JPH073832B2 - ウエハの位置合せ装置 - Google Patents
ウエハの位置合せ装置Info
- Publication number
- JPH073832B2 JPH073832B2 JP1167386A JP1167386A JPH073832B2 JP H073832 B2 JPH073832 B2 JP H073832B2 JP 1167386 A JP1167386 A JP 1167386A JP 1167386 A JP1167386 A JP 1167386A JP H073832 B2 JPH073832 B2 JP H073832B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric conversion
- wafer
- conversion member
- axis
- cutout portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、位置合わせのために２つの切欠部…オリエン
テーシヨンフラット（以下オリフラと言う）…を有する
ウエハを位置合せするための位置合せ装置、に関する。
テーシヨンフラット（以下オリフラと言う）…を有する
ウエハを位置合せするための位置合せ装置、に関する。
（発明の背景） 従来、ウエハには１つのオリフラを形成するものが普通
であったが、近年、サブのオリフラを形成したウエハが
現出するに至った。このものは、長さの異なるメインと
サブのオリフラを有することになるのであるが、長い方
をメインとし、短い方をサブとして用いるものである。
であったが、近年、サブのオリフラを形成したウエハが
現出するに至った。このものは、長さの異なるメインと
サブのオリフラを有することになるのであるが、長い方
をメインとし、短い方をサブとして用いるものである。
しかして、従来のように１つのオリフラを対象にした位
置合せ装置では、例えば特公昭55−39901号公報に示さ
れている如く、１つの光電変換素子をウエハの中心を通
る軸線に沿うように配設し、他の１つの光電変換素子を
上記軸線と直角方向に移動した位置に並設し、オリフラ
が上記軸線と直角になったときに２つの光電変換素子に
入射する光量が一致するようになしたものである。
置合せ装置では、例えば特公昭55−39901号公報に示さ
れている如く、１つの光電変換素子をウエハの中心を通
る軸線に沿うように配設し、他の１つの光電変換素子を
上記軸線と直角方向に移動した位置に並設し、オリフラ
が上記軸線と直角になったときに２つの光電変換素子に
入射する光量が一致するようになしたものである。
しかしながら、このような方法による装置では、オリフ
ラが１つの場合は良いが、オリフラが２つあると、その
識別を考慮しなければならず、そのまま単純に適用でき
ない、という問題があった。
ラが１つの場合は良いが、オリフラが２つあると、その
識別を考慮しなければならず、そのまま単純に適用でき
ない、という問題があった。
（発明の目的） 本発明はこれらの欠点を解決し、２つのオリフラがあっ
ても確実にそれらを区別して位置合わせできる装置を得
ることを目的とする。
ても確実にそれらを区別して位置合わせできる装置を得
ることを目的とする。
（発明の概要） 本発明は、位置合せ用の切欠部を有するウエハ（１）を
そのほぼ中心部を回転軸として回転させる回転部材（2
0）と、前記ウエハ（１）のほぼ中心を通る軸線（Ｙ）
に沿うように前記ウエハに対向させて配置した第１の光
電変換部材（２）と、前記軸線に直交しかつ前記ウエハ
の表面にほぼ平行な方向に前記第１の光電変換部材
（２）に対し所定距離離して配設した第２の光電変換部
材（３）と、前記両光電変換部材（２），（３）に対し
て前記ウエハ（１）の周縁部を介して投光する投光部材
（22），（23）と、前記両光電変換部材（２），（３）
の出力信号の差信号を用いて前記ウエハ（１）を所定位
置で停止させるように前記回転部材（20）を制御する制
御装置（30），（31），（32），（21）と、を有する位
置合せ装置において、 前記ウエハとして第１の切欠部（1a）…長さl1…と該切
欠部より短かい第２の切欠部（1b）…長さl2…を有する
ものを用いた場合に、前記第１の光電変換部材（２）上
に前記軸線（Ｙ）に直交する方向に第１の切欠部（1a）
がきたとき、前記第２の光電変換部材（３）上にも前記
第１の切欠部（1a）がきており、前記第１の光電変換部
材（２）上に前記軸線（Ｙ）と直交する方向に第２の切
欠部（1b）がきたとき、前記第２の光電変換部材（３）
上に前記第２の切欠部（1a）以外の部分がきているよう
に前記所定距離を定めたことを特徴とする位置合せ装置
であって、それより長さの異なる２つの切欠部を有する
ウエハであっても確実に位置合わせが行なえる。
そのほぼ中心部を回転軸として回転させる回転部材（2
0）と、前記ウエハ（１）のほぼ中心を通る軸線（Ｙ）
に沿うように前記ウエハに対向させて配置した第１の光
電変換部材（２）と、前記軸線に直交しかつ前記ウエハ
の表面にほぼ平行な方向に前記第１の光電変換部材
（２）に対し所定距離離して配設した第２の光電変換部
材（３）と、前記両光電変換部材（２），（３）に対し
て前記ウエハ（１）の周縁部を介して投光する投光部材
（22），（23）と、前記両光電変換部材（２），（３）
の出力信号の差信号を用いて前記ウエハ（１）を所定位
置で停止させるように前記回転部材（20）を制御する制
御装置（30），（31），（32），（21）と、を有する位
置合せ装置において、 前記ウエハとして第１の切欠部（1a）…長さl1…と該切
欠部より短かい第２の切欠部（1b）…長さl2…を有する
ものを用いた場合に、前記第１の光電変換部材（２）上
に前記軸線（Ｙ）に直交する方向に第１の切欠部（1a）
がきたとき、前記第２の光電変換部材（３）上にも前記
第１の切欠部（1a）がきており、前記第１の光電変換部
材（２）上に前記軸線（Ｙ）と直交する方向に第２の切
欠部（1b）がきたとき、前記第２の光電変換部材（３）
上に前記第２の切欠部（1a）以外の部分がきているよう
に前記所定距離を定めたことを特徴とする位置合せ装置
であって、それより長さの異なる２つの切欠部を有する
ウエハであっても確実に位置合わせが行なえる。
（実施例） 第１図は、本発明の第１実施例におけるウエハ１と第1,
第２の光電変換部材2,3の位置関係を示した図、であ
り、第２図は第１図のＡ−Ａ′矢視図、第３図は第１図
の第1,第２の光電変換部材2,3から得られる信号を処理
する回路のブロック図である。
第２の光電変換部材2,3の位置関係を示した図、であ
り、第２図は第１図のＡ−Ａ′矢視図、第３図は第１図
の第1,第２の光電変換部材2,3から得られる信号を処理
する回路のブロック図である。
ウエハ１は中心Ｏを回転部材20（第２図）の回転中心に
ほぼ一致するように吸着保持されている。回転部材20は
駆動部材21によって軸ｌを中心にしてウエハ１を第１図
の矢印Ｐの方向へ回転するように回転するから、ウエハ
１は中心Ｏをほぼ回転中心軸として回転する。ウエハ１
の周縁部を表側と裏側から挾んで一方に光源22とコリメ
ータレンズ23とよりなる投光部材を設け、他方に光電変
換部材（第２図では第１の光電変換部材２のみ示されて
いる）を設けてなる検知手段を、ウエハ１の中心Ｏを通
る軸線Ｙを含む、ウエハ１の表面に直交する第１の面内
と、前記第１の面に平行でかつ第１の面より距離ｄ隔て
た第２の面内に配設する。この際、各々の光電変換部材
は、第１のオリフラ1aが所定位置にあるときに各々の光
電変換面が同じ量だけ投光部材からの光を受けるように
突出して設けられている。
ほぼ一致するように吸着保持されている。回転部材20は
駆動部材21によって軸ｌを中心にしてウエハ１を第１図
の矢印Ｐの方向へ回転するように回転するから、ウエハ
１は中心Ｏをほぼ回転中心軸として回転する。ウエハ１
の周縁部を表側と裏側から挾んで一方に光源22とコリメ
ータレンズ23とよりなる投光部材を設け、他方に光電変
換部材（第２図では第１の光電変換部材２のみ示されて
いる）を設けてなる検知手段を、ウエハ１の中心Ｏを通
る軸線Ｙを含む、ウエハ１の表面に直交する第１の面内
と、前記第１の面に平行でかつ第１の面より距離ｄ隔て
た第２の面内に配設する。この際、各々の光電変換部材
は、第１のオリフラ1aが所定位置にあるときに各々の光
電変換面が同じ量だけ投光部材からの光を受けるように
突出して設けられている。
ただし、第１のオリフラ1aの長さをl1、第２のオリフラ
1bの長さをl2、光電変換部材の受光面の前記面（第1,第
２）に直交する方向での輻をａとすれば、 である。
1bの長さをl2、光電変換部材の受光面の前記面（第1,第
２）に直交する方向での輻をａとすれば、 である。
光電変換部材2,3は第３図に示したように、差動増幅器3
0に接続されており、差動増幅器30は光電変換部材２の
出力信号V2を光電変換部材３の出力信号V3から減算した
減算信号V3-V2に比例した差動増幅信号を出力する。こ
の差動増幅信号は、入力信号が正から負に変化するとき
の零点を検出して駆動回路32に駆動部材21の駆動停止信
号を出力する、検知回路31に入力される。駆動回路32は
検知回路31からの駆動停止信号によって駆動部材21を停
止せしめる。この位置は、ウエハ１の回転角θに対する
差動増輻信号（V3-V2）に関係を示した第４図における
位置P1であって、丁度光電変換素子2,3の出力信号が等
しくかつ、第１のオリフラ1aの方向が軸線Ｙの方向に直
交する位置である。第４図に示したように、差動増輻信
号（V3-V2）は、第２のオリフラ1bが軸線Ｙ方向に直交
する位置にきたときに、第２の光電変換素子３が第２の
オリフラ1bから外れた円弧部分にかかるため零とはなら
ない。従って、第１オリフラ1aと第２オリフラ1bを識別
できる。また、差動増幅信号（V3-V2）が零となる位置
が２点（P1,P2）生ずるが、初めに生じた零点P1が位置
合せ完了位置となる。
0に接続されており、差動増幅器30は光電変換部材２の
出力信号V2を光電変換部材３の出力信号V3から減算した
減算信号V3-V2に比例した差動増幅信号を出力する。こ
の差動増幅信号は、入力信号が正から負に変化するとき
の零点を検出して駆動回路32に駆動部材21の駆動停止信
号を出力する、検知回路31に入力される。駆動回路32は
検知回路31からの駆動停止信号によって駆動部材21を停
止せしめる。この位置は、ウエハ１の回転角θに対する
差動増輻信号（V3-V2）に関係を示した第４図における
位置P1であって、丁度光電変換素子2,3の出力信号が等
しくかつ、第１のオリフラ1aの方向が軸線Ｙの方向に直
交する位置である。第４図に示したように、差動増輻信
号（V3-V2）は、第２のオリフラ1bが軸線Ｙ方向に直交
する位置にきたときに、第２の光電変換素子３が第２の
オリフラ1bから外れた円弧部分にかかるため零とはなら
ない。従って、第１オリフラ1aと第２オリフラ1bを識別
できる。また、差動増幅信号（V3-V2）が零となる位置
が２点（P1,P2）生ずるが、初めに生じた零点P1が位置
合せ完了位置となる。
このような構造であるから、例えば、不図示の搬送路を
送られてきたウエハ１を、その中心Ｏがほぼ回転部材20
の軸ｌ上にきたときに上記搬送路に挿脱自在に設けた停
止装置によって停止せしめ、回転部材20を上昇してウエ
ハ１を吸着する。そして回転部材20を回転せしめる。回
転部材20は検知回路31からの駆動停止信号によって停止
する。このときウエハ１は所定位置に位置合せされてい
る。
送られてきたウエハ１を、その中心Ｏがほぼ回転部材20
の軸ｌ上にきたときに上記搬送路に挿脱自在に設けた停
止装置によって停止せしめ、回転部材20を上昇してウエ
ハ１を吸着する。そして回転部材20を回転せしめる。回
転部材20は検知回路31からの駆動停止信号によって停止
する。このときウエハ１は所定位置に位置合せされてい
る。
オリフラが１つの一般的なものは、第２のオリフラ1bが
無いものであるから、上述の構造であっても従来と同様
に位置合せできることは勿論である。
無いものであるから、上述の構造であっても従来と同様
に位置合せできることは勿論である。
なお、軸線Ｙを挾んで左右対称に検知手段を設け、その
間隔ｌを第１オリフラ1aの長さl1と第２オリフラ1bの長
さl2との間の長さ、すなわち、l1＜ｌ＜l2に設定するこ
とによって第１オリフラ1aと第２オリフラ1bとを識別す
ることが考えられるが、この場合には零位置検出と共に
レベル検出も併用する必要があるのであって、構造が複
雑となるが、上述の実施例の構成では検知手段の配置を
工夫することによってレベル検出を不用とすることがで
きる。
間隔ｌを第１オリフラ1aの長さl1と第２オリフラ1bの長
さl2との間の長さ、すなわち、l1＜ｌ＜l2に設定するこ
とによって第１オリフラ1aと第２オリフラ1bとを識別す
ることが考えられるが、この場合には零位置検出と共に
レベル検出も併用する必要があるのであって、構造が複
雑となるが、上述の実施例の構成では検知手段の配置を
工夫することによってレベル検出を不用とすることがで
きる。
また、上述の実施例において、投光部材は第１の光電変
換部材２と第２の光電変換部材３とに共用しても良いこ
とは勿論である。
換部材２と第２の光電変換部材３とに共用しても良いこ
とは勿論である。
さらに、上述の実施例では、ウエハ１を挾んで投光部材
と光電変換部材とを配設したが、投光部材と光電変換部
材とをウエハの同じ面側に設け、ウエハ１での反射光を
光電変換部材に入射させるようになしても良く、いずれ
にしても、投光部材の射出光束をウエハの周縁部を介し
て投光するように構成してあれば良い。
と光電変換部材とを配設したが、投光部材と光電変換部
材とをウエハの同じ面側に設け、ウエハ１での反射光を
光電変換部材に入射させるようになしても良く、いずれ
にしても、投光部材の射出光束をウエハの周縁部を介し
て投光するように構成してあれば良い。
（発明の効果） 以上述べた如く本発明によれば、簡単な構成でかつ短時
間で第１オリフラと第２オリフラを識別できるウエハの
位置合せ装置を得ることができる。
間で第１オリフラと第２オリフラを識別できるウエハの
位置合せ装置を得ることができる。
第１図は、本発明の第１実施例におけるウエハ１と第1,
第２の光電変換部材2,3の位置関係を示した図、第２図
は第１図のＡ−Ａ′矢視図、第３図は第１図の第1,第２
の光電変換部材2,3から得られる信号を処理する回路の
ブロック図、第４図はウエハ１の回転に対する第３図の
差動増幅回路30の出力信号（V3-V2）を示す図、であ
る。 （図面の簡単な説明） １…ウエハ、1a…第１の切欠部、1b…第２の切欠部、２
…第１の光電変換部材、３…第２の光電変換部材、20…
回転部材。
第２の光電変換部材2,3の位置関係を示した図、第２図
は第１図のＡ−Ａ′矢視図、第３図は第１図の第1,第２
の光電変換部材2,3から得られる信号を処理する回路の
ブロック図、第４図はウエハ１の回転に対する第３図の
差動増幅回路30の出力信号（V3-V2）を示す図、であ
る。 （図面の簡単な説明） １…ウエハ、1a…第１の切欠部、1b…第２の切欠部、２
…第１の光電変換部材、３…第２の光電変換部材、20…
回転部材。
Claims (1)
- 【請求項１】位置合わせ用の切欠部を有するウェハをそ
のほぼ中心部を回転軸として回転させる回転部材と、前
記ウェハの周縁部を挟んだ一方側に配置され、前記ウェ
ハの中心部を通る前記ウェハ表面上の軸線に沿う第１の
光電変換部材と、前記一方側に配置され、前記第１の光
電変換部材に対して所定距離だけ平行に離れた第２の光
電変換部材と、前記ウェハの周縁部を挟んだ他方側に配
置され、前記両光電変換部材に対して投光する投光部材
と、前記両光電変換部材の出力信号の差信号を用いて前
記ウェハを所定位置で停止させるように前記回転部材を
制御する制御装置と、を有する位置合わせ装置におい
て、 前記ウェハとして、第１の切欠部と、前記第１の切欠部
より短い第２の切欠部とを有するものを用いた場合に、
前記第１の光電変換部材上に前記軸線に直交する方向に
第１の切欠部がきたとき、前記第２の光電変換部材上に
も前記第１の切欠部がきており、前記第１の光電変換部
材上に前記軸線と直交する方向に第２の切欠部がきたと
き、前記第２の光電変換部材上に前記第２の切欠部以外
の部分がきているように前記所定距離を定めたことを特
徴する位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167386A JPH073832B2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | ウエハの位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167386A JPH073832B2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | ウエハの位置合せ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62169441A JPS62169441A (ja) | 1987-07-25 |
| JPH073832B2 true JPH073832B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=11784505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1167386A Expired - Lifetime JPH073832B2 (ja) | 1986-01-22 | 1986-01-22 | ウエハの位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073832B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3580311B1 (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-20 | 住友電気工業株式会社 | 表裏識別した矩形窒化物半導体基板 |
-
1986
- 1986-01-22 JP JP1167386A patent/JPH073832B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62169441A (ja) | 1987-07-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |