JPS59112232A - ビ−ム検出器 - Google Patents
ビ−ム検出器Info
- Publication number
- JPS59112232A JPS59112232A JP22191082A JP22191082A JPS59112232A JP S59112232 A JPS59112232 A JP S59112232A JP 22191082 A JP22191082 A JP 22191082A JP 22191082 A JP22191082 A JP 22191082A JP S59112232 A JPS59112232 A JP S59112232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- center
- axis
- symmetry
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は、レーザ等の電磁波やイオン等の粒子ビーム
の半径方向の強度分布を測定したり、ビームの位置を検
出することのできるビーム検出器（二関する。
の半径方向の強度分布を測定したり、ビームの位置を検
出することのできるビーム検出器（二関する。
〔従来技術とそ９間紗点〕
イオンビームな゛ど粒子ビームの強度分布の測定は、通
常、ファラデーカップを１個使用し、イオンビームに対
して垂直に移動、または、イオンビームを移動させて行
われる。第１図に示すように、ファラデーカップ１と粒
子ビーム２を垂直に、かつ、ファラデーカップ１の中心
と粒子ビーム２の軸が一致するように、どちらか一方を
移動させ【測定する。この方法では、ファラデーカップ
の中心とビームの軸が一致したか否かの判定ができない
ので、正確な測定が要求される場合は数回繰り返えして
正しい値を推定しなければならないという欠点がある。
常、ファラデーカップを１個使用し、イオンビームに対
して垂直に移動、または、イオンビームを移動させて行
われる。第１図に示すように、ファラデーカップ１と粒
子ビーム２を垂直に、かつ、ファラデーカップ１の中心
と粒子ビーム２の軸が一致するように、どちらか一方を
移動させ【測定する。この方法では、ファラデーカップ
の中心とビームの軸が一致したか否かの判定ができない
ので、正確な測定が要求される場合は数回繰り返えして
正しい値を推定しなければならないという欠点がある。
また、レーザ光等の強度分布の測定は、第２図に示すよ
うに、ビーム３を集光レンズ４で集光し、ＣＣＤ （Ｃ
ｈａｒｇｅｄ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ ） ６
でその強度分布を測定する方法がとられる。この方法は
非常に簡便であるが、信号処理の回路が複雑であり高価
なものとなる欠点がある。
うに、ビーム３を集光レンズ４で集光し、ＣＣＤ （Ｃ
ｈａｒｇｅｄ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ ） ６
でその強度分布を測定する方法がとられる。この方法は
非常に簡便であるが、信号処理の回路が複雑であり高価
なものとなる欠点がある。
本発明は、王妃のような従来技術の欠点を除去し、ビー
ムプロファイルの測定が簡便に行え、またビーム中心位
置なも検出できるビーム検出器を提供することを目的と
する。
ムプロファイルの測定が簡便に行え、またビーム中心位
置なも検出できるビーム検出器を提供することを目的と
する。
本発明は、検出器の中心と、中心を通る検出器の駆動方
向に平行な直線Ｃ；関して対称な位置に配置された検出
用素子から構成される検出器である。
向に平行な直線Ｃ；関して対称な位置に配置された検出
用素子から構成される検出器である。
この検出器を移動するか、あるいは、ビームを移動する
ことにより、簡便に、ビームの中心を検出し、軸対称な
ビームの半径方向の強度分布を測定することができる。
ことにより、簡便に、ビームの中心を検出し、軸対称な
ビームの半径方向の強度分布を測定することができる。
本発明によれば、検出器の中心を通り、検出器の駆動方
向に平行な直線を、この検出器の対称軸と定義して、検
出器の対称器の対称軸に平行に検出器、あるいはビーム
を移動し中心にある検出用菓子でビームプロファイルを
測定する時、検出器の対称軸に関して対称な位置にある
２つの素子の出力信号が等しいことで、ビームの中心が
検出器の対称軸上にあることが容易に判定でき、ビーム
の中心を含む半径方向の強度分布が一回の測定で行え、
また、各検出用素子の出力信号は、特別な演算回路など
を必要とせず、そのまま使えることもでき、計測系も非
常に簡単に構成できる。
向に平行な直線を、この検出器の対称軸と定義して、検
出器の対称器の対称軸に平行に検出器、あるいはビーム
を移動し中心にある検出用菓子でビームプロファイルを
測定する時、検出器の対称軸に関して対称な位置にある
２つの素子の出力信号が等しいことで、ビームの中心が
検出器の対称軸上にあることが容易に判定でき、ビーム
の中心を含む半径方向の強度分布が一回の測定で行え、
また、各検出用素子の出力信号は、特別な演算回路など
を必要とせず、そのまま使えることもでき、計測系も非
常に簡単に構成できる。
第３図を参照し、本発明の一実施例について説明する。
第３図において、７は検出器、８〜１０は検出用素子で
ある。中心に置かれた検出用素子８Ｃ二対して、別の検
出用菓子９．１０が、それぞれ対称の位置に配置しであ
る。この対称軸１１は、先に定義した検出器の対称軸で
あり、検出器あるいはビームの移動方向に平行である。
ある。中心に置かれた検出用素子８Ｃ二対して、別の検
出用菓子９．１０が、それぞれ対称の位置に配置しであ
る。この対称軸１１は、先に定義した検出器の対称軸で
あり、検出器あるいはビームの移動方向に平行である。
この配列により、第３図において、検出器の対称軸上全
ビームが移動する時、検出用菓子９．ｌＯの信号がそれ
ぞれ等しくなるようにビームの位置を調整すれば、ビー
ムの中心は絶えず検出器の対称軸ｌｌ上に存在すること
になる。そして、中心の検出用素子８の信号を記録すれ
ば、ビーム軸を含む横断面の強度分布が得られる。
ビームが移動する時、検出用菓子９．ｌＯの信号がそれ
ぞれ等しくなるようにビームの位置を調整すれば、ビー
ムの中心は絶えず検出器の対称軸ｌｌ上に存在すること
になる。そして、中心の検出用素子８の信号を記録すれ
ば、ビーム軸を含む横断面の強度分布が得られる。
また、検出器上の任意の位置にビームが入射している場
合は、検出用素子９．ｌＯの信号がそれぞれ等しくなる
ようにビームの位置、あるいは、検出器の位置な調整す
れば、検出器の対称軸上にビームの中心を合わせること
ができる。この状態から、前述の操作を行うことができ
る。
合は、検出用素子９．ｌＯの信号がそれぞれ等しくなる
ようにビームの位置、あるいは、検出器の位置な調整す
れば、検出器の対称軸上にビームの中心を合わせること
ができる。この状態から、前述の操作を行うことができ
る。
検出用素子としては、イオンビーム、中性粒子ビーム、
電子ビーム等の測定では、ファラデーカップやＭＣＰ等
が、光ではフォトダイオード等が使用でき、本発明は使
用する素子を限定するものではない。
電子ビーム等の測定では、ファラデーカップやＭＣＰ等
が、光ではフォトダイオード等が使用でき、本発明は使
用する素子を限定するものではない。
第４因は、中心に対して同心状に検出用菓子１４゜１５
．１６．ｌ’ｌ配置した例である。１２は検出器、１３
〜１７は検出用素子、１８は検出器の対称軸である。こ
のように配置することによって、検出器の任意の位置に
ビームが当った時外側の４つの検出用素子の出、力信号
より、ビーム中心の位置が推定し易くなり、検出器の対
称軸１８上にビーム中心を合わせる作業が容易になる。
．１６．ｌ’ｌ配置した例である。１２は検出器、１３
〜１７は検出用素子、１８は検出器の対称軸である。こ
のように配置することによって、検出器の任意の位置に
ビームが当った時外側の４つの検出用素子の出、力信号
より、ビーム中心の位置が推定し易くなり、検出器の対
称軸１８上にビーム中心を合わせる作業が容易になる。
すなわちビームの中心を合わせるには第５肉に示すよう
な回路構成によって行なうことができる。
な回路構成によって行なうことができる。
第５図において、１９は検出器、２０〜２３は検出用素
子である。なお、この例では第４図で示した中心の検出
用素子１３を除き、中心近くまで検出用菓子１４〜１７
を延ばして構成している。
子である。なお、この例では第４図で示した中心の検出
用素子１３を除き、中心近くまで検出用菓子１４〜１７
を延ばして構成している。
針状の検出用素子２０〜２３は、検出器の中心に関して
対称に、かつ、放射状に配置されている。
対称に、かつ、放射状に配置されている。
このような針状の素子を使用することで、各素子からの
出力（Ｍ号はビームの当たっている長さに比例した値と
なり、４つの信号からビームの中心を算出するのが容易
名二なる。各素子の出力を第４図Ｃ二示す演算回路を通
して得られる、互いに対称な位置にある素子の信号の差
と和の比であるＡ−８を用いて、検出器上のビームの中
心は次のようなここで、ａはビームの半径を表わす。第
５図において、Ｓｉ−８１０は各菓子からの出力信号、
２４はプリアンプ、２５はＳフル８１０の和、差をとり
、その商を計算する演算回路である。
出力（Ｍ号はビームの当たっている長さに比例した値と
なり、４つの信号からビームの中心を算出するのが容易
名二なる。各素子の出力を第４図Ｃ二示す演算回路を通
して得られる、互いに対称な位置にある素子の信号の差
と和の比であるＡ−８を用いて、検出器上のビームの中
心は次のようなここで、ａはビームの半径を表わす。第
５図において、Ｓｉ−８１０は各菓子からの出力信号、
２４はプリアンプ、２５はＳフル８１０の和、差をとり
、その商を計算する演算回路である。
例えは、第６図に示すようなビームアライメント装置の
ビーム発生装置２６からのビームのアライメントの中心
軸に置かれた２つの検出器２７゜２８上のビーム中心の
位置と、２つの検出器２７゜２８間の距離と検出器とビ
ーム発生装置２６の距離から、ビーム発生装置２６の微
調距離が算出され、１回の測定で軸合わせが完了する。
ビーム発生装置２６からのビームのアライメントの中心
軸に置かれた２つの検出器２７゜２８上のビーム中心の
位置と、２つの検出器２７゜２８間の距離と検出器とビ
ーム発生装置２６の距離から、ビーム発生装置２６の微
調距離が算出され、１回の測定で軸合わせが完了する。
レーザ光のアライメントの場合では、受光素子としてフ
ォトダイオードで第５図のような配置をつくるが、他に
、イオンビームや電子ビーム等の粒子ビームでは、ファ
ラデーカップやチャンネルトロンで同様のものを作成す
ればよい。本発明は使用する素子の種類を限定するもの
ではない。また、すべての素子の形状は同一である必要
はない。
ォトダイオードで第５図のような配置をつくるが、他に
、イオンビームや電子ビーム等の粒子ビームでは、ファ
ラデーカップやチャンネルトロンで同様のものを作成す
ればよい。本発明は使用する素子の種類を限定するもの
ではない。また、すべての素子の形状は同一である必要
はない。
第１図はファラデーカップを用い粒子ビームの半径方向
の強度分布を測定する方法を説明した断面図、第２図は
レーザ光の強度分布を測定する方法を説明した断面図、
第３図は本発明の実施例を示す正面図、第４因は本発明
の他の実施例を示す正面図、第５図は本発明の他の実施
例を示す回路内、第６図はビームアライメント装置を示
す側面図である。 １・・・ファラデーカップ、２・・・イオンビーム、３
・・・レーザ光、 ４・・・集光レンズ、５・
・・集光されたレーザＬ６・・・ＣＣＤ。 ７．１２．１９・・・検出器、 ８〜１０．１３〜１７．２０〜２３・・・検出用素子、
１１．１８ ・・・検出器の対称軸。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）
の強度分布を測定する方法を説明した断面図、第２図は
レーザ光の強度分布を測定する方法を説明した断面図、
第３図は本発明の実施例を示す正面図、第４因は本発明
の他の実施例を示す正面図、第５図は本発明の他の実施
例を示す回路内、第６図はビームアライメント装置を示
す側面図である。 １・・・ファラデーカップ、２・・・イオンビーム、３
・・・レーザ光、 ４・・・集光レンズ、５・
・・集光されたレーザＬ６・・・ＣＣＤ。 ７．１２．１９・・・検出器、 ８〜１０．１３〜１７．２０〜２３・・・検出用素子、
１１．１８ ・・・検出器の対称軸。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）
Claims (1)
- 軸対称なマイクロ波からＸ線までの波長領域の電磁波及
び粒子ビームの半径方向の強度分布を測定する装置にお
いて、検出用菓子を、検出器の中心を通る位置と、この
中心を通りかつ検出器の駆動方向に平行な直線に関して
対称な位置とに配設したことを特徴とするビーム検出器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22191082A JPS59112232A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | ビ−ム検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22191082A JPS59112232A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | ビ−ム検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59112232A true JPS59112232A (ja) | 1984-06-28 |
Family
ID=16774069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22191082A Pending JPS59112232A (ja) | 1982-12-20 | 1982-12-20 | ビ−ム検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59112232A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008536268A (ja) * | 2005-04-01 | 2008-09-04 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | ビーム角度の測定方法 |
-
1982
- 1982-12-20 JP JP22191082A patent/JPS59112232A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008536268A (ja) * | 2005-04-01 | 2008-09-04 | アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド | ビーム角度の測定方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4129384A (en) | Optical extensometer | |
| JP2545710B2 (ja) | レ−ザ出力計 | |
| JPH0314124B2 (ja) | ||
| JPS6465460A (en) | Space filter type speed measuring instrument | |
| US4011459A (en) | Method and apparatus for determining valid sample volume | |
| US4222667A (en) | Fizeau fringe light evaluator and method | |
| JP2754096B2 (ja) | 電子線による試料表面の状態測定装置 | |
| UST102104I4 (en) | Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices | |
| US4059763A (en) | Electron beam current, profile and position monitor | |
| US4751384A (en) | Electron beam metrology system | |
| JPS59112232A (ja) | ビ−ム検出器 | |
| FI67968C (fi) | Foerfarande och anordning foer identifiering av mynt eller liknande | |
| JPS60200108A (ja) | 光学式厚み測定法および装置 | |
| US4077723A (en) | Method of measuring thickness | |
| JPH0754291B2 (ja) | 粒度分布測定装置 | |
| JPH02114146A (ja) | 構造部品や試験片における亀裂長さやひずみを測定する方法とその装置 | |
| JPH04120456A (ja) | Ｓｑｕｉｄによる非破壊検査装置 | |
| JPH03142305A (ja) | 表面粗度測定装置 | |
| JPS5630724A (en) | Inspecting device of substrate surface | |
| JPH0733363Y2 (ja) | 荷電粒子ビーム電流検出装置 | |
| SU1536525A1 (ru) | Устройство дл определени высокого напр жени на рентгеновской трубке | |
| JPH0821849A (ja) | レーザドップラ方式による高熱体の測定方法 | |
| JPS58168905A (ja) | 光学式変位測定方式 | |
| JPH0795084B2 (ja) | 表面電位測定器 | |
| JPS62151742A (ja) | 微小粒子の分析・選別装置 |