JPH0734182A - 鉄系軟磁性焼結体の製造方法およびその方法により得られた鉄系軟磁性焼結体 - Google Patents

鉄系軟磁性焼結体の製造方法およびその方法により得られた鉄系軟磁性焼結体

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JPH0734182A
JPH0734182A JP5195337A JP19533793A JPH0734182A JP H0734182 A JPH0734182 A JP H0734182A JP 5195337 A JP5195337 A JP 5195337A JP 19533793 A JP19533793 A JP 19533793A JP H0734182 A JPH0734182 A JP H0734182A
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 Fe粉、および該Feと合金化させるべき金
属あるいはそのフェロアロイの少なくとも一種の粉体を
所望の化学組成となるように配合し、これをメカニカル
アロイング法により処理して、前記金属あるいはそのフ
ェロアロイの少なくとも一部を前記Feと合金化し、こ
の材料を成形した後、焼成し、鉄系軟磁性焼結体を得る
ことを特徴とする。 【効果】 比較的大きな平均粒径の材料を用いても、高
性能、高密度の鉄系軟磁性焼結体を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、鉄系軟磁性焼結体の製
造方法およびその製造方法により得られた鉄系軟磁性焼
結体に関する。
【0002】
【従来の技術】鉄系軟磁性焼結体の製造方法の一つとし
て、粉末冶金法が挙げられる。この粉末冶金法は、原料
の混合、成形および焼成工程を経て行なわれる。
【0003】このような粉末冶金法による鉄系軟磁性焼
結体部品の製造は、従来の板材を切り出しての製造よ
り、切削量が少なく、複雑形状のものを製造でき、コス
ト的にも有利であることから、現在、OA機器、モー
タ、自動車部品などに使用されつつある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、粉末冶
金法により、高密度、高特性の軟磁性焼結体部品を得る
には次のような問題があった。
【0005】その問題の一つは、高純度で、粒子径の小
さい材料を使用しなければならないが、このような材料
は値段が高い上に、酸化されやすく、管理しずらいとい
うことである。実際、通常は150μm程度の平均粒子
径の材料を用いるが、このような材料を用いると、焼結
後で80〜93%程度の密度しかとれなかった。
【0006】また、高密度を得るためには、高圧成形お
よび高温焼成をしなければならないという問題もある。
【0007】そこで、本発明は、比較的大きな平均粒径
の材料粉末を用いて、高密度・高性能の鉄系軟磁性焼結
体を得ることができる鉄系軟磁性焼結体の製造方法を提
供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
(1)〜(17)の本発明により達成される。 (1)Fe粉、および該Feと合金化させるべき金属あ
るいはそのフェロアロイの少なくとも一種の粉体を所望
の化学組成となるように配合し、これをメカニカルアロ
イング法により処理して、前記金属あるいはそのフェロ
アロイの少なくとも一部を前記Feと合金化し、この材
料を成形した後、焼成し、鉄系軟磁性焼結体を得ること
を特徴とする鉄系軟磁性焼結体の製造方法。 (2)前記化学組成が、Si2〜7wt%を含むFe−S
i系、P0.2〜1wt%を含むFe−P系、Cr10〜
20wt%を含むFe−Cr系、Co25〜60wt%を含
むFe−Co系、Co25〜60wt%およびV0.5〜
5wt%を含むFe−Co−V系、Ni30〜60wt%残
部Fe、またはNi70〜85wt%およびMo0.5〜
5wt%を含むFe−Ni−Mo系である上記(1)の鉄
系軟磁性焼結体の製造方法。 (3)前記Fe粉がメカニカルアロイング法の処理によ
り偏平にされている上記(1)または(2)の鉄系軟磁
性焼結体の製造方法。 (4)偏平度合いであるアスペクト比が、SEM観察で
測定して、1/500〜1/5である上記(3)の鉄系
軟磁性焼結体の製造方法。 (5)所望の化学組成のFe系合金の粉末をメカニカル
グラインディング法により処理し、この材料を成形した
後、焼成し、鉄系軟磁性焼結体を得ることを特徴とする
鉄系軟磁性焼結体の製造方法。 (6)前記化学組成が、Si2〜7wt%を含むFe−S
i系、P0.2〜1wt%を含むFe−P系、Cr10〜
20wt%を含むFe−Cr系、Co25〜60wt%を含
むFe−Co系、Co25〜60wt%およびV0.5〜
5wt%を含むFe−Co−V系、Ni30〜60wt%残
部Fe、またはNi70〜85wt%およびMo0.5〜
5wt%を含むFe−Ni−Mo系である上記(5)の鉄
系軟磁性焼結体の製造方法。 (7)前記メカニカルアロイング法あるいはメカニカル
グラインディング法による処理が、固体潤滑剤の存在下
に行なわれる上記(1)ないし(6)のいずれかの鉄系
軟磁性焼結体の製造方法。 (8)前記固体潤滑剤が、ステアリン酸、その塩、およ
びその誘導体と、ワックスのうちの少なくとも一種であ
る上記(7)の鉄系軟磁性焼結体の製造方法。 (9)前記固体潤滑剤が、合金原料に対して0.1〜5
wt%の範囲で添加される上記(7)または(8)の鉄系
軟磁性焼結体の製造方法。 (10)0.5wt%以下の炭素を添加する上記(1)な
いし(9)のいずれかの鉄系軟磁性焼結体の製造方法。 (11)前記炭素が、無定形炭素である上記(10)の
鉄系軟磁性焼結体の製造方法。 (12)前記炭素が粉体であり、その平均粒径が50μ
m以下である上記(10)または(11)の鉄系軟磁性
焼結体の製造方法。 (13)前記炭素をメカニカルアロイング法あるいはメ
カニカルグラインディング法による処理時に添加する上
記(10)ないし(12)のいずれかの鉄系軟磁性焼結
体の製造方法。 (14)前記焼成時において、昇温過程後期の1050
℃時期から温度保持期の間の少なくとも一部を、還元性
雰囲気下で焼成を行い、その前の期間における焼成雰囲
気を不活性雰囲気とする上記(1)ないし(13)のい
ずれかの鉄系軟磁性焼結体の製造方法。 (15)還元性雰囲気が1%以上のH2 を含む雰囲気で
ある上記(14)の鉄系軟磁性焼結体の製造方法。 (16)還元性雰囲気が10%以上のH2 を含むNH3
分解ガスである上記(14)の鉄系軟磁性焼結体の製造
方法。 (17)上記(1)ないし(16)のいずれかの製造方
法によって製造された鉄系軟磁性焼結体。
【0009】
【作用】本発明の鉄系軟磁性焼結体の製造方法によれ
ば、Fe粉と、金属粉およびフェロアロイの少なくとも
一種の粉体とを混合し、これをメカニカルアロイング法
により処理して、前記フェロアロイのうちの少なくとも
一部をFeと合金化させ、少なくとも一部に鉄系アモル
ファス合金および鉄系準安定相合金を一旦形成した後、
この材料を成形した後、焼成し、結晶性を有する鉄系軟
磁性焼結体を得る。また、当初から所望の化学組成の鉄
系合金粉を用いる場合には、これをメカニカルグライン
ディング法により処理して、粉体に適度な内部歪みを与
えて、表面を活性化させ、この材料を成形した後、焼成
し、結晶性を有する鉄系軟磁性焼結体を得る。従って、
大きな平均粒径の材料を用いても、高密度、高性能の鉄
系軟磁性焼結体を得ることができる。
【0010】なお、メカニカルアロイング法およびメカ
ニカルグラインディング法により軟磁性合金粉体を得る
技術が特開平4−99247号公報に開示されている
が、この技術においては、その後、熱間押し出し法によ
り成形固化して所定形状の部品を得るものであり、本発
明のような焼成を行なっていない。
【0011】
【具体的構成】以下、本発明の具体的構成について詳細
に説明する。
【0012】本発明の鉄系軟磁性焼結体の製造を行なう
にあたっては、先ず原料粉末であるFe粉、および該F
eと合金化させるべき金属あるいはそのフェロアロイの
少なくとも一種の粉体を所望の化学組成となるように配
合する。上記化学組成としては、例えばSi2〜7wt%
を含むFe−Si系、P0.2〜1wt%を含むFe−P
系、Cr10〜20wt%を含むFe−Cr系、Co25
〜60wt%を含むFe−Co系、Co25〜60wt%お
よびV0.5〜5wt%を含むFe−Co−V系、Ni3
0〜60wt%残部Fe、あるいはNi70〜85wt%お
よびMo0.5〜5wt%を含むFe−Ni−Mo系が挙
げられる。
【0013】原料粉末としては、純Fe粉末と、フェロ
シリコン、フェロリン、フェロクロム、フェロコバル
ト、フェロバナジウム、フェロニッケル、フェロモリブ
デン等のフェロアロイである合金粉末あるいは上記フェ
ロアロイにおける純金属粉末とを用いることができる。
しかし、処理が効率よく行なえ、安価な原料であるフェ
ロアロイを用いることが望ましい。
【0014】本発明にあっては、上記純金属、フェロア
ロイの他、上記化学組成の合金そのものを用いることが
できる。
【0015】Fe原料粉末の平均粒径は、10〜150
μm程度のものを用いるが、本発明によれば、比較的平
均粒径の大きい、例えば150μm程度のものを用いて
も、平均粒径10μm程度の比較的小さい原料粉末を用
いたのと同等の焼成密度が得られる。
【0016】このFeと合金化される金属あるいはその
フェロアロイの粉末の平均粒径は、150μm以下のも
のが用いられる。この平均粒径の下限はとくにないが、
Feと同様、10μm程度である。
【0017】以上のように準備した原料粉末をメカニカ
ルアロイング法あるいはメカニカルグラインディング法
による処理(以下、MA処理と総称することもある)を
行ない、所望の合金粉末(一部のみが合金になっている
場合がある)を得る。
【0018】メカニカルアロイング法も、メカニカルグ
ラインディング法も、ともに原料粉末に物理的作用を与
え、原料粉末に内部歪を与え、表面を活性化させる方法
であるが、メカニカルアロイング法においては、2種あ
るいは3種以上の粉末を合金化させる作用をも持ってい
る。
【0019】MA処理は、例えば、乾式アトライタ(媒
体撹拌型ミル)を用いて、例えばN2 あるいはAr雰囲
気中において、アジテータ回転数100〜300rpm
で10〜240分間処理といった条件で行なわれる。M
A処理は、上記乾式アトライタの他、乾式振動ミル、乾
式ボールミル等を用いることができる。
【0020】メカニカルアロイングおよびメカニカルグ
ラインディングのいずれも、必要以上の長時間行なう
と、雰囲気からのコンタミネーションが増大してしま
う。したがって、これらの処理を行なう時間は、合金粉
の性状、大きさ、硬度等によるものの、メカニカルアロ
イングでは、少なくとも10分以上、長くとも240分
程度、メカニカルグラインディングも同様に、少なくと
も10分以上、長くとも240分程度行なえば充分であ
る。
【0021】メカニカルアロイング法による処理では、
合金化が行なわれるが、この合金化が行なわれると、F
eのキュリー点がブロードとなってくるので、示差走査
熱量計(DSC)の吸熱ピークを測定することにより合
金化を確認することができる。
【0022】一方、メカニカルグラインディング法によ
る処理では、合金粉に内部歪が与えられるが、この内部
歪は、X線回折によって測定される。
【0023】X線回折による歪の定量化には、種々の方
法が知られているが、WarrenとAberbach
によるフーリエ解析による結晶子サイズと歪の分離法
(参考文献:J.Appl.Phys. vol.2
1,p595(1950)を適用することが好ましい。
【0024】メカニカルアロイングにおいては、Fe粉
が偏平化される。この偏平度合いは、SEM観察で測定
して、アスペクト比が1/500〜1/5となるように
設定される。偏平化が少ないと、合金化が進まず、高性
能を得ることができず、多過ぎると成形性が劣化する。
【0025】MA処理における雰囲気は、Arガスが一
般的であるが、その他N2 ガス雰囲気、H2 を少量含有
したArガス雰囲気、大気等であってもよい。
【0026】上記MA処理時には、固体潤滑剤を合金原
料に対して、0.1〜5wt%、特に0.1〜3wt%、さ
らには0.3〜2wt%添加することが望ましい。固体潤
滑剤の添加量が上記範囲より少ないと、一旦粉砕されて
も再び凝集されやすく、また多すぎると上記偏平化が進
み過ぎるとともに、脱バインダ不良(ふくれ等)が発生
し易くなるからである。
【0027】固体潤滑剤としては、ステアリン酸および
その塩、その誘導体、あるいはワックス等を用いること
ができる。ステアリン酸塩としては、例えばステアリン
酸Znが挙げられる。ステアリン酸の誘導体としては、
ステアリン酸アミンあるいはアミド等が挙げられる。ワ
ックスとしては、例えば市販のSN ワックス(サンノ
プコ製 商品名)等を用いることができる。
【0028】上記MA処理時においては、炭素を0.5
wt%以下、好ましくは0.05〜0.3wt%添加しても
よい。この炭素は、MA処理時においては、上記固体潤
滑剤と同様の作用を行うとともに、焼成時において、後
に説明する作用を発揮する。
【0029】炭素としては、カーボンブラック、スス等
の無定形炭素が用いられ、用いる炭素の平均粒径は、
0.1〜50μmの範囲が望ましい。
【0030】以上によりMA処理された粉末にバインダ
を1〜3wt%添加して混合し、これを用い所望形状に成
形が行なわれる。成形圧は4〜8ton/cm2 に設定
される。
【0031】成形体は以下のようにして焼成される。本
発明における焼成は、脱バインダ処理工程、および焼成
工程からなる。本発明においては、上記各工程の温度条
件等は、次のように設定されることが望ましい。
【0032】脱バインダ処理工程 昇温速度:50〜500℃/時間、特に100〜300
℃/時間 保持温度:400〜600℃、特に500〜550℃ 保持時間:0.5〜3時間、特に1〜2時間
【0033】焼成工程 昇温速度:100〜600℃/時間、特に300〜40
0℃/時間 保持温度:1100〜1350℃、特に1200〜13
00℃ 保持時間:0.5〜10時間、特に2〜5時間 冷却速度:200〜600℃/時間、特に300〜40
0℃/時間
【0034】上記のように、従来法における焼成工程の
保持温度が一般に1200〜1400℃程度であったも
のが、本発明によれば、上記のように比較的低温で焼成
することができる。
【0035】本発明においては、焼成工程における昇温
過程の後期における焼成温度1050℃達成時以降およ
び温度保持期間のうち少なくとも一部における雰囲気
を、還元性雰囲気とし、通常その他の期間における雰囲
気を不活性雰囲気とする。
【0036】還元性雰囲気としては、例えば1%以上の
2 ガスを含む雰囲気、あるいは10%以上のH2 ガス
を含むNH3 分解ガスを用いることができる。H2 ガス
100%の雰囲気であってもよい。H2 ガスの割合が高
いほど、脱炭素の効果が顕著になる。
【0037】不活性雰囲気としては、例えばN2 ガス、
Arガス、真空を用いることができ、酸素分圧は10-2
Torr以下とする。
【0038】本発明の焼成においては、脱バインダ処理
および焼成処理の本処理を行なう他、先ず、不活性雰囲
気中での熱処理により、CとOの反応により、脱酸素を
行い、ついで還元性雰囲気中での処理により、CとH2
の反応により余分なC分を除去している。上記脱酸素に
より、焼結体の密度がより向上する。なお、上記CとO
の反応におけるC分は、MA処理時に添加した炭素分で
ある。
【0039】不活性雰囲気から還元性雰囲気への切り換
えは上記したように第二昇温工程の後期における焼成温
度1050℃達成時以降に行なう。これは、これ以前で
あると、脱炭反応が上がらないからである。
【0040】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明
をさらに詳細に説明する。
【0041】実施例1−Fe−6.5Si系 市販の還元鉄粉とフェロシリコン合金粉を最終組成がF
e−6.5%Si合金になるように秤量した。上記鉄粉
の平均粒径は150μmであり、フェロシリコン合金粉
は150μmであった。これに固体潤滑剤として、ステ
アリン酸0.5wt%を加え、乾式アトライタで30分間
MA処理を行なった。得られたMA処理粉をDSCで測
定したところ、Feキュリー点がブロード化しており、
少なくとも一部においてSiのFeへの合金化が行なわ
れていることが判明した。
【0042】次いで、上記のMA処理粉を用いて、成形
圧8ton/cm2 で磁気特性測定用のトロイダル形状
に成形した。
【0043】この後、上記成形体を図1および図2に示
した焼成パターンで焼結し、実施例であるサンプル No.
1および2の焼結体を得た。得られた焼結体の磁気特性
を25Oeの印加磁場で測定した。求めた結果を表1に示
した。
【0044】
【表1】
【0045】次に、MA処理時にカーボンブラックを
0.1wt%加えた他は、サンプルNo.1および2と同様
にして、実施例であるサンプルNo. 3および4の焼結体
を得た。これらのサンプルについても上記と同様に磁気
特性を25Oeの印加磁場で測定した。求めた結果を表1
に示した。さらに、上記カーボンブラックの添加量を
0.2%と増量した以外は上記サンプルNo. 3および4
と同様にして、実施例であるサンプルNo. 5および6の
焼結体を得た。これらのサンプルについても上記と同様
に磁気特性を25Oeの印加磁場で測定した。求めた結果
を表1に示した。
【0046】一方、サンプルNo. 1および2で、MA処
理をしないで焼成を行い、焼結体を得た。これを比較例
のサンプルNo. 7および8とした。これらの比較例のサ
ンプルについても、上記実施例と同様にして磁気特性を
測定した。その結果も表1に示した。
【0047】更に、上記の全サンプルについて、密度の
測定を求めた。密度は、サンプルの外径、内径および厚
さをマイクロメータで測定して体積を求め、重量を体積
で割って求めた。
【0048】密度の測定結果も表1に示した。
【0049】本実施例においては、MA処理の作用によ
り、密度の向上が図れ、Bが向上し、更に脱酸素を行な
う焼成により焼結体に含まれる酸素が減少し、Hcが向
上した。
【0050】実施例2−Fe−0.6P系 市販の還元鉄粉とフェロリン合金粉を最終組成がFe−
0.6%P合金になるように秤量した。上記鉄粉の平均
粒径は150μmであり、フェロリン合金粉の平均粒径
も150μmであった。これに固体潤滑剤として、ステ
アリン酸0.5wt%を加え、乾式アトライタで30分間
MA処理を行なった。得られたMA処理粉を用いて、成
形圧8ton/m2 で磁気特性測定用のトロイダル形状
に成形した。
【0051】この後、上記成形体を図1に示した焼成パ
ターンで焼結し、実施例であるサンプル No.11の焼結
体を得た。得られた焼結体の磁気特性を25Oeの印加磁
場で測定した。求めた結果を表2に示した。
【0052】
【表2】
【0053】次に、MA処理時にカーボンブラックを
0.1wt%、0.2wt%加えた他は、サンプルNo. 11
と同様にして、実施例であるサンプルNo. 12および1
3の焼結体を得た。これらのサンプルについても上記と
同様に磁気特性を25Oeの印加磁場で測定した。求めた
結果を表2に示した。
【0054】一方、サンプルNo. 11で、MA処理をし
ないで焼成を行い、焼結体を得た。これを比較例のサン
プルNo. 14とした。この比較例のサンプルについて
も、上記実施例と同様にして磁気特性を測定した。その
結果も表2に示した。
【0055】更に、上記の全サンプルについて、密度の
測定を行なった。密度の測定結果も表2に示した。
【0056】表2から分かるように、実施例2の場合も
実施例1と同様の傾向が得られた。
【0057】実施例3−Fe−Cr系 市販の還元鉄粉とフェロクロム合金粉を最終組成がFe
−13%Cr合金になるように秤量した。上記鉄粉の平
均粒径は150μmであり、フェロクロム合金粉の平均
粒径も150μmであった。これに固体潤滑剤として、
ステアリン酸0.5wt%を加え、ベッセルミルで15分
間MA処理を行なった。得られたMA処理粉を用いて、
成形圧8ton/cm2 で磁気特性測定用のトロイダル
形状に成形した。
【0058】この後、上記成形体を図3に示した焼成パ
ターンで焼結し、実施例であるサンプル No.21の焼結
体を得た。得られた焼結体の磁気特性を25Oeの印加磁
場で測定した。求めた結果を表3に示した。
【0059】
【表3】
【0060】一方、サンプルNo. 21で、MA処理をし
ないで焼成を行い、焼結体を得た。これを比較例のサン
プルNo. 22とした。これらの比較例のサンプルについ
ても、上記実施例と同様にして磁気特性を測定した。そ
の結果も表3に示した。
【0061】更に、上記の全サンプルについて、密度の
測定を行なった。密度の測定結果も表3に示した。
【0062】表3から分かるように、実施例3の場合も
実施例1と同様の傾向が得られた。
【0063】実施例4−Fe−50Ni系 市販の水アトマイズFe−50%Ni合金に固体潤滑剤
として、ステアリン酸0.5wt%を加え、アトライタで
30分間MA処理を行なった。得られたMA処理粉を磁
気特性測定用のトロイダル形状に成形した。この成形体
を図2に示した焼成パターンで焼結し、実施例であるサ
ンプル No.31の焼結体を得た。得られた焼結体の磁気
特性を25Oeの印加磁場で測定した。求めた結果を表4
に示した。
【0064】
【表4】
【0065】一方、サンプルNo. 31で、MA処理をし
ないで焼成を行い、焼結体を得た。これを比較例のサン
プルNo. 32とした。この比較例のサンプルについて
も、上記実施例と同様にして磁気特性を測定した。その
結果も表4に示した。
【0066】更に、上記の全サンプルについて、密度の
測定を行なった。密度の測定結果も表4に示した。
【0067】表4から分かるように、実施例4の場合も
実施例1と同様の傾向が得られた。
【0068】実施例5−Fe−50%Co 市販の水アトマイズFe−50%Co合金に固体潤滑剤
として、ステアリン酸0.5wt%を加え、ベッセルミル
で15分間MA処理を行なった。得られたMA処理粉を
磁気特性測定用のトロイダル形状に成形した。この成形
体を図3に示した焼成パターンで焼結し、実施例である
サンプル No.41の焼結体を得た。得られた焼結体の磁
気特性を25Oeの印加磁場で測定した。求めた結果を表
5に示した。
【0069】
【表5】
【0070】一方、サンプルNo. 41で、MA処理をし
ないで焼成を行い、焼結体を得た。これを比較例のサン
プルNo. 42とした。この比較例のサンプルについて
も、上記実施例と同様にして磁気特性を測定した。その
結果も表5に示した。
【0071】更に、上記の全サンプルについて、密度の
測定を行なった。密度の測定結果も表5に示した。
【0072】表5から分かるように、実施例4の場合も
実施例1と同様の傾向が得られた。
【0073】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高密度で高性能の鉄系軟磁性焼結体を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の製造方法に用いられる焼成パターンの
一例を示すタイムチャートである。
【図2】本発明の製造方法に用いられる焼成パターンの
他の例を示すタイムチャートである。
【図3】本発明の製造方法に用いられる焼成パターンの
更に他の例を示すタイムチャートである。

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Fe粉、および該Feと合金化させるべ
    き金属あるいはそのフェロアロイの少なくとも一種の粉
    体を所望の化学組成となるように配合し、これをメカニ
    カルアロイング法により処理して、前記金属あるいはそ
    のフェロアロイの少なくとも一部を前記Feと合金化
    し、この材料を成形した後、焼成し、鉄系軟磁性焼結体
    を得ることを特徴とする鉄系軟磁性焼結体の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記化学組成が、Si2〜7wt%を含む
    Fe−Si系、P0.2〜1wt%を含むFe−P系、C
    r10〜20wt%を含むFe−Cr系、Co25〜60
    wt%を含むFe−Co系、Co25〜60wt%およびV
    0.5〜5wt%を含むFe−Co−V系、Ni30〜6
    0wt%残部Fe、またはNi70〜85wt%およびMo
    0.5〜5wt%を含むFe−Ni−Mo系である請求項
    1の鉄系軟磁性焼結体の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記Fe粉がメカニカルアロイング法の
    処理により偏平にされている請求項1または2の鉄系軟
    磁性焼結体の製造方法。
  4. 【請求項4】 偏平度合いであるアスペクト比が、SE
    M観察で測定して、1/500〜1/5である請求項3
    の鉄系軟磁性焼結体の製造方法。
  5. 【請求項5】 所望の化学組成のFe系合金の粉末をメ
    カニカルグラインディング法により処理し、この材料を
    成形した後、焼成し、鉄系軟磁性焼結体を得ることを特
    徴とする鉄系軟磁性焼結体の製造方法。
  6. 【請求項6】 前記化学組成が、Si2〜7wt%を含む
    Fe−Si系、P0.2〜1wt%を含むFe−P系、C
    r10〜20wt%を含むFe−Cr系、Co25〜60
    wt%を含むFe−Co系、Co25〜60wt%およびV
    0.5〜5wt%を含むFe−Co−V系、Ni30〜6
    0wt%残部Fe、またはNi70〜85wt%およびMo
    0.5〜5wt%を含むFe−Ni−Mo系である請求項
    5の鉄系軟磁性焼結体の製造方法。
  7. 【請求項7】 前記メカニカルアロイング法あるいはメ
    カニカルグラインディング法による処理が、固体潤滑剤
    の存在下に行なわれる請求項1ないし6のいずれかの鉄
    系軟磁性焼結体の製造方法。
  8. 【請求項8】 前記固体潤滑剤が、ステアリン酸、その
    塩、およびその誘導体と、ワックスのうちの少なくとも
    一種である請求項7の鉄系軟磁性焼結体の製造方法。
  9. 【請求項9】 前記固体潤滑剤が、合金原料に対して
    0.1〜5wt%の範囲で添加される請求項7または8の
    鉄系軟磁性焼結体の製造方法。
  10. 【請求項10】 0.5wt%以下の炭素を添加する請求
    項1ないし9のいずれかの鉄系軟磁性焼結体の製造方
    法。
  11. 【請求項11】 前記炭素が、無定形炭素である請求項
    10の鉄系軟磁性焼結体の製造方法。
  12. 【請求項12】 前記炭素が粉体であり、その平均粒径
    が50μm以下である請求項10または11の鉄系軟磁
    性焼結体の製造方法。
  13. 【請求項13】 前記炭素をメカニカルアロイング法あ
    るいはメカニカルグラインディング法による処理時に添
    加する請求項10ないし12のいずれかの鉄系軟磁性焼
    結体の製造方法。
  14. 【請求項14】 前記焼成時において、昇温過程後期の
    1050℃時期から温度保持期の間の少なくとも一部
    を、還元性雰囲気下で焼成を行い、その前の期間におけ
    る焼成雰囲気を不活性雰囲気とする請求項1ないし13
    のいずれかの鉄系軟磁性焼結体の製造方法。
  15. 【請求項15】 還元性雰囲気が1%以上のH2 を含む
    雰囲気である請求項14の鉄系軟磁性焼結体の製造方
    法。
  16. 【請求項16】 還元性雰囲気が10%以上のH2 を含
    むNH3 分解ガスである請求項14の鉄系軟磁性焼結体
    の製造方法。
  17. 【請求項17】 請求項1ないし16のいずれかの製造
    方法によって製造された鉄系軟磁性焼結体。
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