JPH0743767U - シリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構 - Google Patents
シリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構Info
- Publication number
- JPH0743767U JPH0743767U JP3610193U JP3610193U JPH0743767U JP H0743767 U JPH0743767 U JP H0743767U JP 3610193 U JP3610193 U JP 3610193U JP 3610193 U JP3610193 U JP 3610193U JP H0743767 U JPH0743767 U JP H0743767U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- silicon single
- wire
- crystal pulling
- wire winding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004804 winding Methods 0.000 title claims abstract description 26
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 25
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims abstract description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Winding Filamentary Materials (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本考案は、シリコン単結晶引上装置のワイ
ヤー巻取り回転機構において、従来よりも小さい容量の
ロードセルの使用で足り、しかもシリコン単結晶引上装
置のワイヤーに作用する力の測定精度を向上させるシリ
コン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構を提供す
ることを目的とする。 【構成】 シリコン単結晶を引き上げるワイヤロープ
１；３１はロープシーブ２；３２を介して巻き取りドラ
ム３４に巻掛られており、ロープシーブ２；３２はオー
バウエート防止機構３；３６に結合されており、オーバ
ウエート防止機構３；３６はロードセンサユニット５中
でバランスシャフト６；３７を介してセルユニット７；
３８に連接しており、セルユニット７；３８はハウジン
グ１６；３５を介してロードセルセンサユニット５の架
台１９に支持されていることを特徴とする前記シリコン
単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構。
ヤー巻取り回転機構において、従来よりも小さい容量の
ロードセルの使用で足り、しかもシリコン単結晶引上装
置のワイヤーに作用する力の測定精度を向上させるシリ
コン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構を提供す
ることを目的とする。 【構成】 シリコン単結晶を引き上げるワイヤロープ
１；３１はロープシーブ２；３２を介して巻き取りドラ
ム３４に巻掛られており、ロープシーブ２；３２はオー
バウエート防止機構３；３６に結合されており、オーバ
ウエート防止機構３；３６はロードセンサユニット５中
でバランスシャフト６；３７を介してセルユニット７；
３８に連接しており、セルユニット７；３８はハウジン
グ１６；３５を介してロードセルセンサユニット５の架
台１９に支持されていることを特徴とする前記シリコン
単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構。
Description
【０００１】
本考案はシリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構に関するものであ る。
【０００２】
図３には、従来技術によるシリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構 が記載されている。シリコン単結晶引上装置のワイヤ５１がロープシーブ５２に 巻設され、ワイヤロープ５１は巻取りドラム側の巻取りドラム５３に巻回されて いる。巻取りドラム５３は駆動モータによって駆動される差動ギヤ５５によって 減速機構５４を介して駆動される。ロープシーブ５２はオーバウエート防止機構 ５６の下端にピボットによって回転可能に支承されており、オーバウエート防止 機構５６は直接ロードセンサユニット５７に接続している。
【０００３】 このように従来公知のシリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構では 、シリコン単結晶引上装置のワイヤーロープの巻回されたロープシーブを支持す るロッドが直接ロードセルを付勢するように構成されていた。そのためシリコン 単結晶引上装置のワイヤーにシリコン単結晶引上のために作用する力の２倍の力 がロードセルに作用していた。これでは大きな容量のロードセルが必要となりし かも測定精度が低下することが欠点であった。
【０００４】
本考案が解決しようとする課題は、従来大きな容量のロードセルが必要であっ た、シリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構において、従来よりも小 さい容量のロードセルの使用で足り、しかもシリコン単結晶引上装置のワイヤー に作用する力の測定精度を向上させるシリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り 回転機構を提供することである。
【０００５】
この課題は、実用新案登録請求の範囲第１項に記載された構成によって解決さ れる。
【０００６】
図１及び図２に本考案の２つの実施例が記載されている。 図１によれば、シリコン単結晶引上装置のワイヤロープ１がロープシーブ２に 巻掛けられ、ワイヤロープ１は巻取りドラム側の図示しない巻取りドラムに巻回 されている。巻取りドラムは同様に図示しない駆動装置によって変速装置を介し て駆動される。ロープシーブ２はオーバウエート防止機構３の下端にピボットに よって回転可能に支承されており、オーバウエート防止機構３はロードセンサユ ニット５に連結されている。ロードセンサユニット５ではオーバウエート防止機 構３がその中心軸４を介してバランスシャフト６に連結され、バランスシャフト ６はその一端で荷重測定のためのセルユニット７に作用結合している。
【０００７】 バランスシャフト６の下方に位置するセルユニット７はオーバウエート防止機 構３の中心軸４からセルユニット７までの距離のいかんに拘わらず常に中心軸４ に作用する力が正しくセルユニット７に伝達されるためにロバーバル機構８に支 持されている。ロバーバル機構８はセルユニット７を支持するコ字状の枠体９の 上端にその一端を固定され、オーバウエート防止機構３の中心軸４の上端に回転 可能に支承されたプーリ１０に巻回されて他端を枠体９の前記固定端と向かい合 って位置する上端に固定された、ばね１１を中間接続したワイヤ１２と、枠体９ の下端にその一端を固定され、オーバウエート防止機構３の中心軸４の中間に回 転可能に支承されたプーリ１３に巻回されて他端を枠体９の前記固定端と向かい 合って位置する下端に固定された、ばね１４を中間接続したワイヤ１５とから成 り、ロバーバル機構８は全体として平行四辺形状に形成されている。ロバーバル 機構８の枠体９はロードセンサユニット５のハウジング１６内に支承され、ハウ ジング１６は下端で同心的に配置された支持リング１７及び１８を介してシリコ ン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構の架台１９上に支持されている。ハ ウジング１６の上端には増幅装置２０が位置しており、その上方には増幅装置２ ０を遮蔽するために、ハウジング１６の上端に上蓋２１が固定されている。増幅 装置２０には上蓋２１の孔を通って案内された入出力ケーブル２２が接続してい る。
【０００８】 図２によれば、本考案の第２の実施例が記載されており、シリコン単結晶引上 装置のワイヤロープ３１がロープシーブ３２に巻掛けられ、ワイヤロープ３１は 中間プーリ３３を介して巻取りドラム３４に巻回されている。巻取りドラム３４ は図示しない駆動装置によって駆動されることができる。中間プーリ３３及び巻 取りドラム３４は共にロードセンサユニットのハウジング３５に支承されている 。ハウジング３５は図示しない架台に支持されている。ロープシーブ３２はオー バウエート防止機構３６の下端にピボットによって回転可能に支承されている。 オーバウエート防止機構３６はバランスシャフト３７に連結され、バランスシャ フト３７はその一端で荷重測定のためのセルユニット３８に作用結合しその他端 でハウジング３５に固定されたビーム３９上の支点４０に支承されている。支点 ４０からオーバウエート防止機構３６までの距離はａ、支点４０からセルユニッ ト３８までの距離をｂとすれば、オーバウエート防止機構３６に作用する力は前 記ａとｂとの比率に基づいて実際にオーバウエート防止機構３６に作用する力よ りも減少（ａ／ｂ）されてセルユニット３８に作用することになる。
【０００９】
荷重測定のために従来大きな容量のセルユニットを必要としたため、コストが 高くかつ測定精度も低かったが、本考案によればセルユニットの容量はかなり小 さくて済みかつ測定精度も著しく高められる。
【図１】本考案によるシリコン単結晶引上装置のワイヤ
ー巻取り回転機構の第１実施例を示す図である。
ー巻取り回転機構の第１実施例を示す図である。
【図２】本考案によるシリコン単結晶引上装置のワイヤ
ー巻取り回転機構の第２実施例を示す図である。
ー巻取り回転機構の第２実施例を示す図である。
【図３】従来技術によるシリコン単結晶引上装置のワイ
ヤー巻取り回転機構を示す図である。
ヤー巻取り回転機構を示す図である。
１ ワイヤロープ ２ ロープシーブ ３ オーバウエート防止機構 ４ オーバウエート防止機構の中心軸 ５ ロードセンサユニット ６ バランスシャフト ７ セルユニット ８ ロバーバル機構 ９ 枠体 １０ プーリ １１ ばね １２ ワイヤ １３ プーリ １４ ばね １５ ワイヤ １６ ハウジング １７ 支持リング １８ 支持リング １９ 架台 ２０ 増幅器 ２１ 上蓋 ２２ 入出力ケーブル ３１ ワイヤロープ ３２ ロープシーブ ３３ 中間プーリ ３４ 巻取りドラム ３５ ハウジング ３６ オーバウエート防止機構 ３７ バランスシャフト ３８ セルユニット ３９ ビーム ４０ 支点
Claims (2)
- 【請求項１】 シリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取
り回転機構において、 シリコン単結晶を引き上げるワイヤロープ（１；３１）
はロープシーブ（２；３２）を介して巻き取りドラム
（３４）に巻掛られており、ロープシーブ（２；３２）
はオーバウエート防止機構（３；３６）に結合されてお
り、オーバウエート防止機構（３；３６）はロードセン
サユニット（５）中でバランスシャフト（６；３７）を
介してセルユニット（７；３８）に連接しており、セル
ユニット（７；３８）はハウジング（１６；３５）を介
してロードセルセンサユニット（５）の架台（１９）に
支持されていることを特徴とする前記シリコン単結晶引
上装置のワイヤー巻取り回転機構。 - 【請求項２】 シリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取
り回転機構において、シリコン単結晶を引き上げるワイ
ヤロープ（１）はロープシーブ（２）を介して巻き取り
ドラム（３４）に巻掛られており、ロープシーブ（２）
はオーバウエート防止機構（３）に結合されており、ロ
ードセンサユニット（５）中でオーバウエート防止機構
（３）はその中心軸（４）に結合されたバランスシャフ
ト（６）を介してセルユニット（７）に連接しており、
セルユニット（７）を支持する枠体（９）はロバーバル
機構（８）を介して、ロードセルセンサユニット（５）
の架台（１９）上に支持されたハウジング（１６）に支
承されていることを特徴とする前記シリコン単結晶引上
装置のワイヤー巻取り回転機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3610193U JPH0743767U (ja) | 1993-07-01 | 1993-07-01 | シリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3610193U JPH0743767U (ja) | 1993-07-01 | 1993-07-01 | シリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743767U true JPH0743767U (ja) | 1995-09-12 |
Family
ID=12460382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3610193U Withdrawn JPH0743767U (ja) | 1993-07-01 | 1993-07-01 | シリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743767U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101066428B1 (ko) * | 2011-06-20 | 2011-09-23 | 김중권 | 원단 이송장치의 장력 감지장치 |
| CN102749128A (zh) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | 蒂雅克股份有限公司 | 测压元件单元 |
| CN102749129A (zh) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | 蒂雅克股份有限公司 | 测压元件单元 |
-
1993
- 1993-07-01 JP JP3610193U patent/JPH0743767U/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102749128A (zh) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | 蒂雅克股份有限公司 | 测压元件单元 |
| CN102749129A (zh) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | 蒂雅克股份有限公司 | 测压元件单元 |
| KR101066428B1 (ko) * | 2011-06-20 | 2011-09-23 | 김중권 | 원단 이송장치의 장력 감지장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3289473A (en) | Tension measuring apparatus | |
| US4434973A (en) | Electric hoist | |
| US4648785A (en) | Industrial robot employing direct drive operation | |
| GB1375756A (ja) | ||
| FR2532924A1 (fr) | Systeme d'entrainement pour des appareils elevateurs a cables metalliques | |
| JPH0743767U (ja) | シリコン単結晶引上装置のワイヤー巻取り回転機構 | |
| GB1591929A (en) | Device for sensing load exerted on a rope wire etc | |
| KR100216360B1 (ko) | 성장결정체의 중량측정장치 | |
| CA1195261A (en) | Winding gear of an elevator | |
| CN215017700U (zh) | X光摄影系统以及用于x光摄影系统的支架 | |
| SE506589C2 (sv) | Anordning för mätning av massakoncentration eller viskositet hos ett medium | |
| WO1996021849A3 (en) | Support system with radially rigid wire suspension | |
| JPS6275221A (ja) | トルクセンサ | |
| JPH07257881A (ja) | ホイスト装置 | |
| US4177678A (en) | Drive for balancing machines | |
| JP4056603B2 (ja) | 結晶体の引上げ装置 | |
| JP3201544B2 (ja) | 微小トルク測定器 | |
| JPS622504Y2 (ja) | ||
| SU642618A1 (ru) | Стенд дл испытани лебедок | |
| CN213387432U (zh) | 一种行车起重用吊钩负荷检查装置 | |
| JPS6222825Y2 (ja) | ||
| JPS5837706Y2 (ja) | 電車線の張力バランサ− | |
| JPH01256487A (ja) | エレベータ用巻上装置 | |
| SU523317A1 (ru) | Устройство дл тарировани измерителей крут щихс моментов прокатного стана | |
| GB2046648A (en) | Double Block Wire Accumulator |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19971106 |