JPH0740146A - 形状管電解加工方法 - Google Patents

形状管電解加工方法

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JPH0740146A
JPH0740146A JP6003870A JP387094A JPH0740146A JP H0740146 A JPH0740146 A JP H0740146A JP 6003870 A JP6003870 A JP 6003870A JP 387094 A JP387094 A JP 387094A JP H0740146 A JPH0740146 A JP H0740146A
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electrolytic solution
holes
conductive tube
work piece
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JP6003870A
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W Neil Peters
ニール ピータース ウィリス
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Corning Inc
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    • B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
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    • B23H9/16—Making holes using an electrolytic jet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 下面に格子状のスロットが形成されているワ
ークピースに電解加工によって穿孔する際に、孔がスロ
ットに連通する部分で径が細くなるのを防止する。 【構成】 導電性の管１０をワークピースＷに向かって
進めつつ、その導電性の管１０を通して電解液をワーク
ピースＷに注ぐとともにその電解液を介してその導電性
の管１０とワークピースＷの間に定電流を流す。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は形状管電解加工方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】電解加工は、機械加工困難な導電性部品
に孔を開けるのに広く用いられている。一般にこの方法
ではワークピースから材料を切り取るのに電気化学的な
力（機械的な力に対するものとして）を使用する。
【０００３】電解加工の極めて特殊な形として、導電性
の材料に細くて長い孔を開けるのに使用される形状管電
解加工方法（ｓｈａｐｅｄ−ｔｕｂｅ ｅｌｅｃｔｒｏ
ｌｙｔｉｃ ｍａｃｈｉｎｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ）が
ある。この形状管電解加工方法は非接触の電気化学穿孔
法であり、アスペクト比３００：１までの孔を開けるこ
とができる点が他の穿孔方法と全く違う点である。形状
管電解加工方法については「Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ Ｄａ
ｔａ Ｂｏｏｋ」（第２巻、ページ１１〜７５、１９８
０年第３版）、Ｅ．Ｊ．Ｗｅｌｌｅｒの「Ｎｏｎｔｒａ
ｄｉｔｉｏｎａｌ Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ Ｐｒｏｃｅｓ
ｓｅｓ」（ページ１０９〜１１３、１９８４年第２
版）、Ｇ．Ｆ．Ｂｅｎｅｄｉｃｔの「Ｎｏｎｔｒａｄｉ
ｔｉｏｎａｌＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｐｒｏｃｅ
ｓｓｅｓ」（ページ１８１〜１８７、１９８７年）に詳
細な記載がある。
【０００４】ジェットエンジン技術の進歩につれてスー
パーアロイやスーパーメタルを加工する必要が生じてき
た。これらの金属の特性やジェットエンジン部品の複雑
な形状の故にその加工は従来の加工方法では解決するこ
とのできない問題を提起することになった。このため、
形状管電解加工は航空機エンジンの製造において特に注
目されることになった。この加工方法はタービンブレー
ド、バケット、羽根、ストラットにタービンの稼働中に
冷却水を循環させるための孔を開けるのに特に有用であ
る。航空機エンジンの製造において形状管電解加工を使
用する例についてはＣｒａｗｆｏｒｄ等の米国特許第
３，３５２，７７０号、Ａｎｄｒｅｗｓの米国特許第
３，３５２，９５８号、第３，８０５，０１５号、第
４，０８８，５５７号、Ｊｏｓｌｉｎの米国特許第３，
７９３，１６９号記載されている。
【０００５】近年、例えば自動車用の触媒コンバータに
使用されるセラミックのハニーカム構造を製造するため
の精密押出ダイの製造にも形状管電解加工が使用される
ようになってきた。
【０００６】超硬質の材料から押出ダイを製造するのは
極めて精密な工程である。押出ダイには押出し材料を高
圧をかけて通過させる複数の開口が設けられる。押出ダ
イを製造する際に押出し開口を機械的なドリルで形成す
る方法もあるが、１７−４ＰＨステンレス、インコーネ
ル７１８（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｎｉｃｋｅｌ
Ｃｏ． Ｉｎｃ）の登録商標）等の超硬質の材料で押
出ダイを形成する場合には、開口を形成する際の穿孔速
度が極めて遅く、多大な時間と労力が必要となる。軟質
の材料でダイを形成すれば穿孔速度は速くなるが、その
分ダイの寿命が短くなる。
【０００７】このような点で、現在は押出ダイの押出し
開口は機械的なドリルを使用せずに、形状管電解加工に
よって形成されている。形状管電解加工の場合には、ダ
イを形成するためのワークピースは可動マニフォールド
に対して固定位置におかれる。そのマニフォールドは複
数の穿孔管を支持し、各穿孔管はワークピースに１本の
孔を開ける。この電気化学的加工法において穿孔管は陰
極として作用し、ワークピースは陽極として作用する。
酸性電解液をワークピースに多量にかけると穿孔管の付
近でワークピースの材料が選択的に持ち去られ、所望の
開口パターンとなる。Ｈａｙｅｓの米国特許第４，６８
７，５６３号、Ｐｅｔｅｒｓのヨーロッパ特許出願公開
第０２４５ ５４５にはこのような工程が開示されてい
る。
【０００８】同じ電解質流体を使用して超硬質材料の一
連のワークピースに孔を開ける際には次のような問題が
生ずる。導電性の材料がワークピースから離れて流体内
に蓄積すると流体の導電率が変化し、一定の電圧をかけ
たときにワークピースに流れる電流値が変化する。電流
値が変化すると孔の径が変化する。穴の径を一定にする
ためには、入力電圧を常に調整しなければならない。
【０００９】Ｊｏｓｌｉｎの米国特許第３，７９３，１
６９号には高速でほぼ一定の径の孔を穿設する方法が開
示されている。それによれば、孔が深くなるにしたがっ
て供給する電流を少しずつ減らすことによって孔の径を
一定にすることができる。ここでは実際の電流値や導電
率を見ずに孔の深さに対して電流の減少をプログラムし
ている。この方法では正確に孔の径を一定にすることは
出来ない。
【００１０】またワークピースの下面に格子状のスロッ
トが形成されている場合には（ドリル作業ではよくある
ことである）、次のような問題がある。孔はスロットの
交差部を通るように開けることが多いが、孔がスロット
に達すると径が細くなってしまうのである。これは孔が
スロットに抜けると電解液の背圧が下がってしまうため
である。すなわち、穿孔中の孔がスロットの交差部に達
すると、電解液がそのスロットと前に開けた孔を通って
戻ってしまい、穿孔中の孔の中の電解液が失われる。こ
れによって、電流路が狭くなり、流れる電流が減少し、
電流が減少すると材料を溶出させる速度が遅くなり、結
果として孔がスロットに出会う部分で孔がテーパするこ
とになる。孔とスロットが出会う部分で孔径が小さくな
るとそのワークピースから形成されるダイ内の材料の流
れが滞ることになり、望ましくない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のような
問題の無い形状管電解加工方法を提供しようとするもの
である。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の方法は、特に下
面にスロットが形成されているワークピースに穿孔する
のに有用な方法であり、導電性の管をワークピースに向
かって進めつつ、その導電性の管を通して電解液をワー
クピースに注ぐとともにその電解液を介してその導電性
の管とワークピースの間に定電流を流し、それによって
孔全体に亘って均一に該ワークピースから導電性材料を
溶出させて該ワークピースに穿孔することを特徴とする
ものである。
【００１３】
【作用】その導電性の管、電解液およびワークピースを
流れる電流は孔全体に亘って均一にワークピースから導
電性材料を溶出させる。
【００１４】
【実施例】図１は本発明の方法を実施するのに適した形
状管電解加工装置の一例の概略図である。本例の装置は
底部２とカバー４からなるワーク囲いを備えている。ワ
ークピースＷが載置される支持台６がワーク囲い内に配
されている。ワークピースＷの下面にはスロットＳが設
けられている。ワークピースＷには供給マニフォールド
９を通して管状電極１０に電解液を流すことによって複
数の孔Ｈが形成される。電極１０はホルダー８に支持さ
れており、そのホルダー８は、配線３８を介して定電流
電源３２に接続された陰極接点４０を備えている。配線
３８には電流計４２が接続されている。ワークピースＷ
には配線３４を介して定電流電源３２に接続された陽極
接点３６が設けられている。管状電極１０を通して流さ
れる電解液ＥによってワークピースＷから金属が持ち去
られ孔Ｈが形成される。この点について図２を参照して
より詳細に説明する。電解液Ｅは管状電極１０の内部の
通路を通って流れ、管状電極１０の先端１３において電
解液ＥはワークピースＷに接触し、孔Ｈを深くする。そ
の後、電解液Ｅは矢印で示すように管状電極１０の外を
通って上昇し、孔Ｈの外に流れ出る。このような電解液
Ｅの流れによって孔Ｈ内でワークピースＷから溶出た金
属は孔Ｈから運び出される。図１に示すように固定ガイ
ドプレート１６が設けられており、ワークピースＷの所
定の位置に孔Ｈが形成されるように管状電極１０を位置
決めする。
【００１５】図２に示すように、管状電極１０は金属管
１２と誘電材料のコーテイング１４とからなっている。
金属管１２の先端１３にはコーテイングが施されておら
ず、先端１３とワークピースＷの間に電解槽が形成され
るようになっている。管状電極１０の先端１３は斜めに
切られており、その角度∝は１１°であるのが望まし
い。金属管１２に誘電材料のコーテイング１４を施すこ
とによって、ワークピースＷから電解液Ｅ内に溶出した
金属イオンが管状電極１０に付着するのを防止すること
ができる。またこのコーテイングによって穿孔を金属管
１２の先端付近のみに制限することができる。金属管１
２の誘電材料のコーテイングが施されていない部分には
金属が付着する可能性があるが、定電流電源３２の極性
を定期的に逆転させることによって付着物を除去するこ
とができる。一般には管状電極１０を０．１から３０秒
間作動させた後、０．０５から３．０秒間、極性を逆転
させる。
【００１６】ワークピースＷの孔Ｈから出てきた電解液
Ｅは供給タンク２０に戻される。供給タンク２０には電
解液Ｅを加熱したり冷却したりして所望の温度に保つ熱
交換器２２が設けられている。ポンプ２４がタンク２０
に接続されており、フィルター２６、供給管２８、圧力
レギュレター３１、流量計３０を通ってマニフォールド
９に電解液Ｅを循環させるようになっている。
【００１７】穿孔に際しては、ワークピースＷに充分な
深さの孔Ｈが形成されるまで電解液Ｅを循環させる。孔
Ｈが深くなるにしたがって、マニフォールド９、電極ホ
ルダー８および管状電極１０で形成されるアセンブリが
定速送りサーボシステム（図示せず）によって矢印Ａの
方向に（図１）ワークピースＷに向かって送られ、管状
電極１０の先端１３がワークピースＷから金属を溶出さ
せるのに最適な位置に常に保たれる。上記アセンブリが
送られる速度は一般にはワークピースＷの材料が溶出す
る速度にほぼ等しくされる。図１に示す装置は定電流電
源３２、定速送りサーボシステムおよび電解液循環装置
を制御する公知の機構（図示せず）を備えている。
【００１８】本発明の形状管電解加工方法は、３０４ス
テンレス、３２１ステンレス、４１４ステンレス、イン
コーネル合金７１８、インコーネル合金６２５、インコ
ーネル合金Ｘ−７５０、インコーネル合金８２５等の様
々な導電性材料に穿孔するのに使用することができる。
長さ／直径比（アスペクト比）３００：１まで、直径
０．５から６．４ｍｍの範囲で６１０ｍｍまでの深さの
孔を開けることができる。楕円形等の形状の場合は、最
小幅が０．５ｍｍ以上で、長軸と短軸の比が３：１であ
る必要がある。
【００１９】電解液は通常硝酸、硫酸、塩酸、もしくは
これらの混合物を含む溶液である。一般には、電解液中
の酸の濃度は１６〜１８ｖｏｌ％である。また、電解液
Ｅは熱交換器２２によって１８〜３２°Ｃに保たれた状
態で、３４４〜５５１ＫＰＡの圧力で（ポンプ２４の吐
出圧を圧力レギュレター３１で調整）ワークピースＷに
注がれる。電解液Ｅ中の金属粒子含有量は最大４５〜２
５００ｍｇ／ｌである。一般に、電解液Ｅ中の金属と酸
の濃度が上がると導電率が増大する。酸の濃度が高くな
るとワークピースＷから金属を溶出させる速度も上がる
が、それだけ電極への化学的攻撃も促進される。また酸
の濃度が高くなると孔の径も大きくなる。電解液Ｅの温
度が高くなるのも、酸の濃度が高くなるのと同じ結果を
もたらす。
【００２０】定電流電源３２は直流電源であるのが望ま
しい。電圧１〜１５ｖ、順方向オン時間は０．１〜３０
秒、逆方向オン時間は０．０５〜３秒である。穿孔中の
電流は１６０〜１７０Ａの範囲である必要があり、望ま
しくは約１６６Ａである。一般には穿孔すべき孔の径が
大きいほど、電流を大きくする必要があるが、上記範囲
の上限になると、発生する熱が誘電材料のコーテイング
を破壊し、金属イオンの電極への付着を加速することに
なり望ましくない。
【００２１】図３は定電流電源３２の望ましい例を詳細
に示すものである。非安定化順方向電源（ｕｎｒｅｇｕ
ｌａｔｅｄ ｆｏｒｗａｒｄ ｐｏｗｅｒ ｓｕｐｐｌ
ｙ）１０４は供給される３相交流電圧を直流信号に変換
する。交流入力信号を直流信号に整流するこのタイプの
電源は公知であり、このタイプの電源はどのようなもの
でも本発明を実施するのに使用することができる。整流
された電力信号は、接点４０において電解加工装置に供
給される。接点３６においてワークピースＷに接続され
る電流トランスデユーサー１０６は、管状電極、電解液
およびワークピースからなる回路から出てくる直流を検
出し、直流の変化を検出すると比例出力信号を発生す
る。その出力信号は直流電源電流を磁束場を通しておい
て、その電流が変化したときに誘導される電圧からなる
ものである。トランスデユーサー１０６の作動原理は周
知のホール効果である。このようなトランスデユーサー
も公知であり、ほぼ環状の永久磁石１０７を備え、その
永久磁石１０７内を導線が通されている。ここで発生し
たフィードバック信号は電流の変化に比例しており、フ
ィードバックライン１０９を通してモニターボード１０
２に入力される。モニターボード１０２はトランスデユ
ーサー１０６の電流変化検出に応じて差信号を発生する
１個ないし数個の演算増幅器を備えているのが望まし
い。
【００２２】装置の定電流レベルを設定するためにオペ
レータはキーボード（図示せず）で所望のレベルをコン
ピュータ１０８に入力する。コンピュータ１０８は電流
の変化を示す信号に応答して補正信号を出力するように
プログラムすることができればどのようなものでも差し
支えない。コンピュータ１０８は所望の電流に比例した
基準信号を発生し、モニターボード１０２に入力する。
電流トランスデユーサー１０６からのフィードバック信
号およびコンピュータ１０８から出力される固定信号は
モニターボード１０２の単一の演算増幅器に入力され
る。その両信号の差によって演算増幅器がトリガーさ
れ、電圧レギュレター１１０に信号を出力する。その差
信号は電圧レギュレター１１０内のトランジスターを駆
動して供給電流を変化させる。電圧レギュレターボード
１１０はモニターボード１０２からの出力信号によって
選択的に駆動されて入力電圧、すなわち、電極、電解
液、ワークピースを流れる直流電流を調整する５個のエ
ミッターフォロワトランジスタを備えているのが望まし
い。
【００２３】すなわち、本発明においては、ワークピー
スＷのスロット部に孔が達したときの供給電流の急激な
変化による孔の径の変動が直流電流の制御によって抑え
られる。更に詳しくは、孔がスロットに出合ったとき電
解液のロスによる導電率の急激な変化に関わらず、供給
直流電流を一定のレベルに保つものである。電流の減少
が検出されると自動的に入力電圧が上方に修正されて電
流量を所望のレベルに戻す。
【００２４】管状電極１０は一般には電解作用に対する
耐性からチタニウムで形成される。誘電材料層１４は滑
らかで、厚みが一定で、金属管１２と同軸で、金属管１
２にしっかり結合している必要があり、またピンホール
や異物があってはならない。真っ直ぐであることは、形
成される孔の質を充分なものとするためには必要であ
る。誘電材料としては、ポリエチレン、ポリテトラフル
オロエチレン、セラミック、ゴム等が適当である。特に
望ましいのはＡＬＫＡＮＥＸ（トレードマーク）であ
る。
【００２５】上述のような工程によって、図１に示すワ
ークピースＷのような中実の（下面にスロットを有す
る）ワークピースに孔が開けられる。所望の長さの孔Ｈ
が形成されると、一定送り装置（ｃｏｎｓｔａｎｔ ｆ
ｅｅｄ ｓｅｒｖｏｓｙｓｔｅｍ）等（図示せず）によ
り、マニフォールド９、電極ホルダー８および管状電極
１０からなるアセンブリがワークピースＷから離され、
孔Ｈから抜かれる。一般には、孔ＨはワークピースＷを
貫通する。上記のような穿孔方法の結果として、孔Ｈの
表面荒さは０．８〜１．０ｍである。これは穿孔速度
（すなわち、管状電極１０を孔Ｈ内に進めてゆく速度）
が０．４〜５．０ｍｍ／ｍｉｎのときの値である。
【００２６】上述のように、ワークピースＷから溶出し
た材料が電解液中に蓄積するにしたがって電解液の導電
率が増大する。導電率のこの変化は一定の電圧に対して
管状電極１０、電解液ＥおよびワークピースＷを通って
流れる直流電流を減少させることになる。孔Ｈの径がワ
ークピースＷ毎に変化しないようにするためには電流を
一定に保つ必要があり、ワークピースが変わる度に供給
電圧が上げられる。例えば４個のワークピースを順に加
工する際には、供給する直流電圧を次のように変化させ
るのが望ましい。
【００２７】１番目のワークピース・・・・・・８．３
〜８．５ｖで穿孔 ２番目のワークピース・・・・・・８．６〜８．８ｖで
穿孔 ３番目のワークピース・・・・・・８．８〜９．０ｖで
穿孔 ４番目のワークピース・・・・・・９．０〜９．２ｖで
穿孔 管状電極１０、電解液ＥおよびワークピースＷからなる
系の見かけの導電率が低下するのにしたがって供給電圧
を増大させることによって、ワークピースが変わっても
同一の条件で穿孔を行うことができる。
【００２８】実験例 実験例１ ２個の６．３５ｍｍ ｘ ２９．０８３ｍｍ ｘ ２０
３．２ｍｍのＵＳＮ＃Ｓ４５０００ステンレスブロック
を重ねて固定し、ほぼ図１に示すような形状管電解加工
装置で穿孔した。穿孔は両ブロックの合わせ目部分にお
いて実施し、電圧は９ｖで一定とし、電極送り速度は
０．８８９ｍｍ／ｍｉｎ、電解液圧は４４８ＫＰＡとし
た。このようにして、３７列１４５本の孔を形成した。
穿孔後、両ブロックを分離して、形成された孔を撮影し
た。図４はその内の１枚を１５倍に拡大したものであ
る。この写真から分かるように、孔２０４とスロット２
０６の間のインターフェース２０２は孔２０４の他の部
分より径が小さくなっている。これは押出しの際に材料
の流れを悪くする可能性がある。
【００２９】実験例２ 実験例１の手順を繰り返し、穿設された全ての孔のイン
ターフェースを計測し、その結果を各列毎に平均したも
のを図６にプロットした。図６から分かるように孔のイ
ンターフェースのサイズには大きなバラツキがある。更
に、図６は最初に穿孔された孔（すなわち孔１、３７、
１９）はほぼ等しい面積を持っていることを示してい
る。しかしながらその直後に穿孔された孔は面積が小さ
くなっている。これはその前に穿孔された孔によって電
解液の流路の数が増えているからである。例えば、列２
０の孔を穿孔するのに使用された電解液は、その列の孔
がワークピースＷの下面のスロットに達するとスロット
を通って流れ列１９の孔を通って上昇しようとする。こ
れによって電流路が狭くなり、列２０のインターフェー
スにおいて径が小さくなる。
【００３０】実験例３ 実験例１の手順を繰り返し、穿設された全ての孔のイン
ターフェースを計測し、その結果を各列毎に平均したも
のを図７にプロットした。図７に示すように結果は実験
例２とほぼ同じであった。
【００３１】実験例４ 実験例１の手順を繰り返し、穿設された全ての孔のイン
ターフェースを計測し、その結果を各列毎に平均したも
のを図８にプロットした。図８に示すように結果は実験
例１、２とほぼ同じであった。
【００３２】実験例５ 定電圧でなくて定電流（１６６Ａ）に変えて実験例１と
同じ実験をした。図５は形成された孔の１５倍に拡大し
た写真である。
【００３３】図５に示すように定電流で穿孔した本例の
場合にはインターフェース２０２は孔２０４に比べて小
さくなかった。
【００３４】実験例６ 実験例５の手順を繰り返し、穿設された全ての孔のイン
ターフェースを計測し、その結果を各列毎に平均したも
のを図９にプロットした。図９から分かるように穿孔さ
れた３７列の孔のインターフェースの平均サイズはほぼ
同じであり、定電流穿孔の場合には連続して穿孔を行っ
ても問題が生じなかった。
【００３５】実験例７ 実験例５の手順を繰り返し、穿設された全ての孔のイン
ターフェースを計測し、その結果を各列毎に平均したも
のを図１０にプロットした。図１０に示すように結果は
実験例６とほぼ同じであった。
【００３６】実験例８ 実験例５の手順を繰り返し、穿設された全ての孔のイン
ターフェースを計測し、その結果を各列毎に平均したも
のを図１１にプロットした。図１１に示すように結果は
実験例６、７とほぼ同じであった。
【図面の簡単な説明】
【図１】形状管電解加工装置の概略図
【図２】図１の円２−２内の部分の拡大図
【図３】本発明を実施するのに使用する定電流電源装置
の望ましい例の概略回路図
【図４】電圧を一定にして穿孔した孔の１５ｘ拡大写真
の図
【図５】本発明に従って電流を一定にして穿孔した孔の
１５ｘ拡大写真の図
【図６〜図８】電圧を一定にして穿孔した孔のスロット
と出合う部分の径を列ごとに平均したものをプロットし
た図
【図９〜図１１】本発明に従って電流を一定にして穿孔
した孔のスロットと出合う部分の径を列ごとに平均した
ものをプロットした図
【符号の説明】
１０ 管状電極 １２ 金属管 １４ 誘電材料のコーテイング ２０ タンク ２２ 熱交換器 ２４ ポンプ ３２ 定電流電源 Ｅ 電解液 Ｈ 孔 Ｗ ワークピース

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 導電性のワークピースに均一な径の孔を
    穿孔するための形状管電解加工方法において、 導電性の管をワークピースに向かって進めつつ、その導
    電性の管を通して電解液を該ワークピースに注ぐととも
    にその電解液を介してその導電性の管と該ワークピース
    の間に定電流を流すことによって孔全体に亘って均一に
    該ワークピースから導電性材料を溶出させて該ワークピ
    ースに穿孔することを特徴とする方法。
  2. 【請求項２】 穿孔速度が０．４から５．０ｍｍ／分で
    あることを特徴とする請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 穿孔された孔の表面荒さが０．８から
    １．０ｍであることを特徴とする請求項１記載の方法。
  4. 【請求項４】 前記電解液が硝酸、硫酸、塩酸、および
    これらの混合物からなる群から選択された酸を含むこと
    を特徴とする請求項１記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記電解液中の酸の濃度が１６〜１８ｖ
    ｏｌ％であることを特徴とする請求項４記載の方法。
  6. 【請求項６】 前記電解液が穿孔中１８〜３２°Ｃに保
    たれることを特徴とする請求項５記載の方法。
  7. 【請求項７】 電流の方向を定期的に逆にして、溶出し
    た導電性材料が前記導電性の管に蓄積するのを防止する
    ことを特徴とする請求項１記載の方法。
  8. 【請求項８】 前記導電性の管が金属で形成されている
    ことを特徴とする請求項１記載の方法。
  9. 【請求項９】 前記金属管の外表面が、前記電解液がワ
    ークピースに向かって放出される先端を残して誘電材料
    でコーテイングされていることを特徴とする請求項８記
    載の方法。
  10. 【請求項１０】 前記孔の長さと直径の比が３００：１
    までであることを特徴とする請求項１記載の方法。
  11. 【請求項１１】 前記電解液が穿孔中にワークピースに
    接触した後回収されることを特徴とする請求項１記載の
    方法。
  12. 【請求項１２】 回収された前記電解液が前記導電性の
    管に戻されて再度穿孔に使用されることを特徴とする請
    求項１１記載の方法。
  13. 【請求項１３】 前記電解液を前記導電性の管に戻す際
    に濾過することを特徴とする請求項１２記載の方法。
  14. 【請求項１４】 複数の孔を一度に穿孔することを特徴
    とする請求項１記載の方法。
  15. 【請求項１５】 製造されたワークピースが、セラミッ
    クのハニーカム構造を押し出すのに適した孔を有する押
    出しダイであることを特徴とする請求項１記載の方法。
  16. 【請求項１６】 前記定電流が１６０から１７０アンペ
    アであることを特徴とする請求項１記載の方法。
  17. 【請求項１７】 同じ電解液を使用して複数のワークピ
    ースに穿孔することを特徴とする請求項１記載の方法。
  18. 【請求項１８】 前記ワークピースが、穿孔が開始され
    る面と反対側の面であってその面に向かって前記導電性
    の管が進められる面にスロットを有することを特徴とす
    る請求項１記載の方法。
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