JPH073480A - 微細な孔が貫通するワークの微細孔の洗浄方法及び その装置 - Google Patents
微細な孔が貫通するワークの微細孔の洗浄方法及び その装置Info
- Publication number
- JPH073480A JPH073480A JP3335790A JP33579091A JPH073480A JP H073480 A JPH073480 A JP H073480A JP 3335790 A JP3335790 A JP 3335790A JP 33579091 A JP33579091 A JP 33579091A JP H073480 A JPH073480 A JP H073480A
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】微細な貫通孔が形成されているワークに対し洗
浄能力の大きな超音波洗浄の提供。 【構成】ワークの下面を洗浄液面下数十ミリメートル以
下に設置し、それで超音波発振器を駆動せしめ超音波を
放射せしめることによって、超音波が洗浄液中を伝播
し、上記微細孔を通り、その超音波に乗って洗浄液が上
記ワークの他方の微細孔から吹き上がる現象を利用して
ワークの微細孔を洗浄する。
浄能力の大きな超音波洗浄の提供。 【構成】ワークの下面を洗浄液面下数十ミリメートル以
下に設置し、それで超音波発振器を駆動せしめ超音波を
放射せしめることによって、超音波が洗浄液中を伝播
し、上記微細孔を通り、その超音波に乗って洗浄液が上
記ワークの他方の微細孔から吹き上がる現象を利用して
ワークの微細孔を洗浄する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微細な孔が貫通するワ
ークの微細孔の洗浄方法及びその装置に係わり、更に詳
しくは、直径３〜５ｍｍ以下、例えば２０ないし１００
マイクロメートルあるいは２０マイクロメートル以下の
微細孔が１００ないし２０００個形成されたワークの微
細孔の超音波洗浄に適する方法及びその装置に関する。
ークの微細孔の洗浄方法及びその装置に係わり、更に詳
しくは、直径３〜５ｍｍ以下、例えば２０ないし１００
マイクロメートルあるいは２０マイクロメートル以下の
微細孔が１００ないし２０００個形成されたワークの微
細孔の超音波洗浄に適する方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知の通り、種々のワークの中には微細
な貫通孔が形成されたワークがあり、例えば直径２０な
いし１００マイクロメートルの微細孔が１００ないし２
０００個形成されたワークがある。
な貫通孔が形成されたワークがあり、例えば直径２０な
いし１００マイクロメートルの微細孔が１００ないし２
０００個形成されたワークがある。
【０００３】ところで、上記微細孔が形成されたワーク
を、超音波洗浄槽と、超音波洗浄槽に収容された洗浄液
と、洗浄液中に配置されている超音波発振器より成る装
置で超音波洗浄することが行われようとしていた。
を、超音波洗浄槽と、超音波洗浄槽に収容された洗浄液
と、洗浄液中に配置されている超音波発振器より成る装
置で超音波洗浄することが行われようとしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術によれ
ば、微細孔が形成されたワークを微細孔のないワークと
同様に超音波洗浄すれば、ワークの表面は洗浄されるも
のの、微細孔内部は洗浄不可能であった。
ば、微細孔が形成されたワークを微細孔のないワークと
同様に超音波洗浄すれば、ワークの表面は洗浄されるも
のの、微細孔内部は洗浄不可能であった。
【０００５】それは、超音波洗浄に用いる超音波の波長
が、周波数２８キロヘルツ、常温に於いて、６０ミリメ
ートル前後であるため、上記の微細孔の内部には入ら
ず、従って微細孔内部は洗浄不可能であった。
が、周波数２８キロヘルツ、常温に於いて、６０ミリメ
ートル前後であるため、上記の微細孔の内部には入ら
ず、従って微細孔内部は洗浄不可能であった。
【０００６】また逆に、超音波の周波数を１メガヘルツ
にすると微細孔内部には入るものの、超音波の振幅が小
さくなってしまい、洗浄能力が小さくなってしまうもの
であった。
にすると微細孔内部には入るものの、超音波の振幅が小
さくなってしまい、洗浄能力が小さくなってしまうもの
であった。
【０００７】そこで、従来から直径３−５ｍｍ以下、例
