JPH0740175Y2 - 流量制御装置 - Google Patents
流量制御装置Info
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- JPH0740175Y2 JPH0740175Y2 JP1989025777U JP2577789U JPH0740175Y2 JP H0740175 Y2 JPH0740175 Y2 JP H0740175Y2 JP 1989025777 U JP1989025777 U JP 1989025777U JP 2577789 U JP2577789 U JP 2577789U JP H0740175 Y2 JPH0740175 Y2 JP H0740175Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 A.考案の目的 （１）産業上の利用分野 本考案は、気体または液体等の流体を所定の流量で供給
する際に使用される流量制御装置に関する。
する際に使用される流量制御装置に関する。
本考案の流量制御装置は、ガスまたは液体クロマトグラ
フ等の分析機器、プロセス制御またはPVD等の真空装置
等において使用される。
フ等の分析機器、プロセス制御またはPVD等の真空装置
等において使用される。
（２）従来の技術 この種の技術は、特開昭57−88320号公報または特開昭5
8−95217号公報等に記載されている。次に、これらの公
報に記載された従来技術の概略を第５図により説明す
る。
8−95217号公報等に記載されている。次に、これらの公
報に記載された従来技術の概略を第５図により説明す
る。
第５図において、流体導入路01から流入した流体は抵抗
素子が配置されたバイパス02とセンサ部03の毛細管04と
に一定の割合で分流する。センサ部03は、毛細管04、そ
の外側に巻かれた自己加熱型抵抗体05a,05bおよびこれ
らの自己加熱型抵抗体05a,05bとともにブリッジ回路06
を構成する図示しない抵抗体とから構成されている。自
己加熱型抵抗体05a,05bは毛細管04を流れる流体の流量
に比例して冷却されるが、上流側の自己加熱型抵抗体05
aを流れる流体の方が下流側の自己加熱型抵抗体05bより
も多く冷却される。このとき変化する自己加熱型抵抗体
05a,05bの抵抗値によってブリッジ回路06は不平行電圧
（流量検出信号）Ｖを発生する。この流量検出信号Ｖは
流量設定信号V0と比較されてそれらの差信号が出力さ
れ、この差信号が駆動アンプ07で増幅されてコントロー
ルバルブ08を開閉制御するのに使用されている。
素子が配置されたバイパス02とセンサ部03の毛細管04と
に一定の割合で分流する。センサ部03は、毛細管04、そ
の外側に巻かれた自己加熱型抵抗体05a,05bおよびこれ
らの自己加熱型抵抗体05a,05bとともにブリッジ回路06
を構成する図示しない抵抗体とから構成されている。自
己加熱型抵抗体05a,05bは毛細管04を流れる流体の流量
に比例して冷却されるが、上流側の自己加熱型抵抗体05
aを流れる流体の方が下流側の自己加熱型抵抗体05bより
も多く冷却される。このとき変化する自己加熱型抵抗体
05a,05bの抵抗値によってブリッジ回路06は不平行電圧
（流量検出信号）Ｖを発生する。この流量検出信号Ｖは
流量設定信号V0と比較されてそれらの差信号が出力さ
れ、この差信号が駆動アンプ07で増幅されてコントロー
ルバルブ08を開閉制御するのに使用されている。
（３）考案が解決しようとする課題 前述の従来の流量制御装置では、流体をバイパス02とセ
ンサ部03とに分流しなければならないので、流路構成が
複雑になり、小型化の障害になっていた。さらに、流体
をバイパス02とセンサ部03とに一定の割合で分流させな
ければ測定精度が低下するが、一定の割合で分流させる
のが容易でないという問題点もあった。
ンサ部03とに分流しなければならないので、流路構成が
複雑になり、小型化の障害になっていた。さらに、流体
をバイパス02とセンサ部03とに一定の割合で分流させな
ければ測定精度が低下するが、一定の割合で分流させる
のが容易でないという問題点もあった。
さらにまた、前記従来の流量制御装置は一定流量で流体
供給を行う際に使用できるだけで、一定圧力で流体供給
を行いたい場合には適応することができないという問題
点もあった。
供給を行う際に使用できるだけで、一定圧力で流体供給
を行いたい場合には適応することができないという問題
点もあった。
本考案は前述の問題点に鑑み、流路構成が簡素で小型化
の容易な流量制御装置を提供することを主な課題とす
る。また、流路構成が簡素でしかも圧力制御にも容易に
適応できる流量制御装置を提供することを他の主な課題
とする。
の容易な流量制御装置を提供することを主な課題とす
る。また、流路構成が簡素でしかも圧力制御にも容易に
適応できる流量制御装置を提供することを他の主な課題
とする。
B.考案の構成 （１）課題を解決するための手段 前記課題を解決するために、本出願の第１考案の流量制
御装置は、流体導入路（16）が形成された流体導入ブロ
ック（B3）と、前記流体導入路（16）に抵抗素子（14
a）を介して接続される減圧流体流路（11）が形成され
た減圧流体流通ブロック（B2）と、前記減圧流体流通ブ
ロック（B2）および前記流体導入ブロック（B3）間に配
置されて減圧流体流路（11）内の流体圧と流体導入路
（16）内の流体圧との圧力差を検出する差圧センサ（1
5）と、前記減圧流体流路（11）に調節弁（Ｆ）を介し
て接続される被調節流体流路（１）が形成された被調節
流体流通ブロック（B1）とを備えたことを特徴とする。
御装置は、流体導入路（16）が形成された流体導入ブロ
ック（B3）と、前記流体導入路（16）に抵抗素子（14
a）を介して接続される減圧流体流路（11）が形成され
た減圧流体流通ブロック（B2）と、前記減圧流体流通ブ
ロック（B2）および前記流体導入ブロック（B3）間に配
置されて減圧流体流路（11）内の流体圧と流体導入路
（16）内の流体圧との圧力差を検出する差圧センサ（1
5）と、前記減圧流体流路（11）に調節弁（Ｆ）を介し
て接続される被調節流体流路（１）が形成された被調節
流体流通ブロック（B1）とを備えたことを特徴とする。
また、本出願の第２考案の流量制御装置は、流体導入路
（16）が形成された流体導入ブロック（B3）と、前記流
体導入路（16）に抵抗素子（14a）を介して接続される
減圧流体流路（11）が形成された減圧流体流通ブロック
（B2）と、前記減圧流体流通ブロック（B2）および前記
流体導入ブロック（B3）間に配置されて減圧流体流路
（11）内の流体圧と流体導入路（16）内の流体圧との圧
力差を検出する差圧センサ（15）と、前記減圧流体流路
（11）に調節弁（Ｆ）を介して接続した被調節流体流路
（１）と、この被調節流体流路（１）内の流体圧を検出
する圧力センサ（４）と、前記差圧センサ（15）の検出
値が所定値となるように前記調節弁（Ｆ）を制御する流
量制御系と、前記圧力センサ（４）の検出値が所定値と
なるように前記調節弁（Ｆ）を制御する圧力制御系と、
これらの両制御系を選択的に作動させる制御系作動選択
手段（SW）とを備えたことを特徴とする。
（16）が形成された流体導入ブロック（B3）と、前記流
体導入路（16）に抵抗素子（14a）を介して接続される
減圧流体流路（11）が形成された減圧流体流通ブロック
（B2）と、前記減圧流体流通ブロック（B2）および前記
流体導入ブロック（B3）間に配置されて減圧流体流路
（11）内の流体圧と流体導入路（16）内の流体圧との圧
力差を検出する差圧センサ（15）と、前記減圧流体流路
（11）に調節弁（Ｆ）を介して接続した被調節流体流路
（１）と、この被調節流体流路（１）内の流体圧を検出
する圧力センサ（４）と、前記差圧センサ（15）の検出
値が所定値となるように前記調節弁（Ｆ）を制御する流
量制御系と、前記圧力センサ（４）の検出値が所定値と
なるように前記調節弁（Ｆ）を制御する圧力制御系と、
これらの両制御系を選択的に作動させる制御系作動選択
手段（SW）とを備えたことを特徴とする。
（２）作用 前述の構成を備えた本出願の第１考案の流量制御装置
は、流体導入路（16）と減圧流体流路（11）とが抵抗素
子（14a）を介して接続されるように前記流体導入ブロ
ック（B3）と減圧流体流通ブロック（B2）とを結合し、
また、減圧流体流路（11）と被調節流体流路（１）とが
調節弁（Ｆ）を介して接続されるように、減圧流体流通
ブロック（B2）と被調節流体流通ブロック（B1）とを結
合して構成される。
は、流体導入路（16）と減圧流体流路（11）とが抵抗素
子（14a）を介して接続されるように前記流体導入ブロ
ック（B3）と減圧流体流通ブロック（B2）とを結合し、
また、減圧流体流路（11）と被調節流体流路（１）とが
調節弁（Ｆ）を介して接続されるように、減圧流体流通
ブロック（B2）と被調節流体流通ブロック（B1）とを結
合して構成される。
また、抵抗素子（14a）および調節弁（Ｆ）が各ブロッ
クとブロックとの間に配置される構成となっているの
で、各ブロック内部にそれらの収容部を形成する必要が
ない。したがって、各ブロック内部に形成する流路は構
成が簡素となる。したがって、各ブロックを小型に構成
することができるので、流量制御装置全体の小型化も容
易となっている。
クとブロックとの間に配置される構成となっているの
で、各ブロック内部にそれらの収容部を形成する必要が
ない。したがって、各ブロック内部に形成する流路は構
成が簡素となる。したがって、各ブロックを小型に構成
することができるので、流量制御装置全体の小型化も容
易となっている。
さらに、前記抵抗素子（14a）の上流側に接続される流
体導入路（16）を有する流体導入ブロック（B3）および
下流側に接続される減圧流体流路（11）を有する減圧流
体流通ブロック（B2）は、互いに接近して配置される。
したがって前記接近した流体導入ブロック（B3）および
減圧流体流通ブロック（B2）間に配置される前記差圧セ
ンサ（15）は、接近した前記流体導入ブロック（B3）お
よび減圧流体流通ブロック（B2）間に容易かつコンパク
トに配置することができる。
体導入路（16）を有する流体導入ブロック（B3）および
下流側に接続される減圧流体流路（11）を有する減圧流
体流通ブロック（B2）は、互いに接近して配置される。
したがって前記接近した流体導入ブロック（B3）および
減圧流体流通ブロック（B2）間に配置される前記差圧セ
ンサ（15）は、接近した前記流体導入ブロック（B3）お
よび減圧流体流通ブロック（B2）間に容易かつコンパク
トに配置することができる。
また、前記差圧センサ（15）により流量を容易に検出す
ることができるので、流量検出用の分岐流路を設ける必
要がない。したがって、流路構成が簡素となっている。
ることができるので、流量検出用の分岐流路を設ける必
要がない。したがって、流路構成が簡素となっている。
また、本出願の第２考案の流量制御装置は、前記第１考
案の奏する作用効果と略同様の作用効果を奏するほか、
前記差圧センサ（15）の検出値が所定値となるように前
記調節弁（Ｆ）を制御する流量制御系と、前記圧力セン
サ（４）の検出値が所定値となるように前記調節弁
（Ｆ）を制御する圧力制御系と、これらの両制御系を選
択的に作動させる制御系作動選択手段（SW）とを備えて
いるので、一定流量での流体供給と一定圧力での流体供
給を選択的に行うことができる。
案の奏する作用効果と略同様の作用効果を奏するほか、
前記差圧センサ（15）の検出値が所定値となるように前
記調節弁（Ｆ）を制御する流量制御系と、前記圧力セン
サ（４）の検出値が所定値となるように前記調節弁
（Ｆ）を制御する圧力制御系と、これらの両制御系を選
択的に作動させる制御系作動選択手段（SW）とを備えて
いるので、一定流量での流体供給と一定圧力での流体供
給を選択的に行うことができる。
（３）実施例 以下、図面により本考案の流量制御装置の一実施例を説
明する。
明する。
第1,2図において、被調節流体流通ブロックB1には、そ
の上面に被調節流体流路１が形成されている。この被調
節流体流路１は第１図において左右に延びており、その
横断面形状は第２図に示すように長方形である。この被
調節流体流路１の第１図において中央部のやや左側の位
置には下方に延びるバネ収容穴２が形成されている。こ
のバネ収容穴２にはリターンバネ３が収容されている。
また、前記被調節流体流路１の第１図において右端側に
は圧力センサ４が配設されている。
の上面に被調節流体流路１が形成されている。この被調
節流体流路１は第１図において左右に延びており、その
横断面形状は第２図に示すように長方形である。この被
調節流体流路１の第１図において中央部のやや左側の位
置には下方に延びるバネ収容穴２が形成されている。こ
のバネ収容穴２にはリターンバネ３が収容されている。
また、前記被調節流体流路１の第１図において右端側に
は圧力センサ４が配設されている。
前記被調節流体流通ブロックB1の上面には、減圧流体流
通ブロックB2が適当なボルト等の締結部材（図示せず）
によって結合されている。
通ブロックB2が適当なボルト等の締結部材（図示せず）
によって結合されている。
この減圧流体流通ブロックB2の下面には前記被調節流体
流路１内に配置されるフラッパ５の一方の端部（第１図
中、左端部）が支持されている。このフラッパ５の下面
は前記リターンバネ３によって持ち上げられている。前
記減圧流体流通ブロックB2には、その上面に設けられた
被調節流体排出用接続管６と前記被調節流体流路１とを
接続する排出用被調節流体流路７が形成されている。ま
た、減圧流体流通ブロックB2には、前記被調節流体流路
１に連通するノズル装着部８と、外側面に開口する抵抗
素子接続部９（第２図参照）および差圧センサ接続部10
とを互いに連通させる減圧流体流路11が形成されてい
る。また、減圧流体流通ブロックB2には、アクチュエー
タ装着部12（第１図参照）が形成されている。
流路１内に配置されるフラッパ５の一方の端部（第１図
中、左端部）が支持されている。このフラッパ５の下面
は前記リターンバネ３によって持ち上げられている。前
記減圧流体流通ブロックB2には、その上面に設けられた
被調節流体排出用接続管６と前記被調節流体流路１とを
接続する排出用被調節流体流路７が形成されている。ま
た、減圧流体流通ブロックB2には、前記被調節流体流路
１に連通するノズル装着部８と、外側面に開口する抵抗
素子接続部９（第２図参照）および差圧センサ接続部10
とを互いに連通させる減圧流体流路11が形成されてい
る。また、減圧流体流通ブロックB2には、アクチュエー
タ装着部12（第１図参照）が形成されている。
前記ノズル装着部８にはノズル13が装着されており、こ
のノズル13の先端は前記フラッパ５の上面に接近して配
置されている。そして、このノズル13の先端とフラッパ
５の上面との間隔を調節することにより、減圧流体流路
11から被調節流体流路１への流量の制御が行えるように
なっている。すなわち、この実施例では前記ノズル13と
フラッパ５とから流量を調節する調節弁Ｆが構成されて
いる。また、前記抵抗素子接続部９には抵抗素子として
の層流素子14aを内蔵した層流素子内蔵ブロック14が接
続され、前記差圧センサ接続部10には差圧センサ15が接
続されている。
のノズル13の先端は前記フラッパ５の上面に接近して配
置されている。そして、このノズル13の先端とフラッパ
５の上面との間隔を調節することにより、減圧流体流路
11から被調節流体流路１への流量の制御が行えるように
なっている。すなわち、この実施例では前記ノズル13と
フラッパ５とから流量を調節する調節弁Ｆが構成されて
いる。また、前記抵抗素子接続部９には抵抗素子として
の層流素子14aを内蔵した層流素子内蔵ブロック14が接
続され、前記差圧センサ接続部10には差圧センサ15が接
続されている。
前記減圧流体流通ブロックB2に図示しないネジ部材によ
って結合された流体導入ブロックB3には、流体導入路16
が形成されており、この流体導入路16は、流体導入ブロ
ックB3の外側面に設けられた流体導入用接続管17、抵抗
素子接続部18および差圧センサ接続部19に連通してい
る。
って結合された流体導入ブロックB3には、流体導入路16
が形成されており、この流体導入路16は、流体導入ブロ
ックB3の外側面に設けられた流体導入用接続管17、抵抗
素子接続部18および差圧センサ接続部19に連通してい
る。
前記流体導入ブロックB3の抵抗素子接続部18と減圧流体
流通ブロックB2の抵抗素子接続部９とは互いに対向して
配置され、それらの間は前記層流素子内蔵ブロック14に
より接続されている。また、前記導入ブロックB3の差圧
センサ接続部19と減圧流体流通ブロックB2の差圧センサ
接続部10とは互いに対向して配置され、それらの間に前
記差圧センサ15が配設されている。そしてこの差圧セン
サ15はその両端すなわち前記両差圧センサ接続部19,10
間の差圧を検出している。
流通ブロックB2の抵抗素子接続部９とは互いに対向して
配置され、それらの間は前記層流素子内蔵ブロック14に
より接続されている。また、前記導入ブロックB3の差圧
センサ接続部19と減圧流体流通ブロックB2の差圧センサ
接続部10とは互いに対向して配置され、それらの間に前
記差圧センサ15が配設されている。そしてこの差圧セン
サ15はその両端すなわち前記両差圧センサ接続部19,10
間の差圧を検出している。
また、前記アクチュエータ装着部12には、アクチュエー
タ内蔵ケーシング20が装着され、このアクチュエータ内
蔵ケーシング20には下端を前記被調節流体流路１に開口
させたアクチュエータ収容部20aが形成されている。こ
のアクチュエータ収容部20aの頂壁には上下方向に伸縮
制御される圧電素子により構成されたアクチュエータ21
が固定されており、このアクチュエータ21の下端は前記
アクチュエータ収容部20aの下端を覆うベローズ22に接
触している。そしてこのベローズ22は、アクチュエータ
収容部20aと被調節流体流路１とを分離しており、また
前記フラッパ５の上面に接触している。したがって前記
アクチュエータ21を伸縮制御することにより前記調節弁
Ｆの開度を調節できるように構成されている。
タ内蔵ケーシング20が装着され、このアクチュエータ内
蔵ケーシング20には下端を前記被調節流体流路１に開口
させたアクチュエータ収容部20aが形成されている。こ
のアクチュエータ収容部20aの頂壁には上下方向に伸縮
制御される圧電素子により構成されたアクチュエータ21
が固定されており、このアクチュエータ21の下端は前記
アクチュエータ収容部20aの下端を覆うベローズ22に接
触している。そしてこのベローズ22は、アクチュエータ
収容部20aと被調節流体流路１とを分離しており、また
前記フラッパ５の上面に接触している。したがって前記
アクチュエータ21を伸縮制御することにより前記調節弁
Ｆの開度を調節できるように構成されている。
第３図は、前記第1,2図に示した流量制御装置の制御系
の説明図である。
の説明図である。
第３図において、比較器C1は、前記差圧センサ15の検出
信号ΔＰと流量設定値ΔＰ０との差信号を出力し、比較
器C2は、前記圧力センサ４の検出信号Ｐと圧力設定値P0
との差信号を出力している。制御系作動選択手段として
の切換スイッチSWは前記各比較器C1，C2の出力のいずれ
か一方を選択して駆動アンプＡに出力し、駆動アンプＡ
の出力信号は前記アクチュエータ21を作動させるように
構成されている。
信号ΔＰと流量設定値ΔＰ０との差信号を出力し、比較
器C2は、前記圧力センサ４の検出信号Ｐと圧力設定値P0
との差信号を出力している。制御系作動選択手段として
の切換スイッチSWは前記各比較器C1，C2の出力のいずれ
か一方を選択して駆動アンプＡに出力し、駆動アンプＡ
の出力信号は前記アクチュエータ21を作動させるように
構成されている。
次に、第１〜３図を参照して前述の実施例の作用を説明
する。
する。
前述の実施例では、層流素子14aを内蔵した層流素子内
蔵ブロック14および差圧センサ15は、流体導入ブロック
B3と減圧流体流通ブロックB2との接続部に配置され、調
節弁Ｆは減圧流体流通ブロックB2と被調節流体流通ブロ
ックB1との接続部に配置される構成となっているので、
各ブロック内部にそれらの収容部を形成する必要がな
い。したがって、各ブロック内部に形成する流路の構成
は簡素になっている。
蔵ブロック14および差圧センサ15は、流体導入ブロック
B3と減圧流体流通ブロックB2との接続部に配置され、調
節弁Ｆは減圧流体流通ブロックB2と被調節流体流通ブロ
ックB1との接続部に配置される構成となっているので、
各ブロック内部にそれらの収容部を形成する必要がな
い。したがって、各ブロック内部に形成する流路の構成
は簡素になっている。
そして、前記流体導入用接続管17から流体導入路16に導
入された流体（たとえば、ガスクロマトグラフで使用さ
れるキャリアガス）は順次前記層流素子14a、前記減圧
流体流路11、調節弁Ｆ、被調節流体流路１および排出用
被調節流体流路７を通って被調節流体排出用接続管６か
ら排出される。そして、前記流体導入路16内のキャリア
ガスの圧力と前記減圧流体流路11内のキャリアガスの圧
力との差は差圧センサ15によって検出される。検出され
た差圧ΔＰは比較器C1で流量設定値ΔＰ０と比較され
て、それらの差信号が切換スイッチSWに出力される。と
ころで、流体が層流状態にあるときには、層流素子14a
固有の抵抗値をＲとすれば、層流素子14a前後の差圧Δ
Ｐと流量Ｑとの間にはΔＰ＝RQなる関係があるので、差
圧センサ15の検出値ΔＰを制御することにより流量制御
を行うことができる。
入された流体（たとえば、ガスクロマトグラフで使用さ
れるキャリアガス）は順次前記層流素子14a、前記減圧
流体流路11、調節弁Ｆ、被調節流体流路１および排出用
被調節流体流路７を通って被調節流体排出用接続管６か
ら排出される。そして、前記流体導入路16内のキャリア
ガスの圧力と前記減圧流体流路11内のキャリアガスの圧
力との差は差圧センサ15によって検出される。検出され
た差圧ΔＰは比較器C1で流量設定値ΔＰ０と比較され
て、それらの差信号が切換スイッチSWに出力される。と
ころで、流体が層流状態にあるときには、層流素子14a
固有の抵抗値をＲとすれば、層流素子14a前後の差圧Δ
Ｐと流量Ｑとの間にはΔＰ＝RQなる関係があるので、差
圧センサ15の検出値ΔＰを制御することにより流量制御
を行うことができる。
また、前記圧力センサ４で検出された被調節流体流路１
内の測定ガスの圧力は比較器C2で圧力設定値P0と比較さ
れて、それらの差信号が前記切換スイッチSWに出力され
る。
内の測定ガスの圧力は比較器C2で圧力設定値P0と比較さ
れて、それらの差信号が前記切換スイッチSWに出力され
る。
前記比較器C1，C2からの出力信号は切換スイッチSWでい
ずれか一方が選択されて駆動アンプＡに入力される。そ
して、駆動アンプＡの出力信号により前記アクチュエー
タ21は、前記比較器C1またはC2の出力が０になるように
調節弁Ｆを作動させる。
ずれか一方が選択されて駆動アンプＡに入力される。そ
して、駆動アンプＡの出力信号により前記アクチュエー
タ21は、前記比較器C1またはC2の出力が０になるように
調節弁Ｆを作動させる。
したがって、切換スイッチSWにより、比較器C1の出力が
選択されたときには流量制御を行うことができ、また、
比較器C2の出力が選択されたときには圧力制御を行うこ
とができる。
選択されたときには流量制御を行うことができ、また、
比較器C2の出力が選択されたときには圧力制御を行うこ
とができる。
次に第４図により本考案の流量制御装置の第２実施例を
説明する。
説明する。
この第２実施例の流量制御装置は、被調節流体流通ブロ
ックB1の調節流体流路１内に配置された調節弁Ｆ′がノ
ズル13とベローズ５′とにより構成されている点、およ
び前記調節弁Ｆ′の開度を調節するアクチュエータ21′
が前記ベローズ５′内に配置されている点で、前記第１
実施例と相違しているが、その他の点では前記第１実施
例と同様に構成されている。そして、この第２実施例は
前記第１実施例と同様の作用を奏する。
ックB1の調節流体流路１内に配置された調節弁Ｆ′がノ
ズル13とベローズ５′とにより構成されている点、およ
び前記調節弁Ｆ′の開度を調節するアクチュエータ21′
が前記ベローズ５′内に配置されている点で、前記第１
実施例と相違しているが、その他の点では前記第１実施
例と同様に構成されている。そして、この第２実施例は
前記第１実施例と同様の作用を奏する。
以上、本考案の実施例を詳述したが、本考案は、前記実
施例に限定されるものではなく、実用新案登録請求の範
囲に記載された本考案を逸脱することなく、種々の小設
計変更を行うことが可能である。
施例に限定されるものではなく、実用新案登録請求の範
囲に記載された本考案を逸脱することなく、種々の小設
計変更を行うことが可能である。
たとえば、前記調節弁F,F′の開度を調節するアクチュ
エータ21,21′としては、圧電素子の代わりにソレノイ
ド、ムービングコイル型のフォースモータ等を採用する
ことも可能である。また、前記調節弁F,F′として前述
の特開昭57−88320号公報に記載された流量制御弁や他
の従来公知の制御弁を採用することも可能である。さら
にまた、抵抗素子としては種々の層流素子を使用するこ
とが可能であり、またオリフィスを使用することも可能
である。そして使用する抵抗素子により前記差圧ΔＰに
対する流量の式が異なる場合、それに応じて流量設定値
ΔＰを調節すればよい。
エータ21,21′としては、圧電素子の代わりにソレノイ
ド、ムービングコイル型のフォースモータ等を採用する
ことも可能である。また、前記調節弁F,F′として前述
の特開昭57−88320号公報に記載された流量制御弁や他
の従来公知の制御弁を採用することも可能である。さら
にまた、抵抗素子としては種々の層流素子を使用するこ
とが可能であり、またオリフィスを使用することも可能
である。そして使用する抵抗素子により前記差圧ΔＰに
対する流量の式が異なる場合、それに応じて流量設定値
ΔＰを調節すればよい。
C.考案の効果 前述の構成を備えた本出願の第１考案の流量制御装置
は、流量検出用の分岐流路が設けられていないので、流
路構成が簡素となっている。また、抵抗素子および調節
弁が各ブロックとブロックとの間に配置される構成とな
っているので、各ブロック内部にそれらの収容部を形成
する必要がない。したがって、各ブロック内部に形成す
る流路は構成が簡素となるので、各ブロックを小型に構
成することができる。したがって、流量制御装置全体の
小型化も容易となっている。
は、流量検出用の分岐流路が設けられていないので、流
路構成が簡素となっている。また、抵抗素子および調節
弁が各ブロックとブロックとの間に配置される構成とな
っているので、各ブロック内部にそれらの収容部を形成
する必要がない。したがって、各ブロック内部に形成す
る流路は構成が簡素となるので、各ブロックを小型に構
成することができる。したがって、流量制御装置全体の
小型化も容易となっている。
また、前述の構成を備えた本出願の第２考案の流量制御
装置は、流量検出用の分岐流路が設けられていないの
で、流路構成が簡素となっている。また、前記差圧セン
サの検出値が所定値となるように前記調節弁を制御する
流量制御系と、前記圧力センサの検出値が所定値となる
ように前記調節弁を制御する圧力制御系と、これらの両
制御系を選択的に作動させる制御系作動選択手段とを備
えているので、一定流量での流体供給と一定圧力での流
体供給を選択的に行うことができる。
装置は、流量検出用の分岐流路が設けられていないの
で、流路構成が簡素となっている。また、前記差圧セン
サの検出値が所定値となるように前記調節弁を制御する
流量制御系と、前記圧力センサの検出値が所定値となる
ように前記調節弁を制御する圧力制御系と、これらの両
制御系を選択的に作動させる制御系作動選択手段とを備
えているので、一定流量での流体供給と一定圧力での流
体供給を選択的に行うことができる。
第１図は本考案の流量制御装置の第１実施例の構造説明
図、第２図は第１図のII−II線断面図、第３図は同第１
実施例の制御系の説明図、第４図は第２実施例の説明
図、第５図は従来の流量制御装置の説明図、である。 B1……被調節流体流通ブロック、B2……減圧流体流通ブ
ロック、B3……流体導入ブロック、F,F′……調節弁 １……被調節流体流路、11……減圧流体流路、14a……
抵抗素子（層流素子）、15……差圧センサ、16、……流
体導入路
図、第２図は第１図のII−II線断面図、第３図は同第１
実施例の制御系の説明図、第４図は第２実施例の説明
図、第５図は従来の流量制御装置の説明図、である。 B1……被調節流体流通ブロック、B2……減圧流体流通ブ
ロック、B3……流体導入ブロック、F,F′……調節弁 １……被調節流体流路、11……減圧流体流路、14a……
抵抗素子（層流素子）、15……差圧センサ、16、……流
体導入路
Claims (2)
- 【請求項１】流体導入路が形成された流体導入ブロック
と、前記流体導入路に抵抗素子を介して接続される減圧
流体流路が形成された減圧流体流通ブロックと、前記減
圧流体流通ブロックおよび流体導入ブロック間に配置さ
れて減圧流体流路内の流体圧と流体導入路内の流体圧と
の圧力差を検出する差圧センサと、前記減圧流体流路に
調節弁を介して接続される被調節流体流路が形成された
被調節流体流通ブロックとを備えた流量制御装置。 - 【請求項２】流体導入路が形成された流体導入ブロック
と、前記流体導入路に抵抗素子を介して接続される減圧
流体流路が形成された減圧流体流通ブロックと、前記減
圧流体流通ブロックおよび前記流体導入ブロック間に配
置されて減圧流体流路内の流体圧と流体導入路内の流体
圧との圧力差を検出する差圧センサと、前記減圧流体流
路に調節弁を介して接続した被調節流体流路と、この被
調節流体流路内の流体圧を検出する圧力センサと、前記
差圧センサの検出値が所定値となるように前記調節弁を
制御する流量制御系と、前記圧力センサの検出値が所定
値となるように前記調節弁を制御する圧力制御系と、こ
れらの両制御系を選択的に作動させる制御系作動選択手
段とを備えた流量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989025777U JPH0740175Y2 (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | 流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989025777U JPH0740175Y2 (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | 流量制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02118226U JPH02118226U (ja) | 1990-09-21 |
| JPH0740175Y2 true JPH0740175Y2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=31246809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989025777U Expired - Fee Related JPH0740175Y2 (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | 流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740175Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007086394A1 (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Fujikin Incorporated | 圧力センサ装置および圧力センサ内蔵流体制御機器 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3604059B2 (ja) * | 1998-07-17 | 2004-12-22 | 株式会社堀場製作所 | 部分希釈方式のガス希釈システム |
| JP2011248773A (ja) * | 2010-05-28 | 2011-12-08 | Horiba Ltd | 流量比率制御装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5992313A (ja) * | 1982-11-18 | 1984-05-28 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 流量検出装置 |
| JPS6062117U (ja) * | 1983-10-04 | 1985-05-01 | 株式会社 京浜精機製作所 | 流量制御弁 |
-
1989
- 1989-03-07 JP JP1989025777U patent/JPH0740175Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007086394A1 (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-02 | Fujikin Incorporated | 圧力センサ装置および圧力センサ内蔵流体制御機器 |
| JP2007198788A (ja) * | 2006-01-24 | 2007-08-09 | Fujikin Inc | 圧力センサ装置および圧力センサ内蔵流体制御機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02118226U (ja) | 1990-09-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |