JPH0743382A - Ｘ−ｙ型回路基板検査装置における各アーム位置のオフセット補正方法 - Google Patents
Ｘ−ｙ型回路基板検査装置における各アーム位置のオフセット補正方法Info
- Publication number
- JPH0743382A JPH0743382A JP5207195A JP20719593A JPH0743382A JP H0743382 A JPH0743382 A JP H0743382A JP 5207195 A JP5207195 A JP 5207195A JP 20719593 A JP20719593 A JP 20719593A JP H0743382 A JPH0743382 A JP H0743382A
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- probing
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 9
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 6
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 原点からの遠近に拘らず各アーム間における
位置決めのバラツキを最小限に抑える。 【構成】 プロービング点の座標を検出し得るディジタ
イザＤを備え、Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームについて原点に対
する位置合わせを行なった後、各アームに同一のプロー
ビングデータを与えてその原点位置からワーキングエリ
アを１周するようにディジタイザＤ上にそれぞれプロー
ビングさせ、同ディジタイザＤより特定のアームのプロ
ービング点座標を目標点データとして、また、他のアー
ムのプロービング点座標を対比点データとして得た後、
目標点データに対する対比点データのずれの中から、Ｘ
軸方向およびＹ軸方向それぞれの向きで、＋方向のずれ
の最大値＋ΔＸ，＋ΔＹおよび−方向のずれの最大値−
ΔＸ，−ΔＹを検出してＸ軸方向、Ｙ軸方向の各々につ
いてその最大ずれ幅ＷＸ（＝｜＋ΔＸ｜＋｜−ΔＸ｜）
とＷＹ（＝｜＋ΔＹ｜＋｜−ΔＹ｜）とを求め、その中
央値ＷＸ／２，ＷＹ／２を補正値として各座標データを
補正する。
位置決めのバラツキを最小限に抑える。 【構成】 プロービング点の座標を検出し得るディジタ
イザＤを備え、Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームについて原点に対
する位置合わせを行なった後、各アームに同一のプロー
ビングデータを与えてその原点位置からワーキングエリ
アを１周するようにディジタイザＤ上にそれぞれプロー
ビングさせ、同ディジタイザＤより特定のアームのプロ
ービング点座標を目標点データとして、また、他のアー
ムのプロービング点座標を対比点データとして得た後、
目標点データに対する対比点データのずれの中から、Ｘ
軸方向およびＹ軸方向それぞれの向きで、＋方向のずれ
の最大値＋ΔＸ，＋ΔＹおよび−方向のずれの最大値−
ΔＸ，−ΔＹを検出してＸ軸方向、Ｙ軸方向の各々につ
いてその最大ずれ幅ＷＸ（＝｜＋ΔＸ｜＋｜−ΔＸ｜）
とＷＹ（＝｜＋ΔＹ｜＋｜−ΔＹ｜）とを求め、その中
央値ＷＸ／２，ＷＹ／２を補正値として各座標データを
補正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＸ−Ｙ型回路基板検査
装置におけるプローブピン保持用の各アームについて、
その位置合わせを行なう際のオフセット補正方法に関す
るものである。
装置におけるプローブピン保持用の各アームについて、
その位置合わせを行なう際のオフセット補正方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置には
レフト（Ｌ）、ミドル（Ｍ）およびライト（Ｒ）の３つ
のアームがＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って任意に移動
し得るように設けられている。なお、以下の説明におい
てこれらのアームをＬアーム、Ｍアーム、Ｒアームと言
う。
レフト（Ｌ）、ミドル（Ｍ）およびライト（Ｒ）の３つ
のアームがＸ軸方向およびＹ軸方向に沿って任意に移動
し得るように設けられている。なお、以下の説明におい
てこれらのアームをＬアーム、Ｍアーム、Ｒアームと言
う。
【０００３】実際にはこれらの各アームにプローブピン
が取り付けられて測定が行なわれるのであるが、それに
先立って３つのアームの位置合わせを行なう必要があ
る。
が取り付けられて測定が行なわれるのであるが、それに
先立って３つのアームの位置合わせを行なう必要があ
る。
【０００４】このため、従来においては図４に示されて
いるように、ワーキング（検査）エリアＳの原点となる
場所にオフセット（原点合わせをすること）をとるため
の専用基板Ａをセットし、Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームをその
原点位置にそれぞれ合わせてそれらの位置関係を補正す
るようにしている。
いるように、ワーキング（検査）エリアＳの原点となる
場所にオフセット（原点合わせをすること）をとるため
の専用基板Ａをセットし、Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームをその
原点位置にそれぞれ合わせてそれらの位置関係を補正す
るようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】これによれば、比較的
簡単に各アームのオフセットをとることができるが、精
度上の面で問題があった。すなわち、原点付近での位置
決め精度は高いが、原点から離れるにしたがって駆動系
の誤差が累積されるため、原点から離れた所での位置決
め精度やアーム間の位置関係の保証がとれない。
簡単に各アームのオフセットをとることができるが、精
度上の面で問題があった。すなわち、原点付近での位置
決め精度は高いが、原点から離れるにしたがって駆動系
の誤差が累積されるため、原点から離れた所での位置決
め精度やアーム間の位置関係の保証がとれない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の課題を
解決するためになされたもので、その構成上の特徴は、
プローブピンを保持してＸ軸方向およびＹ軸方向に任意
に移動し得る少なくとも２つのアームを有するＸ−Ｙ型
回路基板検査装置において、プロービング点の座標を検
出し得るディジタイザを備え、各アームについて原点に
対する位置合わせを行なった後、各アームに同一のプロ
ービングデータを与えてその原点位置からワーキングエ
リアを１周するように上記ディジタイザ上にそれぞれプ
ロービングさせ、同ディジタイザより一方のアームのプ
ロービング点座標を目標点データとして、また、他方の
アームのプロービング点座標を対比点データとして得た
後、上記目標点データに対する上記対比点データのずれ
の中から、Ｘ軸方向およびＹ軸方向それぞれの向きで、
＋方向のずれの最大値＋ΔＸ，＋ΔＹおよび−方向のず
れの最大値−ΔＸ，−ΔＹを検出してＸ軸方向、Ｙ軸方
向の各々についてその最大ずれ幅ＷＸ（＝｜＋ΔＸ｜＋
｜−ΔＸ｜）とＷＹ（＝｜＋ΔＹ｜＋｜−ΔＹ｜）とを
求め、その中央値ＷＸ／２，ＷＹ／２を補正値として各
座標データを補正するようにしたことにある。
解決するためになされたもので、その構成上の特徴は、
プローブピンを保持してＸ軸方向およびＹ軸方向に任意
に移動し得る少なくとも２つのアームを有するＸ−Ｙ型
回路基板検査装置において、プロービング点の座標を検
出し得るディジタイザを備え、各アームについて原点に
対する位置合わせを行なった後、各アームに同一のプロ
ービングデータを与えてその原点位置からワーキングエ
リアを１周するように上記ディジタイザ上にそれぞれプ
ロービングさせ、同ディジタイザより一方のアームのプ
ロービング点座標を目標点データとして、また、他方の
アームのプロービング点座標を対比点データとして得た
後、上記目標点データに対する上記対比点データのずれ
の中から、Ｘ軸方向およびＹ軸方向それぞれの向きで、
＋方向のずれの最大値＋ΔＸ，＋ΔＹおよび−方向のず
れの最大値−ΔＸ，−ΔＹを検出してＸ軸方向、Ｙ軸方
向の各々についてその最大ずれ幅ＷＸ（＝｜＋ΔＸ｜＋
｜−ΔＸ｜）とＷＹ（＝｜＋ΔＹ｜＋｜−ΔＹ｜）とを
求め、その中央値ＷＸ／２，ＷＹ／２を補正値として各
座標データを補正するようにしたことにある。
【０００７】
【作用】上記のように最大ずれ幅ＷＸとＷＹの中央値Ｗ
Ｘ／２，ＷＹ／２を求め、一方のアームから得られた目
標点がその中央値にくるように同アームの座標データを
補正することにより、原点からの遠近に拘らずアーム間
における位置決めのバラツキが最小限に抑えられる。
Ｘ／２，ＷＹ／２を求め、一方のアームから得られた目
標点がその中央値にくるように同アームの座標データを
補正することにより、原点からの遠近に拘らずアーム間
における位置決めのバラツキが最小限に抑えられる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図１ないし図３を
参照しながら説明する。図１にはこのＸ−Ｙ型回路基板
検査装置のＸ−Ｙユニット部分が概略的に示されてい
る。これによると、同Ｘ−Ｙユニット部分には、Ｌ，
Ｍ，Ｒの各アームのオフセットをとるため、そのプロー
ビング点の座標データを得るディジタイザＤが用意され
る。
参照しながら説明する。図１にはこのＸ−Ｙ型回路基板
検査装置のＸ−Ｙユニット部分が概略的に示されてい
る。これによると、同Ｘ−Ｙユニット部分には、Ｌ，
Ｍ，Ｒの各アームのオフセットをとるため、そのプロー
ビング点の座標データを得るディジタイザＤが用意され
る。
【０００９】Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームはそれぞれＸＹ軸モ
ータ制御手段ＭＣを介してＣＰＵ（中央演算処理ユニッ
ト）からの座標信号によりＸ−Ｙ軸方向に沿って任意に
移動し、所定の被測定点にプロービングする。そして、
そのプロービング点の座標データはＣＰＵに読み込まれ
る。そのため、同ＣＰＵには測定プログラムやプロービ
ング点の座標データなどを記憶するメモリが設けられて
いる。
ータ制御手段ＭＣを介してＣＰＵ（中央演算処理ユニッ
ト）からの座標信号によりＸ−Ｙ軸方向に沿って任意に
移動し、所定の被測定点にプロービングする。そして、
そのプロービング点の座標データはＣＰＵに読み込まれ
る。そのため、同ＣＰＵには測定プログラムやプロービ
ング点の座標データなどを記憶するメモリが設けられて
いる。
【００１０】ここで、図２および図３を参照しながら、
Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームのオフセット補正について説明す
る。まず、Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームについて、例えば先に
説明した専用基板Ａを用いて原点合わせを行なう。
Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームのオフセット補正について説明す
る。まず、Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームについて、例えば先に
説明した専用基板Ａを用いて原点合わせを行なう。
【００１１】次に、Ｌ，Ｍ，Ｒの各アームに同一のプロ
ービングデータを与えて、ディジタイザＤ上をその原点
からワーキングエリアの外周を１周するように移動させ
ながらプロービングさせる。
ービングデータを与えて、ディジタイザＤ上をその原点
からワーキングエリアの外周を１周するように移動させ
ながらプロービングさせる。
【００１２】そして、同ディジタイザＤから各アームの
プロービング点座標データをＣＰＵのメモリ内に取り込
むのであるが、この例ではＭアームによるプロービング
点座標データを基準としての目標点データとし、他の
Ｌ，Ｒアームによるプロービング点座標データを対比点
データとしてオフセット補正を行なうようにしている。
プロービング点座標データをＣＰＵのメモリ内に取り込
むのであるが、この例ではＭアームによるプロービング
点座標データを基準としての目標点データとし、他の
Ｌ，Ｒアームによるプロービング点座標データを対比点
データとしてオフセット補正を行なうようにしている。
【００１３】図２には、Ｍアームを基準として例えばＬ
アームにオフセットをかける場合が図解されている。す
なわち、同図においてＭアームにより得られた目標点デ
ータが四角枠状の実線で示されており、これに対してＬ
アームにより得られた対比点データは丸点で示されてい
る。
アームにオフセットをかける場合が図解されている。す
なわち、同図においてＭアームにより得られた目標点デ
ータが四角枠状の実線で示されており、これに対してＬ
アームにより得られた対比点データは丸点で示されてい
る。
【００１４】ＣＰＵはこれらのデータを比較し、目標点
データに対する対比点データのずれの中から、Ｘ軸方向
およびＹ軸方向それぞれの向きで、＋方向のずれの最大
値＋ΔＸ，＋ΔＹおよび−方向のずれの最大値−ΔＸ，
−ΔＹを検出する（図３参照）。
データに対する対比点データのずれの中から、Ｘ軸方向
およびＹ軸方向それぞれの向きで、＋方向のずれの最大
値＋ΔＸ，＋ΔＹおよび−方向のずれの最大値−ΔＸ，
−ΔＹを検出する（図３参照）。
【００１５】そして、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の各々につい
て、その最大ずれ幅ＷＸ（＝｜＋ΔＸ｜＋｜−ΔＸ｜）
とＷＹ（＝｜＋ΔＹ｜＋｜−ΔＹ｜）とを求め、その中
央値ＷＸ／２，ＷＹ／２を補正値としてＬアームの座標
データを補正する。
て、その最大ずれ幅ＷＸ（＝｜＋ΔＸ｜＋｜−ΔＸ｜）
とＷＹ（＝｜＋ΔＹ｜＋｜−ΔＹ｜）とを求め、その中
央値ＷＸ／２，ＷＹ／２を補正値としてＬアームの座標
データを補正する。
【００１６】すなわち、この中央値（ＷＸ／２，ＷＹ／
２）と目標点データの座標間の差が「０」となるよう
に、Ｌアームの座標データが同中央値の分だけ減算され
る。このことは、相対的に言えば図２中の矢印で示すよ
うに、基準としてのＭアームの目標点データ（目標点座
標）が斜線で示すＬアームのずれ幅領域の中央に補正さ
れたことを意味する。同様にして、Ｒアームについても
Ｍアームを基準としてオフセットがかけられる。
２）と目標点データの座標間の差が「０」となるよう
に、Ｌアームの座標データが同中央値の分だけ減算され
る。このことは、相対的に言えば図２中の矢印で示すよ
うに、基準としてのＭアームの目標点データ（目標点座
標）が斜線で示すＬアームのずれ幅領域の中央に補正さ
れたことを意味する。同様にして、Ｒアームについても
Ｍアームを基準としてオフセットがかけられる。
【００１７】したがって、テストポイントのどの位置に
おいても目標位置に対して±何％の誤差内に入ると表現
できる。また、このようにオフセットをとることによ
り、各アームが同一の座標をプロービングしたときのず
れ幅も縮小することが可能となる。
おいても目標位置に対して±何％の誤差内に入ると表現
できる。また、このようにオフセットをとることによ
り、各アームが同一の座標をプロービングしたときのず
れ幅も縮小することが可能となる。
【００１８】なお、上記実施例ではＭアームを基準にし
てＬアームおよびＲアームにそれぞれオフセットをかけ
るようにしているが、場合によってはＬアームもしくは
Ｒアームを基準としても良い。
てＬアームおよびＲアームにそれぞれオフセットをかけ
るようにしているが、場合によってはＬアームもしくは
Ｒアームを基準としても良い。
【００１９】また、ディジタイザＤから各アームのプロ
ービング点の座標を得るにあたって、上記実施例におい
ては、まず最初にＭアームについてそのプロービング点
座標を得、次にＬアームとＲアームのプロービング点座
標を得るようにしている。
ービング点の座標を得るにあたって、上記実施例におい
ては、まず最初にＭアームについてそのプロービング点
座標を得、次にＬアームとＲアームのプロービング点座
標を得るようにしている。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置において、ディジタイザ
により各アームのプロービング点座標を得るとともに、
特定のアームのプロービング点座標を基準として他のア
ームにオフセットをかけるようにしたことにより、原点
からの遠近に拘らずアーム間における位置決めのバラツ
キを最小限に抑えることができる。
ば、Ｘ−Ｙ型回路基板検査装置において、ディジタイザ
により各アームのプロービング点座標を得るとともに、
特定のアームのプロービング点座標を基準として他のア
ームにオフセットをかけるようにしたことにより、原点
からの遠近に拘らずアーム間における位置決めのバラツ
キを最小限に抑えることができる。
【図１】この発明に適用されるＸ−Ｙ型回路基板検査装
置におけるＸ−Ｙユニット部分を概略的に示した模式
図。
置におけるＸ−Ｙユニット部分を概略的に示した模式
図。
【図２】この発明により特定のアームを基準として他の
アームにオフセットをかける例を示した説明図。
アームにオフセットをかける例を示した説明図。
【図３】図２の説明において目標点データと中央値との
関係を示した説明図。
関係を示した説明図。
【図４】従来のアームオフセット方法を説明するための
説明図。
説明図。
Ｌ，Ｍ，Ｒ プローブピン保持用のアーム Ｄ ディジタイザ ＭＣ ＸＹ軸モータ制御手段 ＣＰＵ 中央演算処理ユニット
Claims (1)
- 【請求項１】 プローブピンを保持してＸ軸方向および
Ｙ軸方向に任意に移動し得る少なくとも２つのアームを
有するＸ−Ｙ型回路基板検査装置において、プロービン
グ点の座標を検出し得るディジタイザを備え、各アーム
について原点に対する位置合わせを行なった後、各アー
ムに同一のプロービングデータを与えてその原点位置か
らワーキングエリアを１周するように上記ディジタイザ
上にそれぞれプロービングさせ、同ディジタイザより一
方のアームのプロービング点座標を目標点データとし
て、また、他方のアームのプロービング点座標を対比点
データとして得た後、上記目標点データに対する上記対
比点データのずれの中から、Ｘ軸方向およびＹ軸方向そ
れぞれの向きで、＋方向のずれの最大値＋ΔＸ，＋ΔＹ
および−方向のずれの最大値−ΔＸ，−ΔＹを検出して
Ｘ軸方向、Ｙ軸方向の各々についてその最大ずれ幅ＷＸ
（＝｜＋ΔＸ｜＋｜−ΔＸ｜）とＷＹ（＝｜＋ΔＹ｜＋
｜−ΔＹ｜）とを求め、その中央値ＷＸ／２，ＷＹ／２
を補正値として各座標データを補正するようにしたこと
を特徴とするＸ−Ｙ型回路基板検査装置における各アー
ム位置のオフセット補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5207195A JPH0743382A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | Ｘ−ｙ型回路基板検査装置における各アーム位置のオフセット補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5207195A JPH0743382A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | Ｘ−ｙ型回路基板検査装置における各アーム位置のオフセット補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743382A true JPH0743382A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16535821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5207195A Pending JPH0743382A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | Ｘ−ｙ型回路基板検査装置における各アーム位置のオフセット補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743382A (ja) |
-
1993
- 1993-07-29 JP JP5207195A patent/JPH0743382A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020327 |