えば２０ないし１００マイクロメートルの微細孔が１０
０ないし２０００個形成されたワークの超音波洗浄は不
可能と考えられており、上記ワークの超音波洗浄方法及
びその装置が求められていた。
えば２０ないし１００マイクロメートルの微細孔が１０
０ないし２０００個形成されたワークの超音波洗浄は不
可能と考えられており、上記ワークの超音波洗浄方法及
びその装置が求められていた。
【０００８】
【目的】従って本発明の目的とするところは、超音波洗
浄装置、即ち超音波洗浄槽と洗浄液と超音波発振器より
成る装置を用いて、直径３−５ｍｍ以下例えば２０ない
し１００マイクロメートルの微細孔が１００ないし２０
００個形成されたワークの微細孔を洗浄可能にするのは
勿論、容易に上記洗浄ができる手段を提供するにある。
浄装置、即ち超音波洗浄槽と洗浄液と超音波発振器より
成る装置を用いて、直径３−５ｍｍ以下例えば２０ない
し１００マイクロメートルの微細孔が１００ないし２０
００個形成されたワークの微細孔を洗浄可能にするのは
勿論、容易に上記洗浄ができる手段を提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は次の技術的手段を有する。即ち、実施例に対
応する添付図面中の符号を用いてこれを説明すると、本
発明は、超音波洗浄槽１と、超音波洗浄槽１に収容され
た洗浄液２と、洗浄液２中に配置されている超音波発振
器３より成る装置に於いて、微細な貫通孔５が形成され
ているワーク４の下面を上記洗浄液２面下数十ミリメー
トル以下に設置し、それで上記超音波発振器３を駆動せ
しめ超音波を放射せしめることによって、超音波が洗浄
液２中を伝播し、上記微細孔５を通り、その超音波に乗
って洗浄液２が上記ワーク４の他方の微細孔５から吹き
上がる現象を利用してワーク４の微細孔５を洗浄するよ
うにしたことを特徴とする微細な孔が貫通するワークの
微細孔の洗浄方法である。
に本発明は次の技術的手段を有する。即ち、実施例に対
応する添付図面中の符号を用いてこれを説明すると、本
発明は、超音波洗浄槽１と、超音波洗浄槽１に収容され
た洗浄液２と、洗浄液２中に配置されている超音波発振
器３より成る装置に於いて、微細な貫通孔５が形成され
ているワーク４の下面を上記洗浄液２面下数十ミリメー
トル以下に設置し、それで上記超音波発振器３を駆動せ
しめ超音波を放射せしめることによって、超音波が洗浄
液２中を伝播し、上記微細孔５を通り、その超音波に乗
って洗浄液２が上記ワーク４の他方の微細孔５から吹き
上がる現象を利用してワーク４の微細孔５を洗浄するよ
うにしたことを特徴とする微細な孔が貫通するワークの
微細孔の洗浄方法である。
【００１０】そして、超音波洗浄槽１と、超音波洗浄槽
１に収容された洗浄液２と、洗浄液２中に配置されてい
る超音波発振器３と、微細な貫通孔５が形成されている
ワーク４の下面を上記洗浄液２面下数十ミリメートル以
下に設置固定する手段７より成ることを特徴とする微細
な孔が貫通するワークの微細孔の洗浄装置である。
１に収容された洗浄液２と、洗浄液２中に配置されてい
る超音波発振器３と、微細な貫通孔５が形成されている
ワーク４の下面を上記洗浄液２面下数十ミリメートル以
下に設置固定する手段７より成ることを特徴とする微細
な孔が貫通するワークの微細孔の洗浄装置である。
【００１１】
【作用】上記構成に基づくと、ワーク４を設置固定する
手段７によってワーク４を洗浄液２面下数ミリメートル
に設置固定し、超音波発振器３を駆動させ超音波を放射
させることによって、その超音波が洗浄液２中を伝播
し、ワーク４の微細孔５を通るものであり、そのときワ
ーク４の他方の微細孔５より洗浄液２が吹き上がるもの
である。
手段７によってワーク４を洗浄液２面下数ミリメートル
に設置固定し、超音波発振器３を駆動させ超音波を放射
させることによって、その超音波が洗浄液２中を伝播
し、ワーク４の微細孔５を通るものであり、そのときワ
ーク４の他方の微細孔５より洗浄液２が吹き上がるもの
である。
【００１２】
【実施例】次に添付図面に従い本発明の好適な実施例を
詳述する。図１は本発明の超音波洗浄装置の実施例を示
しており、この超音波洗浄装置は、超音波洗浄槽１と、
洗浄液２と、超音波発振器３と、ワーク４を設置固定す
る手段より成っている。
詳述する。図１は本発明の超音波洗浄装置の実施例を示
しており、この超音波洗浄装置は、超音波洗浄槽１と、
洗浄液２と、超音波発振器３と、ワーク４を設置固定す
る手段より成っている。
【００１３】上記超音波洗浄槽１には洗浄液２が収容さ
れており、その洗浄液２中には超音波発振器３が配設さ
れている。尚、上記洗浄液２はあらかじめ脱気されてあ
る。
れており、その洗浄液２中には超音波発振器３が配設さ
れている。尚、上記洗浄液２はあらかじめ脱気されてあ
る。
【００１４】そして他方、上記ワーク４を設置固定する
手段はアーム７とアーム支持体６より成っている。上記
アーム７は図２に示されるように、ワーク４を左右から
挟み込むように２本で形成されており、そのアーム７は
アーム支持体６に取り付けられている。上記アーム支持
体６に対してアーム７は回転自在に取り付けられてお
り、アーム７に挟み込まれたワーク４が上記超音波洗浄
槽１に収容された洗浄液２上からワーク４の下面が洗浄
液２面下に移動され、図１に示されるように、洗浄液２
面から距離ｔで固定されるよう構成されている。
手段はアーム７とアーム支持体６より成っている。上記
アーム７は図２に示されるように、ワーク４を左右から
挟み込むように２本で形成されており、そのアーム７は
アーム支持体６に取り付けられている。上記アーム支持
体６に対してアーム７は回転自在に取り付けられてお
り、アーム７に挟み込まれたワーク４が上記超音波洗浄
槽１に収容された洗浄液２上からワーク４の下面が洗浄
液２面下に移動され、図１に示されるように、洗浄液２
面から距離ｔで固定されるよう構成されている。
【００１５】上記洗浄されるべきワーク４には微細な貫
通孔５が形成されており、この例ではその微細孔５は直
径２０ないし１００マイクロメートルで１００ないし２
０００個形成されている。
通孔５が形成されており、この例ではその微細孔５は直
径２０ないし１００マイクロメートルで１００ないし２
０００個形成されている。
【００１６】次に、上記構成の超音波洗浄装置の作用に
ついて述べる。まず、図２に示すように、２本のアーム
７の間にワーク４を挟み込む。そして、アーム７を回転
させて、図１に示すようにワーク４の下面が超音波洗浄
１の洗浄液２面下ｔに位置するように設置固定する。
ついて述べる。まず、図２に示すように、２本のアーム
７の間にワーク４を挟み込む。そして、アーム７を回転
させて、図１に示すようにワーク４の下面が超音波洗浄
１の洗浄液２面下ｔに位置するように設置固定する。
【００１７】ここで、ｔは３ないし５ミリメートルとす
るが、ワーク４の種類及び微細孔５の形状、大きさ等に
よっては５ないし５０ミリメートルとすることも考えら
れる。
るが、ワーク４の種類及び微細孔５の形状、大きさ等に
よっては５ないし５０ミリメートルとすることも考えら
れる。
【００１８】上記のようにワーク４が設置固定された
後、超音波発振器３を駆動させる。すると、超音波発振
器３より超音波が放射され、洗浄液２中を伝播し、ワー
ク４の微細孔５へと伝播していく。そして、このときワ
ーク４の微細孔５の上面から洗浄液２の水柱が３０セン
チメートルから２メートル吹き上がる。この現象によっ
てワーク４の微細孔５が洗浄される。
後、超音波発振器３を駆動させる。すると、超音波発振
器３より超音波が放射され、洗浄液２中を伝播し、ワー
ク４の微細孔５へと伝播していく。そして、このときワ
ーク４の微細孔５の上面から洗浄液２の水柱が３０セン
チメートルから２メートル吹き上がる。この現象によっ
てワーク４の微細孔５が洗浄される。
【００１９】また、本出願人の実験によれば、微細孔５
の直径が３ないし５ミリメートル、また２０マイクロメ
ートル以下でも洗浄が可能であった。
の直径が３ないし５ミリメートル、また２０マイクロメ
ートル以下でも洗浄が可能であった。
【００２０】以上のように、この超音波洗浄装置に於い
て、アーム７とアーム支持体６より成るワーク４を設置
固定する手段によって、ワーク４の下面を洗浄液２面か
ら数十ミリメートル以下、例えば３ないし５ミリメート
ルの位置に設置固定した状態で超音波発振器３を駆動さ
せると、ワーク４の微細孔５の上面側から洗浄液２の水
柱が吹き上がる現象が起こり、その現象によって微細孔
５が洗浄されるものであり、容易に超音波洗浄ができる
ものである。
て、アーム７とアーム支持体６より成るワーク４を設置
固定する手段によって、ワーク４の下面を洗浄液２面か
ら数十ミリメートル以下、例えば３ないし５ミリメート
ルの位置に設置固定した状態で超音波発振器３を駆動さ
せると、ワーク４の微細孔５の上面側から洗浄液２の水
