JPH0735566B2 - 連続式真空蒸着装置 - Google Patents
連続式真空蒸着装置Info
- Publication number
- JPH0735566B2 JPH0735566B2 JP62023584A JP2358487A JPH0735566B2 JP H0735566 B2 JPH0735566 B2 JP H0735566B2 JP 62023584 A JP62023584 A JP 62023584A JP 2358487 A JP2358487 A JP 2358487A JP H0735566 B2 JPH0735566 B2 JP H0735566B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- vapor
- metal
- shutter
- continuous vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は連続式真空蒸着装置に関し、特に該装置の金属
蒸気の付着量制御装置、さらに詳細には、付着量分布制
御装置に関するものである。
蒸気の付着量制御装置、さらに詳細には、付着量分布制
御装置に関するものである。
帯鋼等の基板に連続的に、例えば亜鉛等の金属をメッキ
する手段として連続式真空蒸着装置が使用されている。
この従来の連続式真空蒸着装置の概略構成を第５図によ
つて説明する。
する手段として連続式真空蒸着装置が使用されている。
この従来の連続式真空蒸着装置の概略構成を第５図によ
つて説明する。
第５図において、１は帯鋼（蒸着基板）、２は複数のシ
ール室からなる真空シール装置、３は蒸着室、４は構鋼
１をガイドして通板させる巻付ロール、５は溶融した金
属（例えば亜鉛など）、６はその金属蒸気、７は溶融金
属の浴槽、８は浴槽７で発生した金属蒸気６を帯鋼１ま
で導くダクト（チヤンネル）、９はヒータ、10はシヤツ
タ、11はシヤツタ10の開閉装置（シリンダ）、12はシヤ
ツタ10の開口部、13は金属の溶解炉、14はスノケール、
15は管、16は弁、17は真空ポンプである。なおＺは金属
蒸気６の流れ方向を示す。
ール室からなる真空シール装置、３は蒸着室、４は構鋼
１をガイドして通板させる巻付ロール、５は溶融した金
属（例えば亜鉛など）、６はその金属蒸気、７は溶融金
属の浴槽、８は浴槽７で発生した金属蒸気６を帯鋼１ま
で導くダクト（チヤンネル）、９はヒータ、10はシヤツ
タ、11はシヤツタ10の開閉装置（シリンダ）、12はシヤ
ツタ10の開口部、13は金属の溶解炉、14はスノケール、
15は管、16は弁、17は真空ポンプである。なおＺは金属
蒸気６の流れ方向を示す。
この装置においては、溶融した金属５の蒸気６を真空条
件下で発生させ、該蒸気６をダクト８を介して浴槽７か
ら帯鋼１に導くように構成されている。
件下で発生させ、該蒸気６をダクト８を介して浴槽７か
ら帯鋼１に導くように構成されている。
帯鋼１に蒸着させるに必要な金属蒸気量（蒸発量）は、
浴槽７内に設置したヒータ９の電力と、浴槽７出口に設
置したシヤツタ10を、例えば、シリンダ等の開閉装置11
で開閉して開口部12の面積を変えることにより制御でき
るように構成されている。
浴槽７内に設置したヒータ９の電力と、浴槽７出口に設
置したシヤツタ10を、例えば、シリンダ等の開閉装置11
で開閉して開口部12の面積を変えることにより制御でき
るように構成されている。
また、前記浴槽７への溶融金属５は蒸着室３下部の溶融
炉13から圧力差によりスノーケル14を介して吸引供給さ
れるようになつている。
炉13から圧力差によりスノーケル14を介して吸引供給さ
れるようになつている。
蒸着室３は管15及び弁16を介して真空ポンプ17に接続
し、通常、溶融金属５の飽和蒸気圧力により低い圧力に
窒素（N2）等の不活性ガスを介して保持されている。
し、通常、溶融金属５の飽和蒸気圧力により低い圧力に
窒素（N2）等の不活性ガスを介して保持されている。
従来の連続式真空蒸着装置は以上の構成であるから、運
転に際しては、製造指令（鋼種、板幅、板厚、通板速
度、目標蒸着量等）にもとづいて設定された蒸着速度
（単位面積、単位時間当りの蒸着量）に対応して蒸着室
３の圧力を設定すると共に、蒸着金属の所望蒸発量にな
るようにヒータ９の電力とシヤツタ10開度を調整するこ
とにより帯鋼１表面の蒸着量、すなわち蒸着膜厚を目標
値に制御するようにしたものである。
転に際しては、製造指令（鋼種、板幅、板厚、通板速
度、目標蒸着量等）にもとづいて設定された蒸着速度
（単位面積、単位時間当りの蒸着量）に対応して蒸着室
