JPH0737539A - 波長分散型分光器とエネルギ分散型分光器を用いた元素分析装置 - Google Patents
波長分散型分光器とエネルギ分散型分光器を用いた元素分析装置Info
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- JPH0737539A JPH0737539A JP5178964A JP17896493A JPH0737539A JP H0737539 A JPH0737539 A JP H0737539A JP 5178964 A JP5178964 A JP 5178964A JP 17896493 A JP17896493 A JP 17896493A JP H0737539 A JPH0737539 A JP H0737539A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＷＤＳとＥＤＳを用い、ＥＤＳに対するＷＤ
Ｓ分光器の移動による影響を無くし、Ｓ／Ｎ比を向上さ
せる。 【構成】 波長分散型分光器およびエネルギ分散型分光
器の検出結果を取り込む測定回路と、波長分散型分光器
を制御する分光器制御回路と、分光器制御回路および測
定回路を制御する制御手段とを備え、波長分散型分光器
からの動作信号を基にエネルギ分散型分光器の測定を制
御し、ＷＤＳ分光器の移動中にはＥＤＳの測定を停止
し、ＷＤＳ分光器の移動が停止したときにＥＤＳの測定
を行うようにしたことを特徴とする。
Ｓ分光器の移動による影響を無くし、Ｓ／Ｎ比を向上さ
せる。 【構成】 波長分散型分光器およびエネルギ分散型分光
器の検出結果を取り込む測定回路と、波長分散型分光器
を制御する分光器制御回路と、分光器制御回路および測
定回路を制御する制御手段とを備え、波長分散型分光器
からの動作信号を基にエネルギ分散型分光器の測定を制
御し、ＷＤＳ分光器の移動中にはＥＤＳの測定を停止
し、ＷＤＳ分光器の移動が停止したときにＥＤＳの測定
を行うようにしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は元素分析装置に係わり、
特に波長分散型分光器（ＷＤＳ）およびエネルギ分散型
分光器（ＥＤＳ）が付いている分析型電子顕微鏡を用い
た元素分析装置に関する。
特に波長分散型分光器（ＷＤＳ）およびエネルギ分散型
分光器（ＥＤＳ）が付いている分析型電子顕微鏡を用い
た元素分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料に電子線を照射し、分析対象の元素
が検出される位置に分光結晶を移動して特性Ｘ線を測定
するＷＤＳ、および半導体検出器等の検出素子を特定位
置に固定して試料から出てくるＸ線を検出し、エネルギ
のピーク位置から元素分析するＥＤＳが付いている分析
型電子顕微鏡を用いて複数元素のピーク強度を測定する
ことが行われている。図５はこのようなＷＤＳおよびＥ
ＤＳが付いている分析型電子顕微鏡による分析装置を示
す図である。電子銃１から発生した電子線２は、収束レ
ンズ３、対物レンズ４を通り、収束されてステージ６上
の試料５に照射される。このとき試料からは含有元素特
有の特性Ｘ線が発生する。ＷＤＳでは、測定する特性Ｘ
線が検出できる位置に分光結晶７を移動した後、検出器
８で計測する。ＥＤＳでは固定位置の半導体検出器９で
その元素特有の特性Ｘ線を検出すると、特性Ｘ線の各エ
ネルギ位置にピークとして計測される。通常、ＥＤＳに
おいて元素のピークカウントデータとして使用する場合
には、一定時間計測した後、注目元素の特性Ｘ線が検出
できるピーク全体のカウント値をその元素のカウント値
として使用している。ＥＤＳ／ＷＤＳを用いた分析で
は、あらかじめ測定する元素を決めてＷＤＳ／ＥＤＳで
測定すべき元素を分担し、順次必要な元素の特性Ｘ線を
計測する。実際の操作においては、測定時間を短縮する
ためＥＤＳではＸ線を照射してすぐに指定した時間Ｘ線
の計測に入り、半導体検出器９の検出結果が測定回路１
０で測定される。ＷＤＳでは、ＥＤＳが測定を行ってい
る間に指定したピーク位置に分光結晶７を移動させる。
この移動は分光器制御回路１１からの指示により行わ
れ、指定した時間計測後、次の元素の特性Ｘ線を計測す
るためにその元素のピーク位置に分光結晶を移動する。
このようなプロセスをＷＤＳで分担した元素が無くなる
まで実行する。したがって、ＷＤＳはＥＤＳが測定を行
っている間に分光結晶の移動、測定を繰り返すことにな
る。このようにＷＤＳおよびＥＤＳが付いている分析型
電子顕微鏡では複数元素のピーク強度等を測定する場
合、測定効率を上げるためＥＤＳとＷＤＳとを同時に行
っていた。
が検出される位置に分光結晶を移動して特性Ｘ線を測定
するＷＤＳ、および半導体検出器等の検出素子を特定位
置に固定して試料から出てくるＸ線を検出し、エネルギ
のピーク位置から元素分析するＥＤＳが付いている分析
型電子顕微鏡を用いて複数元素のピーク強度を測定する
ことが行われている。図５はこのようなＷＤＳおよびＥ
ＤＳが付いている分析型電子顕微鏡による分析装置を示
す図である。電子銃１から発生した電子線２は、収束レ
ンズ３、対物レンズ４を通り、収束されてステージ６上
の試料５に照射される。このとき試料からは含有元素特
有の特性Ｘ線が発生する。ＷＤＳでは、測定する特性Ｘ
線が検出できる位置に分光結晶７を移動した後、検出器
８で計測する。ＥＤＳでは固定位置の半導体検出器９で
その元素特有の特性Ｘ線を検出すると、特性Ｘ線の各エ
ネルギ位置にピークとして計測される。通常、ＥＤＳに
おいて元素のピークカウントデータとして使用する場合
には、一定時間計測した後、注目元素の特性Ｘ線が検出
できるピーク全体のカウント値をその元素のカウント値
として使用している。ＥＤＳ／ＷＤＳを用いた分析で
は、あらかじめ測定する元素を決めてＷＤＳ／ＥＤＳで
測定すべき元素を分担し、順次必要な元素の特性Ｘ線を
計測する。実際の操作においては、測定時間を短縮する
ためＥＤＳではＸ線を照射してすぐに指定した時間Ｘ線
の計測に入り、半導体検出器９の検出結果が測定回路１
０で測定される。ＷＤＳでは、ＥＤＳが測定を行ってい
る間に指定したピーク位置に分光結晶７を移動させる。
この移動は分光器制御回路１１からの指示により行わ
れ、指定した時間計測後、次の元素の特性Ｘ線を計測す
るためにその元素のピーク位置に分光結晶を移動する。
このようなプロセスをＷＤＳで分担した元素が無くなる
まで実行する。したがって、ＷＤＳはＥＤＳが測定を行
っている間に分光結晶の移動、測定を繰り返すことにな
る。このようにＷＤＳおよびＥＤＳが付いている分析型
電子顕微鏡では複数元素のピーク強度等を測定する場
合、測定効率を上げるためＥＤＳとＷＤＳとを同時に行
っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ＥＤＳ測定中
にＷＤＳ分光器を動作させると、ＷＤＳ分光器はモータ
駆動により移動させているため、機械的振動が発生し、
この振動が半導体検出器に影響してＥＤＳのデータがブ
ロードになり、データのＳ／Ｎが低下し、分析結果に悪
い影響を与えるという問題があった。本発明は上記課題
を解決するためのもので、ＷＤＳとＥＤＳが付いている
分析型電子顕微鏡を用い、ＷＤＳとＥＤＳとの同時測定
を行い、かつＷＤＳ分光器の移動による影響を無くし、
測定データのＳ／Ｎ比を向上させることができる波長分
散型分光器とエネルギ分散型分光器を用いた元素分析装
置を提供することを目的とする。
にＷＤＳ分光器を動作させると、ＷＤＳ分光器はモータ
駆動により移動させているため、機械的振動が発生し、
この振動が半導体検出器に影響してＥＤＳのデータがブ
ロードになり、データのＳ／Ｎが低下し、分析結果に悪
い影響を与えるという問題があった。本発明は上記課題
を解決するためのもので、ＷＤＳとＥＤＳが付いている
分析型電子顕微鏡を用い、ＷＤＳとＥＤＳとの同時測定
を行い、かつＷＤＳ分光器の移動による影響を無くし、
測定データのＳ／Ｎ比を向上させることができる波長分
散型分光器とエネルギ分散型分光器を用いた元素分析装
置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、波長分散型分
光器とエネルギ分散型分光器を有する元素分析装置にお
いて、波長分散型分光器およびエネルギ分散型分光器の
検出データを取り込む測定回路と、波長分散型分光器を
駆動制御する分光器制御回路と、分光器制御回路および
測定回路を制御する制御手段とを備え、前記制御手段
は、分光器制御回路からの動作信号を基に測定回路を制
御し、波長分散型分光器動作中はエネルギ分散型分光器
の動作を停止させるようにしたことを特徴とする。
光器とエネルギ分散型分光器を有する元素分析装置にお
いて、波長分散型分光器およびエネルギ分散型分光器の
検出データを取り込む測定回路と、波長分散型分光器を
駆動制御する分光器制御回路と、分光器制御回路および
測定回路を制御する制御手段とを備え、前記制御手段
は、分光器制御回路からの動作信号を基に測定回路を制
御し、波長分散型分光器動作中はエネルギ分散型分光器
の動作を停止させるようにしたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】本発明はＷＤＳ分光器からの動作信号を基にＥ
ＤＳの測定を制御するようにしたものであり、ＷＤＳ分
光器の移動中にはＥＤＳの測定を停止し、ＷＤＳ分光器
の移動が停止したときにＥＤＳの測定を行うようにした
ので、ＷＤＳ分光器の移動に伴う振動の影響がなくな
り、測定データのＳ／Ｎ比を向上させ、分析精度を向上
させることが可能となる。
ＤＳの測定を制御するようにしたものであり、ＷＤＳ分
光器の移動中にはＥＤＳの測定を停止し、ＷＤＳ分光器
の移動が停止したときにＥＤＳの測定を行うようにした
ので、ＷＤＳ分光器の移動に伴う振動の影響がなくな
り、測定データのＳ／Ｎ比を向上させ、分析精度を向上
させることが可能となる。
【０００６】
【実施例】図１は本発明のＸ線検出回路の構成を示す
図、図２は測定回路の構成を示す図、図３は測定のタイ
ミングチャートを示す図、図４は測定結果を示す図であ
る。図１において、図５と同一参照番号は同一内容を示
している。ＷＤＳで分析を行う場合、まず分光結晶７を
分析元素が検出される位置に移動した後に検出器８でＸ
線を測定する。この時分光結晶７と検出器８との位置は
分光器制御回路１１によって制御されている。ＥＤＳで
分析する場合は、あるエネルギ位置にピークとして検出
されるので、分光結晶を移動するような物理的動作は必
要なく、半導体検出器９でＸ線を検出し、測定回路１０
で測定することになる。通常、複数元素を複数のＷＤＳ
分光器、１つのＥＤＳで分担して測定するが、分析効率
を上げるために、ＷＤＳ、ＥＤＳの測定を同時に開始し
ている。そのためＥＤＳで測定中にＷＤＳ分光結晶７、
検出器８が次の元素の測定のために移動を開始すると、
その振動等の影響でＥＤＳの特性Ｘ線ピークのＳ／Ｎは
低下する。
図、図２は測定回路の構成を示す図、図３は測定のタイ
ミングチャートを示す図、図４は測定結果を示す図であ
る。図１において、図５と同一参照番号は同一内容を示
している。ＷＤＳで分析を行う場合、まず分光結晶７を
分析元素が検出される位置に移動した後に検出器８でＸ
線を測定する。この時分光結晶７と検出器８との位置は
分光器制御回路１１によって制御されている。ＥＤＳで
分析する場合は、あるエネルギ位置にピークとして検出
されるので、分光結晶を移動するような物理的動作は必
要なく、半導体検出器９でＸ線を検出し、測定回路１０
で測定することになる。通常、複数元素を複数のＷＤＳ
分光器、１つのＥＤＳで分担して測定するが、分析効率
を上げるために、ＷＤＳ、ＥＤＳの測定を同時に開始し
ている。そのためＥＤＳで測定中にＷＤＳ分光結晶７、
検出器８が次の元素の測定のために移動を開始すると、
その振動等の影響でＥＤＳの特性Ｘ線ピークのＳ／Ｎは
低下する。
【０００７】本発明では分光器制御回路１１からの動作
信号を基に測定回路１０でＥＤＳの測定を制御して、効
率よく測定するとともに、お互いが影響を受けないよう
にしたものである。この測定方法について図２、図３を
参照して説明する。図２は測定回路１０の主な要素を示
したもので、指定された測定時間、計測を行うために測
定制御回路２０は計測すべき指定時間をタイマー制御回
路２２に指示する。この指示に従ってタイマー制御回路
２２は、検出パルスの出入りを制御するゲート２３とカ
ウンタ２４とに測定開始信号を送り、測定開始を指示す
る。指定した時間測定した後、タイマー制御回路２２は
ゲート２３を閉じ、カウンタ２４による計測を終了させ
る。さらに測定制御回路２０の指示によりタイマーゲー
ト制御回路２１はＷＤＳ分光器制御回路１１から発生す
る分光器動作信号を基に、その信号ラインが動作中であ
るときには、タイマー制御回路２２とゲート２３に一時
測定停止信号を送り、測定を一時停止させる。従って、
ＷＤＳ分光器が動作中の時は測定が進行しないことにな
る。
信号を基に測定回路１０でＥＤＳの測定を制御して、効
率よく測定するとともに、お互いが影響を受けないよう
にしたものである。この測定方法について図２、図３を
参照して説明する。図２は測定回路１０の主な要素を示
したもので、指定された測定時間、計測を行うために測
定制御回路２０は計測すべき指定時間をタイマー制御回
路２２に指示する。この指示に従ってタイマー制御回路
２２は、検出パルスの出入りを制御するゲート２３とカ
ウンタ２４とに測定開始信号を送り、測定開始を指示す
る。指定した時間測定した後、タイマー制御回路２２は
ゲート２３を閉じ、カウンタ２４による計測を終了させ
る。さらに測定制御回路２０の指示によりタイマーゲー
ト制御回路２１はＷＤＳ分光器制御回路１１から発生す
る分光器動作信号を基に、その信号ラインが動作中であ
るときには、タイマー制御回路２２とゲート２３に一時
測定停止信号を送り、測定を一時停止させる。従って、
ＷＤＳ分光器が動作中の時は測定が進行しないことにな
る。
【０００８】この動作について図３のタイムチャートに
より説明すると、例えば、ＷＤＳ分光器−１，分光器−
２，分光器−３からなる３チャンネルが装備されている
場合、分光器−１、分光器−２、分光器−３の何れかの
分光結晶が移動中には測定停止信号が発せられ、ゲート
２３が閉じられて測定が停止され、分光器−１、分光器
−２、分光器−３の何れもが移動中でない間に測定停止
信号が解除されてＥＤＳ測定が行われることになる。図
４（ａ）はＷＤＳの分光結晶の移動を停止させ、振動を
与えなかったときのＥＤＳ波形例であり、図４（ｂ）は
同一の条件で測定し、ＷＤＳ分光器を移動して振動を与
えた時のＥＤＳ波形例であり、図４（ｃ）は図４
（ａ），（ｂ）を重ねてその違いを示したものである。
ＥＤＳで求めるある元素のＸ線カウント値は、その元素
のピークの積分値を使用するため、図４（ｂ）のように
ピーク波形が崩れると、真のピークが求められないばか
りか、隣接するピークの値が求めようとするピークの値
として計測されてしまう場合もある。本発明によりこの
振動の影響を無くすと、図４（ｃ）の実線に示すように
ピークがシャープとなり、分析精度を向上させることが
可能となる。
より説明すると、例えば、ＷＤＳ分光器−１，分光器−
２，分光器−３からなる３チャンネルが装備されている
場合、分光器−１、分光器−２、分光器−３の何れかの
分光結晶が移動中には測定停止信号が発せられ、ゲート
２３が閉じられて測定が停止され、分光器−１、分光器
−２、分光器−３の何れもが移動中でない間に測定停止
信号が解除されてＥＤＳ測定が行われることになる。図
４（ａ）はＷＤＳの分光結晶の移動を停止させ、振動を
与えなかったときのＥＤＳ波形例であり、図４（ｂ）は
同一の条件で測定し、ＷＤＳ分光器を移動して振動を与
えた時のＥＤＳ波形例であり、図４（ｃ）は図４
（ａ），（ｂ）を重ねてその違いを示したものである。
ＥＤＳで求めるある元素のＸ線カウント値は、その元素
のピークの積分値を使用するため、図４（ｂ）のように
ピーク波形が崩れると、真のピークが求められないばか
りか、隣接するピークの値が求めようとするピークの値
として計測されてしまう場合もある。本発明によりこの
振動の影響を無くすと、図４（ｃ）の実線に示すように
ピークがシャープとなり、分析精度を向上させることが
可能となる。
【０００９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ＷＤＳと
ＥＤＳによる測定を効率よく行うことができると共に、
ＥＤＳがＷＤＳ分光結晶の移動の影響を受けることがな
いため、ＥＤＳの特性Ｘ線ピーク測定のＳ／Ｎ比を良く
し、分析精度を向上させることが可能となる。
ＥＤＳによる測定を効率よく行うことができると共に、
ＥＤＳがＷＤＳ分光結晶の移動の影響を受けることがな
いため、ＥＤＳの特性Ｘ線ピーク測定のＳ／Ｎ比を良く
し、分析精度を向上させることが可能となる。
【図１】 本発明のＸ線検出回路の構成を示す図であ
る。
る。
【図２】 測定回路の構成を示す図である。
【図３】 測定のタイミングチャートを示す図である。
【図４】 測定結果を示す図である。
【図５】 ＷＤＳとＥＤＳが付いている分析型電子顕微
鏡による分析を説明する図である。
鏡による分析を説明する図である。
７…分光結晶、８…検出器、９…半導体検出器、１０…
測定回路、１１…分光器制御回路、１２…制御回路、２
０…測定制御回路、２１…タイマ・ゲート制御回路、２
２…タイマ制御回路、２３…ゲート、２４…カウンタ。
測定回路、１１…分光器制御回路、１２…制御回路、２
０…測定制御回路、２１…タイマ・ゲート制御回路、２
２…タイマ制御回路、２３…ゲート、２４…カウンタ。
Claims (1)
- 【請求項１】 波長分散型分光器とエネルギ分散型分光
器を有する元素分析装置において、波長分散型分光器お
よびエネルギ分散型分光器の検出データを取り込む測定
回路と、波長分散型分光器を駆動制御する分光器制御回
路と、分光器制御回路および測定回路を制御する制御手
段とを備え、前記制御手段は、分光器制御回路からの動
作信号を基に測定回路を制御し、波長分散型分光器動作
中はエネルギ分散型分光器の動作を停止させるようにし
たことを特徴とする波長分散型分光器とエネルギ分散型
分光器を用いた元素分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05178964A JP3123860B2 (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | 波長分散型分光器とエネルギ分散型分光器を用いた元素分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05178964A JP3123860B2 (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | 波長分散型分光器とエネルギ分散型分光器を用いた元素分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0737539A true JPH0737539A (ja) | 1995-02-07 |
| JP3123860B2 JP3123860B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=16057748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05178964A Expired - Fee Related JP3123860B2 (ja) | 1993-07-20 | 1993-07-20 | 波長分散型分光器とエネルギ分散型分光器を用いた元素分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123860B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102621170A (zh) * | 2012-03-09 | 2012-08-01 | 湖北方圆环保科技有限公司 | 一种在能谱仪探测中自动确定测量时间的方法 |
-
1993
- 1993-07-20 JP JP05178964A patent/JP3123860B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102621170A (zh) * | 2012-03-09 | 2012-08-01 | 湖北方圆环保科技有限公司 | 一种在能谱仪探测中自动确定测量时间的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3123860B2 (ja) | 2001-01-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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