JPH0680242A - ワーク搬送処理ライン - Google Patents
ワーク搬送処理ラインInfo
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- JPH0680242A JPH0680242A JP26053892A JP26053892A JPH0680242A JP H0680242 A JPH0680242 A JP H0680242A JP 26053892 A JP26053892 A JP 26053892A JP 26053892 A JP26053892 A JP 26053892A JP H0680242 A JPH0680242 A JP H0680242A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワーク搬送処理ラインにおいて、ラインの全
長を短縮すると共に部品点数を削減する。 【構成】 ローダ部１からアンローダ部９までの間に所
定の順序で並べられた複数の処理工程の途中に第一のワ
ーク並べ換え部１０ａを設け、１列搬送のワークを複数
枚並列に並べて複数列にして搬送処理し、所定の処理工
程だけ進んだ所に第二のワーク並べ換え部１０ｂを設
け、複数列搬送のワークを１枚ずつ直列に並べて１列に
して搬送処理するように構成する。これにより、ライン
の全長ＴＬを短縮することができると共に、処理槽を少
なくして部品点数を削減することができる。
長を短縮すると共に部品点数を削減する。 【構成】 ローダ部１からアンローダ部９までの間に所
定の順序で並べられた複数の処理工程の途中に第一のワ
ーク並べ換え部１０ａを設け、１列搬送のワークを複数
枚並列に並べて複数列にして搬送処理し、所定の処理工
程だけ進んだ所に第二のワーク並べ換え部１０ｂを設
け、複数列搬送のワークを１枚ずつ直列に並べて１列に
して搬送処理するように構成する。これにより、ライン
の全長ＴＬを短縮することができると共に、処理槽を少
なくして部品点数を削減することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶又は薄膜基
板などを製造する装置において加工対象としてのガラス
基板などのワークを各工程間で搬送し処理するワーク搬
送処理ラインに関し、特にラインの全長を短縮すると共
に部品点数を削減して装置価格の低下を図ることができ
るワーク搬送処理ラインに関する。
板などを製造する装置において加工対象としてのガラス
基板などのワークを各工程間で搬送し処理するワーク搬
送処理ラインに関し、特にラインの全長を短縮すると共
に部品点数を削減して装置価格の低下を図ることができ
るワーク搬送処理ラインに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種のワーク搬送処理ライン
は、ローダ部からワークを１枚ずつ取り出し、所定の順
序で並べられた複数の処理工程にワークを順次搬送して
処理を行い、処理後のワークをアンローダ部に１枚ずつ
収納するようになっていた。そして、上記ローダ部から
アンローダ部に至る間の処理工程には、液晶又は薄膜基
板などの製造工程に従って塗布、剥離、洗浄、乾燥等の
所要の処理を行うそれぞれの処理槽が所定の順序で並べ
られていた。
は、ローダ部からワークを１枚ずつ取り出し、所定の順
序で並べられた複数の処理工程にワークを順次搬送して
処理を行い、処理後のワークをアンローダ部に１枚ずつ
収納するようになっていた。そして、上記ローダ部から
アンローダ部に至る間の処理工程には、液晶又は薄膜基
板などの製造工程に従って塗布、剥離、洗浄、乾燥等の
所要の処理を行うそれぞれの処理槽が所定の順序で並べ
られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来のワーク搬送処理ラインにおいては、上記各処理槽に
はワークを１枚ずつ収容し枚葉式に処理していたので、
各処理工程の中で例えば２倍の時間の処理を行おうとす
ると必然的に処理槽も多数となり、ラインの全長が長大
化するものであった。また、塗布、剥離、洗浄などの各
工程においては、それぞれ所要の薬液を使用するので、
それらの薬液を供給したり或いは排出したりする配管部
品が各処理槽ごとに必要となり、上記配管部品の部品点
数が増大して装置価格が上昇するものであった。
来のワーク搬送処理ラインにおいては、上記各処理槽に
はワークを１枚ずつ収容し枚葉式に処理していたので、
各処理工程の中で例えば２倍の時間の処理を行おうとす
ると必然的に処理槽も多数となり、ラインの全長が長大
化するものであった。また、塗布、剥離、洗浄などの各
工程においては、それぞれ所要の薬液を使用するので、
それらの薬液を供給したり或いは排出したりする配管部
品が各処理槽ごとに必要となり、上記配管部品の部品点
数が増大して装置価格が上昇するものであった。
【０００４】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、ラインの全長を短縮すると共に部品点数を削減し
て装置価格の低下を図ることができるワーク搬送処理ラ
インを提供することを目的とする。
処し、ラインの全長を短縮すると共に部品点数を削減し
て装置価格の低下を図ることができるワーク搬送処理ラ
インを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によるワーク搬送処理ラインは、ローダ部か
らワークを１枚ずつ取り出し、所定の順序で並べられた
複数の処理工程にワークを順次搬送して処理を行い、処
理後のワークをアンローダ部に１枚ずつ収納するワーク
搬送処理ラインにおいて、上記複数の処理工程の途中に
第一のワーク並べ換え部を設け、１列搬送のワークを複
数枚並列に並べて複数列にして搬送処理し、所定の処理
工程だけ進んだ所に第二のワーク並べ換え部を設け、複
数列搬送のワークを１枚ずつ直列に並べて１列にして搬
送処理するようにしたものである。
に、本発明によるワーク搬送処理ラインは、ローダ部か