３の圧力を設定すると共に、蒸着金属の所望蒸発量にな
るようにヒータ９の電力とシヤツタ10開度を調整するこ
とにより帯鋼１表面の蒸着量、すなわち蒸着膜厚を目標
値に制御するようにしたものである。
しかしながら、前記従来装置では、シヤツタ10の開口部
12を通過した後のダクト８内での金属蒸気６の流れが変
化するため、帯鋼１表面の蒸着金属の膜厚分布がいつも
一定とはならず、とくに板幅方向の分布に関しては、第
３図、第４図の実機における計測データを示す図表中、
点線a1，a2で示すようにばらつきが発生し、メツキ成品
の品質低下ならびに蒸着むらによる蒸着金属の歩留りが
低下するという問題があつた。とくに、シヤツタ開度が
大きい場合には均一に近かつたが、シヤツタ開度が小さ
い場合には膜厚分布のばらつきが大きかつた。
12を通過した後のダクト８内での金属蒸気６の流れが変
化するため、帯鋼１表面の蒸着金属の膜厚分布がいつも
一定とはならず、とくに板幅方向の分布に関しては、第
３図、第４図の実機における計測データを示す図表中、
点線a1，a2で示すようにばらつきが発生し、メツキ成品
の品質低下ならびに蒸着むらによる蒸着金属の歩留りが
低下するという問題があつた。とくに、シヤツタ開度が
大きい場合には均一に近かつたが、シヤツタ開度が小さ
い場合には膜厚分布のばらつきが大きかつた。
本発明はかかる問題に鑑み、つねに膜厚分布を均一に制
御し、メツキ成品の品質向上を図ると共に、蒸着金属の
歩留りを向上させコスト低減が可能な連続式真空蒸着装
置を提供しようとするものである。
御し、メツキ成品の品質向上を図ると共に、蒸着金属の
歩留りを向上させコスト低減が可能な連続式真空蒸着装
置を提供しようとするものである。
本発明は前記問題を解決するために、シヤツタ面内に多
孔板からなる整流板を取付けて金属蒸気の流れを均一化
させ、蒸着膜厚分布を均一にするように真空蒸着装置を
構成させたものである。
孔板からなる整流板を取付けて金属蒸気の流れを均一化
させ、蒸着膜厚分布を均一にするように真空蒸着装置を
構成させたものである。
すなわち本発明は、真空条件下で溶融金属を蒸発させる
浴槽及び該金属蒸気を蒸着基板まで導くダクト及び前記
浴槽の出口にあつてその開口面積を自在に制御し得るシ
ヤツタを具備してなる連続式真空蒸着装置において、前
記シヤツタ面内に多孔板からなる整流板を取付けてなる
ことを特徴とする連続式真空蒸着装置である。
浴槽及び該金属蒸気を蒸着基板まで導くダクト及び前記
浴槽の出口にあつてその開口面積を自在に制御し得るシ
ヤツタを具備してなる連続式真空蒸着装置において、前
記シヤツタ面内に多孔板からなる整流板を取付けてなる
ことを特徴とする連続式真空蒸着装置である。
シヤツタ面内に多孔板からなる整流板を設けることによ
り、ダクト内の金属蒸気の流れが均一化し、その結果、
蒸着基板への蒸着膜厚分布を均一にすることができる。
り、ダクト内の金属蒸気の流れが均一化し、その結果、
蒸着基板への蒸着膜厚分布を均一にすることができる。
以下、図面によつて本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る連続式真空蒸着装置の
蒸着室及び蒸発槽の概略構成図、第２図は第１図中Ａ−
Ａ矢視による整流板の正面図を示す。図中、従来装置
（第５図）と同一部材には同一符号を付し、重複する詳
細構成説明は省略する。
蒸着室及び蒸発槽の概略構成図、第２図は第１図中Ａ−
Ａ矢視による整流板の正面図を示す。図中、従来装置
（第５図）と同一部材には同一符号を付し、重複する詳
細構成説明は省略する。
第１図において、本発明装置は、従来装置（第５図）に
おけるシヤツタ面内に１枚以上（例示の場合は１枚）
の、後述する第２図に示したような多孔板からなる整流
板20を取付けてダクト８内の金属蒸気６の流れを均一に
整流させることによつて、蒸着膜厚分布を均一化させよ
うとするものである。
おけるシヤツタ面内に１枚以上（例示の場合は１枚）
の、後述する第２図に示したような多孔板からなる整流
板20を取付けてダクト８内の金属蒸気６の流れを均一に
整流させることによつて、蒸着膜厚分布を均一化させよ
うとするものである。
ここで、前記整流板20の孔の配列及び数量に関しては、
本発明者らが種々実験の結果決定されたもので、ここで
は１枚の場合について述べることとする。前記整流板20
のうち、ダクト８底面側は第２図に示すように多数の孔
21をほぼ等ピッチで貫設し、一方ダクト８天井面側の孔
21の配列及びピッチは１列おきに開孔せず、天井側部の
開口比を底面側部の開口比より小さくする。このように
開孔することによつて蒸着膜厚分布が、第３図．第４図
