JPH0635656B2 - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JPH0635656B2 JPH0635656B2 JP61234422A JP23442286A JPH0635656B2 JP H0635656 B2 JPH0635656 B2 JP H0635656B2 JP 61234422 A JP61234422 A JP 61234422A JP 23442286 A JP23442286 A JP 23442286A JP H0635656 B2 JPH0635656 B2 JP H0635656B2
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は付着量分布制御が可能な連続真空蒸着装置に関
するものである。
するものである。
帯鋼等の基板に連続的に、例えば、亜鉛等の金属をめつ
きする手段として連続式真空蒸着装置が使用されている
が、従来の連続式真空蒸着装置の概略構成を第６図によ
つて説明する。
きする手段として連続式真空蒸着装置が使用されている
が、従来の連続式真空蒸着装置の概略構成を第６図によ
つて説明する。
図中、１は帯鋼（被蒸着基板）、２は複数のシール室か
らなる真空シール装置、３は蒸着室、４は帯鋼１をガイ
ドして通板させる巻付ロール、７は溶融した金属（亜鉛
等）５の蒸気５ａを真空条件下で発生させ、浴槽６と金
属蒸気５ａを帯鋼１まで導くダクト（チヤンネル）であ
り、連続真空蒸着装置は一般にこれらを主構成要素とし
て構成されている。
らなる真空シール装置、３は蒸着室、４は帯鋼１をガイ
ドして通板させる巻付ロール、７は溶融した金属（亜鉛
等）５の蒸気５ａを真空条件下で発生させ、浴槽６と金
属蒸気５ａを帯鋼１まで導くダクト（チヤンネル）であ
り、連続真空蒸着装置は一般にこれらを主構成要素とし
て構成されている。
帯鋼１に蒸着させるに必要な金属蒸気量（蒸発量）は、
浴槽６内に設置したヒータ８の電力と、浴槽６出口に設
置したシヤツタ９を、例えば、シリンダ等の開閉装置１
０で開閉して開口部１１の面積を変えることにより制御
できる如く構成されている。
浴槽６内に設置したヒータ８の電力と、浴槽６出口に設
置したシヤツタ９を、例えば、シリンダ等の開閉装置１
０で開閉して開口部１１の面積を変えることにより制御
できる如く構成されている。
前記、浴槽６への溶融金属５は蒸着室３下部の溶解炉１
２から圧力差によりスノーケル１３を介して吸引・供給
される。
２から圧力差によりスノーケル１３を介して吸引・供給
される。
蒸着室３は管１４及び弁１５を介して真空ポンプ１６に
接続し、通常、溶融金属５の飽和蒸気圧力より低い圧力
に窒素(N2)等の不活性ガスを介して保持されている。な
お、図中、矢印Ｚは金属蒸気５ａの流れ方向を示す。
接続し、通常、溶融金属５の飽和蒸気圧力より低い圧力
に窒素(N2)等の不活性ガスを介して保持されている。な
お、図中、矢印Ｚは金属蒸気５ａの流れ方向を示す。
以上の構成であるから、運転に際しては、製造指令（鋼
種、板巾、板厚、通板速度、目標蒸着量等）にもとづい
て設定された蒸着速度（単位面積、単位時間当りの蒸着
量）に対応して蒸着室３の圧力を設定すると共に、蒸着
金属の所要蒸発量に対応させてヒータ８の電力とシヤツ
タ９開度を調整することにより帯鋼１表面の蒸着量、す
なわち、蒸着膜厚を目標値に制御するものである。
種、板巾、板厚、通板速度、目標蒸着量等）にもとづい
て設定された蒸着速度（単位面積、単位時間当りの蒸着
量）に対応して蒸着室３の圧力を設定すると共に、蒸着
金属の所要蒸発量に対応させてヒータ８の電力とシヤツ
タ９開度を調整することにより帯鋼１表面の蒸着量、す
なわち、蒸着膜厚を目標値に制御するものである。
しかしながら、前記装置では、金属蒸気５ａがシヤツタ
９の開口部１１を通過した後、ダクト７内での流れが乱
れるため帯鋼１表面の蒸着金属の膜厚分布が不均一とな
り、とくに、板幅方向の分布に関しては、第４、５図の
実機における計測データ中、点線a1，a2で示す如く、大
きなばらつきが発生し、メツキ製品の品質低下ならび
に、蒸着むらによる蒸着金属の歩留りが低下するという
問題があつた。
９の開口部１１を通過した後、ダクト７内での流れが乱
れるため帯鋼１表面の蒸着金属の膜厚分布が不均一とな
り、とくに、板幅方向の分布に関しては、第４、５図の
実機における計測データ中、点線a1，a2で示す如く、大
きなばらつきが発生し、メツキ製品の品質低下ならび
に、蒸着むらによる蒸着金属の歩留りが低下するという
問題があつた。
本発明は、かかる問題に鑑みて提案されたものであつ
て、つねに膜厚分布を均一に制御し、メツキ成品の品質
向上を図ると共に、蒸着金属の歩留りを向上させコスト
低減が可能な連続式真空蒸着装置を提案せんとするもの
である。
て、つねに膜厚分布を均一に制御し、メツキ成品の品質
向上を図ると共に、蒸着金属の歩留りを向上させコスト
低減が可能な連続式真空蒸着装置を提案せんとするもの
である。
本発明は、前記問題を解決するために、ダクト（チヤン
ネル）内に、金属蒸気の流れ方向Ｚに直角に、多孔板か
らなる整流板を１枚以上取付けて、金属蒸気の流れを均
一化させることにより、蒸着膜厚分布を均一にする如く
真空蒸着装置を構成させたものである。
ネル）内に、金属蒸気の流れ方向Ｚに直角に、多孔板か
らなる整流板を１枚以上取付けて、金属蒸気の流れを均
一化させることにより、蒸着膜厚分布を均一にする如く
真空蒸着装置を構成させたものである。
すなわち本発明は真空条件下で溶融金属を蒸発させる浴
槽と、該金属蒸気を被蒸着基板まで導くダクトと、前記
浴槽の出口にあつて、その開口面積を自在に制御し得る
シヤツタとを具備してなる連続真空蒸着装置において、
前記ダクト内に金属蒸気の流れ方向に対し直角に、かつ
適宜間隔をおいて少くとも１枚以上の多孔板からなる整
流板を取付けてなることを特徴とする真空蒸着装置であ
る。
槽と、該金属蒸気を被蒸着基板まで導くダクトと、前記
浴槽の出口にあつて、その開口面積を自在に制御し得る
シヤツタとを具備してなる連続真空蒸着装置において、
前記ダクト内に金属蒸気の流れ方向に対し直角に、かつ
適宜間隔をおいて少くとも１枚以上の多孔板からなる整
流板を取付けてなることを特徴とする真空蒸着装置であ
る。
シヤツタの開閉によりその開口面積が設定され、所定量
の金属蒸気は整流板によりその流れを均一化されて被蒸
着基板上に均一に蒸着される。
の金属蒸気は整流板によりその流れを均一化されて被蒸
着基板上に均一に蒸着される。
以下、図面によつて本発明をより具体的に説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る連続式真空蒸着装置の
蒸着室及び蒸発槽の概略構成図、第２、３図は、それぞ
れ、第１図中Ａ−Ａ及びＢ−Ｂ矢視による整流板の正面
図を示すが、図中、従来装置（第６図）と同一部材には
同一符号を付し、重複する詳細構成説明は省略する。
蒸着室及び蒸発槽の概略構成図、第２、３図は、それぞ
れ、第１図中Ａ−Ａ及びＢ−Ｂ矢視による整流板の正面
図を示すが、図中、従来装置（第６図）と同一部材には
同一符号を付し、重複する詳細構成説明は省略する。
本発明装置は、従来装置（第１図）におけるダクト７内
に、金属蒸気５ａの流れ方向Ｚに対し直角に、かつ、適
宜間隔をおいて、少なくとも１枚以上（例示の場合は２
枚）の多孔板からなる整流板２０ａ，２０ｂを取付け
て、ダクト７内の金属蒸気５ａの流れを均一に整流させ
ることによつて、蒸着膜厚分布を均一化せんとするもの
である。ここで整流板の設置枚数、孔の配列及び数量に
関しては、本出願人が実機において種々実験の結果決定
されたもので、実験結果では、整流板の枚数は多いほど
膜厚分布の均一化の効果は大きくなるも、金属蒸気６ａ
の圧力損失が増大して、所要の蒸発量が得られなくなる
ことから結局蒸発量の程度に応じて適当な枚数にするこ
とが必要である。従つて、ここでは２枚の場合について
述べることとする。
に、金属蒸気５ａの流れ方向Ｚに対し直角に、かつ、適
宜間隔をおいて、少なくとも１枚以上（例示の場合は２
枚）の多孔板からなる整流板２０ａ，２０ｂを取付け
て、ダクト７内の金属蒸気５ａの流れを均一に整流させ
ることによつて、蒸着膜厚分布を均一化せんとするもの
である。ここで整流板の設置枚数、孔の配列及び数量に
関しては、本出願人が実機において種々実験の結果決定
されたもので、実験結果では、整流板の枚数は多いほど
膜厚分布の均一化の効果は大きくなるも、金属蒸気６ａ
の圧力損失が増大して、所要の蒸発量が得られなくなる
ことから結局蒸発量の程度に応じて適当な枚数にするこ
とが必要である。従つて、ここでは２枚の場合について
述べることとする。
前記、２枚の整流板２０ａ及び２０ｂのうち、巻付ロー
ル４側の整流板２０ａは、第２図に示す如く、多数の孔
２１を、ほぼ等ピツチで千鳥状に板の全面にわたつて貫
設する。一方、シャツタ１０側の整流板２０ｂは前記整
流板２０ａと同一であるか、あるいは望ましくは第３図
に示す如く、シヤツタ１０の取付位置及び標準開度に対
応して、孔２１の配列及びピツチを局部的に変更してい
る。
ル４側の整流板２０ａは、第２図に示す如く、多数の孔
２１を、ほぼ等ピツチで千鳥状に板の全面にわたつて貫
設する。一方、シャツタ１０側の整流板２０ｂは前記整
流板２０ａと同一であるか、あるいは望ましくは第３図
に示す如く、シヤツタ１０の取付位置及び標準開度に対
応して、孔２１の配列及びピツチを局部的に変更してい
る。
第３図の場合はシヤツタ１０の取位置及び開口位置はダ
クト７の上部にあるため、これに対応して整流板２０ｂ
の孔２１の上部数段（例示の場合は３段）は１段おきに
開口せず、板上部の開口比を下部の開口比より小さくす
る。従つて、両整流板２０ａ，２０ｂの開口面積比を、
それぞれ、ma，mbとするとma＞mbとなる。このように開
孔することによつて蒸着膜厚分布が第４、５図中実線
b1，b2で示すすように、従来装置の場合の分布曲線a1，
a2にくらべて、良好な均一度が得られることが実機にお
いて立証された。第４図は目標蒸着膜厚が３０μ、第５
図は５０μの場合の板幅方向の膜厚分布の実測値を示
す。
クト７の上部にあるため、これに対応して整流板２０ｂ
の孔２１の上部数段（例示の場合は３段）は１段おきに
開口せず、板上部の開口比を下部の開口比より小さくす
る。従つて、両整流板２０ａ，２０ｂの開口面積比を、
それぞれ、ma，mbとするとma＞mbとなる。このように開
孔することによつて蒸着膜厚分布が第４、５図中実線
b1，b2で示すすように、従来装置の場合の分布曲線a1，
a2にくらべて、良好な均一度が得られることが実機にお
いて立証された。第４図は目標蒸着膜厚が３０μ、第５
図は５０μの場合の板幅方向の膜厚分布の実測値を示
す。
以上詳細に説明したように本発明装置では、金属蒸気
（zn等）６ａを蒸着基板（帯鋼等）の蒸着面へ導くダク
ト（チヤンネル）７内に金属蒸気５ａの流れ方向Ｚに直
角に多孔板からなる１枚以上の整流板２０ａ，２０ｂを
取付けて、金属蒸気５ａのダクト７内の流れの乱れを均
一に整流することによつて、蒸着膜厚を均一化すること
が可能となり、めつき製品の品質向上ならびに蒸着金属
（Zn等）５の歩留りを向上させコスト低減を図ることが
できた。
（zn等）６ａを蒸着基板（帯鋼等）の蒸着面へ導くダク
ト（チヤンネル）７内に金属蒸気５ａの流れ方向Ｚに直
角に多孔板からなる１枚以上の整流板２０ａ，２０ｂを
取付けて、金属蒸気５ａのダクト７内の流れの乱れを均
一に整流することによつて、蒸着膜厚を均一化すること
が可能となり、めつき製品の品質向上ならびに蒸着金属
（Zn等）５の歩留りを向上させコスト低減を図ることが
できた。
第１図は本発明の一実施例に係る連続式真空蒸着装置の
概略構成図、第２及び３図は、それぞれ、第１図中Ａ−
Ａ及びＢ−Ｂ矢視による整流板の正面図、第４、５図
は、実機における板幅方向の蒸着膜厚分布曲線の計測デ
ータ、第６図は従来の連続式真空蒸着装置の概略構成図
を示す。 １……蒸着基板、３……蒸着室、４……巻付ロール、５
……蒸着金属、５ａ……金属蒸気、６……浴槽、７……
ダクト、９……シヤツタ、１１……開口部、20a，２０
ｂ……整流板、Ｚ……金属蒸気の流れ方向。
概略構成図、第２及び３図は、それぞれ、第１図中Ａ−
Ａ及びＢ−Ｂ矢視による整流板の正面図、第４、５図
は、実機における板幅方向の蒸着膜厚分布曲線の計測デ
ータ、第６図は従来の連続式真空蒸着装置の概略構成図
を示す。 １……蒸着基板、３……蒸着室、４……巻付ロール、５
……蒸着金属、５ａ……金属蒸気、６……浴槽、７……
ダクト、９……シヤツタ、１１……開口部、20a，２０
ｂ……整流板、Ｚ……金属蒸気の流れ方向。
