JPH0734031Y2 - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPH0734031Y2 JPH0734031Y2 JP1989105487U JP10548789U JPH0734031Y2 JP H0734031 Y2 JPH0734031 Y2 JP H0734031Y2 JP 1989105487 U JP1989105487 U JP 1989105487U JP 10548789 U JP10548789 U JP 10548789U JP H0734031 Y2 JPH0734031 Y2 JP H0734031Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- bar code
- semiconductor manufacturing
- elevator
- manufacturing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Discharge Of Articles From Conveyors (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔概要〕 被処理物を収納したマガジンの供給部を有する半導体製
造装置に関し， バーコードを自動的に読み取ることができる半導体製造
装置を提供して，工程のロット管理を確実にすることを
目的とし， 製造装置のマガジン供給部が，マガジン保持部（１）と
バーコードリーダ（２）とエレベータ（５）とマガジン
移動手段（８）とを有し，該マガジン保持部（１）は複
数のマガジン（３）を縦１列に収納するものであり，該
バーコードリーダ（２）はマガジン保持部（１）に取り
つけられ，マガジン（３）に貼付されたバーコード
（４）を読み取るものであり，該エレベータ（５）はマ
ガジン保持部（１）に収納された一番下のマガジン
（３）を保持して上下し，マガジン保持部（１）よりそ
の下側にマガジン（３）を下ろすものであり，該マガジ
ン移動手段（８）はマガジン保持部（１）より下ろされ
たマガジン（３）を排出方向に移動するものであり，こ
の移動によりバーコードリーダ（２）がバーコード
（４）を読み取るように構成される。
造装置に関し， バーコードを自動的に読み取ることができる半導体製造
装置を提供して，工程のロット管理を確実にすることを
目的とし， 製造装置のマガジン供給部が，マガジン保持部（１）と
バーコードリーダ（２）とエレベータ（５）とマガジン
移動手段（８）とを有し，該マガジン保持部（１）は複
数のマガジン（３）を縦１列に収納するものであり，該
バーコードリーダ（２）はマガジン保持部（１）に取り
つけられ，マガジン（３）に貼付されたバーコード
（４）を読み取るものであり，該エレベータ（５）はマ
ガジン保持部（１）に収納された一番下のマガジン
（３）を保持して上下し，マガジン保持部（１）よりそ
の下側にマガジン（３）を下ろすものであり，該マガジ
ン移動手段（８）はマガジン保持部（１）より下ろされ
たマガジン（３）を排出方向に移動するものであり，こ
の移動によりバーコードリーダ（２）がバーコード
（４）を読み取るように構成される。
本考案はマガジン供給部を有する半導体製造装置に関す
る。
る。
本考案はリードフレームやウエハ等をマガジンに収納し
て製造装置間を搬送する半導体製造工程において，ロッ
ト管理を省力化してできる製造装置として適用すること
ができる。
て製造装置間を搬送する半導体製造工程において，ロッ
ト管理を省力化してできる製造装置として適用すること
ができる。
半導体製造工程において，従来製造ロットの管理を行う
ため，マガジンにバーコードを貼付し，これを製造装置
への供給ごとに手動で読み取っていた。
ため，マガジンにバーコードを貼付し，これを製造装置
への供給ごとに手動で読み取っていた。
この作業は，製造装置に流れてくるマガジンに貼付され
たバーコードの上を，人がバーコードスキャナを移動さ
せて行っていた。
たバーコードの上を，人がバーコードスキャナを移動さ
せて行っていた。
上記のように手動で読み取る場合は，製造工程の省力
化，効率化の観点から好ましくない。そこでバーコード
を自動的に読み取る機能をダイボンダ，ワイヤボンダ等
の製造装置に付加する必要が生じた。
化，効率化の観点から好ましくない。そこでバーコード
を自動的に読み取る機能をダイボンダ，ワイヤボンダ等
の製造装置に付加する必要が生じた。
本考案はバーコードを自動的に読み取ることができる半
導体製造装置を提供することを目的とする。
導体製造装置を提供することを目的とする。
上記課題の解決は，製造装置のマガジン供給部が，マガ
ジン保持部（１）とバーコードリーダ（２）とエレベー
タ（５）とマガジン移動手段（８）とを有し，該マガジ
ン保持部（１）は複数のマガジン（３）を縦１列に収納
するものであり，該バーコードリーダ（２）はマガジン
保持部（１）に取りつけられ，マガジン（３）に貼付さ
れたバーコード（４）を読み取るものであり，該エレベ
ータ（５）はマガジン保持部（１）に収納された一番下
のマガジン（３）を保持して上下し，マガジン保持部
（１）よりその下側にマガジン（３）を下ろすものであ
り，該マガジン移動手段（８）はマガジン保持部（１）
より下ろされたマガジン（３）を排出方向に移動するも
のであり，この移動によりバーコードリーダ（２）がバ
ーコード（４）を読み取るように構成されている半導体
製造装置により達成される。
ジン保持部（１）とバーコードリーダ（２）とエレベー
タ（５）とマガジン移動手段（８）とを有し，該マガジ
ン保持部（１）は複数のマガジン（３）を縦１列に収納
するものであり，該バーコードリーダ（２）はマガジン
保持部（１）に取りつけられ，マガジン（３）に貼付さ
れたバーコード（４）を読み取るものであり，該エレベ
ータ（５）はマガジン保持部（１）に収納された一番下
のマガジン（３）を保持して上下し，マガジン保持部
（１）よりその下側にマガジン（３）を下ろすものであ
り，該マガジン移動手段（８）はマガジン保持部（１）
より下ろされたマガジン（３）を排出方向に移動するも
のであり，この移動によりバーコードリーダ（２）がバ
ーコード（４）を読み取るように構成されている半導体
製造装置により達成される。
本考案はバーコードリーダを製造装置のマガジン供給部
のマガジン保持部に設け，マガジンを排出方向にロード
するときの移動手段によるマガジンの移動を利用して，
マガジンに貼付されたバーコードを読み取るようにした
ものである。
のマガジン保持部に設け，マガジンを排出方向にロード
するときの移動手段によるマガジンの移動を利用して，
マガジンに貼付されたバーコードを読み取るようにした
ものである。
第１図は本考案の機能を説明するマガジン供給部の斜視
図である。
図である。
この図は，半導体製造装置としてボンダを例にとり，そ
のマガジン供給部（ローダ／アンローダ部）を示す。
のマガジン供給部（ローダ／アンローダ部）を示す。
図において,1はマガジンを縦１列に収納して順次下降さ
せるエレベータを持つマガジン保持部,2はマガジン保持
部に設けられたバーコードリーダ,3はエレベータより下
ろされてボンダに供給しようとするマガジン,4はマガジ
ンの上部に貼付されたバーコードである。
せるエレベータを持つマガジン保持部,2はマガジン保持
部に設けられたバーコードリーダ,3はエレベータより下
ろされてボンダに供給しようとするマガジン,4はマガジ
ンの上部に貼付されたバーコードである。
マガジン３はプッシャ等による移動手段により，矢印の
方向に押しだされるようにして，排出方向に移動され
る。この移動により，バーコードリーダ２はバーコード
４を読み取る。
方向に押しだされるようにして，排出方向に移動され
る。この移動により，バーコードリーダ２はバーコード
４を読み取る。
第２図（１）〜（３）は実施例のマガジン供給部の三面
図で，第２図（１）は正面図，第２図（２）は平面図，
第２図（３）は側面図である。
図で，第２図（１）は正面図，第２図（２）は平面図，
第２図（３）は側面図である。
図において,5は一番下のマガジン３を保持して上下する
エレベータ,6はエレベータのハウジング,7はエレベータ
が上下にしゅう動する３本の支柱,8はマガジンの移動手
段で２個のプッシャである。
エレベータ,6はエレベータのハウジング,7はエレベータ
が上下にしゅう動する３本の支柱,8はマガジンの移動手
段で２個のプッシャである。
この図の状態は，エレベータ５が一番下のマガジン３を
保持したところを示し，この後，第３図を用いて読み取
り過程を説明する。
保持したところを示し，この後，第３図を用いて読み取
り過程を説明する。
第３図（１）〜（８）は読み取り過程を説明するマガジ
ン供給部の側面図と平面図である。
ン供給部の側面図と平面図である。
第３図（１）において，エレベータ５を最下端まで下降
させる。又，下から２番目のマガジンは落ちないように
保持部１にクランプされる。
させる。又，下から２番目のマガジンは落ちないように
保持部１にクランプされる。
第３図（２）において，プッシャ８が矢印の方向に移動
してマガジン３は床面９上に押し出される。
してマガジン３は床面９上に押し出される。
この間に，バーコードリーダ２はバーコード４を読み取
る。
る。
第３図（３）は読み取りが終わったときのマガジンの位
置を示す。
置を示す。
第３図（４）〜（８）は上記過程の間のバーコードリー
ダ２とバーコード４の相関位置を示す平面図である。
ダ２とバーコード４の相関位置を示す平面図である。
図で，第３図（４），（６），（８）はそれぞれ第３図
（１），（２），（３）に対応する平面図であり，第３
図（５），（７）は中間位置の平面図である。
（１），（２），（３）に対応する平面図であり，第３
図（５），（７）は中間位置の平面図である。
実施例では，バーコードリーダ２がスキャナの場合につ
いて説明したが，バーコードリーダ２が固定式の場合
は，バーコードリーダ２がバーコード４の上で一時停止
して読み取るようにプッシャ８の運動を調節するように
すればよい。
いて説明したが，バーコードリーダ２が固定式の場合
は，バーコードリーダ２がバーコード４の上で一時停止
して読み取るようにプッシャ８の運動を調節するように
すればよい。
又実施例では，マガジン供給部はローダとして用いる例
について説明したが，アンローダとして用いても考案の
効果は変わらない。
について説明したが，アンローダとして用いても考案の
効果は変わらない。
以上説明したように本考案によれば，バーコードを自動
的に読み取ることができる半導体製造装置を提供するこ
とができ，ロット管理体制が強化される。
的に読み取ることができる半導体製造装置を提供するこ
とができ，ロット管理体制が強化される。
第１図は本考案の機能を説明する斜視図， 第２図（１）〜（３）は実施例のマガジン供給部の三面
図で，（１）は正面図，（２）は平面図，（３）は側面
図， 第３図（１）〜（８）は読み取り過程を説明するマガジ
ン供給部の側面図と平面図である。 図において， １はマガジン保持部,2はバーコードリーダ,3はマガジ
ン,4はマガジンの上部に貼付されたバーコード,5は一番
下のマガジンを保持して上下するエレベータ,6はエレベ
ータのハウジング,7はエレベータがしゅう動する支柱,8
はマガジンの移動手段でプッシャである。
図で，（１）は正面図，（２）は平面図，（３）は側面
図， 第３図（１）〜（８）は読み取り過程を説明するマガジ
ン供給部の側面図と平面図である。 図において， １はマガジン保持部,2はバーコードリーダ,3はマガジ
ン,4はマガジンの上部に貼付されたバーコード,5は一番
下のマガジンを保持して上下するエレベータ,6はエレベ
ータのハウジング,7はエレベータがしゅう動する支柱,8
はマガジンの移動手段でプッシャである。
Claims (1)
- 【請求項１】製造装置のマガジン供給部が，マガジン保
持部（１）とバーコードリーダ（２）とエレベータ
（５）とマガジン移動手段（８）とを有し， 該マガジン保持部（１）は複数のマガジン（３）を縦１
列に収納するものであり， 該バーコードリーダ（２）はマガジン保持部（１）に取
りつけられ，マガジン（３）に貼付されたバーコード
（４）を読み取るものであり， 該エレベータ（５）はマガジン保持部（１）に収納され
た一番下のマガジン（３）を保持して上下し，マガジン
保持部（１）よりその下側にマガジン（３）を下ろすも
のであり， 該マガジン移動手段（８）はマガジン保持部（１）より
下ろされたマガジン（３）を排出方向に移動するもので
あり，この移動によりバーコードリーダ（２）がバーコ
ード（４）を読み取るように構成されていることを特徴
とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989105487U JPH0734031Y2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989105487U JPH0734031Y2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0344128U JPH0344128U (ja) | 1991-04-24 |
| JPH0734031Y2 true JPH0734031Y2 (ja) | 1995-08-02 |
Family
ID=31654248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989105487U Expired - Lifetime JPH0734031Y2 (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0734031Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2532836B2 (ja) * | 1986-05-21 | 1996-09-11 | キヤノン株式会社 | マスク自動交換装置 |
| JPH0191367A (ja) * | 1987-10-01 | 1989-04-11 | Sony Corp | カセツトのバ−コ−ド読取装置 |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP1989105487U patent/JPH0734031Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0344128U (ja) | 1991-04-24 |
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