JPH0740614B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPH0740614B2 JPH0740614B2 JP60029928A JP2992885A JPH0740614B2 JP H0740614 B2 JPH0740614 B2 JP H0740614B2 JP 60029928 A JP60029928 A JP 60029928A JP 2992885 A JP2992885 A JP 2992885A JP H0740614 B2 JPH0740614 B2 JP H0740614B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling medium
- laser device
- gas laser
- pipe
- cooled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0401—Arrangements for thermal management of optical elements being part of laser resonator, e.g. windows, mirrors, lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/0407—Liquid cooling, e.g. by water
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Lasers (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は加工用及び医療用に用いられるガスレーザ装置
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術 ガスレーザ装置の発振器を構成する際、レーザ管及びミ
ラー調整機構部の取付けの基盤となるものは、レーザ発
振時の放電による周囲温度上昇及び環境温度変化等によ
る構成物の温度変化による寸法変化を極力小さくする必
要性から、インバー（熱膨張率が小さい金属）及び無機
物（大理石等）が用いられたりしていたが、構成時の機
械的強度、加工性、組立作業性等に不都合が多いととも
に、温度変化に対する寸法変化が充分満足できるもので
はなく、温度変化によりレーザ出力が一定となり得ない
問題を有していた。上記従来の発振器構成部の基盤とな
る部分の欠点を少なくするものとして、真空引き等によ
る機械的強度を充分もたせたレーザ管及びミラー調整機
構部の保持構造基盤として、内部を二重構造としたり、
一重構造のままで内部に水、オイル等の冷却媒体を流し
て温度安定性をも考慮したパイプ構造のものがあるが、
このパイプ構造（以下「メインパイプ」と称す）内に通
る冷却媒体の量、冷却媒体の他の被冷却構成物との冷却
能力差等のちがいによって、単にメインパイプを用いて
冷却媒体を各部に通すだけでは発振器の温度変化を一様
に吸収することができず、温度変化による出力の不安定
を防止することができなかった。この従来のガスレーザ
装置の冷却系統図を第３図に示す。
ラー調整機構部の取付けの基盤となるものは、レーザ発
振時の放電による周囲温度上昇及び環境温度変化等によ
る構成物の温度変化による寸法変化を極力小さくする必
要性から、インバー（熱膨張率が小さい金属）及び無機
物（大理石等）が用いられたりしていたが、構成時の機
械的強度、加工性、組立作業性等に不都合が多いととも
に、温度変化に対する寸法変化が充分満足できるもので
はなく、温度変化によりレーザ出力が一定となり得ない
問題を有していた。上記従来の発振器構成部の基盤とな
る部分の欠点を少なくするものとして、真空引き等によ
る機械的強度を充分もたせたレーザ管及びミラー調整機
構部の保持構造基盤として、内部を二重構造としたり、
一重構造のままで内部に水、オイル等の冷却媒体を流し
て温度安定性をも考慮したパイプ構造のものがあるが、
このパイプ構造（以下「メインパイプ」と称す）内に通
る冷却媒体の量、冷却媒体の他の被冷却構成物との冷却
能力差等のちがいによって、単にメインパイプを用いて
冷却媒体を各部に通すだけでは発振器の温度変化を一様
に吸収することができず、温度変化による出力の不安定
を防止することができなかった。この従来のガスレーザ
装置の冷却系統図を第３図に示す。
発明が解決しようとする問題点 このように従来のガスレーザ装置では、外部環境変化又
は内部放電等に起因する発熱に基づく温度変化による出
力の不安定を防止できないという問題があった。
は内部放電等に起因する発熱に基づく温度変化による出
力の不安定を防止できないという問題があった。
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するため、本発明のガスレーザ装置
は、発振器構成物の取付け基盤としてのパイプと、冷却
媒体溜めと、この冷却媒体溜めから前記パイプを通った
後にこのパイプ以外の前記発振器構成物である被冷却構
造物を通って前記冷却媒体溜めに戻る冷却媒体流路とを
備えた構成としたものである。
は、発振器構成物の取付け基盤としてのパイプと、冷却
媒体溜めと、この冷却媒体溜めから前記パイプを通った
後にこのパイプ以外の前記発振器構成物である被冷却構
造物を通って前記冷却媒体溜めに戻る冷却媒体流路とを
備えた構成としたものである。
作用 上記構成によれば、発振器構成物の全体の温度分布を均
一にするとともに、急激な外的温度変化に対しても発振
器構成物の急激な温度変化を防止でき、温度変化による
出力の不安定を防止することができる。
一にするとともに、急激な外的温度変化に対しても発振
器構成物の急激な温度変化を防止でき、温度変化による
出力の不安定を防止することができる。
実施例 以下、本発明の一実施例を第１図〜第２図に基づいて説
明する。第１図は本発明の一実施例におけるガスレーザ
装置の発振器部の構成図で、（１）はメインパイプ、
（２）はメインパイプ（１）を保持するフランジ、
（３）はアノードブロック、（４）はカソードブロッ
ク、（５）はレーザ管で、このレーザ管（５）はオイル
冷却のため二重管構造になっている。（６）は折り返し
鏡調整機構部、（７）は全反射鏡調整機構部、（８）は
部分透過鏡調整機構部である。
明する。第１図は本発明の一実施例におけるガスレーザ
装置の発振器部の構成図で、（１）はメインパイプ、
（２）はメインパイプ（１）を保持するフランジ、
（３）はアノードブロック、（４）はカソードブロッ
ク、（５）はレーザ管で、このレーザ管（５）はオイル
冷却のため二重管構造になっている。（６）は折り返し
鏡調整機構部、（７）は全反射鏡調整機構部、（８）は
部分透過鏡調整機構部である。
第２図は上記ガスレーザ装置の冷却系統図で、（９）は
オイルタンク、（10）はガスクーラー、（11）はその他
の被冷却構成物である。オイルタンク（９）を出たオイ
ル冷却媒体は、必ずメインパイプ（１）を通り、メイン
パイプ（１）と同一温度化された冷却媒体を他の被冷却
構成物に流す様にしている。特にメインパイプ（１）及
び各部ミラー調整機構部（６）〜（８）の温度の均一化
を図った。
オイルタンク、（10）はガスクーラー、（11）はその他
の被冷却構成物である。オイルタンク（９）を出たオイ
ル冷却媒体は、必ずメインパイプ（１）を通り、メイン
パイプ（１）と同一温度化された冷却媒体を他の被冷却
構成物に流す様にしている。特にメインパイプ（１）及
び各部ミラー調整機構部（６）〜（８）の温度の均一化
を図った。
なお、上記実施例では、メインパイプ（１）以外の被冷
却構成物は同時に並列にオイルを流すようにしたが、ミ
ラー等の調整機構部（６）〜（８）以外のレーザ管
（５）やガスクーラー（10）等、他の被冷却構成物は、
ミラー等の調整機構部（６）〜（８）等を通した後にオ
イル冷却しても、発振器全体の温度均一化ひいては出力
安定性には大きな影響がない。また冷却媒体としては、
オイルに限らず、例えば水を用いてもよい。
却構成物は同時に並列にオイルを流すようにしたが、ミ
ラー等の調整機構部（６）〜（８）以外のレーザ管
（５）やガスクーラー（10）等、他の被冷却構成物は、
ミラー等の調整機構部（６）〜（８）等を通した後にオ
イル冷却しても、発振器全体の温度均一化ひいては出力
安定性には大きな影響がない。また冷却媒体としては、
オイルに限らず、例えば水を用いてもよい。
発明の効果 以上述べたごとく本発明によれば、先ず取付け基盤とし
てのパイプ内に冷却媒体を通した後、この冷却媒体を、
各部のミラー調整機構等の被冷却構造物に通すようにし
たので、発振器構成物の温度分布を均一化させ、外的温
度変化に対しても温度変化の影響を少なくし、温度変化
によるミラー等の角度変化を少なくすることができ、出
力変化及び出力低下のほとんどがない、安定したガスレ
ーザ装置を得ることができる。
てのパイプ内に冷却媒体を通した後、この冷却媒体を、
各部のミラー調整機構等の被冷却構造物に通すようにし
たので、発振器構成物の温度分布を均一化させ、外的温
度変化に対しても温度変化の影響を少なくし、温度変化
によるミラー等の角度変化を少なくすることができ、出
力変化及び出力低下のほとんどがない、安定したガスレ
ーザ装置を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例におけるガスレーザ装置の発
振器部の構成図、第２図は同ガスレーザ装置の冷却系統
図、第３図は従来のガスレーザ装置の冷却系統図であ
る。 （１）…メインパイプ、（３）…アノードブロック、
（５）…レーザ管、（６）…折り返し鏡調整機構部、
（７）…全反射鏡調整機構部、（８）…部分透過鏡調整
機構部、（９）…オイルタンク、（10）…ガスクーラー
振器部の構成図、第２図は同ガスレーザ装置の冷却系統
図、第３図は従来のガスレーザ装置の冷却系統図であ
る。 （１）…メインパイプ、（３）…アノードブロック、
（５）…レーザ管、（６）…折り返し鏡調整機構部、
（７）…全反射鏡調整機構部、（８）…部分透過鏡調整
機構部、（９）…オイルタンク、（10）…ガスクーラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−166785（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−37166（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−6857（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】発振器構成物の取付け基盤としてのパイプ
と、冷却媒体溜めと、この冷却媒体溜めから前記パイプ
を通った後にこのパイプ以外の前記発振器構成物である
被冷却構造物を通って前記冷却媒体溜めに戻る冷却媒体
流路とを備えたガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029928A JPH0740614B2 (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029928A JPH0740614B2 (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61189684A JPS61189684A (ja) | 1986-08-23 |
| JPH0740614B2 true JPH0740614B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=12289650
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60029928A Expired - Lifetime JPH0740614B2 (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740614B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5837166U (ja) * | 1981-09-05 | 1983-03-10 | 株式会社ダイヘン | 気体レ−ザ加工装置 |
| JPS58166785A (ja) * | 1982-03-29 | 1983-10-01 | Hitachi Ltd | レ−ザ装置 |
| JPS596857U (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-17 | 東北リコ−株式会社 | ガスレ−ザ放電管用冷却装置 |
-
1985
- 1985-02-18 JP JP60029928A patent/JPH0740614B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61189684A (ja) | 1986-08-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |