JPH0735577B2 - 帯状物連続真空蒸着処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、金属ストリップ等の帯状物の表面に真空中で
イオンプレーティング等の物理的蒸着法によって金属、
セラミックスその他の薄い被膜を連続的にコーティング
するための帯状物連続真空蒸着処理装置に関するもので
ある。

（従来の技術） 従来、金属ストリップ等の帯状物の片面または両面にA
l,Ti等を連続的に蒸着するための連続真空蒸着処理装置
として、第７図に示すような形式のものが既知である。
この図示の形式の連続真空蒸着処理装置は、真空蒸着処
理を行なうための高真空に維持される真空蒸着室１と、
この真空蒸着室１の入口1aおよび出口1bにそれぞれ通じ
る入側および出側エアーロック２および３とを具え、こ
れら両エアーロック2,3は真空蒸着室１に近い程高真空
度に調圧された複数個の差圧室によりそれぞれ構成さ
れ、金属ストリップ等の帯状物４を入口1aから出口1bを
経て連続的に真空蒸着室１内に通過させて蒸着処理を行
っている際に、真空蒸着室１内を高真空に維持するため
の真空封止を確保するよう構成されている。

真空蒸着室１内には、蒸着すべき金属等を溶融状態に保
持する蒸着ポットのような蒸発源５が設けられている。

入側エアーロック２の入口側および出側エアーロック３
の出口側には、それぞれコイル巻戻機６および巻取機７
が設けられ、これにより、巻戻機６によってコイルから
巻戻した帯状物４を入側エアーロック２の入口開口８か
ら真空蒸着室１を経て出側エアーロック３の出口開口９
に連続的に通し、真空蒸着室１内で蒸発源５から蒸発し
た金属蒸気を帯状物表面に蒸着させ、出側エアーロック
３の出口開口９から出た帯状物４を巻取機７によってコ
イル状に巻き取るよう構成されている。

入側エアーロック２の複数個の差圧室の内部圧力は、真
空蒸着室１内の真空度を所定値に維持するように、大気
圧に近い入側端の差圧室から順次の差圧室の内部の真空
度を高め、他方、出側エアーロック３の複数個の差圧室
の内部圧力は真空蒸着室１内の所定の真空度から順次出
側端に向けて低めていって出側端の差圧室では大気圧近
くになっている。

（発明が解決しようとする問題点） このような連続真空蒸着処理装置では、真空蒸着室１内
に設置されている蒸発源の取替、蒸発物の補充を頻繁に
行なう必要があり、また、真空蒸着室内に設置されてい
る蒸着用機器等に蒸発源５から蒸発した金属等の蒸気が
付着し、この結果としてこれらの機器が正常に作動しな
くなるために真空蒸着室内に入って清掃する必要があ
り、さらに、真空蒸着室内の上述した機器の補修を行な
う等のメンテナンス作業が必要である。

しかしながら、上述したような構成の従来の連続真空蒸
着処理装置では、上記の各メンテナンス作業を行なうた
め、高真空の真空蒸着室を解放して大気雰囲気にしてお
り、この結果、真空蒸着室内の帯状物は製品にならず、
製品歩留りが低下する問題や、各種メンテナンス作業終
了後に室内をもとの真空度にするために長時間を要し、
これがため設備の稼動率が低下するという問題があっ
た。

本発明は上述した問題を解決し、上述した各種メンテナ
ンス作業を行なうことによって生じる製品歩留りおよび
設備の稼働率の低下をなくすよう改善した連続真空蒸着
処理装置を提供しようとするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明によれば、第１図に示すように、高真空度に排気
される真空室10と、この真空室内に高真空を維持しなが
ら真空蒸着処理すべき帯状物４を入側大気雰囲気中から
真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室か
ら導出し得るよう真空室10の入側および出側に連続して
設けられたエアーロック2,3とを具え、これらの入側お
よび出側エアーロック２および３を経て常時高真空度に
維持される真空室10がこの真空室内に通される帯状物４
の幅方向に細長く形成され、２個の蒸着室14,15が前記
幅方向に仕切壁13を介して設けられた蒸着ユニット11が
前記幅方向に移動可能に真空室10内に設けられ、蒸着ユ
ニット11の前後壁11a,11bおよび前記仕切壁13に蒸着ユ
ニット11の幅方向への移動時に帯状物が干渉しないよう
開口された開口16,17,18が設けられ、これにより蒸着室
14,15のいずれか一方を真空処理作業位置Ａに切換え位
置させ得るよう構成され、真空室10および真空蒸着処理
作業位置Ａにある一方の蒸着室14に対してメンテナンス
位置にある他方の蒸着室15を気密に遮断する密閉装置1
9,20,21,22,23,24が開口16,17,18に対して設けられ、メ
ンテナンス位置Ｂにる他方の蒸着室15内に外部から直接
に出入し得る密閉扉付点検口37,38が設けられているこ
とを特徴とする。

（作用） 上述の構成になる本発明の装置によれば、図示のよう
に、蒸着ユニット11の一方の蒸着室14を真空蒸着作業位
置Ａに位置させて真空蒸着作業を連続的に行なっている
間に、他方の蒸着室15を密閉装置20,22,23および24によ
り真空室10および蒸着室14から気密に遮断し、蒸着室15
を点検口37,38を経て大気雰囲気に解放して蒸着室15内
のメンテナンス作業を行ない、メンテナンス作業が完了
した後、点検口37,38を密閉し、蒸着室15内を適当な真
空装置を用いて所定の高真空度に排気しておくことがで
きる。

したがって、蒸着室14のメンテナンス作業が必要になっ
た場合には、密閉装置20,22,23および24を解放し、蒸着
ユニット11を真空室10内に帯状物４の幅方向に移動し、
他方の蒸着室15を真空蒸着処理作業位置Ａに位置させ、
これにより真空蒸着処理作業を実質的に連続的に行なう
ことができる。

そして、メンテナンス位置Ｂに移された蒸着室14のメン
テナンスを蒸発室15につき上述したと同様に行なうこと
ができる。

上述したように、本発明によれば、帯状物は常に高真空
雰囲気中に保持され、従って、メンテナンス作業による
不良品の発生を完全になくすることができ、また、メン
テナンス作業による装置の休止時間を殆んどなくすこと
ができ、設備の稼働率を向上 させることができる。

（実施例） 第１〜６図は本発明の１実施例を示す。

図示の例では、第１図に示すように、高真空に排気され
る真空室10と、この真空室内に高真空を維持しながら真
空蒸着処理すべき帯状物４を入側大気雰囲気内から真空
室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室から導
出し得るよう真空室10の入側および出側に連続して設け
られたエアーロック2,3とを具え、真空室10は第２図に
示すように、例えば第７図に示す従来の真空蒸着室１の
約３倍の幅に左右に延長されて帯状物４の幅方向に細長
く形成され、この真空室10内に従来の真空蒸着室１の約
２倍の幅を有する蒸着ユニット11が帯状物４の幅方向に
適当な駆動手段および車輪12によって移動し得るよう設
けられ、蒸着ユニットの内部は、第３図に示すように、
仕切壁13によって幅方向に仕切られて２個の蒸着室14,1
5が幅方向に並んで設けられ、これにより蒸着ユニット1
1を真空室10内に帯状物４の幅方向に移動して蒸着室14,
15のいづれか一方の蒸着室の位置を真空蒸着作業位置Ａ
からメンテナンス位置Ｂに切換えると同時に他方の蒸着
室の位置がメンテナンス位置Ｂから真空蒸着作業位置Ａ
に切換えられるよう構成されている。蒸着室14,15の内
部には蒸発源その他の蒸着用機器（図示せず）がそれぞ
れ設けられている。

蒸着ユニット11の前後壁11a,11bおよび仕切壁13には、
蒸着ユニット11を真空室10内に帯状物４の幅方向に移動
して蒸着室14,15の位置を入れ替える際に、帯状物４が
干渉しないように開口16,17および18がそれぞれ設けら
れ、蒸着室14,15の一方が真空蒸着作業位置Ａに位置す
る際にメンテナンス位置Ｂに位置する他方の蒸着室を真
空室10および一方の蒸着室から気密に遮断するため、蒸
着ユニット11の前後壁11a,11bの開口16,17の各蒸着室1
4,15のそれぞれに対して開口する部分を別個に密閉し得
る密閉装置19,20および21,22と蒸着室14,15間の仕切壁1
3の開口18を密閉し得る密閉装置23と、開口16,17と開口
18の端部とが交差する部分を密閉し得るコーナー密閉装
置24とが設けられている。密閉装置19〜22は、同一構造
を有し、例えば、密閉装置19は第４図および第５図に示
すように蒸着室14に対して開口する開口部分16aを上下
から開閉する昇降扉25,26が蒸着ユニット11、すなわち
蒸着室14の外壁に固着された案内部材（図示せず）によ
って案内されて蒸着室外壁にそってそれぞれ上下に摺動
自在に設けられ、蒸着室外壁に固着された上下シリンダ
ー装置27,28が上下昇降扉25,26をそれぞれ作動し得るよ
う連結されている。

密閉装置23は、第６図に示すように、仕切壁13に設けら
れた開口18を閉止し得る昇降扉30を有し、この昇降扉30
をシリンダ装置31によって仕切壁表面に沿って上下に摺
動させて開口18を開閉し得るよう構成され、この仕切壁
開口密閉装置23の昇降扉30の両端部にコーナー密閉装置
24のコーナー密閉用ブロック片32がシリンダー装置33に
よって開閉作動されるよう設けられている。

第３図に示すように真空室10内でメンテナンス位置にあ
る蒸着室15内を大気雰囲気に対し解放して蒸着室15内に
真空室10外から出入し得るようにするため、蒸着ユニッ
ト11の両端部に嵌入部35を設け、これと気密に嵌合し得
る嵌合部36を真空室10の両端部に設け、真空室10の両端
壁および蒸着ユニット11の両端壁にそれぞれ点検口37お
よび38が設けられ、これらの点検口37および38は密閉扉
39および40によってそれぞれ開閉可能に密閉されてい
る。

上述の構成とすることによって、例えば、図示のように
蒸着ユニット11の一方の蒸着室14を真空蒸着作業位置に
位置させる場合、自動制御ボタン操作等によって他方の
蒸着室15に対して開口する開口16,17の部分の密閉装置2
0,22、仕切壁13の開口18の密閉装置23およびコーナー密
閉装置24を閉止することにより蒸着室15は真空室10およ
び蒸着室14から気密に遮断され、これがため、蒸着室14
を用いて帯状物４の真空蒸着処理を行なっている間に、
蒸着室15を点検口37,38を経て大気雰囲気に解放して蒸
着室15内のメンテナンス作業を行なうことができる。

（発明の効果） 本発明によれば、真空蒸着処理中の帯状物は常に高真空
雰囲気中に保持され、従って、メンテナンス作業による
不良品の発生を完全になくすことができ、また、メンテ
ナンス作業による装置の休止時間を実質的になくすこと
ができ、設備の稼働率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による処理装置の全体の線図的縦断面
図、 第２図は第１図のII−II線上で断面として示部分横断面
図、 第３図は第２図のIII−III線上で断面として示す縦断面
図、 第４図は蒸着ユニットの正面図、 第５図は第４図のＶ−Ｖ線上から見た蒸着ユニットの端
面図、 第６図は第４図のVI−VI線上の縦断面図、 第７図は従来の処理装置の全体の線図的縦断面図であ
る。 ２…入側エアーロック、３…出側エアーロック ４…帯状物、10…真空室 11…蒸着ユニット、12…車輪 13…仕切壁、14,15…蒸着室 16,17,18…開口、 19,20,21,22,23,24…密閉装置

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】高真空に排気される真空室と、この真空室
   内の高真空を維持しながら真空蒸着処理すべき帯状物を
   入側大気雰囲気中から真空室に導入するとともに出側大
   気雰囲気中に真空室から導出し得るよう真空室の入側お
   よび出側に連続して設けられたエアーロックとを具える
   帯状物連続真空蒸着処理装置において、 前記入側および出側エアーロックを経て常時高真空度に
   維持される真空室がこの真空室内に通される帯状物の幅
   方向に細長く形成され、２個の蒸着室が前記幅方向に仕
   切壁を介して設けられた蒸着ユニットが前記幅方向に移
   動可能に真空室内に設けられ、前記蒸着ユニットの前後
   壁および前記仕切壁に前記蒸着ユニットの幅方向への移
   動時に帯状物が干渉しないよう開口された開口が設けら
   れ、これにより前記蒸着室のいづれか一方を真空処理作
   業位置に切換え位置させ得るよう構成され、前記真空室
   および真空蒸着処理作業位置にある一方の蒸着室に対し
   てメンテナンス位置にある他方の蒸着室を気密に遮断す
   る密閉装置が前記開口に対して設けられ、前記メンテナ
   ンス位置にある他方の蒸着室内に外部から直接に出入し
   得る密閉扉付点検口が設けられていることを特徴とする
   帯状物連続真空蒸着処理装置。