らワークを１枚ずつ取り出し、所定の順序で並べられた
複数の処理工程にワークを順次搬送して処理を行い、処
理後のワークをアンローダ部に１枚ずつ収納するワーク
搬送処理ラインにおいて、上記複数の処理工程の途中に
第一のワーク並べ換え部を設け、１列搬送のワークを複
数枚並列に並べて複数列にして搬送処理し、所定の処理
工程だけ進んだ所に第二のワーク並べ換え部を設け、複
数列搬送のワークを１枚ずつ直列に並べて１列にして搬
送処理するようにしたものである。
【０００６】また、上記第一及び第二のワーク並べ換え
部は、ワーク支持部がその上面にワークを支持した状態
で搬送方向に対し90度回転することにより、１列のワー
クを複数列に又は複数列のワークを１列に並べ換えるも
のとすればよい。
部は、ワーク支持部がその上面にワークを支持した状態
で搬送方向に対し90度回転することにより、１列のワー
クを複数列に又は複数列のワークを１列に並べ換えるも
のとすればよい。
【０００７】さらに、上記第一及び第二のワーク並べ換
え部は、ワーク支持部がその上面にワークを支持した状
態で搬送方向に対し直角方向に横移動することにより、
１列のワークを複数列に又は複数列のワークを１列に並
べ換えるものとしてもよい。
え部は、ワーク支持部がその上面にワークを支持した状
態で搬送方向に対し直角方向に横移動することにより、
１列のワークを複数列に又は複数列のワークを１列に並
べ換えるものとしてもよい。
【０００８】
【作用】このように構成されたワーク搬送処理ライン
は、複数の処理工程の途中に設けられた第一のワーク並
べ換え部により、それまでの１列搬送のワークを複数枚
並列に並べて複数列にして搬送処理に移し、そこから所
定の処理工程だけ進んだ所に設けられた第二のワーク並
べ換え部で、それまでの複数列搬送のワークを１枚ずつ
直列に並べて１列にして搬送処理に移すように動作す
る。これにより、所定の処理工程のところはワークを同
時並列に処理することができ、ラインの全長を短縮する
と共に部品点数を削減して装置価格の低下を図ることが
できる。
は、複数の処理工程の途中に設けられた第一のワーク並
べ換え部により、それまでの１列搬送のワークを複数枚
並列に並べて複数列にして搬送処理に移し、そこから所
定の処理工程だけ進んだ所に設けられた第二のワーク並
べ換え部で、それまでの複数列搬送のワークを１枚ずつ
直列に並べて１列にして搬送処理に移すように動作す
る。これにより、所定の処理工程のところはワークを同
時並列に処理することができ、ラインの全長を短縮する
と共に部品点数を削減して装置価格の低下を図ることが
できる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。図１は本発明によるワーク搬送処理ラ
インの第一の実施例を示す平面説明図である。このワー
ク搬送処理ラインは、例えば液晶又は薄膜基板などを製
造する装置においてガラス基板などのワークを各工程間
で搬送し処理するもので、図１に示すように、ローダ部
１からワーク２を１枚ずつ取り出し、所定の順序で並べ
られた複数の処理工程３〜８にワーク２を順次搬送して
処理を行い、処理後のワーク２をアンローダ部９に１枚
ずつ収納するようになっている。
詳細に説明する。図１は本発明によるワーク搬送処理ラ
インの第一の実施例を示す平面説明図である。このワー
ク搬送処理ラインは、例えば液晶又は薄膜基板などを製
造する装置においてガラス基板などのワークを各工程間
で搬送し処理するもので、図１に示すように、ローダ部
１からワーク２を１枚ずつ取り出し、所定の順序で並べ
られた複数の処理工程３〜８にワーク２を順次搬送して
処理を行い、処理後のワーク２をアンローダ部９に１枚
ずつ収納するようになっている。
【００１０】上記ローダ部１は、これから加工しようと
するワーク２を積層しておくもので、適宜の箱状に形成
され、処理の開始に従ってワーク２を１枚ずつ取り出し
て最初の工程に送り出すようになっている。このローダ
部１に続く複数の処理工程３〜８は、製造する製品によ
って異なるが、それぞれの処理内容に応じて例えば処理
液ディップ槽、剥離槽、リンス槽、水洗槽、乾燥装置な
どであり、処理の順序に従って一列状に並べられてい
る。そして、アンローダ部９は、上記各処理工程３〜８
により順次処理されて処理が完了したワーク２を収納す
るもので、適宜の箱状に形成され、直前の処理工程から
送り出されるワーク２を１枚ずつ収納して順次積層する
ようになっている。なお、上記ローダ部１からアンロー
ダ部９の間においては、ワーク２は、ローラ搬送又はメ
カ搬送あるいは一体爪搬送などの搬送手段により搬送さ
れるようになっている。
するワーク２を積層しておくもので、適宜の箱状に形成
され、処理の開始に従ってワーク２を１枚ずつ取り出し
て最初の工程に送り出すようになっている。このローダ
部１に続く複数の処理工程３〜８は、製造する製品によ
って異なるが、それぞれの処理内容に応じて例えば処理
液ディップ槽、剥離槽、リンス槽、水洗槽、乾燥装置な
どであり、処理の順序に従って一列状に並べられてい
る。そして、アンローダ部９は、上記各処理工程３〜８
により順次処理されて処理が完了したワーク２を収納す
るもので、適宜の箱状に形成され、直前の処理工程から
送り出されるワーク２を１枚ずつ収納して順次積層する
ようになっている。なお、上記ローダ部１からアンロー
ダ部９の間においては、ワーク２は、ローラ搬送又はメ
カ搬送あるいは一体爪搬送などの搬送手段により搬送さ
れるようになっている。
【００１１】ここで、本発明においては、上記複数の処
理工程３〜８の途中に第一のワーク並べ換え部１０ａが
設けられると共に、そこから所定の処理工程だけ進んだ
所に第二のワーク並べ換え部１０ｂが設けられている。
上記第一のワーク並べ換え部１０ａは、そこまで１枚ず
つ１列で搬送されてきたワーク２を例えば２列にして搬
送処理するために２枚並列に並べるもので、ワーク支持
部がその上面にワーク２を支持した状態で搬送方向の軸
線１１に対し矢印Ａのように90度回転することにより１
列のワーク２を２列に並べ換えるようになっている。ま
た、第二のワーク並べ換え部１０ｂは、そこまで２枚ず
つ２列で搬送されてきたワーク２を１列にして搬送処理
するために１枚ずつ直列に並べるもので、ワーク支持部
がその上面にワーク２を支持した状態で搬送方向の軸線
１１に対し矢印Ｂのように90度回転することにより２列
のワーク２を１列に並べ換えるようになっている。
理工程３〜８の途中に第一のワーク並べ換え部１０ａが
設けられると共に、そこから所定の処理工程だけ進んだ
所に第二のワーク並べ換え部１０ｂが設けられている。
上記第一のワーク並べ換え部１０ａは、そこまで１枚ず
つ１列で搬送されてきたワーク２を例えば２列にして搬
送処理するために２枚並列に並べるもので、ワーク支持
部がその上面にワーク２を支持した状態で搬送方向の軸
線１１に対し矢印Ａのように90度回転することにより１
列のワーク２を２列に並べ換えるようになっている。ま
た、第二のワーク並べ換え部１０ｂは、そこまで２枚ず
つ２列で搬送されてきたワーク２を１列にして搬送処理
するために１枚ずつ直列に並べるもので、ワーク支持部
がその上面にワーク２を支持した状態で搬送方向の軸線
１１に対し矢印Ｂのように90度回転することにより２列
のワーク２を１列に並べ換えるようになっている。
【００１２】次に、上記第一及び第二のワーク並べ換え
部１０ａ，１０ｂの構造の一例を、図２及び図３を参照
して説明する。これら第一及び第二のワーク並べ換え部
１０ａ，１０ｂは全く共通の構造をしているが、図２及
び図３においては第一のワーク並べ換え部１０ａについ
て示している。図において、チャック１２は、その上面
にワーク２を例えば２枚横並びに載せて支持するワーク
支持部となるもので、上下左右に突出したチャック爪１
３，１３，…を有し、このチャック爪１３によってワー
ク２の側辺部を保持するようになっている。そして、上
記チャック１２の下面中央には、図３に示すように、回
転軸１４が設けられ、この回転軸１４は図示外のモータ
などの駆動源により矢印のように回転及び上下動される
ようになっている。これにより、上記チャック１２は、
図３に鎖線で示すように、後述の搬送ローラ系１５〜１
８の上方又は下方に例えば３段階で上下動可能とされ
る。
部１０ａ，１０ｂの構造の一例を、図２及び図３を参照
して説明する。これら第一及び第二のワーク並べ換え部
１０ａ，１０ｂは全く共通の構造をしているが、図２及
び図３においては第一のワーク並べ換え部１０ａについ
て示している。図において、チャック１２は、その上面
にワーク２を例えば２枚横並びに載せて支持するワーク
支持部となるもので、上下左右に突出したチャック爪１
３，１３，…を有し、このチャック爪１３によってワー
ク２の側辺部を保持するようになっている。そして、上
記チャック１２の下面中央には、図３に示すように、回
転軸１４が設けられ、この回転軸１４は図示外のモータ
などの駆動源により矢印のように回転及び上下動される
ようになっている。これにより、上記チャック１２は、
図３に鎖線で示すように、後述の搬送ローラ系１５〜１
８の上方又は下方に例えば３段階で上下動可能とされ
る。
【００１３】上記チャック１２の近傍には、図２に示す
ように、ワーク２の搬送方向の軸線１１に沿って例えば
４本の搬送ローラ系１５，１６，１７，１８が設けられ
ている。これらの搬送ローラ系１５〜１８は、前記ロー
ダ部１から送り出されたワーク２を受け取り、チャック
１２の上面に位置させ、該チャック１２が矢印Ａのよう
に90度回転して２列に並べ換えられたワーク２を次の工
程へ送り出すものである。すなわち、上記ローダ部１か
ら矢印Ｃのように送り出されたワーク２は、中央部の第
二及び第三の搬送ローラ系１６，１７で受け取ってチャ
ック１２の上面まで搬送し、該チャック１２が90度回転
して２列に並べ換えられたワーク２は、それぞれ第一及
び第二の搬送ローラ系１５，１６と、第三及び第四の搬
送ローラ系１７，１８とで受け取って矢印Ｄ，Ｅのよう
に次工程がわへ送り出すようになっている。なお、図３
において、符号１８ａ，１８ｂ，…，１８ｎは、上記第
四の搬送ローラ系１８を構成する各搬送ローラを示して
いる。
ように、ワーク２の搬送方向の軸線１１に沿って例えば
４本の搬送ローラ系１５，１６，１７，１８が設けられ
ている。これらの搬送ローラ系１５〜１８は、前記ロー
ダ部１から送り出されたワーク２を受け取り、チャック
１２の上面に位置させ、該チャック１２が矢印Ａのよう
に90度回転して２列に並べ換えられたワーク２を次の工
程へ送り出すものである。すなわち、上記ローダ部１か
ら矢印Ｃのように送り出されたワーク２は、中央部の第
二及び第三の搬送ローラ系１６，１７で受け取ってチャ
ック１２の上面まで搬送し、該チャック１２が90度回転
して２列に並べ換えられたワーク２は、それぞれ第一及
び第二の搬送ローラ系１５，１６と、第三及び第四の搬
送ローラ系１７，１８とで受け取って矢印Ｄ，Ｅのよう
に次工程がわへ送り出すようになっている。なお、図３
において、符号１８ａ，１８ｂ，…，１８ｎは、上記第
四の搬送ローラ系１８を構成する各搬送ローラを示して
いる。
【００１４】上記チャック１２の軸線１１に沿う両側方
には、図２に示すように、ガイドアーム１９，１９が設
けられている。このガイドアーム１９は、ローダ部１か
ら矢印Ｃのように送り出される１枚ずつのワーク２の外
側辺の通過を案内するもので、その内側端にはガイドロ
ーラが設けられ、上記チャック１２が90度回転する際に
は軸線１１に直交する方向に矢印のように退避しうるよ
うになっている。
には、図２に示すように、ガイドアーム１９，１９が設
けられている。このガイドアーム１９は、ローダ部１か
ら矢印Ｃのように送り出される１枚ずつのワーク２の外
側辺の通過を案内するもので、その内側端にはガイドロ
ーラが設けられ、上記チャック１２が90度回転する際に
は軸線１１に直交する方向に矢印のように退避しうるよ
うになっている。
【００１５】そして、上記第一及び第二のワーク並べ換
え部１０ａ，１０ｂの間に位置する複数の処理工程３〜
６における各処理槽３′，４′，５′，６′は、それぞ
れワーク２を例えば２枚分同時に並列して収容できる大
きさで縦長に形成されている。従って、搬送方向の寸法
は、ワーク２の１枚分の処理用のものと同じ長さでよ
い。
え部１０ａ，１０ｂの間に位置する複数の処理工程３〜
６における各処理槽３′，４′，５′，６′は、それぞ
れワーク２を例えば２枚分同時に並列して収容できる大
きさで縦長に形成されている。従って、搬送方向の寸法
は、ワーク２の１枚分の処理用のものと同じ長さでよ
い。
【００１６】次に、このように構成されたワーク搬送処
理ラインの動作について、図４〜図１１を参照して説明
する。まず、図１において、ローダ部１からワーク２を
１枚ずつ取り出し、図２に示す搬送ローラ系１６，１７
により矢印Ｃのように第一のワーク並べ換え部１０ａに
送り出す。このとき、上記第一のワーク並べ換え部１０
ａのチャック１２は、図３において前記の各搬送ローラ
系１５〜１８の下方に下降しているが、実線で示す位置
よりやや上昇しており、ワーク２の進行方向の最前方が
わのストッパが上記各搬送ローラ系１５〜１８より上方
に突出している。従って、上記送り出されたワーク２
は、前記第二及び第三の搬送ローラ系１６，１７の上を
移動して、図４において鎖線で示すようにチャック１２
の手前半分の上方に至り、さらに進んで実線で示すよう
にチャック１２の後半分の上方まで至ったところでスト
ッパ２０，２０に当り、停止する。これを１番目のワー
ク２ａとする。なお、このときは、上記チャック１２の
両側方にガイドアーム１９，１９が矢印Ｇ，Ｈのように
接近してきており、ワーク２の進行を案内している。
理ラインの動作について、図４〜図１１を参照して説明
する。まず、図１において、ローダ部１からワーク２を
１枚ずつ取り出し、図２に示す搬送ローラ系１６，１７
により矢印Ｃのように第一のワーク並べ換え部１０ａに
送り出す。このとき、上記第一のワーク並べ換え部１０
ａのチャック１２は、図３において前記の各搬送ローラ
系１５〜１８の下方に下降しているが、実線で示す位置
よりやや上昇しており、ワーク２の進行方向の最前方が
わのストッパが上記各搬送ローラ系１５〜１８より上方
に突出している。従って、上記送り出されたワーク２
は、前記第二及び第三の搬送ローラ系１６，１７の上を
移動して、図４において鎖線で示すようにチャック１２
の手前半分の上方に至り、さらに進んで実線で示すよう
にチャック１２の後半分の上方まで至ったところでスト
ッパ２０，２０に当り、停止する。これを１番目のワー
ク２ａとする。なお、このときは、上記チャック１２の
両側方にガイドアーム１９，１９が矢印Ｇ，Ｈのように
接近してきており、ワーク２の進行を案内している。
【００１７】次に、図１に示すローダ部１からは２番目
のワーク２ｂが、上記と同様にして矢印Ｃのように送り
出される。このとき、上記チャック１２は、図３におい
て１番目のワーク２ａが進んで来たときよりもやや上昇
しており、中央部のストッパが上記各搬送ローラ系１５
〜１８より上方に突出している。従って、上記送り出さ
れた２番目のワーク２ｂは、前記第二及び第三の搬送ロ
ーラ系１６，１７の上を移動して、図５において実線で
示すようにチャック１２の手前半分の上方に至ったとこ
ろで中央部のストッパ２１に当り、停止する。
のワーク２ｂが、上記と同様にして矢印Ｃのように送り
出される。このとき、上記チャック１２は、図３におい
て１番目のワーク２ａが進んで来たときよりもやや上昇
しており、中央部のストッパが上記各搬送ローラ系１５
〜１８より上方に突出している。従って、上記送り出さ
れた２番目のワーク２ｂは、前記第二及び第三の搬送ロ
ーラ系１６，１７の上を移動して、図５において実線で
示すようにチャック１２の手前半分の上方に至ったとこ
ろで中央部のストッパ２１に当り、停止する。
【００１８】その後、この状態で図３において図示外の
駆動源を駆動し、回転軸１４を矢印Ｆのように上昇させ
る。すると、上記チャック１２の全体が上昇し、図２に
示す上下左右に突出したチャック爪１３，１３，…で１
番目のワーク２ａ及び２番目のワーク２ｂの側辺部をそ
れぞれ下面側から保持する。そして、このように各チャ
ック爪１３，１３，…で１番目及び２番目のワーク２
ａ，２ｂを保持した状態で、図３に鎖線で示すように、
上記チャック１２は、各搬送ローラ系１５〜１８の上方
まで上昇して停止する。
駆動源を駆動し、回転軸１４を矢印Ｆのように上昇させ
る。すると、上記チャック１２の全体が上昇し、図２に
示す上下左右に突出したチャック爪１３，１３，…で１
番目のワーク２ａ及び２番目のワーク２ｂの側辺部をそ
れぞれ下面側から保持する。そして、このように各チャ
ック爪１３，１３，…で１番目及び２番目のワーク２
ａ，２ｂを保持した状態で、図３に鎖線で示すように、
上記チャック１２は、各搬送ローラ系１５〜１８の上方
まで上昇して停止する。
【００１９】次に、図５において、チャック１２の両側
方に位置するガイドアーム１９，１９を矢印Ｊ，Ｋのよ
うに退避させ、図６に示すように、それらの内方で上記
チャック１２が回転しうるように間隔をあける。その
後、図３において図示外の駆動源を駆動し、回転軸１４
を矢印Ａのように回転させる。すると、図６に示すよう
に、２枚のワーク２ａ，２ｂを載せたチャック１２の全
体が矢印Ａのように90度回転し、該チャック１２の長手
方向がワークの搬送方向の軸線１１に直交する状態とな
って停止する。これにより、図５に示すように１列搬送
のワーク２ａ，２ｂを、図６に示すように２枚並列に並
べて２列に変換することができる。
方に位置するガイドアーム１９，１９を矢印Ｊ，Ｋのよ
うに退避させ、図６に示すように、それらの内方で上記
チャック１２が回転しうるように間隔をあける。その
後、図３において図示外の駆動源を駆動し、回転軸１４
を矢印Ａのように回転させる。すると、図６に示すよう
に、２枚のワーク２ａ，２ｂを載せたチャック１２の全
体が矢印Ａのように90度回転し、該チャック１２の長手
方向がワークの搬送方向の軸線１１に直交する状態とな
って停止する。これにより、図５に示すように１列搬送
のワーク２ａ，２ｂを、図６に示すように２枚並列に並
べて２列に変換することができる。
【００２０】次に、この状態で図３において図示外の駆
動源を駆動し、回転軸１４を矢印Ｌのように下降させ
る。すると、上記チャック１２の全体が下降し、この下
降の途中でその上面に保持していた２枚のワーク２ａ，
２ｂは、それぞれ第一及び第二の搬送ローラ系１５，１
６と、第三及び第四の搬送ローラ系１７，１８との上に
載せられ、チャック１２自体は、図３に実線で示すよう
に各搬送ローラ系１５〜１８の下方に位置する。その
後、上記各搬送ローラ系１５〜１８を駆動することによ
り、図７に示すように、２枚のワーク２ａ，２ｂをそれ
ぞれ矢印Ｄ，Ｅのように２列で同時搬送することができ
る。
動源を駆動し、回転軸１４を矢印Ｌのように下降させ
る。すると、上記チャック１２の全体が下降し、この下
降の途中でその上面に保持していた２枚のワーク２ａ，
２ｂは、それぞれ第一及び第二の搬送ローラ系１５，１
６と、第三及び第四の搬送ローラ系１７，１８との上に
載せられ、チャック１２自体は、図３に実線で示すよう
に各搬送ローラ系１５〜１８の下方に位置する。その
後、上記各搬送ローラ系１５〜１８を駆動することによ
り、図７に示すように、２枚のワーク２ａ，２ｂをそれ
ぞれ矢印Ｄ，Ｅのように２列で同時搬送することができ
る。
【００２１】これにより、図１において、第一のワーク
並べ換え部１０ａからその次の処理工程３の処理槽３′
へワーク２ａ，２ｂが送られ、２枚同時に所要の処理が
行われる。以後、各処理工程３〜６においても、２枚の
ワーク２ａ，２ｂが並列に同時搬送されて所要の処理が
実施される。そして、所定の処理工程だけ進んだ所で、
上記２枚のワーク２ａ，２ｂは、第二のワーク並べ換え
部１０ｂに搬入される。
並べ換え部１０ａからその次の処理工程３の処理槽３′
へワーク２ａ，２ｂが送られ、２枚同時に所要の処理が
行われる。以後、各処理工程３〜６においても、２枚の
ワーク２ａ，２ｂが並列に同時搬送されて所要の処理が
実施される。そして、所定の処理工程だけ進んだ所で、
上記２枚のワーク２ａ，２ｂは、第二のワーク並べ換え
部１０ｂに搬入される。
【００２２】この第二のワーク並べ換え部１０ｂでは、
いままでの２列搬送のワーク２ａ，２ｂを１枚ずつ直列
に並べ換える。その動作は図８〜図１１に示すようにな
るが、概ね図４〜図７の動作の逆順に進む。すなわち、
図８において、チャック１２は各搬送ローラ系１５〜１
８の下方に位置しており、ガイドアーム１９は両側方へ
退避している。この状態で、上記各搬送ローラ系１５〜
１８により、２枚のワーク２ａ，２ｂが２列で矢印Ｍ，
Ｎのように同時に搬入される。そして、上記チャック１
２の上方でストッパに当って停止する。
いままでの２列搬送のワーク２ａ，２ｂを１枚ずつ直列
に並べ換える。その動作は図８〜図１１に示すようにな
るが、概ね図４〜図７の動作の逆順に進む。すなわち、
図８において、チャック１２は各搬送ローラ系１５〜１
８の下方に位置しており、ガイドアーム１９は両側方へ
退避している。この状態で、上記各搬送ローラ系１５〜
１８により、２枚のワーク２ａ，２ｂが２列で矢印Ｍ，
Ｎのように同時に搬入される。そして、上記チャック１
２の上方でストッパに当って停止する。
【００２３】次に、この状態で、上記チャック１２を上
昇させてその上面に２枚のワーク２ａ，２ｂを保持し、
各搬送ローラ系１５〜１８の上方に持ち上げる。その
後、図９に示すように、上記チャック１２を矢印Ｂのよ
うに90度回転させ、該チャック１２の長手方向がワーク
の搬送方向の軸線１１と平行になったところで停止す
る。これにより、２枚並列のワーク２ａ，２ｂを、図９
に２点鎖線で示すように、１枚ずつ直列に並べて１列に
変換することができる。
昇させてその上面に２枚のワーク２ａ，２ｂを保持し、
各搬送ローラ系１５〜１８の上方に持ち上げる。その
後、図９に示すように、上記チャック１２を矢印Ｂのよ
うに90度回転させ、該チャック１２の長手方向がワーク
の搬送方向の軸線１１と平行になったところで停止す
る。これにより、２枚並列のワーク２ａ，２ｂを、図９
に２点鎖線で示すように、１枚ずつ直列に並べて１列に
変換することができる。
【００２４】次に、図１０において、チャック１２を下
降させてその途中で２枚のワーク２ａ，２ｂを図２に示
す第二及び第三の搬送ローラ系１６，１７の上に載せ
る。この状態で、図１０に示すように、チャック１２の
両側方のガイドアーム１９，１９をそれぞれ矢印Ｇ，Ｈ
のように接近させ、２枚のワーク２ａ，２ｂの両側辺部
の案内をさせる。そして、上記搬送ローラ系１６，１７
を駆動することにより、まず、図１０に示すように、先
頭側のワーク２ｂが矢印Ｐのように搬送されて次の処理
工程へ進み、次に図１１に示すように、次位のワーク２
ａが矢印Ｐのように搬送されて次の工程へ進む。
降させてその途中で２枚のワーク２ａ，２ｂを図２に示
す第二及び第三の搬送ローラ系１６，１７の上に載せ
る。この状態で、図１０に示すように、チャック１２の
両側方のガイドアーム１９，１９をそれぞれ矢印Ｇ，Ｈ
のように接近させ、２枚のワーク２ａ，２ｂの両側辺部
の案内をさせる。そして、上記搬送ローラ系１６，１７
を駆動することにより、まず、図１０に示すように、先
頭側のワーク２ｂが矢印Ｐのように搬送されて次の処理
工程へ進み、次に図１１に示すように、次位のワーク２
ａが矢印Ｐのように搬送されて次の工程へ進む。
【００２５】これにより、図１において、第二のワーク
並べ換え部１０ｂからその次の処理工程７の処理槽７′
へワーク２が１列で１枚ずつ搬送される。以後、各処理
工程７，８においてはワーク２が１列搬送され、総ての
処理が終ったところで、アンローダ部９にワーク２が１
枚ずつ収納され、積層される。これにより、目的とする
ワーク２について所要の処理が施されるが、第一のワー
ク並べ換え部１０ａと第二のワーク並べ換え部１０ｂと
の間は、ワーク２を例えば２枚並列に並べて２列で搬送
し、その間の処理工程３〜６においては同時並列処理を
するので、上記第一及び第二のワーク並べ換え部１０
ａ，１０ｂ間のラインの長さを短縮することができる。
従って、図１に示すワーク搬送処理ラインの全長ＴＬを
従来よりも短縮することができる。
並べ換え部１０ｂからその次の処理工程７の処理槽７′
へワーク２が１列で１枚ずつ搬送される。以後、各処理
工程７，８においてはワーク２が１列搬送され、総ての
処理が終ったところで、アンローダ部９にワーク２が１
枚ずつ収納され、積層される。これにより、目的とする
ワーク２について所要の処理が施されるが、第一のワー
ク並べ換え部１０ａと第二のワーク並べ換え部１０ｂと
の間は、ワーク２を例えば２枚並列に並べて２列で搬送
し、その間の処理工程３〜６においては同時並列処理を
するので、上記第一及び第二のワーク並べ換え部１０
ａ，１０ｂ間のラインの長さを短縮することができる。
従って、図１に示すワーク搬送処理ラインの全長ＴＬを
従来よりも短縮することができる。
【００２６】図１２は本発明の第二の実施例を示す平面
説明図である。この実施例は、図１に示す第一及び第二
のワーク並べ換え部１０ａ，１０ｂの代りに、ワーク支
持部がその上面にワーク２を支持した状態で搬送方向の
軸線１１に対し直角方向に横移動することにより、１列
のワーク２を例えば２列に又は２列のワーク２を１列に
並べ換えるワーク並べ換え部１０ａ′，１０ｂ′とした
ものである。その他のローダ部１，複数の処理工程３〜
８，アンローダ部９などは総て図１の場合と同じであ
る。
説明図である。この実施例は、図１に示す第一及び第二
のワーク並べ換え部１０ａ，１０ｂの代りに、ワーク支
持部がその上面にワーク２を支持した状態で搬送方向の
軸線１１に対し直角方向に横移動することにより、１列
のワーク２を例えば２列に又は２列のワーク２を１列に
並べ換えるワーク並べ換え部１０ａ′，１０ｂ′とした
ものである。その他のローダ部１，複数の処理工程３〜
８，アンローダ部９などは総て図１の場合と同じであ
る。
【００２７】この第二の実施例における第一及び第二の
ワーク並べ換え部１０ａ′，１０ｂ′の構造の一例を、
図１３及び図１４を参照して説明する。これら第一及び
第二のワーク並べ換え部１０ａ′，１０ｂ′は全く共通
の構造をしているが、図１３及び図１４においては第一
のワーク並べ換え部１０ａ′について示している。図に
おいて、チャック１２は、図２及び図３に示す第一の実
施例の場合と同様の形状とされている。そして、ワーク
２の搬送方向の軸線１１に対して平行とされた例えば４
本の搬送ローラ系１５，１６，１７，１８が設けられ、
これらの搬送ローラ系１５〜１８は４本１組でローラユ
ニット２２とされており、例えば作動シリンダ２３によ
り矢印Ｑ，Ｒのように横移動するようにされている。
ワーク並べ換え部１０ａ′，１０ｂ′の構造の一例を、
図１３及び図１４を参照して説明する。これら第一及び
第二のワーク並べ換え部１０ａ′，１０ｂ′は全く共通
の構造をしているが、図１３及び図１４においては第一
のワーク並べ換え部１０ａ′について示している。図に
おいて、チャック１２は、図２及び図３に示す第一の実
施例の場合と同様の形状とされている。そして、ワーク
２の搬送方向の軸線１１に対して平行とされた例えば４
本の搬送ローラ系１５，１６，１７，１８が設けられ、
これらの搬送ローラ系１５〜１８は４本１組でローラユ
ニット２２とされており、例えば作動シリンダ２３によ
り矢印Ｑ，Ｒのように横移動するようにされている。
【００２８】次に、このように構成された第一のワーク
並べ換え部１０ａ′の動作について説明する。まず、図
１２に示すローダ部１から１番目のワーク２ａを受け取
るときは、図１３において作動シリンダ２３の動作によ
り、ローラユニット２２を矢印Ｑ方向に一杯に横移動さ
せておく。すると、ローダ部１から矢印Ｃのように送り
出された１番目のワーク２ａは、軸線１１上に中心があ
る第一及び第二の搬送ローラ系１５，１６の上にそのま
ま載せられる。次に、再び作動シリンダ２３を動作さ
せ、今度は上記ローラユニット２２を矢印Ｒ方向に一杯
に横移動させる。すると、上記ローダ部１から矢印Ｃの
ように送り出された２番目のワーク２ｂは、今度は軸線
１１上に中心が合致された第三及び第四の搬送ローラ系
１７，１８の上にそのまま載せられる。その後、上記各
搬送ローラ系１５〜１８を駆動することにより、２枚の
ワーク２ａ，２ｂをそれぞれ矢印Ｄ，Ｅのように２列で
同時搬送することができる。
並べ換え部１０ａ′の動作について説明する。まず、図
１２に示すローダ部１から１番目のワーク２ａを受け取
るときは、図１３において作動シリンダ２３の動作によ
り、ローラユニット２２を矢印Ｑ方向に一杯に横移動さ
せておく。すると、ローダ部１から矢印Ｃのように送り
出された１番目のワーク２ａは、軸線１１上に中心があ
る第一及び第二の搬送ローラ系１５，１６の上にそのま
ま載せられる。次に、再び作動シリンダ２３を動作さ
せ、今度は上記ローラユニット２２を矢印Ｒ方向に一杯
に横移動させる。すると、上記ローダ部１から矢印Ｃの
ように送り出された２番目のワーク２ｂは、今度は軸線
１１上に中心が合致された第三及び第四の搬送ローラ系
１７，１８の上にそのまま載せられる。その後、上記各
搬送ローラ系１５〜１８を駆動することにより、２枚の
ワーク２ａ，２ｂをそれぞれ矢印Ｄ，Ｅのように２列で
同時搬送することができる。
【００２９】図１２に示す第二のワーク並べ換え部１０
ｂ′の動作は、概ね上記第一のワーク並べ換え部１０
ａ′と逆順に行われる。すなわち、図１３に示すローラ
ユニット２２からは、まず２番目のワーク２ｂがそのま
ま次の処理工程７へ送り出され、その後作動シリンダ２
３の動作によりローラユニット２２を矢印Ｑ方向に一杯
に横移動させ、この状態で軸線１１上に中心が合致され
た第一及び第二の搬送ローラ系１５，１６から１番目の
ワーク２ａが次の処理工程７へ送り出される。
ｂ′の動作は、概ね上記第一のワーク並べ換え部１０
ａ′と逆順に行われる。すなわち、図１３に示すローラ
ユニット２２からは、まず２番目のワーク２ｂがそのま
ま次の処理工程７へ送り出され、その後作動シリンダ２
３の動作によりローラユニット２２を矢印Ｑ方向に一杯
に横移動させ、この状態で軸線１１上に中心が合致され
た第一及び第二の搬送ローラ系１５，１６から１番目の
ワーク２ａが次の処理工程７へ送り出される。
【００３０】この第二の実施例の場合は、ワーク２を90
度回転することがないので、並べ換え動作が簡単とな
る。また、ワーク２が搬送方向の軸線１１に対して縦長
の矩形状とされている場合は、搬送方向に常にワーク２
の短軸を向けることができ、その分だけ各処理工程３〜
８の処理槽の横幅を小さくすることができる。従って、
図１２に示すワーク搬送処理ラインの全長ＴＬ′を図１
の場合よりも更に短縮することができる。
度回転することがないので、並べ換え動作が簡単とな
る。また、ワーク２が搬送方向の軸線１１に対して縦長
の矩形状とされている場合は、搬送方向に常にワーク２
の短軸を向けることができ、その分だけ各処理工程３〜
８の処理槽の横幅を小さくすることができる。従って、
図１２に示すワーク搬送処理ラインの全長ＴＬ′を図１
の場合よりも更に短縮することができる。
【００３１】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
複数の処理工程の途中に設けられた第一のワーク並べ換
え部により、それまでの１列搬送のワークを複数枚並列
に並べて複数列にして搬送処理に移し、そこから所定の
処理工程だけ進んだ所に設けられた第二のワーク並べ換
え部で、それまでの複数列搬送のワークを１枚ずつ直列
に並べて１列にして搬送処理に移すことができる。これ
により、所定の処理工程のところはワークを同時並列に
処理することができ、ラインの全長を短縮することがで
きる。また、上記第一及び第二のワーク並べ換え部の間
にある処理工程の処理槽の数を１／２以下に減らすこと
ができるので、配管部品などの部品点数を削減して装置
価格の低下を図ることができる。
複数の処理工程の途中に設けられた第一のワーク並べ換
え部により、それまでの１列搬送のワークを複数枚並列
に並べて複数列にして搬送処理に移し、そこから所定の
処理工程だけ進んだ所に設けられた第二のワーク並べ換
え部で、それまでの複数列搬送のワークを１枚ずつ直列
に並べて１列にして搬送処理に移すことができる。これ
により、所定の処理工程のところはワークを同時並列に
処理することができ、ラインの全長を短縮することがで
きる。また、上記第一及び第二のワーク並べ換え部の間
にある処理工程の処理槽の数を１／２以下に減らすこと
ができるので、配管部品などの部品点数を削減して装置
価格の低下を図ることができる。
【図１】 本発明によるワーク搬送処理ラインの第一の
実施例を示す平面説明図、
実施例を示す平面説明図、
【図２】 第一のワーク並べ換え部を示す平面図、
【図３】 第一のワーク並べ換え部を示す正面図、
【図４】 第一のワーク並べ換え部におけるワーク並べ
換え動作を説明するための平面図、
換え動作を説明するための平面図、
【図５】 第一のワーク並べ換え部におけるワーク並べ
換え動作を説明するための平面図、
換え動作を説明するための平面図、
【図６】 第一のワーク並べ換え部におけるワーク並べ
換え動作を説明するための平面図、
換え動作を説明するための平面図、
【図７】 第一のワーク並べ換え部におけるワーク並べ
換え動作を説明するための平面図、
換え動作を説明するための平面図、
【図８】 第二のワーク並べ換え部におけるワーク並べ
換え動作を説明するための平面図、
換え動作を説明するための平面図、
【図９】 第二のワーク並べ換え部におけるワーク並べ
換え動作を説明するための平面図、
換え動作を説明するための平面図、
【図１０】 第二のワーク並べ換え部におけるワーク並
べ換え動作を説明するための平面図、
べ換え動作を説明するための平面図、
【図１１】 第二のワーク並べ換え部におけるワーク並
べ換え動作を説明するための平面図、
べ換え動作を説明するための平面図、
【図１２】 本発明の第二の実施例を示す平面説明図、
【図１３】 第二の実施例における第一のワーク並べ換
え部を示す平面図、
え部を示す平面図、
【図１４】 上記第一のワーク並べ換え部を示す正面
図。
図。
１…ローダ部、 ２，２ａ，２ｂ…ワーク、 ３〜８…
処理工程、 ３′〜７′…処理槽、 ９…アンローダ
部、 １０ａ，１０ａ′…第一のワーク並べ換え部、
１０ｂ，１０ｂ′…第二のワーク並べ換え部、 １１…
搬送方向の軸線、 １２…チャック、 １５〜１８…搬
送ローラ系。
処理工程、 ３′〜７′…処理槽、 ９…アンローダ
部、 １０ａ，１０ａ′…第一のワーク並べ換え部、
１０ｂ，１０ｂ′…第二のワーク並べ換え部、 １１…
搬送方向の軸線、 １２…チャック、 １５〜１８…搬
送ローラ系。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｈ 9/00 Ｈ 8922−3Ｆ 9/08 8922−3Ｆ
Claims (3)
- 【請求項１】 ローダ部からワークを１枚ずつ取り出
し、所定の順序で並べられた複数の処理工程にワークを
順次搬送して処理を行い、処理後のワークをアンローダ
部に１枚ずつ収納するワーク搬送処理ラインにおいて、
上記複数の処理工程の途中に第一のワーク並べ換え部を
設け、１列搬送のワークを複数枚並列に並べて複数列に
して搬送処理し、所定の処理工程だけ進んだ所に第二の
ワーク並べ換え部を設け、複数列搬送のワークを１枚ず
つ直列に並べて１列にして搬送処理するようにしたこと
を特徴とするワーク搬送処理ライン。 - 【請求項２】 上記第一及び第二のワーク並べ換え部
は、ワーク支持部がその上面にワークを支持した状態で
搬送方向に対し90度回転することにより、１列のワーク
を複数列に又は複数列のワークを１列に並べ換えるもの
であることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送処理
ライン。 - 【請求項３】 上記第一及び第二のワーク並べ換え部
は、ワーク支持部がその上面にワークを支持した状態で
搬送方向に対し直角方向に横移動することにより、１列
のワークを複数列に又は複数列のワークを１列に並べ換
えるものであることを特徴とする請求項１記載のワーク
搬送処理ライン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26053892A JPH0680242A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | ワーク搬送処理ライン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26053892A JPH0680242A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | ワーク搬送処理ライン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0680242A true JPH0680242A (ja) | 1994-03-22 |
Family
ID=17349358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26053892A Pending JPH0680242A (ja) | 1992-09-04 | 1992-09-04 | ワーク搬送処理ライン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680242A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002011636A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-15 | Olympus Optical Co Ltd | ワーク供給装置 |
| JP2005060110A (ja) * | 2003-08-11 | 2005-03-10 | Chi Mei Optoelectronics Corp | 順次式基板カセット用基板搬送装置 |
| JP2006191092A (ja) * | 2004-12-30 | 2006-07-20 | Asml Netherlands Bv | 基板ハンドラ |
| CN100378546C (zh) * | 2002-03-13 | 2008-04-02 | Lg.菲利浦Lcd株式会社 | 制造液晶显示装置的设备和方法 |
| US7538857B2 (en) | 2004-12-23 | 2009-05-26 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing a substrate handler |
| JP2009135289A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 基板処理方法、フラットパネルディスプレイの製造方法及びフラットパネルディスプレイ |
| JP2009231845A (ja) * | 2004-12-30 | 2009-10-08 | Asml Netherlands Bv | 基板ハンドラ |
| US7656506B2 (en) | 2004-12-23 | 2010-02-02 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing a substrate handler |
| JP2011219238A (ja) * | 2010-04-12 | 2011-11-04 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
| DE102012112719A1 (de) * | 2012-12-20 | 2014-06-26 | Böwe Systec Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Drehen von flachen Gütern |
| CN104960953A (zh) * | 2015-07-06 | 2015-10-07 | 河源市美迪实业有限公司 | 一种贴片机 |
-
1992
- 1992-09-04 JP JP26053892A patent/JPH0680242A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US8411252B2 (en) | 2004-12-23 | 2013-04-02 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing a substrate handler |
| US7538857B2 (en) | 2004-12-23 | 2009-05-26 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing a substrate handler |
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| TWI491548B (zh) * | 2010-04-12 | 2015-07-11 | 大福股份有限公司 | 搬送裝置及搬送方法 |
| DE102012112719A1 (de) * | 2012-12-20 | 2014-06-26 | Böwe Systec Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Drehen von flachen Gütern |
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