JPS61284981A - ガスレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、一般に、レーザ媒質として気体を使用するタ
イプのガスレーザ装置に関する。特に、本発明は、折返
し光共振器を使用して長さを短くしたガスレーザ装置に
関する。本発明は従来構成の改良に関し、本件発明に係
るレーザ容器により、別個の光学台を要せずに、折返し
光共振器の光学系を支持することを可能にし、同時に減
圧気密容器として、前記レーザ容器を使用することを可
能にする。この減圧気密容器は、熱膨張および熱収縮に
さらされる内部構造物も支持する。

（従来の技術） レーザ媒質として流動気体を使用するタイプのレーザ装
置では、放電空洞に気体を通過させている。放電空洞で
は、電界をかけて気体中に放電を発生させ、これでレー
ザ光を放射させている。気体のレーザ放射は、気体を高
温にすることになり、放電空洞から流れ出る気体の温度
は、放電空洞に入る気体の温度よりはるかに高温となる
。気体を再循環させる閉システムでは、放電空洞からの
高温気体は、熱交換器に流され、ここで冷却され、反転
分布が適切なレベルまで回復され、レーザの励振を再び
可能にする。

レーザ媒質としてＣＯ２にＮ２とＮ２とを混合したもの
を使用するタイプのガスレーザ装置においては、例えば
、直線安定な共振空洞の適切な長さは、約１０メートル
である。この長さのために、不便となることが多く、ま
た使用可能なスペースを超過してしまうことがある。か
かるレーザ装置の長さは、共振空洞を光学的に折り返す
ことによって、短くできる。折返し光共振器では、空洞
の長さが、折返し空洞の端部に配置されるミラー間での
ビームの反射によって、短縮される。但し、折返し光共
振器の効果を高めるために、ミラーの間隔姿勢を精密に
維持する必要がある。

ガスレーザ装置の作動中に発生する気体の加熱と冷却と
によるレーザ構造物の熱膨張と熱収縮とが、レーザ共振
空洞の光学系を安定に支持することを困難にする。この
ため、中出力または高出力のガスレーザ装置では、レー
ザ容器内に延びる別個の光学台上に、共振空洞の光学系
を支持することが通常であった。

レーザ装置の共振空洞の光学系を支持するための別個の
光学台を有するがスレーザ装置は、米国特許第３．８０
８，５５３号に説明されている。

該特許の構成では、光学台が、熱膨張の比較的小さいア
ンバー等からなるスペーサロッドで構成される。アンバ
ーロッドは銅製熱シールドに収められる。該熱シールド
は、スペーサロッドの温度を十分均一に保持し、ロッド
の熱膨張を無視し得るものとする。レーザ共振空洞のミ
ラーは、レーザ容器内の熱条件に関わりなくミラー間の
距離がほぼ不変であるように、スペーサロッドによって
支持される。

米国特許第４．０９９．１４３号は、気密中空円筒容器
を有するガスレーザ装置を開示する。この気密中空円筒
容器は、送風器と、熱交換器と、放電領域を形成する手
段と、閉ループに気体を流すための隔壁とファンとを収
容する。レーザ共振空洞のミラーは、容器の外部に配置
され、容器を貫通して延びるスペーサロッドを有する光
学台によって支持される。レーザ容器の熱膨張と熱収縮
とにも関わらず、容器の気密性を保持し、ミラー間の精
密な間隔を正確に維持するため、共振空洞のミラーはベ
ローで容器に接続され、光学台のロッドは、容器の熱膨
張と熱収縮とに影響されないように配置される。

前記の如ぎ別個の光学台を使用してレーザ共振空洞の光
学系を支持することは、重量、コンパクトさ、信頼性、
レーザのコスト等の重要な点において、多くの欠点を有
する。

米国特許第４．０９９．１４３号が開示するように、光
学台のロッドがレーザ容器を通過して延びるような構成
では、容器の気密性を保持しながらロッドを支持すると
共に、同時にロッドに影響を与えずに容器が膨張および
収縮できるようにする必要がある。ところが、これを実
現すると、ロッドと容器との間に信頼性の高い長寿命の
シールを実現できないという問題が生じる。

米国特許第３，８０８．５５３号が開示する光学台のロ
ッドと熱シールドとは、放電空洞の周囲に非常に大きな
スペースを占める。ロッド自体がその物理的寸法に影響
を与えないような方法で支持される必要があるので、容
器内の構造を複雑にしてしまう。ロッドとその付属熱シ
ールドと支持構造とは、レーザ装置の重量を非常に重く
する。

また、ロッドとその付屈熱シールドと支持構造とは、レ
ーザ装置の材料コストと組立コストとを高くする。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明の基本的な目的は、ガスレーザ装置において別個
の光学台の必要性を無くすことであり、これを行うため
に、共振器の光学系を支持するようなレーザ容器を使用
し、同時に該レーザ容器を使用して熱膨張と熱収縮とに
さらされる該容器内の他の構造をも支持することである
。

本発明の他の目的は、レーザ容器を開放しなくても共振
器のミラーの姿勢の調整を可能とすることができるよう
に前記共振器のミラーをその内部に支持した気密性レー
ザ容器を提供することである。

本発明のさらに他の目的は、気密性容器を有する中出力
の小型ガスレーザ装置を提供し、該容器内にレーザの電
源と冷」水供給源等を除くすべての主要構成部品を配置
することである。

本発明のさらに他の目的は、温度安定容器を有するガス
レーザ装置を提供し、該容器の物理的寸法を実質的に不
変とし、光学台として該容器を使用することを可能にす
ることである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、中空金屈円筒を使用してガスレーザ装置の内
部構造物を収容し、この内部構造物の熱膨張と熱収縮と
により容器に加えられる機械的応力を最小にするために
、容器本体の一端に該内部構造物を固定し、容器本体内
を自由に摺動する支持体に前記内部構造物の他端を取り
付ける。この配置によって、内部構造物の両端は、これ
ら内部構造物の熱膨張と熱収縮とによっても容器本体に
機械的応力を加えることなしに、容器本体によって支持
される。レーザ装置の光共振器のミラーは、容器本体に
取り付けられた取付台上に支持され、内部構造物の膨張
および収縮は、ミラー取付台に影響を与えない。気体の
レーザ放射によって容器本体内部に発生される熱は、容
器本体の温度を安定させるため、水冷によって除去され
る。（実施例） 第１図はガスレーザ装置の外観を示し、該レーザ装置の
内部構造物は気密性容器内に配置される。

該気密性容器は、本体を中空内筒１０Ｃで形成したレー
ザ容器１０で形成される。容器本体１．ＱＣの一端はキ
ャップ８で閉じられ、他端はキャップ９で閉じられる。

キャップ９を通って可撓ホースが延び、この可撓ホース
を外部供給源からの水が流れ、容器内部を冷却する。ま
た、可撓電線もキャップ９を通って延び、容器内の電極
とその他の器具とを外部に接続する。キャップ百からは
管８Ａが突出し、管８Ａ内には出力窓が取り付けられる
。この出力窓を通して、レーザビームが気密性容器１０
から出力される。

第２図は、ガスレーザ装置に使用される安定光共振器の
光学系の配置を示す概略図である。このタイプの共振器
は、主ミラー１を使用する。主ミラー１は反射凹面を有
し、この反射凹面は折返しミラー２の反射平面に光を向
かわせる。折返しミラー２は、レーザ領域４の一端に隣
接して配置され、該レーザ領域の他端に隣接して配置さ
れる別の平面型折返しミラー３の方向に向けられている
。

折返しミラー３の周辺には、平面型フィードバックミラ
ー５が配置される。ミラー５は、半透過性であり、入射
する光エネルギーの約４０％を通過させるとともに、光
エネルギーの残りの６０％を折返しミラー２に反則する
。

レーザ装置が作動する際には、エネルギー状態の反転分
布を有するＣＯ２）Ｎ２　、１−１ｅの混合体などのレ
ーザ媒質が、レーザ領域４に流される。

この領域４内において、放射光線がレーザ作用によって
層幅される。例えば、主ミラー１で反射された放射光線
６は、第２図に矢印で示される通路に沿って移動し、折
返しミラー間で往復反射される。その行程の一点におい
て、放射光線は折返しミラー２で反射されてフィードバ
ックミラー５に向けられ、出力窓７を通過してレーザビ
ームの出力光として放出されるか、または折返しミラー
２に向けて再び反射され、主ミラー５までの元の通路を
たどり、ここで再度反射されてフィードバックミラーま
での同一通路をたどる。この光学配置は「安定」光共振
器と呼ばれる。このタイプの光共振器では、光共振器内
に発生する好ましくないモードを抑圧するための、さま
ざまの技術が知られている。

光線の通路から分るように、ミラーは互いに傾斜配置さ
れており、平面型ミラー２．３の反射面は平行でない。

各ミラーの配置角度は非常に重要であり、レーザの適切
な動作を保持するために不変に紺持する必要がある。こ
れに対して、各ミラー間の距離はそれほど重要でなく、
ミラーの角度姿勢が乱されないかぎり、ある程度の変化
は許容される。

このタイプおよび他のタイプの光共振器の作動時に、レ
ーザ容器内の温度環境の変化に関わりなく、ミラーの角
度姿勢を正確に固定しておくことが重要である。このた
め、従来、別個の光学台を設け、この上に、光共振器の
光学系を支持することが通常であった。この光学台は、
スペーサ要素を有し、このスペーサ要素の熱膨張係数は
非常に低く、このため該スペーサ要素の物理的長さは実
質的に不変である。

第３図は、光学台として本発明で使用される中空円筒形
容器１０の容器本体１０Ｃを示ず。この容器本体１０Ｃ
は、レーザ光共振器の光学系を支持する。なお、この図
において、左方がレーザビームを出力する出力側すなわ
ち前側であり、右型がこのレーザ装置の後側である。前
記容器本体１０Ｃは、両端にフランジ１′ＯＡおよび１
０Ｂを有する。該フランジＩＯＡ、ＩＯＢには、共振器
の光学系を支持するためのリングが固定される。該容器
本体１０Ｃはアルミニウム製とすることができ、この場
合、容器本体１０Ｃの円筒形外面および内面は、適当に
陽極酸化処理して堅固な耐ひっかき性コーティングを施
す。容器本体１０Ｃの円筒形外面には、銅管１１を螺旋
状に巻きつける。

この銅管１１を通って水が流れ、容器本体１０Ｃを冷却
し、容器本体１０Ｃの温度をほぼ一定に保つ。強度を増
すために、管１１の入口１１Ａはフランジ１０Ａに取り
付け、出口１１Ｂはフランジ１０Ｂに取り付けることが
好ましい。

７ランジＩＯＡの端面からは、スタッドボルト１２が延
びる。スタッドボルト１２はリング３６（第９図に示す
）を固定するためのものであり、該リングは後述するＬ
形フレーム３５．３７．３８（第９図に示す）を支持す
る。各り形フレームには、第２図に示したレーザ光共振
器の主ミラー１と、フィードバックミラー５と、一方の
折返しミラー３とがそれぞれ取り付けられる。容器本体
１０Ｇの他端には、他のリング２８（第７図に示す）が
配置され、このリング２８には後述するＬ形フレーム２
９（第７図に示す）を支持する。このし形フレーム２つ
には第２図に示した光共振器の他方の折返しミラーを支
持する。

第４図は、容器本体１０Ｃの内部の構造配置を示す概略
図である。上流熱交換器１４は、流れ制御板１５によっ
て放電領域１６に連結される。気体は、上流熱交換器１
４を通過し、放電領域１６に入る。放電領域１６は、絶
縁プレート１７および１８間に位置する。該絶縁プレー
ト１７．１８は、コージライト等のセラミックス材料か
らなる。

コージライトは、膨張係数が低く、高温に耐える。

ビン状電極１９および２０は、絶縁プレート１７および
１８間で、電界を発生し、放電領域内の気体にレーザを
発生させるように配列されている。

放電領域を出る高温気体は、下流熱交換器２１を通過す
る。下流熱交換器２１は、気体を冷却し、適切なレベル
の気体分子分布を回復させ、該気体によるレーザ放射を
再び可能にする。冷却された気体は、送風機２２の入口
に流れる。送風機２２は、かご形送風機として知られる
一般的なタイプとすることができる。該送風機は、気体
を加速すると共にその過程で該気体を加熱する。上流熱
交換器１４は、送風機によって加えられた熱を除去する
。

熱交換器は、適当であればどのようなものでもよい。本
例に示した熱交換器は、例えば、多数のフィンを設けた
水冷管を有し、このフィンが有効熱交換表面積を増加さ
せるような熱交換器である。

第４図に示す配置において、気体流れの通路は矢印で示
されており、気体が閉ループで循環することは明らかで
ある。

容器本体１０Ｃ内部に存在する熱的環境と該容器本体１
０Ｃとを断熱するために、容器本体１０Ｃの内面と容器
本体１０Ｃの内部構造物との間には、熱障壁温度バリヤ
２４．２５を介在させている。熱障壁は、内部構造物を
取り囲む円筒を形成する水冷式の銅製熱シールド２４と
、該銅製熱シールド２４を覆うグラスファイバー綿２５
とで形成される。

第５図に示すように、熱シールド２４は、銅板を円筒形
にロールし、これに鋼管２４Ａを波状に取り付けたもの
である。この管を通過する水は、銅製熱シールド２４か
ら多くの熱を奪う。グラスファイバー綿２５は、銅製熱
シールド２４の周囲に配置され、レーザ内部で発生され
る熱から容器本体をさらに断熱する。グラスファイバー
綿２５は、適当に多孔質であり、容器本体内の幾分かの
気体を捕捉し、この捕捉された気体がさらにグラスファ
イバー綿２５を通るアルミニウム製容器本体１０Ｃへの
熱伝達を妨げる。このため、円筒形のアルミニウム製容
器本体１０Ｃは、極めて良好に断熱されるので、容器本
体１０Ｃの水冷によって、容器本体１０Ｃ全面にわたり
均一な温度が効果的に維持される。

二つの熱交換器１４および２１と、送風Ｒ２２と、電極
およびそのセラミックスＩＪｆｌｆｆ極プレート１７お
よび１８と、気体流れを制限する流れ制御板とは、すべ
て熱膨張と熱収縮とにさらされる。

これらの内部構造物の膨張や収縮が中空円筒形の容器本
体１０Ｇに影響を及ぼさないようにするために、これら
の内部構造物は第６図に示すように、２枚のプレート２
６および２７間に支持される。

第６図において、鎖線は、レーザ容器内の内部構造物が
プレート２６および２７間に支持される領域を示す。プ
レート２７の外径は容器本体１０Ｃの内径より小さく形
成され、プレート２７は容器内を摺動できるように構成
されている。プレート２７から容器本体１０Ｃへの熱伝
達を妨げるため、比較的熱伝導の悪い材料からなるＯリ
ング２７Ｂをプレート周囲に配置する。プレート２６の
外径は容器本体１０Ｇの内径よりも大きく、組み立てら
れたレーザ装置において、このプレート２６は、容器本
体１０Ｇのフランジ１０Ａにボルトで取り付けられる。

この配置により、熱膨張と熱収、縮とにさらされるすべ
ての内部構造物は、容器本体１０Ｃに影響を与えずに、
それらの寸法を変化し得る。これは、プレート２７が前
記の形状変化に応じて容器本体１０Ｃ内で摺動できるか
らである。

プレート２６は開口２６Ａを有する。この開口２６Ａは
、プレート２７の開ロ２７Ａ石対向されている。これら
開口２６Ａ、２７Ａは、レーザの光共振器のミラー間で
反射される光の通路となる。

プレート２６および２７は、必ずしも平板材料から製作
される必要はなくレーザ共振器のミラー間に反射される
光の通路と干渉しないように形成されればよい。

第７図は折返しミラー２の支持リング２８を示す。支持
リング２８は、組み立てられると、スタッドボルト又は
普通のボルト２８Ａによって、容器本体の７ランジ１０
Ｂに取り付けられる。折返しミラー２は、Ｌ形フレーム
２９に取り付けられる。Ｌ形フレーム２９のアームの両
端部の高さと、この両アームの接続部の高さとは、調節
可能である。この目的のため、前記リング２８は、３本
の直立ネジ付スタッドボルト３２を有し、該スタッドボ
ルト３２はＬ形フレーム２９を貫通して延びる。第８図
に示されるように、スタッドボルト３２上の２個のナツ
ト３０および３１は、Ｌ形フレーム２９をそれらの間に
クランプする。Ｌ形フレーム２９のアームに設けられた
孔２９ａは、スタッドボルト３２の外径よりもわずかに
大きく、調整余地を提供する。

第９図において、レーザの共振空洞の他方の端部に設け
られる折返しミラー３は、リング３６に支持されたＬ形
フレーム３５上に取り付けられる。

内部構造部の組立後、リング３６は、スタッドボルト１
２によって、フランジＩＯＡに取り付けられる。Ｌ形フ
レーム３５は、前記り形フレーム２つについて説明した
と同様に、３木のスタッドボルト３９上に支持される。

主ミラー１は、Ｌ形フレーム３７上に取り付けられる。

Ｌ形フレーム３７は、Ｌ形フレーム３５に対し、距離を
置いて重なる態様で取付けられている。フィードバック
ミラー５は、Ｌ形フレーム３８の開口内に取り付けられ
る。Ｌ形フレーム３８は、Ｌ形フレーム３７に対し、間
隔を置いて重なる態様で取付けられている。

これらＬ形フレーム３５．３７．３８及びこれらフレー
ムに取付けられるミラー１．３．５の配置は、共振され
たレーザ光線が半透過性を有するフィードバックミラー
５を通過し、出力窓７（第１２図に示す）を通り、レー
ザ装置の出力ビームとして出力されることを可能にする
。Ｌ形フレーム３７および３８はリング３６に取り付し
プられ、これらフレーム３７．３８のそれぞれは２本の
直交する軸Ｘ、Ｙを中心としてそれぞれ姿勢調整が可能
となっている。フレーム３７および３８は同一形態で取
り付けられるので、フレーム３８の取付は方式だけを説
明する。

第９図において、Ｌ形フレーム３８はリング３６上に取
り付けられ、Ｌ形フレーム３８は、該フレーム３８の一
方のアームに沿って延びる軸Ｘ−Ｘを中心に旋回できる
ようにしている。この旋回は、他方のアームに沿って延
びる軸Ｙ−Ｙ上のフレームの配置にほとんど影響を与え
ずに行われる。

同様にして軸Ｙ−Ｙを中心とする旋回も行われる。

この旋回動作を可能にするために、Ｌ形フレーム３８の
アームの接合部は第１０図に示すように、ボールを有す
る支柱を有し、該ボールはリング３６のソケット内に収
容される。Ｌ形フレーム３８の２本のアーム３８Ａおよ
び３８Ｂの端部は共に同一構成とされ、両者はリング３
６に対する高さをそれぞれ調整可能である。両者のうち
片方のみの構成を詳細に説明する。

第１１図に示すように、小型モータ４１がＬ形フレーム
３８のアーム３８Ａの端部付近に取り付けられる。該モ
ータ４１は、逆転可能なタイプであり、ネジ４２を回転
させるようにしている。ネジ４２はアーム３８Ａにねじ
こまれている。該ネジ４２の端部は球状に形成され、リ
ン′／ｊ３６の溝４３内に配置されている。アーム３８
Ａをリング３６の方に付勢するために、リング３６に固
定したボルト４４がアーム３８Ａのスロット４５を通っ
て延びている。コイルバネ４６は、ボルト４４の頭部と
座金４７との間に配置される。バネ４６は、アーム３８
Ａを下方に押しつけて、これによっで溝４３の底部にネ
ジ４２を弾圧する。

ネジ４２を前記モータ４１によって回転させ、リング３
６に対するアーム３８Ａの端部の高さを変化させると、
これによりアーム３８Ｂが例えば軸ｘ−Ｘを中心として
回転する。この動作は、フィードバックミラー５の姿勢
を変化させるが、これは折返しミラー２との距離にほと
んど影響を与えずに行われる。又、フィードバックミラ
ー５のＹ−Ｙ軸の回りの姿勢は、軸Ｙ−Ｙを中心として
アーム３８Ａを回転させることによって、さらに調整で
きる。

レーザ装置の組立てにおいて、内部構造物は第６図に示
したプレート２６Ｉ３よび２７間に支持され、第４に示
した銅製熱シールド２４は支持された内部構造物の周囲
に配置され、グラスファイバー綿２５は熱シールド２４
の周囲に巻きつけられる。次に、第６図に示したプレー
ト２７が第３図に示した円筒形容器本体１０Ｃの中空部
に挿入され、プレート２６がボルト等によって第３図に
示したフランジＩＯＡの表面に固定される。

第１２図に示すように、プレート２６には穴が設けられ
る。この穴は、十分な間隙を持ってスタッドボルト１２
を通させ、スタッドボルトがプレート２６に接触しない
ようにする。スタッドボルト１２の周囲の空間は、熱障
壁として働き、プレート２６がスタッドボルトを加熱す
るのを防止する。リング３６は、リング３６とフランジ
１０Ａとの間にプレート２６を介在させ、スタッドボル
ト１２上に固定される。プレート２６からリング３６へ
の熱伝導を妨げるために、スタッドボルト１２上のナツ
ト間にリング３６を固定して、プレート２６からリング
３６を離す。容器本体１０Ｃの反対側端部の７ランジ゛
１０Ｂに、第７図に示すように、リング２８を固定して
から、適切な光共振を得るためにミラーの姿勢を調整す
る。次に、容器本体の両端にキャップをして装置全体を
密封する。

第１２図に示すように、キャップ８はボルト５１によっ
て容器本体１０Ｃのフランジ１０Ａに固定される５０リ
ング５２を使用して、端部キャップとフランジＩＯＡと
の間の接合部をシールする。

出力レーザビームが通過する窓７はキャップの端部壁か
ら延びた管８△内に位置する。容器本体１０Ｃの他端は
、同様に、第１図に示したように、キャップ９によって
覆われる。

本発明は各種形態において具体化できるので、本発明の
範囲は前記実施例に限定されるものではない。本発明の
範囲は１、特許請求の範囲によって規定され、本発明の
基本的特徴から逸脱しないような変更形態をも含むもの
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に使用される気密容器を示す斜視図、 第２図は、ガスレーザに使用される光共振器の光学系の
配置を示す概略図、 第３図は、本発明に使用される水冷式中空円筒形の容器
本体の構造を示す斜視図、 第４図は、レーザの容器本体内の構造配置を示す概略図
、 第５図は、水冷式銅製熱シールドの斜視図、第６図は、
熱膨張するレーザの内部構造物を支持する二個のプレー
トを示す概略図、 第７図は、レーザの光共振器の一方の折返しミラーの一
つを支持する配置を示す図、 第８図は、第７図に示す折返しミラー支持用のＬ形フレ
ームの調節を実現するための構成の説明図、 第９図は、レーザの光共振器の主ミラーと、フィードバ
ックミラーと、他方の折返しミラーとを支持する配置を
示す図、 第１０図は、フィードバックミラー支持用のＬ形フレー
ムの旋回動作を可能にするボール／ソケット接合を示す
図、 第１１図は、フィードバックミラーの姿勢を調節するた
めの、Ｌ形フレームのアーム端部の構造を示す図、 第１２図は、レーザ容器内の配置を示す詳細図である。 ２．３・・・折返しミラー　　　　　４・・・レーザ領
域５・・・フィードバックミラー　　　６・・・放射光
線７・・・出力窓　　　　　　　　８．９・・・キャッ
プ１０Ａ、１０Ｂ・・・フランジ １０Ｇ・・・容器本体 １０・・・レーザ容器（中空円筒形容器）第１図 第３図 １Ｂ 第４図 第５図 第７図 第８図 第１Ｏ図 第１１図 手続ネ…正書（自発） 昭和６１年　３月！？日 特許庁長官　　　宇　賀　　道　部　　殿１、事件の表
示　　昭和６１年特許願第００７２１８号２）発明の名
称　　ネツアンテイコウガクトリツケダイ熱安定光学取
付台を ユウ　　　　　　　　　　　　　　ソウチ有するガスレ
ーザ装置 ３、補正をする者 事件との関係　出願人 住　所（居所）アメリカ合衆国　マサチューセッツ州ロ
ーウェル　ケルムズフォード　ストリート氏　名（名称
）レーザー　コーポレーション　オブ　アメリカ代表者
　　　　ニドワード　ブイ　ロック４、代理人 住　所　　　　〒１０５東京都港区虎ノ門１丁目２番３
号虎ノ門第−ビル５階 ５、補正命令の日付　昭和　　年　　月　　日自発（発
送日　昭和　　年　　月　　） ６、補正の対象 図面　第３図、第４図、第９図、第１２図７、補正の内
容 別紙のとおり 第３図 １Ｂ 第４図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）（ａ）複数のミラーを有する光共振器と、（ｂ）
   筒状容器本体と、 （ｃ）冷却流体の循環によって前記容器本 体の温度をほぼ一定に維持する手段と、 （ｄ）一方の支持体は前記容器本体に固定 され、他方の支持体は前記容器本体の中空 部内に移動可能に収容されるような一組の 支持体と、 （ｅ）流動気体からレーザを発生させ、か つ前記容器本体内に前記気体を循環させる ための複数の内部構造物であって、前記一 組の支持体の間に支持されて前記容器本体 の内部に位置される複数の内部構造物と、 （ｆ）前記容器本体の一端に取り付けられ、レーザの光
   共振器の一方のミラーを支持す る第１の取付台と、 （ｇ）前記容器本体の他端に取り付けられ、レーザの光
   共振器の他方のミラーを支持す る第２の取付台であって、前記二つのミラ ーがレーザの光共振器の両端に位置ぎめさ れる第２の取付台と、を有するガスレーザ 装置。
2. （２）特許請求の範囲第（１）項に記載のガスレーザ装
   置であって、さらに、前記容器本体の両端をシールし、
   気密容器を形成する手段を有する当該ガスレーザ装置。
3. （３）特許請求の範囲（１）項に記載のガスレーザ装置
   であって、さらに、前記容器本体への熱伝導に対する熱
   障壁を形成し、かつ前記支持体間に支持される前記複数
   の内部構造物を取り囲む手段を有する当該ガスレーザ装
   置。
4. （４）特許請求の範囲第（１）項に記載のガスレーザ装
   置であって、前記容器本体内の熱障壁を形成する手段が
   、 （ｈ）前記支持体間に支持される複数の内部構造物を取
   り囲む金属製熱シールドと、 （ｉ）冷却流体の循環によって前記熱シールドを冷却す
   る手段と、 （ｊ）前記熱シールドを覆い、多孔質であって、容器本
   体内に存在する気体を捕捉するために使用される詰め綿
   と、 からなるガスレーザ装置。