JPH0746611A - カラー固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
カラー固体撮像装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH0746611A JPH0746611A JP18498493A JP18498493A JPH0746611A JP H0746611 A JPH0746611 A JP H0746611A JP 18498493 A JP18498493 A JP 18498493A JP 18498493 A JP18498493 A JP 18498493A JP H0746611 A JPH0746611 A JP H0746611A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- cyan
- color
- solid
- yellow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 色再現性の良好なグリーン分光特性を示すフ
ィルターの製造方法を提供する。 【構成】 固体撮像素子の形成されたウェハー１上に、
アクリル等の透明な平坦化樹脂層２があり、その上に遮
光膜３、さらに平坦化樹脂層２が形成されている。最初
に、染色基質を塗布し、選択露光、現像を行って、パタ
ーンを形成し、次に該パターン形成したものを、シアン
染料にて染色し、シアン層５を形成する。染色した後、
定着や色抜けや混色を防止するために化学処理を行う。
次にシアン層５と同様に、イエロー層４を形成する。上
記方法にて形成したイエロー層４とシアン層５の重なり
あった部分として、グリーン層７を形成することにな
る。
ィルターの製造方法を提供する。 【構成】 固体撮像素子の形成されたウェハー１上に、
アクリル等の透明な平坦化樹脂層２があり、その上に遮
光膜３、さらに平坦化樹脂層２が形成されている。最初
に、染色基質を塗布し、選択露光、現像を行って、パタ
ーンを形成し、次に該パターン形成したものを、シアン
染料にて染色し、シアン層５を形成する。染色した後、
定着や色抜けや混色を防止するために化学処理を行う。
次にシアン層５と同様に、イエロー層４を形成する。上
記方法にて形成したイエロー層４とシアン層５の重なり
あった部分として、グリーン層７を形成することにな
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子の形成さ
れたウェハー上に、色分解用のモザイクカラーフィルタ
を直接形成したカラー固体撮像装置の製造方法に関する
ものである。
れたウェハー上に、色分解用のモザイクカラーフィルタ
を直接形成したカラー固体撮像装置の製造方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】以下、図面を参照しながら、従来の技術
について説明する。
について説明する。
【０００３】図３は、従来のカラー固体撮像装置の製造
方法を示す断面フロー図である。図において１は固体撮
像素子の形成されたウェハー、２は平坦化樹脂層、３は
遮光膜、４はイエロー層、５はシアン層、６はマゼンタ
層である。固体撮像素子が形成されたウェハー１上に、
平坦化樹脂層２が形成される。その上に遮光膜３、さら
に平坦化樹脂層２が形成されている（同図（ａ））。平
坦化樹脂層２上に、染色基質を塗布し、選択露光、現像
を行って、パターンを形成する。次に該パターン形成し
たものを、イエロー染料にて染色し、イエロー層４を形
成する。この時、染色層を染色した後、タンニン酸水溶
液、酒石酸アンチモニルカリウム水溶液等により、染料
の定着や色抜けや混色を防止するために化学処理を行う
（同図（ｂ））。次にイエロー層４と同様に、シアン層
５を形成する（同図（ｃ））。さらに、同様の方法に
て、マゼンタ層６を形成する（同図（ｄ））。上記方法
にて形成したイエロー層４とシアン層５の重なりあった
部分として、グリーン層７を形成する。
方法を示す断面フロー図である。図において１は固体撮
像素子の形成されたウェハー、２は平坦化樹脂層、３は
遮光膜、４はイエロー層、５はシアン層、６はマゼンタ
層である。固体撮像素子が形成されたウェハー１上に、
平坦化樹脂層２が形成される。その上に遮光膜３、さら
に平坦化樹脂層２が形成されている（同図（ａ））。平
坦化樹脂層２上に、染色基質を塗布し、選択露光、現像
を行って、パターンを形成する。次に該パターン形成し
たものを、イエロー染料にて染色し、イエロー層４を形
成する。この時、染色層を染色した後、タンニン酸水溶
液、酒石酸アンチモニルカリウム水溶液等により、染料
の定着や色抜けや混色を防止するために化学処理を行う
（同図（ｂ））。次にイエロー層４と同様に、シアン層
５を形成する（同図（ｃ））。さらに、同様の方法に
て、マゼンタ層６を形成する（同図（ｄ））。上記方法
にて形成したイエロー層４とシアン層５の重なりあった
部分として、グリーン層７を形成する。
【０００４】図４は、従来のカラー固体撮像装置のイエ
ロー・グリーン・シアンの分光特性を示す。
ロー・グリーン・シアンの分光特性を示す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
カラー固体撮像装置の製造方法では、図３に示すよう
に、シアン層５はイエロー層４によって形成される凹凸
をもつ下地の表面上に形成されている。このため、重な
り部分のシアン層５は膜厚がうすくなり、図４に示すよ
うに、グリーン分光の長波長領域は、シアン分光と一致
せず、分光特性が損なわれる。又、２つのフィルターの
重ね合わせによって形成される。グリーン分光はイエロ
ーとシアン分光との積となる。このため、短波長領域は
イエローに一致せず、透過率が低下する。これにより、
色再現性が悪くなるという課題を有していた。
カラー固体撮像装置の製造方法では、図３に示すよう
に、シアン層５はイエロー層４によって形成される凹凸
をもつ下地の表面上に形成されている。このため、重な
り部分のシアン層５は膜厚がうすくなり、図４に示すよ
うに、グリーン分光の長波長領域は、シアン分光と一致
せず、分光特性が損なわれる。又、２つのフィルターの
重ね合わせによって形成される。グリーン分光はイエロ
ーとシアン分光との積となる。このため、短波長領域は
イエローに一致せず、透過率が低下する。これにより、
色再現性が悪くなるという課題を有していた。
【０００６】そこで、本発明はこの課題を解決するた
め、イエロー層とシアン層を重ね合わせても、グリーン
分光が損なうことのないカラー固体撮像装置の製造方法
を提供することを目的とする。
め、イエロー層とシアン層を重ね合わせても、グリーン
分光が損なうことのないカラー固体撮像装置の製造方法
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のカラー固体撮像装置の製造方法は、固体撮
像素子を形成したウェハー上に色分解用のモザイクカラ
ーフィルタを形成するにあたり、シアン層を形成する第
１工程と、イエロー層を形成する第２工程を備えてい
る。
に、本発明のカラー固体撮像装置の製造方法は、固体撮
像素子を形成したウェハー上に色分解用のモザイクカラ
ーフィルタを形成するにあたり、シアン層を形成する第
１工程と、イエロー層を形成する第２工程を備えてい
る。
【０００８】
【作用】本発明によれば、第２工程により形成するイエ
ロー層は、シアン層によって形成される凹凸をもつ下地
の表面上に形成されている。このため、重なり部分のイ
エロー層の膜厚は薄くなる。このため、グリーン分光
は、短波長領域においてはイエロー分光と一致し、長波
長領域においてはシアン分光と一致する。したがって、
ＲＧＢ処理において、 Ｙ＝ＭＧ＋ＧＲ＋ＣＹ＋ＹＥ Ｕ＝ＭＧ−ＧＲ＋ＣＹ−ＹＥ Ｖ＝ＭＧ−ＧＲ−ＣＹ＋ＹＥ をマトリックス変換して、ＲＧＢを求める際、良好な色
再現性を実現できる。
ロー層は、シアン層によって形成される凹凸をもつ下地
の表面上に形成されている。このため、重なり部分のイ
エロー層の膜厚は薄くなる。このため、グリーン分光
は、短波長領域においてはイエロー分光と一致し、長波
長領域においてはシアン分光と一致する。したがって、
ＲＧＢ処理において、 Ｙ＝ＭＧ＋ＧＲ＋ＣＹ＋ＹＥ Ｕ＝ＭＧ−ＧＲ＋ＣＹ−ＹＥ Ｖ＝ＭＧ−ＧＲ−ＣＹ＋ＹＥ をマトリックス変換して、ＲＧＢを求める際、良好な色
再現性を実現できる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１０】図１は、本発明の一実施例におけるカラー
固体撮像装置の製造方法を示す断面フロー図である。な
お、図１において、１は固体撮像素子の形成されたウェ
ハー２は平坦化樹脂層、３は遮光膜、４はイエロー層、
５はシアン層、６はマゼンタ層、７はグリーン領域であ
る。固体撮像素子が形成されたウェハー１上に、アクリ
ル等の透明な平坦化樹脂層２があり、その上に遮光膜
３、さらに平坦化樹脂層２が形成されている（同図
（ａ））。
固体撮像装置の製造方法を示す断面フロー図である。な
お、図１において、１は固体撮像素子の形成されたウェ
ハー２は平坦化樹脂層、３は遮光膜、４はイエロー層、
５はシアン層、６はマゼンタ層、７はグリーン領域であ
る。固体撮像素子が形成されたウェハー１上に、アクリ
ル等の透明な平坦化樹脂層２があり、その上に遮光膜
３、さらに平坦化樹脂層２が形成されている（同図
（ａ））。
【００１１】最初に、平坦化樹脂層２上に、ジアゾ化合
物を感光剤とする合成樹脂からなる染色基質をスピンコ
ート法等により塗布する。これをステッパー等により選
択露光、現像を行って、パターンを形成する。次に該パ
ターン形成したものを、シアン染料にて染色し、シアン
層５を形成する。この時、染色層を染色した後、タンニ
ン酸水溶液、酒石酸アンチモニルカリウム水溶液等によ
り、染料の定着や色抜けや混色を防止するために化学処
理を行う（同図（ｂ））。次にシアン層５と同様に、イ
エロー層４を形成する（同図（ｃ））。さらに、同様の
方法にて、マゼンタ層６を形成する（同図（ｄ））。上
記方法にて形成したイエロー層４とシアン層５の重なり
あった部分として、グリーン層７を形成することにな
る。
物を感光剤とする合成樹脂からなる染色基質をスピンコ
ート法等により塗布する。これをステッパー等により選
択露光、現像を行って、パターンを形成する。次に該パ
ターン形成したものを、シアン染料にて染色し、シアン
層５を形成する。この時、染色層を染色した後、タンニ
ン酸水溶液、酒石酸アンチモニルカリウム水溶液等によ
り、染料の定着や色抜けや混色を防止するために化学処
理を行う（同図（ｂ））。次にシアン層５と同様に、イ
エロー層４を形成する（同図（ｃ））。さらに、同様の
方法にて、マゼンタ層６を形成する（同図（ｄ））。上
記方法にて形成したイエロー層４とシアン層５の重なり
あった部分として、グリーン層７を形成することにな
る。
【００１２】得られたカラーフィルターの分光特性を図
２に示す。なお、上記実施例では、染色基質をジアゾ化
合物を感光剤とする合成樹脂としたが、合成樹脂のかわ
りに、重クロム酸を感光剤とするゼラチンやカゼインを
用いてもよい。
２に示す。なお、上記実施例では、染色基質をジアゾ化
合物を感光剤とする合成樹脂としたが、合成樹脂のかわ
りに、重クロム酸を感光剤とするゼラチンやカゼインを
用いてもよい。
【００１３】又、上記方法において、マゼンタ層はイエ
ロー形成後としたが、シアン層の形成前でもよい。
ロー形成後としたが、シアン層の形成前でもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、本発明は、シアン層を形
成する第１工程と、イエロー層を形成する第２工程を備
えていることにより、第２工程により形成するイエロー
層は、シアン層の存在による凹凸な下地の表面上に形成
されているため、重なり部分のイエロー層の膜厚が薄く
なる。そのために、グリーン分光は、短波長領域におい
てはイエロー分光と一致し、長波長領域においてはシア
ン分光と一致し、良好な色再現性を実現できる。
成する第１工程と、イエロー層を形成する第２工程を備
えていることにより、第２工程により形成するイエロー
層は、シアン層の存在による凹凸な下地の表面上に形成
されているため、重なり部分のイエロー層の膜厚が薄く
なる。そのために、グリーン分光は、短波長領域におい
てはイエロー分光と一致し、長波長領域においてはシア
ン分光と一致し、良好な色再現性を実現できる。
【図１】本発明の実施例におけるカラー固体撮像装置の
製造方法を示す断面フロー図
製造方法を示す断面フロー図
【図２】本発明の実施例におけるカラーフィルターの分
光特性を示す図
光特性を示す図
【図３】従来例のカラー固体撮像装置の製造方法を示す
断面フロー図
断面フロー図
【図４】従来例におけるカラーフィルターの分光特性を
示す図
示す図
１ ウェハー ２ 平坦化樹脂層 ３ 遮光膜 ４ イエロー層 ５ シアン層 ６ マゼンタ層 ７ グリーン領域
Claims (1)
- 【請求項１】固体撮像素子を形成したウェハー上に色分
解用のモザイクカラーフィルタを形成するにあたり、シ
アン層を形成する第１工程と、イエロー層を形成する第
２工程を備えたことを特徴とするカラー固体撮像装置の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18498493A JPH0746611A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18498493A JPH0746611A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0746611A true JPH0746611A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16162768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18498493A Pending JPH0746611A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | カラー固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0746611A (ja) |
-
1993
- 1993-07-27 JP JP18498493A patent/JPH0746611A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0746611A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
| JPH0746612A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
| JP2614064B2 (ja) | 固体カラー撮像素子 | |
| JPH031642B2 (ja) | ||
| JPS62106404A (ja) | 色分解フイルタ−及びその製造法 | |
| JPH03255404A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
| JPH04111354A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPS63159807A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| KR940004298B1 (ko) | 컬러필터층 형성방법 | |
| JPS61295505A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6173103A (ja) | カラ−化固体撮像装置製造法 | |
| JPH0714995A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPS6214103A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JP3667951B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPS58154808A (ja) | 色フイルタ− | |
| JPH05164914A (ja) | カラー固体撮像装置 | |
| KR20010059228A (ko) | 두 개의 칼라필터를 사용하여 칼라 이미지를 구현하기위한 이미지센서 | |
| JP2558854B2 (ja) | カラー固体撮像装置 | |
| JPH03280575A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
| JPS63159806A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS63281103A (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
| JPH0685223A (ja) | 固体撮像装置とその製造方法 | |
| JPH0398002A (ja) | 固体撮像素子用光学カラーフィルタの製造方法 | |
| JPS62257104A (ja) | カラ−フイルタ | |
| JPS6242104A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 |