中実線b1，b2で示すように、従来装置の場合の分布曲線
a1・a2にくらべて良好な均一度が得られることが実機に
おいて立証された。第３図は目標蒸着膜厚が30μ、第４
図は50μの場合の板幅方向の膜厚分布の実測値を示す。
本発明者らが種々実験の結果決定されたもので、ここで
は１枚の場合について述べることとする。前記整流板20
のうち、ダクト８底面側は第２図に示すように多数の孔
21をほぼ等ピッチで貫設し、一方ダクト８天井面側の孔
21の配列及びピッチは１列おきに開孔せず、天井側部の
開口比を底面側部の開口比より小さくする。このように
開孔することによつて蒸着膜厚分布が、第３図．第４図
中実線b1，b2で示すように、従来装置の場合の分布曲線
a1・a2にくらべて良好な均一度が得られることが実機に
おいて立証された。第３図は目標蒸着膜厚が30μ、第４
図は50μの場合の板幅方向の膜厚分布の実測値を示す。
以上、整流板20を１枚使用する場合について説明した
が、上述した整流板を２枚以上使用してもよく、同様に
１枚の整流板の厚さを２枚分の厚さにしてもよい。
が、上述した整流板を２枚以上使用してもよく、同様に
１枚の整流板の厚さを２枚分の厚さにしてもよい。
更に上記においては整流板の孔を不均一にあけた場合に
ついて説明したが、整流板全体にわたつて均一に孔をあ
けたものをほぼ同様な効果を奏する。
ついて説明したが、整流板全体にわたつて均一に孔をあ
けたものをほぼ同様な効果を奏する。
以上詳細に説明したように本発明装置では、金属蒸気
（Zn等）６を蒸着基板（帯鋼等）の蒸着面へ導くシヤツ
タ面内に開孔ピツチが均一あるいは不均一な多孔板から
なる１枚以上の整流板20を取付けて金属蒸気６のダクト
８内の流れの乱れを均一に整流することによつて、蒸着
膜厚を均一化することが可能となり、メツキ成品の品質
向上ならびに蒸気金属（Zn等）５の歩留りを向上させコ
スト低減を図ることができた。
（Zn等）６を蒸着基板（帯鋼等）の蒸着面へ導くシヤツ
タ面内に開孔ピツチが均一あるいは不均一な多孔板から
なる１枚以上の整流板20を取付けて金属蒸気６のダクト
８内の流れの乱れを均一に整流することによつて、蒸着
膜厚を均一化することが可能となり、メツキ成品の品質
向上ならびに蒸気金属（Zn等）５の歩留りを向上させコ
スト低減を図ることができた。
第１図は本発明の一実施例に係る連続式真空蒸着装置の
概略構成図、第２図は、第１図中Ａ−Ａ矢視による整流
板の正面図、第３図．第４図は実機における板幅方向の
蒸着膜厚分布曲線の計測データを示す図表、第５図は従
来の連続式真空蒸着装置の概略構成図を示す。
概略構成図、第２図は、第１図中Ａ−Ａ矢視による整流
板の正面図、第３図．第４図は実機における板幅方向の
蒸着膜厚分布曲線の計測データを示す図表、第５図は従
来の連続式真空蒸着装置の概略構成図を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田口 俊夫 広島県広島市西区観音新町４丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 平井 悦郎 広島県広島市西区観音新町４丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 愛甲 琢哉 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (72)発明者 築地 憲夫 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (56)参考文献 特開 昭63−192859（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】真空条件下で溶融金属を蒸発させる浴槽及
び該金属蒸気を蒸着基板まで導くダクト及び前記浴槽の
出口にあつてその開口面積を自在に制御し得るシヤツタ
を具備してなる連続式真空蒸着装置において、前記シヤ
ツタ面内に多孔板からなる整流板を取付けてなることを
特徴とする連続式真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62023584A JPH0735566B2 (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | 連続式真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62023584A JPH0735566B2 (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | 連続式真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63192858A JPS63192858A (ja) | 1988-08-10 |