フロントページの続き (72)発明者 加藤 光雄 広島県広島市西区観音新町４丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 田口 俊夫 広島県広島市西区観音新町４丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 平井 悦郎 広島県広島市西区観音新町４丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 築地 憲夫 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神研究所内 (72)発明者 愛甲 琢哉 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神研究所内 (72)発明者 森山 義輝 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (72)発明者 伊藤 武彦 東京都千代田区丸の内３丁目４番１号 日 新製鋼株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−73875（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−21379（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−174458（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】真空条件下で溶融金属を蒸発させる浴槽
と、該金属蒸気を被蒸着基板まで導くダクトと、前記浴
槽の出口にあつて、その開口面積を自在に制御し得るシ
ヤツタとを具備してなる連続真空蒸着装置において、前
記ダクト内に金属蒸気の流れ方向に対し直角に、かつ適
宜間隔をおいて少くとも１枚以上の多孔板からなる整流
板を取付けてなることを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61234422A JPH0635656B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61234422A JPH0635656B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6389651A JPS6389651A (ja) | 1988-04-20 |
| JPH0635656B2 true JPH0635656B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=16970770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61234422A Expired - Fee Related JPH0635656B2 (ja) | 1986-10-03 | 1986-10-03 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0635656B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006111926A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0378890A (ja) * | 1989-08-23 | 1991-04-04 | Fuji Electric Co Ltd | 表形式文書情報の表示方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57174458A (en) * | 1981-04-22 | 1982-10-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Construction of vessel for evaporating source |
| JPH062942B2 (ja) * | 1983-07-18 | 1994-01-12 | 三菱重工業株式会社 | 真空蒸着装置 |
| JPS6173875A (ja) * | 1984-09-17 | 1986-04-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 流路幅調整板付き真空蒸着装置 |
-
1986
- 1986-10-03 JP JP61234422A patent/JPH0635656B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006111926A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6389651A (ja) | 1988-04-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |