JPH0744239B2 - チツプ・キヤリアと集積半導体チツプを有するモジユール - Google Patents
チツプ・キヤリアと集積半導体チツプを有するモジユールInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 A.産業上の利用分野 本発明は、チップ・キャリアと集積半導体チップを有す
るモジュール、及びモジュール・スタックに関するもの
である。
るモジュール、及びモジュール・スタックに関するもの
である。
B.従来の技術及び解決しようとする課題 現在市販されている集積半導体チップ(ICチップ)、特
にメモリ・チップは、カードにスタックされたわずかな
数のモジュール(DIPデュアル・インライン・パッケー
ジ)をデータ処理システムに組み込むために、大量のス
ペースを必要とする。各モジュールの全体の高さを低く
すると、データ処理システムに必要なスペースは変えず
に、メモリ・スペースを大幅に増大させることができ
る。さらに、このようなチップやモジュールの製造で
は、その試験時間が製造原価のかなりの部分を占め、現
在、総製造原価の約3分の1を占めている。したがっ
て、半導体工場でそれに費やされる時間を最小限にまで
減少させるべきである。
にメモリ・チップは、カードにスタックされたわずかな
数のモジュール(DIPデュアル・インライン・パッケー
ジ)をデータ処理システムに組み込むために、大量のス
ペースを必要とする。各モジュールの全体の高さを低く
すると、データ処理システムに必要なスペースは変えず
に、メモリ・スペースを大幅に増大させることができ
る。さらに、このようなチップやモジュールの製造で
は、その試験時間が製造原価のかなりの部分を占め、現
在、総製造原価の約3分の1を占めている。したがっ
て、半導体工場でそれに費やされる時間を最小限にまで
減少させるべきである。
IBMテクニカル・ディスクロージャ・ブルテン、Vol.8、
No.10(1966年3月)、p.1314には、導体を有する数層
のセラミック層からなるセラミック・キャリアと、モノ
リシック回路を収納する片面の凹部とを有するモジュー
ルが開示されている。モノリシック回路は、セラミック
層中の導体によりキャリアの反対面に接続されている。
キャリアの凹部のある面には、回路の冷却特性を改善す
るための薄い金属箔が設けられている。上記の論文に記
載されたチップ・キャリアは、製造が複雑で、したがっ
て非常に高価である。チップの接続が比較的困難で、特
別な装置が必要である。チップ・キャリアの全体のレイ
アウトは、望ましい寸法に対して極端に高さが大きく、
したがってこのような構造は、特にメモリ・チップを有
するモジュールに使用するには不適である。
No.10(1966年3月)、p.1314には、導体を有する数層
のセラミック層からなるセラミック・キャリアと、モノ
リシック回路を収納する片面の凹部とを有するモジュー
ルが開示されている。モノリシック回路は、セラミック
層中の導体によりキャリアの反対面に接続されている。
キャリアの凹部のある面には、回路の冷却特性を改善す
るための薄い金属箔が設けられている。上記の論文に記
載されたチップ・キャリアは、製造が複雑で、したがっ
て非常に高価である。チップの接続が比較的困難で、特
別な装置が必要である。チップ・キャリアの全体のレイ
アウトは、望ましい寸法に対して極端に高さが大きく、
したがってこのような構造は、特にメモリ・チップを有
するモジュールに使用するには不適である。
上述のように、プラスチックで成形されたメモリ及びプ
ロセッサのDIPも知られている。これらのモジュール
も、比較的高さがあり、また成形後、すなわち製品の完
成後でないと最終的に検査ができないという欠点があ
る。完成した部品の高さが高いため、カードにスタック
できるモジュールの数が限定されるだけでなく、部品を
取り付けたカード上に設けなければならない減結合キャ
パシタへの経路を長くしなければならない。さらに、メ
モリ・モジュールのスタック中の欠陥のあるモジュール
を交換するのに長い時間を要する。
ロセッサのDIPも知られている。これらのモジュール
も、比較的高さがあり、また成形後、すなわち製品の完
成後でないと最終的に検査ができないという欠点があ
る。完成した部品の高さが高いため、カードにスタック
できるモジュールの数が限定されるだけでなく、部品を
取り付けたカード上に設けなければならない減結合キャ
パシタへの経路を長くしなければならない。さらに、メ
モリ・モジュールのスタック中の欠陥のあるモジュール
を交換するのに長い時間を要する。
したがって、できるだけ平坦で、同時に製造が簡単なモ
ジュールを提供することが不可欠である。
ジュールを提供することが不可欠である。
C.課題を解決するための手段 この課題は、実質的に互いに平行な上面と下面を有する
チップ・キャリアを備えたモジュールにより解決され
る。このチップ・キリアは、円形でも方形でもよいが、
チップの形状に合った形にするのが普通であり、したが
って現在一般に方形が用いられている。チップ・キャリ
アの下面には、少なくとも1つの凹部と、凹部の領域内
でキャリアの上面まで延びる少なくとも1つのスロット
が設けられている。この凹部はチップを収納するための
もので、チップの接触パッドがチップ・キャリアに面し
ている。スロットは、チップ上の接触パッドがスロット
の領域内に位置するように凹部中に設けられている。し
たがって、凹部中のスロットは、チップ上の接触パッド
の配置に応じて任意の位置に設けることができる。たと
えば、1つのスロットだけを中央または1縁部に設ける
ことも、大型のチップでは3つの垂直に配置したスロッ
トを設けることもできる。垂直に取り付けたモジュール
で、接触ピンの片側をチップ・キャリアに取り付けたも
のでは、スロットをピンに隣接させることが好ましい。
チップ・キャリアの少なくとも上面に設けた導体は、メ
ッキしたスルー・ホールにより、チップ・キャリアの下
面の導体に接続することができる。上面には、チップを
接続するための端子を設けることが不可欠である。した
がって、スルー・ホールは導体と見なされる。さらに、
モジュールは、スロットを通してチップ上の接触パッド
をキャリアの下面の導体に接続するリード線を有する。
チップ上の接触パッドは、ワイヤ・ボンディング、TAB
(テープ自動ボンディング)等の周知の方法で導体に接
続することができる。チップは、接着等の適当な方法で
凹部に保持する。チップの背面もチップ・キャリアの下
面も、チップの背面が空気の流れによって効果的に冷却
されるように、封止してはならない。通常、チップ・キ
ャリアの上面は、導体の損傷を防止するために、リード
線とチップの接触パッドの部分を封止する。
チップ・キャリアを備えたモジュールにより解決され
る。このチップ・キリアは、円形でも方形でもよいが、
チップの形状に合った形にするのが普通であり、したが
って現在一般に方形が用いられている。チップ・キャリ
アの下面には、少なくとも1つの凹部と、凹部の領域内
でキャリアの上面まで延びる少なくとも1つのスロット
が設けられている。この凹部はチップを収納するための
もので、チップの接触パッドがチップ・キャリアに面し
ている。スロットは、チップ上の接触パッドがスロット
の領域内に位置するように凹部中に設けられている。し
たがって、凹部中のスロットは、チップ上の接触パッド
の配置に応じて任意の位置に設けることができる。たと
えば、1つのスロットだけを中央または1縁部に設ける
ことも、大型のチップでは3つの垂直に配置したスロッ
トを設けることもできる。垂直に取り付けたモジュール
で、接触ピンの片側をチップ・キャリアに取り付けたも
のでは、スロットをピンに隣接させることが好ましい。
チップ・キャリアの少なくとも上面に設けた導体は、メ
ッキしたスルー・ホールにより、チップ・キャリアの下
面の導体に接続することができる。上面には、チップを
接続するための端子を設けることが不可欠である。した
がって、スルー・ホールは導体と見なされる。さらに、
モジュールは、スロットを通してチップ上の接触パッド
をキャリアの下面の導体に接続するリード線を有する。
チップ上の接触パッドは、ワイヤ・ボンディング、TAB
(テープ自動ボンディング)等の周知の方法で導体に接
続することができる。チップは、接着等の適当な方法で
凹部に保持する。チップの背面もチップ・キャリアの下
面も、チップの背面が空気の流れによって効果的に冷却
されるように、封止してはならない。通常、チップ・キ
ャリアの上面は、導体の損傷を防止するために、リード
線とチップの接触パッドの部分を封止する。
チップの背面とキャリアの下面は、チップ全体がキャリ
アに埋めこまれ保護されるように、1つの面になるよう
にするとよい。
アに埋めこまれ保護されるように、1つの面になるよう
にするとよい。
別の有利な実施例によれば、リード線を通すスロットの
縁部を面取りする。これにより、接触パッドとチップ・
キャリアの表面上の導体を接続するとき、チップ上の接
触パッドに容易に近づけるようになる。チップを埋め込
んだキャリアの厚みは0.8ないし1.2mm、凹部におけるキ
ャリアの厚みは0.2ないし0.5mmが好ましい。
縁部を面取りする。これにより、接触パッドとチップ・
キャリアの表面上の導体を接続するとき、チップ上の接
触パッドに容易に近づけるようになる。チップを埋め込
んだキャリアの厚みは0.8ないし1.2mm、凹部におけるキ
ャリアの厚みは0.2ないし0.5mmが好ましい。
キャリアは、多層積層板またはセラミック材料製とする
ことが好ましい。高耐熱性ポリイミドの場合は、凹部は
切削により製作するが、多層積層板の場合は、各層に望
ましい形状及び配置の凹部またはスロットをあらかじめ
設けておくことができる。積層材料は、片面または両面
をメタライズすることができる。試験(バーンイン)、
はんだ付け、及びその後の処理中に安定なキャリアに
は、強化ポリイミドまたはセラミックが必要である。
ことが好ましい。高耐熱性ポリイミドの場合は、凹部は
切削により製作するが、多層積層板の場合は、各層に望
ましい形状及び配置の凹部またはスロットをあらかじめ
設けておくことができる。積層材料は、片面または両面
をメタライズすることができる。試験(バーンイン)、
はんだ付け、及びその後の処理中に安定なキャリアに
は、強化ポリイミドまたはセラミックが必要である。
モジュールは、受動部品または能動部品あるいはその両
方を含むことができるが、このような構造の利点は、こ
れらの部品がチップに隣接して配置できることである。
このような環境では、たとえば減結合キャパシタの効果
が特に顕著である。たとえば、電圧に適合させるため、
能動部品もキャリア上のチップに隣接して配置すること
ができる。
方を含むことができるが、このような構造の利点は、こ
れらの部品がチップに隣接して配置できることである。
このような環境では、たとえば減結合キャパシタの効果
が特に顕著である。たとえば、電圧に適合させるため、
能動部品もキャリア上のチップに隣接して配置すること
ができる。
上記の種類のモジュールは、高さがきわめて低く、チッ
プ上の接触パッドからチップ・キャリアの上面の端子ま
での線がほぼ同じ長さできわめて短かく、減結合キャパ
シタがチップに隣接して配置され、チップの背面が効果
的に冷却され、その構造が1メガビットを超える将来の
チップに適しているという利点を有する。このように設
計したチップはさらに、チップ・キャリアで相互接続し
たいくつかのモジュールを同時に処理し試験できるた
め、製造が容易で安価であるという利点も有する。
プ上の接触パッドからチップ・キャリアの上面の端子ま
での線がほぼ同じ長さできわめて短かく、減結合キャパ
シタがチップに隣接して配置され、チップの背面が効果
的に冷却され、その構造が1メガビットを超える将来の
チップに適しているという利点を有する。このように設
計したチップはさらに、チップ・キャリアで相互接続し
たいくつかのモジュールを同時に処理し試験できるた
め、製造が容易で安価であるという利点も有する。
本発明に従って設計したモジュールは、高さが特に低い
モジュール・スタックを製造することができる。この目
的のため、各モジュールは、少なくとも1つのキャリア
との接点及び接続すべき次のモジュールとの接点にスズ
のはんだを埋めこんで、S字型のコネクタ・クリップで
接続する。これにより、モジュールのスタックは1ステ
ップではんだ付けが可能になる。4つのこのようなモジ
ュールの高さはきわめて低く、わずかに25または50%が
欠陥のないチップを使用して、たとえば1メガビットの
機能性メモリを形成すことができると考えられる。
モジュール・スタックを製造することができる。この目
的のため、各モジュールは、少なくとも1つのキャリア
との接点及び接続すべき次のモジュールとの接点にスズ
のはんだを埋めこんで、S字型のコネクタ・クリップで
接続する。これにより、モジュールのスタックは1ステ
ップではんだ付けが可能になる。4つのこのようなモジ
ュールの高さはきわめて低く、わずかに25または50%が
欠陥のないチップを使用して、たとえば1メガビットの
機能性メモリを形成すことができると考えられる。
本発明の別の有利な実施例によれば、隣接して配置し、
互いに永久的に結合したいくつかのモジュールを、IDカ
ードやクレジット・カード等として使用することができ
る。この場合、各モジュールは、上面にモジュールを相
互接続する導体を含む、1つの共通のキャリアを有す
る。導体は、少なくとも片面または積層板の間に配置す
ることができる。このようなカードは、1つのプロセッ
サまたは1つのメモリ・チップを収納する。その全体の
厚みは、互いに隣接して設けたモジュールの厚みよりわ
ずかに厚くなる。強化ポリイミドを使用することによ
り、十分なカードの安定性が得られる。
互いに永久的に結合したいくつかのモジュールを、IDカ
ードやクレジット・カード等として使用することができ
る。この場合、各モジュールは、上面にモジュールを相
互接続する導体を含む、1つの共通のキャリアを有す
る。導体は、少なくとも片面または積層板の間に配置す
ることができる。このようなカードは、1つのプロセッ
サまたは1つのメモリ・チップを収納する。その全体の
厚みは、互いに隣接して設けたモジュールの厚みよりわ
ずかに厚くなる。強化ポリイミドを使用することによ
り、十分なカードの安定性が得られる。
D.実施例 第1図を参照すると、第1A図は、上面2、スロット3、
及びチップ・キャリアの長辺上に設けた概略的に示した
接触パッド7を有するチップ・キャリア1を示す。チッ
プ・キャリア1は方形で、後に収納するチップの形状に
適合している。言うまでもなく、他の適合した形状も同
様に適している。第1図に示すチップ・キャリア1のス
ロット3は、キャリアが、中央に接触パッドを設けたチ
ップを収納する働きをするので、キャリアの中心に垂直
な位置にある。他のチップの構成については、スロット
を側面に設けることもでき、チップ・キャリアに複数の
スロットを設けることもできる。
及びチップ・キャリアの長辺上に設けた概略的に示した
接触パッド7を有するチップ・キャリア1を示す。チッ
プ・キャリア1は方形で、後に収納するチップの形状に
適合している。言うまでもなく、他の適合した形状も同
様に適している。第1図に示すチップ・キャリア1のス
ロット3は、キャリアが、中央に接触パッドを設けたチ
ップを収納する働きをするので、キャリアの中心に垂直
な位置にある。他のチップの構成については、スロット
を側面に設けることもでき、チップ・キャリアに複数の
スロットを設けることもできる。
第1B図は、チップ・キャリアの断面図である。この図で
は、チップの配線にさらに容易に近づけるように、上面
2に位置するスロット3が面取りされている。スロット
3は、チップ・キャリア1の下面6の凹部5で成端して
いる。凹部5は、チップを収納して確実に保持するた
め、水平部の幅をスロット3の幅より長くする。
は、チップの配線にさらに容易に近づけるように、上面
2に位置するスロット3が面取りされている。スロット
3は、チップ・キャリア1の下面6の凹部5で成端して
いる。凹部5は、チップを収納して確実に保持するた
め、水平部の幅をスロット3の幅より長くする。
チップ・キャリアの縦断面図(第1C図)では、垂直方向
の凹部5の幅も、凹部5中に配置するチップが容易に収
納でき確実に保持できるように、スロット3の幅より長
い。スロット3の短辺に沿った面取りは、その辺を横切
ってリード線を通さない限り必要ない。
の凹部5の幅も、凹部5中に配置するチップが容易に収
納でき確実に保持できるように、スロット3の幅より長
い。スロット3の短辺に沿った面取りは、その辺を横切
ってリード線を通さない限り必要ない。
ある点では、接着剤、シール材等を挿入できるように、
凹部をチップをより僅かに大きくすることができる。
凹部をチップをより僅かに大きくすることができる。
チップ・キャリアは、強化ポリイミドまたはセラミック
材料製とする。ポリイミドを使用する場合は、積層板の
各層に、スロット3または凹部5の寸法に相当する開口
を設けておくと、再加工の必要がなく有利である。いく
つかの成形し、または打ち抜いた層からなるセラミック
材料でも、同様の結果が得られる。このようなレイアウ
トの場合、チップ・キャリアの厚みは、後で述べるよう
にチップを集積する場合でも、0.8ないし1.2mmとする。
凹部5の領域でのチップ・キャリア1の厚みは、僅か0.
2ないし0.5mmである。
材料製とする。ポリイミドを使用する場合は、積層板の
各層に、スロット3または凹部5の寸法に相当する開口
を設けておくと、再加工の必要がなく有利である。いく
つかの成形し、または打ち抜いた層からなるセラミック
材料でも、同様の結果が得られる。このようなレイアウ
トの場合、チップ・キャリアの厚みは、後で述べるよう
にチップを集積する場合でも、0.8ないし1.2mmとする。
凹部5の領域でのチップ・キャリア1の厚みは、僅か0.
2ないし0.5mmである。
第2図は、モジュール10の平面図で、チップ・キャリア
1の上面2を示したものである。チップ・キャリア1の
上面2上には、チップ・キャリアの縁部で接触パッド7
に接続された導体8が設けてある。チップ・キャリア1
の下面6にも、チップ・キャリア中のバイアを通って、
上面の導体に接続された導体(図示せず)が設けてあ
る。チップ・キャリア1の上面2の導体8は、リード線
により、スロット3を通ってチップ9の上面の接触パッ
ド11に接続されている。チップ9上の接触パッド11は、
ワイヤ・ボンディング、TAB等、周知の方法で導体8に
接続される。キャリア1上に、能動部品20(減結合キャ
パシタ、ダイオード)をチップに隣接して設けることが
できる。
1の上面2を示したものである。チップ・キャリア1の
上面2上には、チップ・キャリアの縁部で接触パッド7
に接続された導体8が設けてある。チップ・キャリア1
の下面6にも、チップ・キャリア中のバイアを通って、
上面の導体に接続された導体(図示せず)が設けてあ
る。チップ・キャリア1の上面2の導体8は、リード線
により、スロット3を通ってチップ9の上面の接触パッ
ド11に接続されている。チップ9上の接触パッド11は、
ワイヤ・ボンディング、TAB等、周知の方法で導体8に
接続される。キャリア1上に、能動部品20(減結合キャ
パシタ、ダイオード)をチップに隣接して設けることが
できる。
第3A図ないし第3D図は、完成したモジュールの断面図で
ある。第3A図及び第3B図では、それぞれ1つのチップ9
がチップ・キャリア1に固定されている。第3A図と第3B
図は、第3A図のモジュールがカードにはんだ付けされて
いる(SMT表面装着技術)のに対し、第3B図のモジュー
ルはピンを有し、それによってモジュールが穴をあけた
カードにはんだ付けされている(PIHピン・イン・ホー
ル)点で異なる。
ある。第3A図及び第3B図では、それぞれ1つのチップ9
がチップ・キャリア1に固定されている。第3A図と第3B
図は、第3A図のモジュールがカードにはんだ付けされて
いる(SMT表面装着技術)のに対し、第3B図のモジュー
ルはピンを有し、それによってモジュールが穴をあけた
カードにはんだ付けされている(PIHピン・イン・ホー
ル)点で異なる。
チップ9は、接着剤16により、凹部5中に固定される。
リード線12は、スロット3を通って、チップ9の上面の
接触パッドをチップ・キャリア1の上面2の導体に接続
する。スロット3は、リード線12の通る部分4が面取り
されている。チップ9の上面及びリード線12は、シール
手段13により封止されている。チップ・キャリア1の長
辺には、端子とチップ・キャリア1の上面2との接点
と、モジュールを取り付けるキャリア・プレートを有す
る端子が固定される点にスズのはんだ15を埋め込んで、
S字型のコネクタ・クリップが設けられている。チップ
9の背面19は、キャリア1の下面6と同一平面を形成
し、したがってチップは、キャリア1中の凹部5により
完全に保護される。背面19は開放されているので、チッ
プ9は空気により十分に冷却される。第3B図では、ピン
17がスズのはんだの代りに用いられている。コネクタ・
クリップを有するモジュールを仕上げてから、キャリア
・プレートに最終的に固定するので、成形したスズはん
だの融点は、後のはんだ付け工程の温度より高くする。
リード線12は、スロット3を通って、チップ9の上面の
接触パッドをチップ・キャリア1の上面2の導体に接続
する。スロット3は、リード線12の通る部分4が面取り
されている。チップ9の上面及びリード線12は、シール
手段13により封止されている。チップ・キャリア1の長
辺には、端子とチップ・キャリア1の上面2との接点
と、モジュールを取り付けるキャリア・プレートを有す
る端子が固定される点にスズのはんだ15を埋め込んで、
S字型のコネクタ・クリップが設けられている。チップ
9の背面19は、キャリア1の下面6と同一平面を形成
し、したがってチップは、キャリア1中の凹部5により
完全に保護される。背面19は開放されているので、チッ
プ9は空気により十分に冷却される。第3B図では、ピン
17がスズのはんだの代りに用いられている。コネクタ・
クリップを有するモジュールを仕上げてから、キャリア
・プレートに最終的に固定するので、成形したスズはん
だの融点は、後のはんだ付け工程の温度より高くする。
このことを、第3C図及び第3D図のモジュール・スタック
と関連して具体的に示す。各モジュール10の構造は、第
3A図のモジュール10の構造と同じである。第3D図の下端
のモジュール10のみに、第3D図のモジュール10と同様の
ピン17が設けられており、これにより、モジュール10が
キャリア・プレートに固定される。このようなモジュー
ル・スタックは、本発明によるモジュールを使用するこ
とにより容易に形成される。これらは、きわめて平坦で
ある。第3C図及び第3D図のモジュール・スタックは、高
さがキャリア・プレートの上面から測って約10mmであ
る。このことは、高さが減少するとパッケージ密度が倍
増するので、大きな利点である。
と関連して具体的に示す。各モジュール10の構造は、第
3A図のモジュール10の構造と同じである。第3D図の下端
のモジュール10のみに、第3D図のモジュール10と同様の
ピン17が設けられており、これにより、モジュール10が
キャリア・プレートに固定される。このようなモジュー
ル・スタックは、本発明によるモジュールを使用するこ
とにより容易に形成される。これらは、きわめて平坦で
ある。第3C図及び第3D図のモジュール・スタックは、高
さがキャリア・プレートの上面から測って約10mmであ
る。このことは、高さが減少するとパッケージ密度が倍
増するので、大きな利点である。
第4図は、2つの隣接したモジュールを導体8で接続し
たカードの概略図である。導体8は、表面上に配置して
も、積層板の間に配置してもよい。モジュール10中のチ
ップは異なるもの、たとえばプロセッサとメモリ・チッ
プであってもよい。カード18は、各モジュールのチップ
・キャリアと同じ材料製とする。カード18には、上面と
下面の両面に導体を設けることができる。これらの導体
は、バイアにより接続する。このような、たとえばポリ
イミド製のカードは、0.8ないし1.2mmの厚み全体にわた
って十分な安定性を有し、IDカードまたはクレジット・
カードとして使用することができる。この目的のため、
カード18は、文字及び磁気ストライプを含む適当な材料
を用いて封止する。
たカードの概略図である。導体8は、表面上に配置して
も、積層板の間に配置してもよい。モジュール10中のチ
ップは異なるもの、たとえばプロセッサとメモリ・チッ
プであってもよい。カード18は、各モジュールのチップ
・キャリアと同じ材料製とする。カード18には、上面と
下面の両面に導体を設けることができる。これらの導体
は、バイアにより接続する。このような、たとえばポリ
イミド製のカードは、0.8ないし1.2mmの厚み全体にわた
って十分な安定性を有し、IDカードまたはクレジット・
カードとして使用することができる。この目的のため、
カード18は、文字及び磁気ストライプを含む適当な材料
を用いて封止する。
E.発明の効果 個々のモジュールの積み重ねを容易化したことにより、
スタック構成の高さ及び占有空間を減少できる。
スタック構成の高さ及び占有空間を減少できる。
第1A図,第1B図,第1C図は夫々,チップ・キャリアの平
面図、縦断面図、及び横断面図である。 第2図は、モジュールの平面図である。 第3A図ないし第3D図は、モジュールの断面図、及び互い
に積み重ねた4つのモジュールを有するモジュール・ス
タックの断面図である。 第4図は、IDカードまたはクレジット・カードとして使
用するための、互いに隣接して配置した2つのモジュー
ルを有するカードの概略を示す平面図である。 1……チップ・キャリア、3……スロット、5……凹
部、7……接触パッド、8……導体、10……モジュー
ル、17……ピン、18……カード。
面図、縦断面図、及び横断面図である。 第2図は、モジュールの平面図である。 第3A図ないし第3D図は、モジュールの断面図、及び互い
に積み重ねた4つのモジュールを有するモジュール・ス
タックの断面図である。 第4図は、IDカードまたはクレジット・カードとして使
用するための、互いに隣接して配置した2つのモジュー
ルを有するカードの概略を示す平面図である。 1……チップ・キャリア、3……スロット、5……凹
部、7……接触パッド、8……導体、10……モジュー
ル、17……ピン、18……カード。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 25/07 25/18 (72)発明者 リチヤード・ダブリユ・ノース アメリカ合衆国バーモント州フエアフオツ クス、アールアール2、3052シイ番地 (72)発明者 ゴードン・ケリー アメリカ合衆国バーモント州エセツクス・ ジヤンクシヨン、イースト・ストリート37 番地 (56)参考文献 米国特許4538210(US,A) 米国特許3877064(US,A)
Claims (1)
- 【請求項1】実質的に互いに平行に延びる上面及び下
面、下面の凹部、凹部内で上面まで延びる少なくとも1
つのスロット、及び少なくとも上面に設けた導電体を有
するチップ・キャリアと、 チップ・キャリアに面した接触パッドを有し、接触パッ
ドがスロットの領域内に位置するように凹部中に配置さ
れた集積半導体チップと、 スロットを介して、チップ上の接触パッドをキャリアの
上面の導体に接続するリード線とを含む、 モジュール。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3911711A DE3911711A1 (de) | 1989-04-10 | 1989-04-10 | Modul-aufbau mit integriertem halbleiterchip und chiptraeger |
| DE3911711.1 | 1989-04-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02295159A JPH02295159A (ja) | 1990-12-06 |
| JPH0744239B2 true JPH0744239B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=6378339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2079070A Expired - Lifetime JPH0744239B2 (ja) | 1989-04-10 | 1990-03-29 | チツプ・キヤリアと集積半導体チツプを有するモジユール |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4996587A (ja) |
| EP (1) | EP0392242A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0744239B2 (ja) |
| DE (1) | DE3911711A1 (ja) |
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