| JPH0735566B2 true JPH0735566B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=12114625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62023584A Expired - Lifetime JPH0735566B2 (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | 連続式真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735566B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0735567B2 (ja) * | 1987-02-05 | 1995-04-19 | 三菱重工業株式会社 | 連続式真空蒸着装置 |
| CN114639797B (zh) * | 2021-06-26 | 2023-12-29 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 负极极片的处理方法、钠金属负极极片及制备装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0735567B2 (ja) * | 1987-02-05 | 1995-04-19 | 三菱重工業株式会社 | 連続式真空蒸着装置 |
-
1987
- 1987-02-05 JP JP62023584A patent/JPH0735566B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63192858A (ja) | 1988-08-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6365755B2 (ja) | ||
| US4394236A (en) | Magnetron cathode sputtering apparatus | |
| KR890002745B1 (ko) | 증기류의 폭조정판을 구비한 진공증착장치 | |
| JPH0735566B2 (ja) | 連続式真空蒸着装置 | |
| JPS6410592B2 (ja) | ||
| JPH0735567B2 (ja) | 連続式真空蒸着装置 | |
| JPH0762239B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH0635656B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH027394B2 (ja) | ||
| JP3753114B2 (ja) | 電気めっき用電極及びそれを用いた金属帯の電気めっき方法 | |
| JPS58100675A (ja) | 連続蒸着方法及びその装置 | |
| JPH0660396B2 (ja) | 合金化蒸着亜鉛メツキ鋼帯の製造方法 | |
| JP4505113B2 (ja) | 帯状金属の電解処理装置 | |
| JPH04160159A (ja) | 帯板の皮膜形成装置 | |
| JPH0354185B2 (ja) | ||
| JPS6296669A (ja) | 合金化蒸着亜鉛めっき鋼板の製造方法 | |
| JPH10317195A (ja) | 連続電気めっき方法と装置 | |
| JPH0745712B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPH06306695A (ja) | 金属ストリップの連続電気めっき設備ならびに幅方向めっき付着量制御方法 | |
| JPH02282478A (ja) | 金属ストリップ等の長尺物の連続イオンプレーティング装置 | |
| JPH073420A (ja) | 溶融金属メッキ付着量制御装置 | |
| JPS6215632B2 (ja) | ||
| JPS61281867A (ja) | 連続真空蒸着装置における板温分布制御方法 | |
| JPH062942B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JP2712118B2 (ja) | 鋼帯の連続電解処理方法 |