用いるカセット２ ５は、内部に基板整列収容溝を備え、この基板整列収納溝に２５枚の基板Ｗを起 立整列状態で収容できるようになっている。

【００１２】 基板処理装置１０の全体の概略的な動作について次に説明する。基板処理装置 １０では、基板処理装置１０外から未処理の基板Ｗａを収納したカセット２５が カセット搬出入ステージ１１の搬入位置１１ａに２ケース搬入されると、これら のカセット２５は、カセット搬送ロボット１３により基板移載部１５に搬送され る。続いて、カセット２５の未処理基板Ｗａが基板移載部１５によりカセット２ ５から取り出され、その後、基板搬送ロボット１７により基板処理部１９へ搬送 される。基板処理部１９では、基板リフト装置２７により未処理基板Ｗａを処理 槽２９内の薬液に浸して、未処理基板Ｗａに各種の溶液処理がなされる。

【００１３】 処理済みの基板Ｗｂは、基板搬送ロボット１７により基板乾燥部２１へ搬送さ れて乾燥処理がなされ、その後、基板移載部１５へ搬送される。一方、先に基板 移載部１５にて未処理基板Ｗａを取り出された空のカセット２５は、カセット搬 送ロボット１３でカセット洗浄器２３へ搬送されて洗浄される。そして、この洗 浄済みのカセット２５は、カセット搬送ロボット１３で基板移載部１５に搬送さ れる。次に、基板移載部１５で処理済み基板Ｗｂを洗浄済みのカセット２５に移 載し、このカセット２５をカセット搬送ロボット１３でカセット搬出入ステージ １１の搬出位置１１ｂに搬送し、ここから基板処理装置１０外に搬出する。

【００１４】 こうした基板処理装置１０では、前述したように基板移載部１５が設けられて いる。この基板移載部１５は、カセット搬送ロボット１３で搬送されるカセット ２５から未処理基板Ｗａを基板搬送ロボット１７に受け渡すと共に、基板搬送ロ ボット１７からの処理済み基板Ｗｂをカセット２５に収納してカセット搬送ロボ ット１３へ渡すものであり、その際、前記搬入位置１１ａおよび搬出位置１１ｂ に載置される基板の向きと、基板処理部１９の処理槽で処理される基板の向きと を合わせるために、カセット２５の向きを９０゜回転する機構を備えている。以 下、基板移載部１５の構成について図３を用いて説明する。

【００１５】 図３に示すように、基板移載部１５は、カセット載置テーブル３１と、カセッ ト載置テーブル３１にベアリング３３を介して回転自在に取り付けられた第１タ ーンテーブル３５Ａおよび第２ターンテーブル３５Ｂ（図４）とを備える。また 、基板移載部１５は、第１ターンテーブル３５Ａ側の構成として、第１ターンテ ーブル３５Ａを回転駆動する第１回転駆動装置４１Ａと、基板Ｗの受け渡し具と しての第１基板受け渡し具４３Ａと、第１基板受け渡し具４３Ａを昇降駆動する 第１昇降駆動装置４５Ａとを備え、さらに、第２ターンテーブル３５Ｂ側の構成 として、第１ターンテーブル３５Ａ側と同じ構成の第２回転駆動装置４１Ｂ，第 ２基板受け渡し具４３Ｂおよび第２昇降駆動装置４５Ｂを備える。

【００１６】 第１回転駆動装置４１Ａと第２回転駆動装置４１Ｂとは、同一の構成であるの で、第１回転駆動装置４１Ａについて次に説明する。第１回転駆動装置４１Ａは 、カセット載置テーブル３１に金具５１により固定される回転駆動モータ５３と 、回転駆動モータ５３の出力軸に固定されるピニオンギヤ５５と、第１ターンテ ーブル３５Ａに外嵌固定されるとともにピニオンギヤ５５と噛み合うリングギヤ ５７とを備える。回転駆動モータ５３を回転駆動すると、ピニオンギヤ５５を介 してリングギヤ５７が回転し、その結果、カセット載置テーブル３１にベアリン グ３３を介して回転自在に取り付けられた第１ターンテーブル３５Ａが回転する 。

【００１７】 第１基板受け渡し具４３Ａと第２基板受け渡し具４５Ｂとは、同一の構成であ るので、第１基板受け渡し具４３Ａについて次に説明する。第１基板受け渡し具 ４３Ａは、第１昇降載置部６１と、第１昇降載置部６１を支持する支持用パイプ ６３とを備える。第１昇降載置部６１の上部には、カセット２５が有する基板整 列収納溝と同一ピッチの基板整列保持溝６５備える基板載置部６７が形成されて いる。こうした構成の第１基板受け渡し具４３Ａは、第１昇降駆動装置４５Ａの 駆動力を受けて上昇してカセット２５の下開口部２５ａを抜け、第１ターンテー ブル３５Ａに載置されたカセット２５に収納される基板Ｗ（２点鎖線の位置）を 、基板整列保持溝６５で挟持しつつ起立整列状態で突き上げる。この結果、基板 Ｗは、２点鎖線の位置から１点鎖線の位置まで上昇する。

【００１８】 第１昇降駆動装置４５Ａと第２昇降駆動装置４５Ｂとは、同一の構成であるの で、第１昇降駆動装置４５Ａについて次に説明する。第１昇降駆動装置４５Ａは 、螺旋ねじが切られた１本のボールネジ７１と、１本のガイドレール７３と、ボ ールネジ７１およびガイドレール７３を垂直方向に固定するサポートユニット７ ５とを備える。ボールネジ７１には、支持用パイプ６３を垂直方向に指示する指 示アーム７７が螺合されており、その指示アーム７７にガイドレール７３が貫通 されている。ボールネジ７１の端部には昇降用駆動モータ７９の回転軸が連結さ れており、この昇降用駆動モータ７９を駆動することでボールネジ７１が回転し 、ボールネジ７１に螺合された指示アーム７７、ひいては第１基板受け渡し具４ ３Ａの支持用パイプ６３がガイドレール７３によって案内されて移動する。この 結果、支持用パイプ６３に固定された第１昇降載置部６１が上下方向に昇降され る。

【００１９】 こうして構成された基板移載部１５の動作について説明する。カセット搬送ロ ボット１３によりカセット載置テーブル３１の両ターンテーブル３５Ａ，３５Ｂ にカセット２５がそれぞれ置かれると（図４（Ａ）参照）、まず、回転駆動モー タ５３を回転駆動して、第１および第２ターンテーブル３５Ａ，３５Ｂを互いに 反対方向へ９０゜回転する。この結果、２つのカセット２５内の基板Ｗは同じ向 きに配列される（図４（Ｂ）参照）。

【００２０】 次いで、昇降用駆動モータ７９を回転（正回転）駆動することにより、第１お よび第２基板受け渡し具４３Ａ，４３Ｂで両カセット２５内の基板Ｗを突き上げ る。この結果、基板Ｗは、カセット２５から取り出された状態で起立整列状態に 保持される。この状態で、基板Ｗ（未処理基板Ｗａ）は基板搬送ロボット１７に 渡される。

【００２１】 次に、基板搬送ロボット１７から処理済み基板Ｗｂが基板移載部１５に渡され る場合について説明する。基板搬送ロボット１７は、処理済み基板Ｗｂを上昇位 置に位置する第１および第２基板受け渡し具４３Ａ，４３Ｂに渡す。そして、昇 降用駆動モータ７９を回転（逆回転）駆動することにより、第１および第２基板 受け渡し具４３Ａ，４３Ｂを下方に降ろし、基板Ｗｂを両ターンテーブル３５Ａ ，３５Ｂのカセット２５内に収納する。次いで、回転駆動モータ５３を回転駆動 することにより、図４（Ｂ）の状態から図４（Ａ）の状態へ第１および第２ター ンテーブル３５Ａ，３５Ｂを回転する。この結果、２つのカセット２５は、カセ ット搬送ロボット１３で取り込み可能な向きに配列される。

【００２２】 上記第１および第２基板受け渡し具４３Ａ，４３Ｂに対して基板Ｗの受け渡し を行なう基板搬送ロボット１７の構成について次に説明する。基板搬送ロボット １７は、基板Ｗをつかむアーム部８０と、アーム部８０を駆動するアーム駆動部 ９０と、アーム部８０と共にアーム駆動部９０をスライドするスライド駆動部（ 図示せず）とから構成される。

【００２３】 基板搬送ロボット１７のアーム部８０は、図５に示すように、基台８１からほ ぼ水平に突出した左右１対の第１アーム回転軸８３と、この第１アーム回転軸８ ３に固定されかつ基板Ｗ（１カセット２５に収容される２５枚の基板）を起立整 列状態で一括保持する左右一対の第１基板チャック８５と、この第１基板チャッ ク８５から第１アーム回転軸８３と同方向に突出した左右一対の第２アーム回転 軸８７と、この第２アーム回転軸８７に固定されかつ基板Ｗ（１カセット２５に 収容される２５枚の基板）を起立整列状態で一括保持する左右一対の第２基板チ ャック８９とを備えている。

【００２４】 １対の第１基板チャック８５は、図６に示すように、１対の対向面８５ａとそ の裏面８５ｂとに、カセット２５が有する基板整列収納溝と同一ピッチの基板整 列保持溝９１，９３をそれぞれ備えている。こうした第１基板チャック８５では 、第１アーム回転軸８３を軸として回転することにより１対の対向面８５ａ同士 を対向する姿勢として、基板整列保持溝９１により未処理基板Ｗａを保持する。 一方、裏面８５ｂ同士を対向する姿勢とすることによって、基板整列保持溝９３ により処理済み基板Ｗｂを保持する。こうした構成から、未処理基板Ｗａと処理 済み基板Ｗｂとを異なった基板整列保持溝９１，９３で保持させることができ、 処理済み基板Ｗｂが未処理基板Ｗａを保持した基板整列保持溝９３に接触するこ とによる汚染が防止される。

【００２５】 第２基板チャック８９も、第１基板チャック８５と同様に、対向面とその裏面 とに基板整列保持溝を備えており、これらの構成から、第１基板チャック８５と 同様に、未処理基板Ｗａと処理済み基板Ｗｂとを区別して保持する。

【００２６】 また、この基板搬送ロボット１７は、第２アーム回転軸８７に固定された第２ 基板チャック８９をそのままの位置として、第１アーム回転軸８３の基台８１か らの突出量を大きくすることにより、第１基板チャック８５の位置を第２基板チ ャック８９に近づけることができる。以下、こうした第１基板チャック８５の移 動と、前述した第１および第２基板チャック８５，８９の回動とを実現するアー ム駆動部９０の構成について詳しく説明する。

【００２７】 アーム駆動部９０は、基台８１に内蔵される部分であり、図７の断面図および 図８の斜視図に示すように、左右一対のほぼ同じ第２アーム回転軸８７Ｌ，８７ Ｒ周りの構成を備える。ここでは、まず、左側の第２アーム回転軸８７Ｌ周りの 構成について説明する。

【００２８】 図７および図８に示すように、アーム駆動部９０は、走行台１０１を備え、そ の上部に、第２アーム回転軸８７Ｌを軸受１０３，１０５を介して軸支する支持 板１０７Ｌ，１０９Ｌと、第２アーム回転軸８７Ｌに取り付けられる駆動ギヤ１ １１Ｌとを備える。第２アーム回転軸８７Ｌには止め金具１１３，１１４が設け られており、両止め金具１１３，１１４により駆動ギヤ１１１Ｌの軸方向へのず れを防止している。また、第２アーム回転軸８７Ｌに形成したキー溝にキー１１ ５がはめられており、このキー１１５により駆動ギヤ１１１Ｌの回転トルクを第 ２アーム回転軸８７Ｌに伝えている。

【００２９】 前述した第１基板チャック８５Ｌとその第１基板チャック８５Ｌに固定される 第１アーム回転軸８３Ｌとは、その内部に第２アーム回転軸８７Ｌが挿入される 形で設けられており、両アーム回転軸８３Ｌ，８７Ｌの間に介装されたリニアブ ッシュ１１７，１１８により第２アーム回転軸８７Ｌに沿って摺動する。第２ア ーム回転軸８７Ｌの第１基板チャック８５Ｌと反対側の端部には、フランジ１１ ９Ｌが形成されており、このフランジ１１９Ｌから駆動ギヤ１１１Ｌにかけて２ つのピン１２１，１２２が挿着されている。なお、フランジ１１９Ｌのピン１２ １，１２２周りには、軸受１２３，１２４が設けられている。

【００３０】 また、第１アーム回転軸８３Ｌの周囲に切り込み１２５が設けられており、こ の切り込み１２５に平板１２７が嵌着されている。この平板１２７には、エアシ リンダ１２９のシリンダ軸１３１が固着されている。駆動ギヤ１１１Ｌには反転 ギヤ１３３が噛み合っており、その反転ギヤ１３３に回転駆動モータ１３５の軸 １３７に固定された入力ギヤ１３９が噛み合っている。なお、前記第１アーム回 転軸８３Ｌには、第１アーム回転軸８３Ｌ内側の雰囲気を吸引する吸引ノズル１ ４１Ｌが設けられており、第１アーム回転軸８３Ｌの摺動により生じる粉塵を吸 引ノズル１４１Ｌから吸引している。

【００３１】 さらに、走行台１０１の上部には、右側の第２アーム回転軸８７Ｒ周りの構成 として、その左側と同様に、支持板１０７Ｒ，１０９Ｒと駆動ギヤ１１１Ｒとを 備える。駆動ギヤ１１１Ｒには、前記第１アーム回転軸８３Ｌと同様な第１アー ム回転軸８３Ｒが連結されており、また、前述した入力ギヤ１３９が噛み合って いる。さらに、前述した片方側と同様に、その第１アーム回転軸８３Ｒにはエア シリンダ１２９で移動駆動する平板１２７が嵌着されている。なお、前記第１ア ーム回転軸８３Ｒには、前記左側の第１アーム回転軸８３Ｒと同様に吸引ノズル １４１Ｒが設けられている。

【００３２】 こうして構成されたアーム駆動部９０によれば、回転駆動モータ１３５を回転 駆動することにより、駆動ギヤ１１１Ｌ，１１１Ｒを互いに反対方向へ回転する 。この結果、駆動ギヤ１１１Ｌ，１１１Ｒにそれぞれ連結される第１アーム回転 軸８３Ｌ，８３Ｒは互いに反対方向へ回転し、第１アーム回転軸８３Ｌ，８３Ｒ に固定される一対の第１基板チャック８５は開閉動作を行なう。

【００３３】 また、エアシリンダ１２９を駆動することにより、平板１２７は図中、ｘ方向 にスライドする。そうすると、平板１２７に固定される一対の第１アーム回転軸 ８３Ｒ，８３Ｌは第２アーム回転軸８７Ｒ，８７Ｌに沿って第２基板チャック８ ９方向に移動し、この結果、離間状態にある第１および第２基板チャック８５， ８９（図９の（ａ）参照）は、第２基板チャック８９が第１基板チャック８５側 に移動することで近接する（図９の（ｂ）参照）。

【００３４】 一方、基板搬送ロボット１７におけるスライド駆動部は、走行台１０１を水平 方向にスライドするもので、ここでは詳しい説明を省略するが、例えば、走行駆 動モータを用いて、その走行駆動モータの出力軸に駆動プーリを取り付け、その 駆動プーリに巻き掛けた連動ベルトに走行台１０１を取り付けたものである。

【００３５】 こうして構成された基板搬送ロボット１７の全体的な動作について次に説明す る。いま、基板移載部１５により、基板Ｗが２つのカセット２５から取り出され て２５枚毎に起立整列状態に保持されているものとする。この状態で、基板搬送 ロボット１７は、まず、スライド駆動部を駆動して、アーム部８０を基板移載部 １５の上方にスライドする。

【００３６】 次いで、回転駆動モータ１３５を回転駆動して、第１および第２基板チャック ８５，８９を閉じて、基板移載部１５側に保持される２５枚毎の２組の基板Ｗを つかむ。続いて、エアシリンダ１２９を駆動して、第１基板チャック８５を第２ 基板チャック８９に近接させる。続いて、スライド駆動部を駆動して、基板Ｗを 保持するアーム部８０を基板処理部１９の基板リフト装置２７上方にスライドし 、その後、回転駆動モータ１３５を回転駆動することにより、第１および第２基 板チャック８５，８９を開けて、基板Ｗを基板処理部１９の基板リフト装置２７ に渡す。

【００３７】 こうした一連の動作により、基板移載部１５の第１基板受け渡し具４３Ａによ り保持された１群の基板Ｗと第２基板受け渡し具４３Ｂで保持された１群の基板 Ｗとは、その間隔を狭める幅寄せが行なわれて連続した所定間隔で整列配置され 、基板処理部１９に渡されることになる。

【００３８】 一方、基板搬送ロボット１７により基板Ｗ（処理済み基板Ｗａ）を基板処理部 １９から基板移載部１５に移す場合には、基板搬送ロボット１７の処理は、前述 した基板移載部１５から基板処理部１９に移す一連の処理と逆の手順で行なわれ る。即ち、基板処理部１９の基板リフト装置２７上にある基板Ｗを第１および第 ２基板チャック８５，８９によりつかみ、次いで、スライド駆動部によりアーム 部８０を基板移載部１５側に移し、その後、第１基板チャック８５と第２基板チ ャック８９との間の距離を図９の（ｂ）に示す状態から（ａ）に示す状態に戻す 。続いて、第１および第２基板チャック８５，８９を開けて、基板Ｗを基板移載 部１５に渡す。

【００３９】 こうした一連の動作により、連続した所定間隔で整列配置された２カセット分 の基板の１群が、２カセットに収納可能な２群に分けられて、基板移載部１５に 渡されることになる。

【００４０】 次に、前述した各種動作の制御を行なう制御系について図１０を用いて説明す る。図１０に示すように、この制御系は、電子制御ユニット（以下、ＥＣＵと呼 ぶ）２００を中心として構成される。ＥＣＵ２００は、予め設定された制御プロ グラムに従って各種演算処理を実行するＣＰＵ２００ａと、ＣＰＵ２００ａで各 種演算処理を実行するのに必要な制御プログラムや制御データ等が予め格納され たＲＯＭ２００ｂと、同じくＣＰＵ２００ａで各種演算処理を実行するのに必要 な各種データが一時的に読み書きされるＲＡＭ２００ｃと、ＣＰＵ２００ａでの 演算結果に応じて各種駆動部に駆動信号を出力する入出力処理回路２００ｄ等を 備えている。

【００４１】 出力処理回路２００ｄに接続されるものとしては、前述したカセット搬送ロボ ット１３の駆動部、基板移載部１５の駆動部（回転駆動モータ５３，昇降用駆動 モータ７９）、基板搬送ロボット１７の駆動部（エアシリンダ１２９，回転駆動 モータ１３５，走行駆動モータ）等があり、これら駆動部がＥＣＵ２００により 制御されることにより、前述した基板搬送に伴う一連の動作が実行される。

【００４２】 以上、詳述してきたようにこの第１実施例の基板処理装置１０は、基板搬送ロ ボット１７による基板群の幅寄せを、第１アーム回転軸８３と第２アーム回転軸 ８７とを併せた一対の軸で行なっている。このため、基板搬送ロボット１７のア ーム部８０をコンパクトなものとすることができる。また、第２アーム回転軸８ ７は第１基板チャック８５に挿通されていることから、回転軸の芯出しの調整は きわめて容易となる。したがって、作業性の向上を図ることができる。

【００４３】 次に、この考案の第２実施例について説明する。この第２実施例は、第１実施 例と比較して次の点が相違し、その他の構成については同じものである。即ち、 基板Ｗをつかむ構成として、前記第１実施例では、平板に基板整列収納溝を形成 した第１および第２基板チャック８５，８９が用いられていたが、これに換えて 、この第２実施例では、図１１に示すように、棒状の部材の骨幹から構成した１ 対の第１基板挟持アーム３０１と１対の第２基板挟持アーム３０３とを用いてい る。

【００４４】 第１基板挟持アーム３０１は、第１アーム回転軸８３に固定されており、主幹 ３０１ａに形成された複数の溝に基板Ｗを差し込むようにして基板Ｗを挟持する 。また、第２基板挟持アーム３０３は、第２アーム回転軸８７に固定されており 、第１基板挟持アーム３０１と同様に、主幹３０３ａに形成された複数の溝に基 板Ｗを差し込むようにして基板Ｗを挟持する。

【００４５】 こうした構成の第２実施例では、第１実施例と同様に、基板搬送とともに、第 １の基板群と第２の基板群とを互いに近接させる幅寄せ動作を行なうことができ る。しかも、第１実施例と同様に、装置のコンパクト化と、アーム回転軸の芯出 し調整を容易なものとして作業性の向上とを図ることができる。

【００４６】 以上、この考案のいくつかの実施例を詳述してきたが、この考案はこうした実 施例に何等限定されるものではなく、この考案の要旨を逸脱しない範囲において 種々なる態様にて実施し得ることは勿論である。例えば、第１実施例において、 第１基板チャック８５を第２基板チャック８９の側に近づける構成に換えて、第 ２基板チャック８９を第１基板チャック８５の側に近づける構成としてもよい。 また、両チャック８５，８９を互いに近づける構成としてもよい。

【００４７】 さらに、前記第１実施例では、基板群の幅寄せの動作を基板処理部１９側への 基板Ｗの搬送の前に行なっていたが、これに換えて、その搬送の途中で行なうよ うに構成してもよい。また、その搬送を終えた後に幅寄せの動作を行なうように してもよい。

【００４８】

【考案の効果】

以上説明したようにこの考案の基板処理装置によれば、基板搬送手段による基 板群の幅寄せを一軸で行なうことができる。このため、基板搬送手段の部分をコ ンパクトなものとすることができ、且つ、アーム回転軸の芯出しの調整を容易な ものとして作業性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例である基板処理装置１０の
外観を示す斜視図である。

【図２】その基板処理装置１０の平面図である。

【図３】基板移載部１５を示す断面図である。

【図４】基板移載部の動作のうち第１および第２ターン
テーブル３５Ａ，３５Ｂでの移載動作を説明する説明図
である。

【図５】基板搬送ロボット１７のアーム部８０の斜視図
である。

【図６】図５のＡ−Ａ線に沿った断面図である。

【図７】基板搬送ロボット１７のアーム駆動部９０を示
す断面図である。

【図８】アーム駆動部９０の斜視図である。

【図９】基板搬送ロボット１７の動作のうち基板群の幅
寄せ動作を説明する説明図である。

【図１０】基板処理装置の制御系を示すブロック図であ
る。

【図１１】第２実施例における基板搬送ロボットのアー
ム部を示す斜視図である。

【図１２】従来の基板搬送部を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０…基板処理装置 １１…カセット搬出入ステージ １３…カセット搬送ロボット １５…基板移載部 １７…基板搬送ロボット １９…基板処理部 ２１…基板乾燥部 ２３…カセット洗浄器 ２５…カセット ２５ａ…下開口部 ２７…基板リフト装置 ２９…処理槽 ３１…カセット載置テーブル ３３…ベアリング ３５Ａ…第１ターンテーブル ３５Ｂ…第２ターンテーブル ４１Ａ…第１回転駆動装置 ４１Ｂ…第２回転駆動装置 ４３Ａ…第１基板受け渡し具 ４３ｂ…第２基板受け渡し具 ４５Ａ…第１昇降駆動装置 ４５Ｂ…第２昇降駆動装置 ５１…金具 ５３…回転駆動モータ ５５…ピニオンギヤ ５７…リングギヤ ６１…第１昇降載置部 ６３…支持用パイプ ６５…基板整列保持溝 ６７…基板載置部 ７１…ボールネジ ７３…ガイドレール ７５…サポートユニット ７７…指示アーム ７９…昇降用駆動モータ ８０…アーム部 ８１…基台 ８３…第１アーム回転軸 ８３Ｌ，８３Ｒ…第１アーム回転軸 ８５…第１基板チャック ８５Ｌ，８５Ｒ…第１基板チャック ８７…第２アーム回転軸 ８７Ｌ，８７Ｒ…第２アーム回転軸 ８９…第２基板チャック ９０…アーム駆動部 ９１，９３…基板整列保持溝 １０１…走行台 １０３，１０５…軸受 １０７Ｌ，１０９Ｌ…支持板 １１１Ｌ，１１１Ｒ…駆動ギヤ １１３，１１４…止め金具 １１５…キー １１７，１１８…リニアブッシュ １１９Ｌ…フランジ １２１，１２２…ピン １２３，１２４…軸受 １２７…平板 １２９…エアシリンダ １３１…シリンダ軸 １３３…反転ギヤ １３５…回転駆動モータ １３７…軸 １３９…入力ギヤ １４１Ｌ，１４１Ｒ…吸引ノズル ２００…ＥＣＵ ２００ａ…ＣＰＵ ２００ｂ…ＲＯＭ ２００ｃ…ＲＡＭ ２００ｄ…入出力処理回路 ３０１…第１基板挟持アーム ３０１ａ…主幹 ３０３…第２基板挟持アーム ３０３ａ…主幹 Ｗ…基板 Ｗａ…未処理基板 Ｗｂ…処理済み基板

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の基板からなる第１の基板群を起立
   整列状態で保持する第１の基板保持手段と、 複数の基板からなる第２の基板群を前記第１の基板群と
   直列に、同じく起立整列状態で保持する第２の基板保持
   手段と、 前記両基板保持手段により保持される前記第１および第
   ２の基板群を同時に他の処理手段へ搬送する基板搬送手
   段とを備える基板処理装置であって、 前記基板搬送手段は、 前記第１および第２の基板群の配列方向に突出したアー
   ム部と、 該アーム部を水平方向へ移動するアーム駆動部と、 該アーム部に沿ってスライド可能に設けられたスライド
   部と、 前記アーム部に設けられ、前記第１の基板群を起立整列
   状態のまま一括して挟持する第１の基板挟持部と、 前記スライド部に設けられ、前記第２の基板群を起立整
   列状態のまま一括して挟持する第２の基板挟持部と、 前記第１の基板挟持部と第２の基板挟持部との間の距離
   が短縮される方向に、前記スライド部を前記アーム部に
   沿って移動するスライド駆動部とを有するものである基
   板処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板処理装置であって、 前記第１および第２の基板保持手段は、 当該基板群を起立整列状態で収容し、かつ上方に設けら
   れて該基板群を受け渡すための開口部を有するカセット
   と、 該カセットの下方から前記基板群を押し上げて、前記開
   口部を通じて前記カセットから前記基板群を取り出す基
   板受け渡し具とを有するものである基板処理装置。