柱が吹き上がる現象が起こり、その現象によって微細孔
５が洗浄されるものであり、容易に超音波洗浄ができる
ものである。
【００２１】尚、上記ワーク４を設置固定する手段をア
ーム７とアーム支持体６としたが、その他にもワーク４
の下面を洗浄液２面から任意の位置に設置固体できる手
段としてワーク４の形状等に合わせた種々のものが考え
られる。
ーム７とアーム支持体６としたが、その他にもワーク４
の下面を洗浄液２面から任意の位置に設置固体できる手
段としてワーク４の形状等に合わせた種々のものが考え
られる。
【００２２】
【発明の効果】以上詳述した如く本発明によれば、ワー
クの洗浄する位置を、ワークの下面が洗浄液面下数十ミ
リメートル以下になる位置とすることによって、ワーク
の微細孔を洗浄可能とするので、非常に容易に微細孔を
洗浄できるという利点を有する。
クの洗浄する位置を、ワークの下面が洗浄液面下数十ミ
リメートル以下になる位置とすることによって、ワーク
の微細孔を洗浄可能とするので、非常に容易に微細孔を
洗浄できるという利点を有する。
【図１】超音波洗浄装置の構成を示す図である。
【図２】図１のＸ−Ｘ線に沿った断面図である。
１ 超音波洗浄槽 ２ 洗浄液 ３ 超音波発振器 ４ ワーク ５ 微細孔 ６ アーム支持体 ７ アーム
Claims (2)
- 【請求項１】 超音波洗浄槽１と、超音波洗浄槽１に収
容された洗浄液２と、洗浄液２中に配置されている超音
波発振器３より成る装置に於いて、微細な貫通孔５が形
成されているワーク４の下面を上記洗浄液２面下数十ミ
リメートル以下に設置し、それで上記超音波発振器３を
駆動せしめ超音波を放射せしめることによって、超音波
が洗浄液２中を伝播し、上記微細孔５を通り、その超音
波に乗って洗浄液２が上記ワーク４の他方の微細孔５か
ら吹き上がる現象を利用してワーク４の微細孔５を洗浄
するようにしたことを特徴とする微細な孔が貫通するワ
ークの微細孔の洗浄方法。 - 【請求項２】 超音波洗浄槽１と、超音波洗浄槽１に収
容された洗浄液２と、洗浄液２中に配置されている超音
波発振器３と、微細な貫通孔５が形成されているワーク
４の下面を上記洗浄液２面下数十ミリメートル以下に設
置固定する手段７より成ることを特徴とする微細な孔が
貫通するワークの微細孔の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3335790A JPH0791663B2 (ja) | 1991-11-25 | 1991-11-25 | 超音波洗浄方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3335790A JPH0791663B2 (ja) | 1991-11-25 | 1991-11-25 | 超音波洗浄方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH073480A true JPH073480A (ja) | 1995-01-06 |
| JPH0791663B2 JPH0791663B2 (ja) | 1995-10-04 |
Family
ID=18292469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3335790A Expired - Lifetime JPH0791663B2 (ja) | 1991-11-25 | 1991-11-25 | 超音波洗浄方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0791663B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02101568U (ja) * | 1989-01-28 | 1990-08-13 |
-
1991
- 1991-11-25 JP JP3335790A patent/JPH0791663B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02101568U (ja) * | 1989-01-28 | 1990-08-13 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0791663B2 (ja) | 1995-10-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |