JPH02210209A - チルトセンサ - Google Patents
チルトセンサInfo
- Publication number
- JPH02210209A JPH02210209A JP3185189A JP3185189A JPH02210209A JP H02210209 A JPH02210209 A JP H02210209A JP 3185189 A JP3185189 A JP 3185189A JP 3185189 A JP3185189 A JP 3185189A JP H02210209 A JPH02210209 A JP H02210209A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- rotating disk
- disk
- slit light
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、正反射率が高い回転円盤のチルト角を検出
するチルトセンサに関するものである。
するチルトセンサに関するものである。
第５図は、従来のチルトセンサを示すものである。この
チルトセンサは、回転円盤１に光を照射するＬＥＤ２と
、その反射光を受光する為に、ＬＥＤ２の両側で配置さ
れた一対のホトダイード３．３を備えて構成されている
（同図（ａ））。この場合、回転円盤１とホトダイオー
ド３．３との間にレンズ４を介在させ、その入射角をほ
ぼ直角にすることができる（同図（ｂ））。
チルトセンサは、回転円盤１に光を照射するＬＥＤ２と
、その反射光を受光する為に、ＬＥＤ２の両側で配置さ
れた一対のホトダイード３．３を備えて構成されている
（同図（ａ））。この場合、回転円盤１とホトダイオー
ド３．３との間にレンズ４を介在させ、その入射角をほ
ぼ直角にすることができる（同図（ｂ））。
ＬＥＤ２から照射された光は、回転円盤１で反射し、ホ
トダイード３に入射する。例えば、回転円盤１がΔθの
傾斜角でＢ方向にチルトした場合（同図（ａ）参照）、
左側のホトダイオード３に入射される光量が増加し、右
側のホトダイオード３に入射される光量は減少する。光
量の増減は、光電流の増減として電気的に検知すること
ができるので、チルト角に対する光電流値を予め実験的
に求めておけば、得られた光電流値から回転円盤１のチ
ルト角を検出することができる。
トダイード３に入射する。例えば、回転円盤１がΔθの
傾斜角でＢ方向にチルトした場合（同図（ａ）参照）、
左側のホトダイオード３に入射される光量が増加し、右
側のホトダイオード３に入射される光量は減少する。光
量の増減は、光電流の増減として電気的に検知すること
ができるので、チルト角に対する光電流値を予め実験的
に求めておけば、得られた光電流値から回転円盤１のチ
ルト角を検出することができる。
しかしながら、従来のチルトセンサは、ＬＥＤチップと
基板をダイボンドする際に位置ズレが生じており、この
基板を基準としてＬＥＤの位置を決定していることから
、光軸にズレが生じるという問題があった。
基板をダイボンドする際に位置ズレが生じており、この
基板を基準としてＬＥＤの位置を決定していることから
、光軸にズレが生じるという問題があった。
第６図は、指向性のバラツキの原因を示すものである。
例えば、本来ａの位置に固定されるべき発光素子がｂの
位置で固定されると、光路はレンズを通過した後、左方
向へ進む。また、発光素子がＣの位置で固定されると、
光路はレンズを通過した後、右方向へ進む。この場合、
指向特性は光軸に対して左右対称にならず、右方向ある
いは左方向に偏ってしまう。
位置で固定されると、光路はレンズを通過した後、左方
向へ進む。また、発光素子がＣの位置で固定されると、
光路はレンズを通過した後、右方向へ進む。この場合、
指向特性は光軸に対して左右対称にならず、右方向ある
いは左方向に偏ってしまう。
第７図は、指向特性が偏ったＬＥＤの指向特性の一例を
示すものである。このように、偏った指向特性を有する
ＬＥＤを使用すると、測定値に誤差が生じるので、その
誤差分を光学系で調整しなければならない。この場合、
光軸ズレは、２次元のレベルで発生することから光学的
に２方向で調整できる調整機構を使用することが望まし
い。しかし、２方向の調整機構を使用すると、センサが
高価になり、また、安価な１方向の調整機構を使用する
と、その調整が非常に困難になる。
示すものである。このように、偏った指向特性を有する
ＬＥＤを使用すると、測定値に誤差が生じるので、その
誤差分を光学系で調整しなければならない。この場合、
光軸ズレは、２次元のレベルで発生することから光学的
に２方向で調整できる調整機構を使用することが望まし
い。しかし、２方向の調整機構を使用すると、センサが
高価になり、また、安価な１方向の調整機構を使用する
と、その調整が非常に困難になる。
そこで本発明は、光学系調整機構が不要なチルトセンサ
を提供することを目的とする。
を提供することを目的とする。
上記課題を達成する為、この発明はスリット光源、位置
検出素子及び演算手段を備え、正反射率が高い回転円盤
のチルト角を検出するチルトセンサを構成する。ここで
、スリット光源は回転円盤の半径方向に沿って、スリッ
ト光を当該回転円盤に照射し、位置検出素子はスリット
光の反射光を受光する為に回転円盤の接線方向に延在し
た受光面を有し、演算手段は受光面における反射光の位
置に基づき、回転円盤のチルト角を検出する。
検出素子及び演算手段を備え、正反射率が高い回転円盤
のチルト角を検出するチルトセンサを構成する。ここで
、スリット光源は回転円盤の半径方向に沿って、スリッ
ト光を当該回転円盤に照射し、位置検出素子はスリット
光の反射光を受光する為に回転円盤の接線方向に延在し
た受光面を有し、演算手段は受光面における反射光の位
置に基づき、回転円盤のチルト角を検出する。
この発明は、以上のように構成されているので、スリッ
ト光源から出射し、回転円盤で反射したスリット光は、
位置検出素子の受光面が延在する方向と直交する方向に
投射される。演算手段では、回転円盤がチルトしていな
い時の投射位置等の基準位置と、チルトした時の投射位
置を比較することにより、回転円盤のチルト角度が検出
される。
ト光源から出射し、回転円盤で反射したスリット光は、
位置検出素子の受光面が延在する方向と直交する方向に
投射される。演算手段では、回転円盤がチルトしていな
い時の投射位置等の基準位置と、チルトした時の投射位
置を比較することにより、回転円盤のチルト角度が検出
される。
以下、この発明の一実施例に係るチルトセンサを添附図
面に基づき説明する。なお、説明において同一要素には
同一符号を使用し、重複する説明は省略する。
面に基づき説明する。なお、説明において同一要素には
同一符号を使用し、重複する説明は省略する。
第１図は、この実施例に係るチルトセンサを示す斜視図
である。このチルトセンサは、基本的にスリット光ｒ７
．５、位置検出素子６、及び演算処理部（演算手段）（
図示せず）を備えて構成されている。
である。このチルトセンサは、基本的にスリット光ｒ７
．５、位置検出素子６、及び演算処理部（演算手段）（
図示せず）を備えて構成されている。
スリット光源５は、ＬＥＤ （図示せず）上に細長いス
リット５ａを備えて構成されている。この場合、スリッ
ト５ａはＬＥＤと回転円盤７との間に設けられているの
で、ＬＥＤから出射された光はスリット状に回転円盤７
へ投射される。回転円盤７は、少な（とも、スリット光
源５が対向する位置に正反射率の大きい反射面（図示せ
ず）を円周方向に備えている。位置検出素子６は、受光
面としてＰ Ｓ Ｄ （Ｐｏｓｌｔｉｏｎ−３ｅｎｓｉ
ｔｆｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒｓ）６ａ及びＰＳＤ用ヘッ
ドアンプ６ｂを含んで構成されており、このＰＳＤ６ａ
上に投射されたスリット光から、その投射位置を検出す
ることができる。具体的には、゛受光面６ａにスリット
光が入射すると、入射位置には光エネルギに比例した電
荷が発生する。この発生した電荷は光電流として抵抗層
（図示せず）を通り、電極より出力される。
リット５ａを備えて構成されている。この場合、スリッ
ト５ａはＬＥＤと回転円盤７との間に設けられているの
で、ＬＥＤから出射された光はスリット状に回転円盤７
へ投射される。回転円盤７は、少な（とも、スリット光
源５が対向する位置に正反射率の大きい反射面（図示せ
ず）を円周方向に備えている。位置検出素子６は、受光
面としてＰ Ｓ Ｄ （Ｐｏｓｌｔｉｏｎ−３ｅｎｓｉ
ｔｆｖｅ Ｄｅｔｅｃｔｏｒｓ）６ａ及びＰＳＤ用ヘッ
ドアンプ６ｂを含んで構成されており、このＰＳＤ６ａ
上に投射されたスリット光から、その投射位置を検出す
ることができる。具体的には、゛受光面６ａにスリット
光が入射すると、入射位置には光エネルギに比例した電
荷が発生する。この発生した電荷は光電流として抵抗層
（図示せず）を通り、電極より出力される。
この抵抗層は全面に均一な抵抗値を持つように作られて
いるので、光電流は電極までの距離（抵抗値）に逆比例
して分割され、電極から取り出される。この電極から取
り田される電流の差または比を演算処理部で求めること
により、入射光エネルギとは無関係に、光の入射位置を
求めることができる。演算処理部は、例えば演算処理回
路を組み込んだＩＣで構成されており、スリット光の投
射位置に対応する電圧値Ｖ１を出力することができる。
いるので、光電流は電極までの距離（抵抗値）に逆比例
して分割され、電極から取り出される。この電極から取
り田される電流の差または比を演算処理部で求めること
により、入射光エネルギとは無関係に、光の入射位置を
求めることができる。演算処理部は、例えば演算処理回
路を組み込んだＩＣで構成されており、スリット光の投
射位置に対応する電圧値Ｖ１を出力することができる。
なお、上記ＬＥＤにはＬＥＤ用ドライバ８がドライバ用
トランジスタ９及び電流設定用抵抗１０を介して接続さ
れている。
トランジスタ９及び電流設定用抵抗１０を介して接続さ
れている。
第２図は、本発明の基本原理を示す側面図である。スリ
ット光源５から出射されたスリット光は、回転円盤７の
半径方向に沿って回転円盤７の一面に照射され、位置検
出素子６の受光面６ａに投射される。従って、例えば回
転円盤７の平面と直交する方向におろした垂線に対して
、θ２の傾斜角をもって照射される。
ット光源５から出射されたスリット光は、回転円盤７の
半径方向に沿って回転円盤７の一面に照射され、位置検
出素子６の受光面６ａに投射される。従って、例えば回
転円盤７の平面と直交する方向におろした垂線に対して
、θ２の傾斜角をもって照射される。
例えば、回転円盤７がチルトしていないときのＰＳＤ６
ａに投射されたスリット光の位置を基準とすれば、回転
円盤７がθｌだけチルトした場合、ＰＳＤ６ａ上の位置
ずれ量はΔＸになる。ここで、スリット光源５から回転
円盤７までの距離をＬとすれば（第１図参照）、 ΔＸ−Ｌ−ｔａｎ２θ１−（１） が成立する。ここで、ＰＳＤ６ａの長手方向の長さをＣ
１金光電流を電圧に変換した時の電圧値を■０とすれば
、ΔＸとの関係式は Ｖ＋ −ＶＯ（０，５−ΔＸ／Ｃ）・・・（２）になる
。この（２）式に（１）式を代入すると、Ｖｌ −ＶＯ
（０，５−Ｌ−ｊａｎ ２θ１／Ｃ）が得られる。従っ
て、スリット光の投射位置に対応する電圧値Ｖｌから回
転円盤７のチルト角θ１を算出することができる。
ａに投射されたスリット光の位置を基準とすれば、回転
円盤７がθｌだけチルトした場合、ＰＳＤ６ａ上の位置
ずれ量はΔＸになる。ここで、スリット光源５から回転
円盤７までの距離をＬとすれば（第１図参照）、 ΔＸ−Ｌ−ｔａｎ２θ１−（１） が成立する。ここで、ＰＳＤ６ａの長手方向の長さをＣ
１金光電流を電圧に変換した時の電圧値を■０とすれば
、ΔＸとの関係式は Ｖ＋ −ＶＯ（０，５−ΔＸ／Ｃ）・・・（２）になる
。この（２）式に（１）式を代入すると、Ｖｌ −ＶＯ
（０，５−Ｌ−ｊａｎ ２θ１／Ｃ）が得られる。従っ
て、スリット光の投射位置に対応する電圧値Ｖｌから回
転円盤７のチルト角θ１を算出することができる。
なお、ＰＳＤ６ａにおけるグイボンド上の誤差は、ΔＸ
の代わりに、その誤差を考慮して（Δχ±α）を使用す
ることにより補正することができる。この場合、出力電
圧値Ｖ１は、 Ｖｌ −￥０ （０，５−Ｌ−ｊａｎ ２θ１／Ｃ）
±ＶＯα／Ｃ で与えられる為、±ＶＯα／ＣだけＰＳＤをオフセット
にして調節すればよい。従って、光学的調整が不要にな
るので、チルトセンサの製造が８晃になる。
の代わりに、その誤差を考慮して（Δχ±α）を使用す
ることにより補正することができる。この場合、出力電
圧値Ｖ１は、 Ｖｌ −￥０ （０，５−Ｌ−ｊａｎ ２θ１／Ｃ）
±ＶＯα／Ｃ で与えられる為、±ＶＯα／ＣだけＰＳＤをオフセット
にして調節すればよい。従って、光学的調整が不要にな
るので、チルトセンサの製造が８晃になる。
第３図は、回転円盤７に対するチルトセンサの配置例を
示す平面図である。ここで重要なことは、回転円盤７の
半径方向に沿ってスリット光が回転円盤に照射されるよ
うに、スリット５ａの長手方向と半径方向がほぼ一致し
ている点、反射光の長手方向と受光面６ａの延在方向と
が直交するように、受光面６ａの延在方向と接線方向が
ほぼ一致している点である。
示す平面図である。ここで重要なことは、回転円盤７の
半径方向に沿ってスリット光が回転円盤に照射されるよ
うに、スリット５ａの長手方向と半径方向がほぼ一致し
ている点、反射光の長手方向と受光面６ａの延在方向と
が直交するように、受光面６ａの延在方向と接線方向が
ほぼ一致している点である。
第４図は、非球面レンズ付きＬＥＤの指向特性を示すも
のである。スリット光源として、シリンドリカルレンズ
等の非球面レンズ１１を育するＬＥＤチップ１２に、ス
リットを組み合わせて使用することにより、レンズ光学
系が不要になる。通常のＬＥＤでは、パッケージから光
が出射される段階で散乱が生じ、被測定物に当たる光は
点光源にならず、設計が困難であった。しかし、非球面
レンズ付きＬＥＤを使用すれば点光源が容易に実現でき
、スポットサイズの予測が可能になり設計が容易になる
。この場合、ＬＥＤ１２の大きさを１、ＬＥＤ１２と非
球面レンズ１１までの距離をり、 Ｊ、非球面レンズ１
１から非測定物までの距離りとすれば、ＬＥＤ１２のス
ポットサイズは、（Ｌ／Ｌ’ ）Ωで与えられる。
のである。スリット光源として、シリンドリカルレンズ
等の非球面レンズ１１を育するＬＥＤチップ１２に、ス
リットを組み合わせて使用することにより、レンズ光学
系が不要になる。通常のＬＥＤでは、パッケージから光
が出射される段階で散乱が生じ、被測定物に当たる光は
点光源にならず、設計が困難であった。しかし、非球面
レンズ付きＬＥＤを使用すれば点光源が容易に実現でき
、スポットサイズの予測が可能になり設計が容易になる
。この場合、ＬＥＤ１２の大きさを１、ＬＥＤ１２と非
球面レンズ１１までの距離をり、 Ｊ、非球面レンズ１
１から非測定物までの距離りとすれば、ＬＥＤ１２のス
ポットサイズは、（Ｌ／Ｌ’ ）Ωで与えられる。
なお、この発明は上記実施例に限定されるものではない
。例えば、この実施例ではチルト角を検出することがで
きるが、原理的にはスリット光の移動距離を検出してい
るので、面プレ量の検出をすることができる。その為、
距離センサとして使用することもできる。
。例えば、この実施例ではチルト角を検出することがで
きるが、原理的にはスリット光の移動距離を検出してい
るので、面プレ量の検出をすることができる。その為、
距離センサとして使用することもできる。
また、位置検出素子としてＰＳＤを使用しているが、二
分割ホトダイオード等を使用することができる。
分割ホトダイオード等を使用することができる。
この発明は、以上説明したように構成されているので、
光学系の調節を必要としないチルトセンサを提供するこ
とができる。
光学系の調節を必要としないチルトセンサを提供するこ
とができる。
また、このチルトセンサは回転円盤の反射率による影響
を除去することができる。
を除去することができる。
第１図は本発明の一実施例に係るチルトセンサを示す斜
視図、第２図は本発明の基本原理を示す側面図、第３図
は回転円盤に対するチルトセンサの配置例を示す平面図
、第４図は非球面レンズ付きＬＥＤの指向特性を示す説
明図、第５図は従来技術に係るチルトセンサを示す説明
図、第６図は指向性のバラツキの原因を説明する為の説
明図、第７図はＬＥＤの指向特性を模式的に示す説明図
である。 １．７・・・回転円盤、２・・・ＬＥＤ、３・・・ホト
ダイオード、４・・・レンズ、５・・・スリット光源、
６・・・位置検出素子、８・・・ＬＥＤ用ドライバ、９
・・・ドライバ用トランジスタ、１０・・・電流設定用
抵抗、１１・・・非球面レンズ、１２・・・ＬＥＤチッ
プ。 特許出願人 浜松ホトニクス株式会社代理人弁理士
長谷用 芳 樹間 山
１） 折本発明の基本原理 第２図 チルトセンサ 第】図 チルトセンサの配置例 第３図 非球面レンズ付７７ＬＥＤの指向特性 第４図 従 来 技 術 第５ 図 指向性のバラツキの原因 第６図 第７ 図
視図、第２図は本発明の基本原理を示す側面図、第３図
は回転円盤に対するチルトセンサの配置例を示す平面図
、第４図は非球面レンズ付きＬＥＤの指向特性を示す説
明図、第５図は従来技術に係るチルトセンサを示す説明
図、第６図は指向性のバラツキの原因を説明する為の説
明図、第７図はＬＥＤの指向特性を模式的に示す説明図
である。 １．７・・・回転円盤、２・・・ＬＥＤ、３・・・ホト
ダイオード、４・・・レンズ、５・・・スリット光源、
６・・・位置検出素子、８・・・ＬＥＤ用ドライバ、９
・・・ドライバ用トランジスタ、１０・・・電流設定用
抵抗、１１・・・非球面レンズ、１２・・・ＬＥＤチッ
プ。 特許出願人 浜松ホトニクス株式会社代理人弁理士
長谷用 芳 樹間 山
１） 折本発明の基本原理 第２図 チルトセンサ 第】図 チルトセンサの配置例 第３図 非球面レンズ付７７ＬＥＤの指向特性 第４図 従 来 技 術 第５ 図 指向性のバラツキの原因 第６図 第７ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 正反射率が高い回転円盤のチルト角を検出するチルトセ
ンサにおいて、 前記回転円盤の半径方向に沿って、スリット光を当該回
転円盤に照射するスリット光源と、前記スリット光の反
射光を受光する為に前記回転円盤の接線方向に延在した
受光面を有する位置検出素子と、 前記受光面における前記反射光の位置に基づき、前記回
転円盤のチルト角を検出する演算手段とを備えて構成さ
れているチルトセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3185189A JPH0625660B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | チルトセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3185189A JPH0625660B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | チルトセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02210209A true JPH02210209A (ja) | 1990-08-21 |
| JPH0625660B2 JPH0625660B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=12342554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3185189A Expired - Fee Related JPH0625660B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | チルトセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0625660B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04131712U (ja) * | 1991-02-08 | 1992-12-04 | シヤープ株式会社 | 傾き角検出センサ |
| DE19939837A1 (de) * | 1999-08-21 | 2001-03-29 | Eht Werkzeugmaschinen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen eines Biegewinkels an einem Werkstück |
| DE10009074B4 (de) * | 2000-02-25 | 2006-03-23 | Eht Werkzeugmaschinen Gmbh | Verfahren zum Frei- oder Schwenkbiegen eines Werkstückes sowie Vorrichtung zur Ermittlung der Lage eines Werkstückschenkels beim Biegen |
| CN112399954A (zh) * | 2018-04-27 | 2021-02-23 | 株式会社大福 | 输送分类装置 |
-
1989
- 1989-02-10 JP JP3185189A patent/JPH0625660B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04131712U (ja) * | 1991-02-08 | 1992-12-04 | シヤープ株式会社 | 傾き角検出センサ |
| DE19939837A1 (de) * | 1999-08-21 | 2001-03-29 | Eht Werkzeugmaschinen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen eines Biegewinkels an einem Werkstück |
| DE10009074B4 (de) * | 2000-02-25 | 2006-03-23 | Eht Werkzeugmaschinen Gmbh | Verfahren zum Frei- oder Schwenkbiegen eines Werkstückes sowie Vorrichtung zur Ermittlung der Lage eines Werkstückschenkels beim Biegen |
| CN112399954A (zh) * | 2018-04-27 | 2021-02-23 | 株式会社大福 | 输送分类装置 |
| CN112399954B (zh) * | 2018-04-27 | 2022-07-01 | 株式会社大福 | 输送分类装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0625660B2 (ja) | 1994-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02236108A (ja) | 太陽センサ | |
| CN111721235B (zh) | 一种光电式边缘检测系统及其检测方法 | |
| JPS6312521B2 (ja) | ||
| JP2589278Y2 (ja) | シート形態の対象物を検出する装置 | |
| US5523844A (en) | Displacement detection apparatus | |
| JPH02210209A (ja) | チルトセンサ | |
| US4888491A (en) | Device for measuring angular deviation of flat plate | |
| JPH02210210A (ja) | 面ブレセンサ | |
| JP3270800B2 (ja) | 測距センサ | |
| JPH02212710A (ja) | 傾斜センサ | |
| JPS5948324B2 (ja) | 光反射による傾角検出あらさ測定方法 | |
| JPH04128605A (ja) | オリエンテーションフラット検出装置 | |
| JP3061280B2 (ja) | 物体の孔位置検出方法 | |
| JPH0530084Y2 (ja) | ||
| JP2001111069A (ja) | レーザビームの受光部ユニット | |
| JPH07128033A (ja) | チルトセンサ | |
| JPH02187604A (ja) | 受光位置検出装置 | |
| JPS63206682A (ja) | 光電スイツチ | |
| JPH02117149A (ja) | ウエハ検出用反射型光センサ | |
| JPH01267848A (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JPH0690030B2 (ja) | 距離検出装置 | |
| JP2592055Y2 (ja) | 光電センサ | |
| JPH064250Y2 (ja) | 光電変位計 | |
| JPH0467605B2 (ja) | ||
| JPH05141960A (ja) | 光学式回転角度検出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |