JPH0735576B2 - 帯状物連続真空蒸着処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、金属ストリップ等の帯状物の表面に真空蒸着
室内でイオンプレーティング等の物理的蒸着法によって
金属、セラミッスその他の薄い被膜を連続的にコーティ
ングするための帯状物連続真空蒸着処理装置に関するも
のである。

（従来の技術） 従来、金属ストリップ等の帯状物の両面または片面にA
l,Ti等を連続的に蒸着するための帯状物両面連続真空蒸
着処理装置として、第４図に示すような形式のものが既
知である。この図示の形式の連続真空蒸着処理装置は、
真空蒸着処理を行うための高真空に維持される真空蒸着
室１を具え、この真空蒸着室１内には帯状物２の両面に
対し蒸着処理を行うため帯状物反転用下段および上段デ
フレクターロール3,4と表面蒸着用下段蒸発源５および
裏面蒸着用上段蒸発源６とが設けられている。真空蒸着
室１の入側および出側には、真空蒸着室１内の高真空を
維持しながら真空蒸着処理すべき帯状物２を入側大気雰
囲気中から真空蒸着室１内に導入するとともに出側大気
雰囲気中に真空蒸着室１から導出し得るよう入側および
出側エアーロック７および８が真空蒸着室１に連続して
設けられており、これら両エアーロック7,8は真空蒸着
室１に近い程高真空度に調圧された複数個の区分差圧室
によりそれぞれ構成され、帯状物２を入口1aから出口1b
を経て連続的に真空蒸着室１内に通過させて蒸着処理を
行っている際に、真空蒸着室１内を高真空に維持すため
の真空封止を確保するよう構成されている。

また、入側エアーロック７の入口側および出側エアーロ
ック８の出口側には、それぞれコイル巻戻機９および巻
取機10が設けられ、これにより、巻戻機９によってコイ
ルから巻戻した帯状物２を入側エアーロック７の入口開
口11から真空蒸着室１を経て出側エアーロック８の出口
開口12に連続的に通し、真空蒸着室１内で蒸発源５およ
び６からそれぞれ蒸発した金属蒸気を帯状物表面および
裏面にそれぞれ蒸着させ、出側エアーロック８の出口開
口12から出た帯状物２を巻取機10によってコイル状に巻
き取るよう構成されている。

（発明が解決しようとする問題点） このような帯状物連続真空蒸着処理装置では、真空蒸着
室１内に設置されている蒸発源の取替、蒸発物の補充を
頻繁に行なう必要があり、また、真空蒸着室内に設置さ
れている蒸着用機器等に蒸発源５から蒸発した金属等の
蒸気が付着し、この結果としてこれらの機器が正常に作
動しなくなるため、真空蒸着室内に入って蒸着用機器等
の清掃、補修等を行なう必要が或る。

しかしながら、上述したような構成の従来の帯状物連続
真空蒸着処理装置では、上記の各メンテナンス作業を行
うため、高真空の真空蒸着室を開放して大気雰囲気にし
ており、この間に真空蒸着室内にある帯状物は製品にな
らず、製品歩留りが低下する問題や、また、上述の蒸発
源の取替、蒸発物の補充、機器の補修等の各種メンテナ
ンス作業の作業時間がそのままライン休止時間となり、
さらに各種メンテナンス作業終了後に室内をもとの真空
度にするために長時間を要し、これがため設備の稼働率
が低下するという問題があった。また、作業者の足場が
悪く、安全作業上に問題があった。

本発明は上述した問題を解決し、製品歩留りを向上し、
装置の休止時間を短縮して設備の稼働率の低下をなく
し、さらに作業員が安全に作業し得るよう改善した帯状
物連続真空蒸着処理装置を提供しようとするものであ
る。

（問題点を解決するための手段） 本発明によれば、第１図に示すように、高真空度に排気
される真空室と、この真空室内の高真空を維持しながら
真空蒸着処理すべき帯状物２を入側大気雰囲気中から真
空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室から
導出し得るよう真空室の入側および出側に設けられたエ
アーロック7,8と、真空室内において帯状物を反転させ
るデフレクターロール3,4と、蒸発源5,6とを具える帯状
物連続真空蒸着処理装置において、前記入側および出側
エアーロックを経て常時高真空度に維持される固定真空
室15と、蒸発源5,6が内部に設けられ真空蒸着作業位置
において固定真空室15に密閉扉付開口20,21,28を経てそ
れぞれ接続される交換可能の蒸着室22a,22bと前記密閉
扉18,19,29付開口20,21,28を経てデフレクターロール3,
4を固定真空室15内から蒸着室22aまたは22b内に移動す
る装置24,25,26,27とを具えること特徴とする。

また、本発明を実施するに当たっては、少なくとも２個
の前記蒸着室22a,22bをそれぞれ有する蒸着ユニット22,
23と、蒸着ユニット22,23のいづれか１個の蒸着室22aま
たは22bを固定真空室15に接続させる真空蒸着作業位置
Ａに着換え位置させるよう蒸着ユニット22,23を移動す
る装置28,20とを設けるのが好ましい。

（作用） 上述の構成になる本発明の帯状物連続蒸着処理装置は、
固定真空室15に蒸着室22aを密閉扉付開口20,21,28を経
て接続し、密閉扉18,19,29を開放し、デフレクターロー
ル3,4を固定真空室15内から蒸着室22a内に移動し、固定
真空室15内およびこれに開口20,21,28を経てそれぞれ連
通している蒸着室22a内を所定の高真空度に維持してこ
れらの室内に帯状物２をデフレクターロール3,4によっ
て反転させて通過させ、蒸着室22a内で蒸発源5,6から蒸
発する金属蒸気等によって薄い被膜を帯状物の表面に連
続的に蒸着する。

蒸発源の交換、蒸発物の補充、蒸着用機器の清掃、補修
等のメンテナンス作業を行う必要が生じた場合には、蒸
着室22a内に位置しているデフレクターロール3,4を移動
して固定真空室15内に位置させ、開口20,21の密閉扉18,
19を閉じ、蒸着室22aを交替用蒸着室22bと交換する。

交換用蒸着室22bは、蒸着室22aにより真空蒸着作業を行
っている間に上記メンテナンス作業を完了し、好ましく
は、開口28に設けられている密閉扉29を閉止して内部を
所定の高真空度に適当な真空装置によって排気されてい
る。

したがって、交替用蒸着室22bをメンテナンスまたは待
機位置Ｂから真空蒸着作業位置Ａに移動し、固定真空室
15に密閉扉付開口20,21,28を介して接続した後、密閉扉
18,19,29を開放して固定真空室15に蒸着室22bを連通さ
せ、前述したようにデフレクターロール3,4を固定真空
室15内から移動して蒸着室22b内に位置させることによ
って、真空蒸着作業を直ちに再開することができる。

上述したように本発明によれば、真空蒸着処理中の帯状
物は常に高真空雰囲気中に保持され、従って、メンテナ
ンス作業による不良品の発生を完全になくすることがで
き。また、メンテナンス作業による装置の休止時間を著
しく短縮でき、設備の稼働率を向上させることができ
る。また、メンテナンス作業を作業員にとって安全な場
所で行うことができる。

（実施例） 第１〜３図は本発明の１実施例を示す。図示の例では、
固定真空室15を図示せざる真空装置によって所定の高真
空度に排気し得るようにして設け、この固定真空室15の
入側側壁16の下部に設けた入口15aに入側エアーロック
７が連結され、出側側壁17の上部に設けた出口15bに出
側エアーロック８が連結され、固定真空室15内の高真空
を維持しながら真空蒸着処理すべき帯状物を入側大気雰
囲気中から真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中
に真空室から導出し得るよう構成している。

固定真空室15の出側側壁16の下部および入側側壁17の上
部に気密扉18,19によってそれぞれ閉止される下段およ
び上段開口20,21がそれぞれ設けられ、下段および上段
開口20,21を経て固定真空室15に通じる蒸着室22aを有す
る下段および上段蒸着ユニット22,23が設けられてい
る。これらの蒸着ユニット22,23の蒸着室22a内に帯状物
反転用下段および上段デフレクターロール3,4と表面蒸
着用下段蒸発源５および裏面蒸着用上段蒸発源６がそれ
ぞれ設けられている。

下段および上段デフレクターロール3,4はそれぞれ下段
および上段蒸発ユニット22,23の蒸着室22a内および固定
真空室15内に設けられたレール24,25,26,27によってそ
れぞれ蒸着ユニット22,23から固定真空室15内に移動し
得るよう構成されている。

下段および上段蒸着ユニット22および23は、それぞれ２
個の蒸着室22a,22bを具え、これらの蒸着室を交互に用
い、例えば、一方の蒸着室22aを用いて真空蒸発処理を
行っている間に、他方の蒸着室22bにおいて蒸発源その
他の蒸着用機器の交換、補修および蒸発物の補充等の各
種メンテナンス作業を行い、さらに適当な真空装置によ
って所定の真空度に排気し得るよう構成される。両蒸着
ユニット22,23は実質的に同じ構造のものを用いること
ができるので、下段の蒸着ユニット22の構造についての
み説明する。

第３図に示すように、下段蒸発ユニット22は並列する２
個の蒸着室22a,22bを有し、各蒸着室は真空室15の下段
開口20に通じる開口28を有し、各開口28にはそれぞれ気
密扉29が設けられ、各蒸着室22a,22b内に上述したデフ
レクターロール移動用レール25がそれぞれ設けられ、こ
のレール25に対して直角方向に延長して設けられた蒸着
ユニット移動用レール30上に走行す車輪31によって蒸着
ユニット22の蒸着室22aおよび22bのいずれか一方の開口
が真空室開口20に位置を一致する位置に移動し得るよう
にし、これにより一方の蒸着室、例えば、第３図に示す
ように、蒸着室22aが真空蒸着作業位置Ａに位置する際
に、他方の蒸着室、すなわち蒸着室22bが各種メンテナ
ンス作業のためのメンテナンス位置Ｂに位置するよう構
成されている。

上述の構成になる図示の例の帯状物連続真空蒸着処理装
置によれば、真空蒸着処理すべき帯状物２は第１図に示
すように入側エアーロック７を経て高真空度の真空室15
内に導入され、気密扉18,29が開かれて開放されている
開口20,28を経て下段蒸着ユニット22の蒸着室22a内に入
り、この蒸着室内の下段デフレクターロール３を経て反
転された後、気密扉18,29が開かれて開放されている開
口21,28を経て上段蒸着ユニット23の蒸着室22a内に入
り、この蒸着室22a内の上段デフレクターロール４の周
りを通過して真空室15内から出側エアーロック８を経て
装置外に導出され、この間に、下段蒸着ユニット22の蒸
着室22a内の下段蒸発源５および上段蒸着ユニット23の
蒸着室22a内の上段蒸発源６からそれぞれ蒸発する蒸気
によって帯状物の両面には薄い被膜が蒸着される。

蒸発ユニット22,23の蒸着室22a内の蒸発源5,6の交換、
蒸発物の補充または蒸着用機器の清掃、補修等のメンテ
ナンス作業に際しては、デフレクターロール3,4をレー
ル上に移動して、第２図に示すように、固定真空室15内
にそれぞれ移動し、気密扉18,29を閉じた後、蒸発ユニ
ット22,23をレール30上に移動し、内部の各種メンテナ
ンス作業が完了して所定の高真空度に排気し終わった交
替用蒸着室22bをメンテナンス位置Ｂから真空蒸着作業
位置Ａに位置させる（第３図参照）。

次に、真空室15の気密扉18および19と蒸着室22bの気密
扉29を開放し、デフレクターロール3,4を真空室15から
蒸着ユニット22,23の蒸着室22b内の所定位置に移動し、
これにより、真空蒸着作業を開始することができる。

（発明の効果） 本発明によれば、真空蒸着処理中の帯状物は常に高真空
雰囲気中に保持され、従って、メンテナンス作業による
不良品の発生を完全になくすことができ、また、メンテ
ナンス作業による装置の休止時間を著しく短縮でき、設
備の稼動率を向上させることができる。また、メンテナ
ンス作業を作業員にとって安全な場所で行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による装置の線図的縦断面図、 第２図は第１図に示す装置の蒸着室交換時の作用説明
図、 第３図は第１図のIII−III線上で矢の方向に見た装置の
端面図、 第４図は従来装置の線図的縦断面図である。 ２…帯状物、3,4…デフレクターロール 5,6…蒸発源、７…入側エアーロック ８…出側エアーロック、11…入口開口 12…出口、15…固定真空室 16…出側側壁、17…入側側壁 18,19…密閉扉、20,21…開口 22,23…蒸着ユニット、22a…蒸着室 24,25,26,27…レール 28…開口、29…密閉扉 30…レール、31…車輪

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】高真空に排気される真空室と、この真空室
   内に高真空を維持しながら真空蒸着処理すべき帯状物を
   入側大気雰囲気中から真空室に導入するとともに出側大
   気雰囲気中に真空室から導出し得るよう真空室の入側お
   よび出側に設けられたエアーロックと、真空室内におい
   て帯状物を反転させるデフレクターロールと、蒸発源と
   を具える帯状物連続真空蒸着処理装置において、前記入
   側および出側エアーロックを経て常時高真空度に維持さ
   れる固定真空室と、蒸発源が内部に設けられ真空蒸着作
   業位置において固定真空室に密閉扉付開口を経て接続さ
   れる交換可能の蒸着室と、前記密閉扉付開口を経てデフ
   レクターロールを固定真空室内から蒸着室内に移動する
   装置とを具えることを特徴とする帯状物連続真空蒸着処
   理装置。
2. 【請求項２】少なくとも２個の前記蒸着室を有する蒸着
   ユニットと、蒸着ユニットのいづれか１個の蒸着室を固
   定真空室に接続させる真空蒸着作業位置に切換え位置さ
   せるよう蒸着ユニットを移動する装置とを具えることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の装置。