JPH0733363Y2 - 荷電粒子ビーム電流検出装置 - Google Patents
荷電粒子ビーム電流検出装置Info
- Publication number
- JPH0733363Y2 JPH0733363Y2 JP1989010054U JP1005489U JPH0733363Y2 JP H0733363 Y2 JPH0733363 Y2 JP H0733363Y2 JP 1989010054 U JP1989010054 U JP 1989010054U JP 1005489 U JP1005489 U JP 1005489U JP H0733363 Y2 JPH0733363 Y2 JP H0733363Y2
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- JP
- Japan
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- beam current
- sample
- particle beam
- electron beam
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Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はＸ線マイクロアナライザとか電子顕微鏡のよう
な電子ビームを用いる分析装置におけるビーム電流測定
装置に関する。
な電子ビームを用いる分析装置におけるビーム電流測定
装置に関する。
（従来の技術） 電子ビームを用いる分析装置では試料を照射している電
子ビームのビーム電流を一定に保つことは分析データの
精度を得るためおよび複数回の測定データの相互比較の
ためにも重要なことであるが、従来は試料を照射してい
る電子ビームのビーム電流を直接測定する方法がなかっ
た。ビーム電流の測定はビーム径を規制する絞り板に入
射する電子線電流を測定するとか、試料位置にファラデ
ーカップを置いて入射電子線電流を測ると云うような方
法が用いられていた。絞りに入射する電子線電流を測る
方法は試料に電子ビームを照射して分析を行っている間
同時にビーム電流のモニタができる利点があるが、絞り
に入射しているのは試料を照射しているビームそのもの
ではなく、その周囲の電子流であり、その検出出力と試
料を照射している電子ビームの電流との関係はビーム電
流を変えると変化し、また電子線源のフィラメント温度
とかフィラメントの実効面積等によって異り安定してい
ないので、正しいビーム電流を把握することは困難であ
る。後者のファラデーカップを用いる方法は試料を照射
する電子ビームそのものの電流値を測定できるが、試料
照射ビームをファラデーカップで遮断することになるの
で、ビーム電流測定中は試料の分析はできず、分析と並
行してビーム電流をモニタすることができない上、一々
ファラデーカップを出入れしなければならないから、操
作上も面倒である。
子ビームのビーム電流を一定に保つことは分析データの
精度を得るためおよび複数回の測定データの相互比較の
ためにも重要なことであるが、従来は試料を照射してい
る電子ビームのビーム電流を直接測定する方法がなかっ
た。ビーム電流の測定はビーム径を規制する絞り板に入
射する電子線電流を測定するとか、試料位置にファラデ
ーカップを置いて入射電子線電流を測ると云うような方
法が用いられていた。絞りに入射する電子線電流を測る
方法は試料に電子ビームを照射して分析を行っている間
同時にビーム電流のモニタができる利点があるが、絞り
に入射しているのは試料を照射しているビームそのもの
ではなく、その周囲の電子流であり、その検出出力と試
料を照射している電子ビームの電流との関係はビーム電
流を変えると変化し、また電子線源のフィラメント温度
とかフィラメントの実効面積等によって異り安定してい
ないので、正しいビーム電流を把握することは困難であ
る。後者のファラデーカップを用いる方法は試料を照射
する電子ビームそのものの電流値を測定できるが、試料
照射ビームをファラデーカップで遮断することになるの
で、ビーム電流測定中は試料の分析はできず、分析と並
行してビーム電流をモニタすることができない上、一々
ファラデーカップを出入れしなければならないから、操
作上も面倒である。
（考案が解決しようとする課題） 本考案は、試料分析中に試料を照射している電子ビーム
そのものの電流を直接モニタし得る装置を提供しようと
するものである。
そのものの電流を直接モニタし得る装置を提供しようと
するものである。
（課題を解決するための手段） 試料照射ビームを中心にして対称的に磁気センサを配置
し、これらの磁気センサをビーム回わりに直列的に接続
して、その出力を検出するようにした。
し、これらの磁気センサをビーム回わりに直列的に接続
して、その出力を検出するようにした。
（作用） 試料照射ビームは荷電粒子の流れであるから周囲に同心
円的に磁界が形成されている。磁気センサをこのビーム
をはさんで対称的に配置して、直列的に接続すると、磁
気センサにより、ビーム周囲の磁界が検出され、その出
力がセンサの直列接続により相加されて検出される。他
方外部磁界はビーム周囲のせまい範囲では一様とみなせ
るから、ビーム周囲のセンサは外部磁界に対して同じ検
出出力を出すが、磁気センサがビーム回わりに直列に接
続されているため、この出力は互いに打消されて検出さ
れず、荷電粒子ビームによる磁界だけが検出される。こ
の磁界は試料を照射するビームの強さに比例しているか
ら、これによってビーム電流を直接検出でき、しかも試
料照射に対して全く妨げとならない。
円的に磁界が形成されている。磁気センサをこのビーム
をはさんで対称的に配置して、直列的に接続すると、磁
気センサにより、ビーム周囲の磁界が検出され、その出
力がセンサの直列接続により相加されて検出される。他
方外部磁界はビーム周囲のせまい範囲では一様とみなせ
るから、ビーム周囲のセンサは外部磁界に対して同じ検
出出力を出すが、磁気センサがビーム回わりに直列に接
続されているため、この出力は互いに打消されて検出さ
れず、荷電粒子ビームによる磁界だけが検出される。こ
の磁界は試料を照射するビームの強さに比例しているか
ら、これによってビーム電流を直接検出でき、しかも試
料照射に対して全く妨げとならない。
（実施例） 図面は本考案の一実施例を示す。第１図でＧは電子銃、
Ｃはコンデンサレンズ、Ａは対物絞りで、Ｌは対物レン
ズであり、Ｓは試料である。試料を照射する電子ビーム
のビーム電流は色々な方法で制御できるが、例えばコン
デンサレンズＣの焦点位置を変えることで行うことがで
きる。この場合対物絞りに入射する電子線電流はコンデ
ンサレンズの焦点を変えることにより変化する。対物絞
りＡの下方に電子ビームＢをはさんで対称的に一対の磁
気センサm1,m2が配置されている。これらの磁気センサ
は電子ビームＢを取巻く同心円の一つの接線方向に平行
に配置してかつ互いに反対向きに配置されて、第２図に
示すようにビームＢを取巻く円周に沿って直列になるよ
うに接続されている。つまり二つの磁気センサを直列に
接続したものをビームＢを中心とする一つの円周に沿う
ように配置している。第２でｆは電子ビームＢによって
作られている磁界で、この磁界によって生ずる磁気セン
サm1,m2の出力は互いに相加されてアンプＰに入力さ
れ、メータＤにより表示される。Ｈは外部磁界であっ
て、m1,m2両者において同大反対方向の出力を生ぜしめ
る。従って外部磁界による出力は検出されず、メータＤ
の表示は磁界ｆに比例したものとなり、電子ビームＢの
電流を表わす。磁気センサm1,m2は電子レンズL,C等の磁
界の影響も受けるが、これらの磁界は磁気センサm1,m2
に対して直交するため出力を与えない。
Ｃはコンデンサレンズ、Ａは対物絞りで、Ｌは対物レン
ズであり、Ｓは試料である。試料を照射する電子ビーム
のビーム電流は色々な方法で制御できるが、例えばコン
デンサレンズＣの焦点位置を変えることで行うことがで
きる。この場合対物絞りに入射する電子線電流はコンデ
ンサレンズの焦点を変えることにより変化する。対物絞
りＡの下方に電子ビームＢをはさんで対称的に一対の磁
気センサm1,m2が配置されている。これらの磁気センサ
は電子ビームＢを取巻く同心円の一つの接線方向に平行
に配置してかつ互いに反対向きに配置されて、第２図に
示すようにビームＢを取巻く円周に沿って直列になるよ
うに接続されている。つまり二つの磁気センサを直列に
接続したものをビームＢを中心とする一つの円周に沿う
ように配置している。第２でｆは電子ビームＢによって
作られている磁界で、この磁界によって生ずる磁気セン
サm1,m2の出力は互いに相加されてアンプＰに入力さ
れ、メータＤにより表示される。Ｈは外部磁界であっ
て、m1,m2両者において同大反対方向の出力を生ぜしめ
る。従って外部磁界による出力は検出されず、メータＤ
の表示は磁界ｆに比例したものとなり、電子ビームＢの
電流を表わす。磁気センサm1,m2は電子レンズL,C等の磁
界の影響も受けるが、これらの磁界は磁気センサm1,m2
に対して直交するため出力を与えない。
上述実施例では磁気センサは一対だけであるが、これは
もっと多数対を用いてもよい。要は電子ビームを中心に
対称的であればよい。
もっと多数対を用いてもよい。要は電子ビームを中心に
対称的であればよい。
（考案の効果） 本考案によれば、試料の分析を中断することなく、試料
照射ビームの電流を直接検出することができ、ビーム電
流の精密な制御が可能となる。またビーム電流測定のた
めに出入する部分がなく操作が簡単である。
照射ビームの電流を直接検出することができ、ビーム電
流の精密な制御が可能となる。またビーム電流測定のた
めに出入する部分がなく操作が簡単である。
第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は同上の要
部平面図である。 Ｇ……電子銃、Ｃ……コンデンサレンズ、Ａ……対物絞
り、Ｌ……対物レンズ、Ｓ……試料、m1,m2……磁気セ
ンサ、Ｄ……メータ、Ｂ……電子ビーム。
部平面図である。 Ｇ……電子銃、Ｃ……コンデンサレンズ、Ａ……対物絞
り、Ｌ……対物レンズ、Ｓ……試料、m1,m2……磁気セ
ンサ、Ｄ……メータ、Ｂ……電子ビーム。
Claims (1)
- 【請求項１】荷電粒子ビームを中心に対称的に磁気セン
サを配置し、これらの磁気センサの向きを上記ビームを
中心とする同心円に沿い一方向回りに揃え、直列的に接
続してなる荷電粒子ビーム電流検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989010054U JPH0733363Y2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 荷電粒子ビーム電流検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989010054U JPH0733363Y2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 荷電粒子ビーム電流検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02102650U JPH02102650U (ja) | 1990-08-15 |
| JPH0733363Y2 true JPH0733363Y2 (ja) | 1995-07-31 |
Family
ID=31217370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989010054U Expired - Fee Related JPH0733363Y2 (ja) | 1989-01-31 | 1989-01-31 | 荷電粒子ビーム電流検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0733363Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6424353A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-26 | Yokogawa Electric Corp | Charged beam measuring device |
-
1989
- 1989-01-31 JP JP1989010054U patent/JPH0733363Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02102650U (ja) | 1990-08-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |