JPH0748046B2

JPH0748046B2 - 振動ジャイロ

Info

Publication number: JPH0748046B2
Application number: JP21868189A
Authority: JP
Inventors: 厚吉寺嶋
Original assignee: 赤井電機株式会社
Priority date: 1989-08-28
Filing date: 1989-08-28
Publication date: 1995-05-24
Anticipated expiration: 2010-05-24
Also published as: JPH0382911A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、角速度を検出する目的の下でコリオリの力
を検知する振動ジャイロに関するものである。

〔従来の技術〕

従来のこの種の振動ジャイロとしては、例えば第21図に
示すような圧電タイプのものがあり、これは、３次元座
標系内で、固定手段４の、Ｙ軸と直交するそれぞれの面
に、圧電材料よりなるバイモルフ，ユニモルフその他の
振動子５の二枚を音叉状に固定し、そして、それらのそ
れぞれの振動子５の自由端に、これもまた圧電材料から
なるそれぞれの検知手段６を、各々の広幅面が振動子５
のそれと直交する方向に向く状態で固定することにより
構成されている。

このような振動ジャイロの使用に際しては、はじめに、
振動子５に交流電圧を印加して振動子５を図の実線矢印
方向（Ｙ軸方向）に対称振動させる。なお、かかる対称
振動をもたらす方法としては、両振動子５に交流電圧を
印加する方法の他、一方の振動子５だけに交流電圧を印
加し、他方の振動子５を振動モニターとして利用して振
動状態の制御を行い、これによって振動を安定させる方
法があるが、これらのいずれにおいても、後述するコリ
オリの力を強くすべく、振動子５を共振状態で振動させ
て、振動振幅を大きくすることとしている。

次いで、振動子５の振動状態下で、振動ジャイロをＺ軸
の周りに角速度ωで回動させることによって、検知手段
６に、それを図の破線矢印方向（Ｘ軸方向）に撓ませる
ように作用するコリオリの力Fcを生じさせ、この結果と
して、その検知手段６に設けた電極間に電圧を発生させ
る。

ここで、この発生電圧は、コリオリの力Fcの大きさに比
例することから、その発生電圧を測定することによっ
て、角速度ωの大きさに応じた電圧が得られる。

なお一般的には、固定手段４に支持棒７を設けて装置全
体を支持することによって効率を高める工夫がなされて
いる。

〔発明が解決しようとする課題〕ところが、このような従来技術にあっては、振動子５の
先端に検知手段６を連結する構造であることにより、装
置か大型化する他、振動子５に交流電流を供給するため
の配線、検知手段６から信号電圧を取り出すための配線
などが複雑になる欠点があり、とくには、検知手段６に
対する配線は、線材の引回しに苦労するところが大であ
った。

すなわち、検知手段６が、常に大略数μｍ〜100μｍ程
度の振幅を有する振動下におかれており、信号電圧の取
出しのための線材の質量や弾性率、さらには変形状態そ
の他が、主には振動子５の振動に大きな影響を及ぼして
検知感度を変動させる要因となることから、その線材
を、振動子５の側面５′に接着させて、振動の小さい固
定手段４の付近まで延在させ、そこから所定の接続端子
まで引き出すこと、所定の接続端子を検知手段６の近傍
位置まで延在させて、線材の長さを短くすることにてそ
の線材の影響を低減することなどの手段が講じられてい
る。

しかしながら、このことによれば、振動ジャイロの製造
作業効率の著しい低減が不可避であった。

またこの一方において、振動子５の広幅面と、検知手段
６の広幅面とが正確に直交していない場合には、検知手
段６での検知信号中に、Ｙ軸方向の振動成分が漏れ込む
ことになるとともに、検知精度それ自体が低下すること
になる。ところで、図示のように、振動子５の端面と検
知手段６の端面とを直接的に連結する構造の下において
は、それらを接着剤によって単に固定するだけでは十分
な連結精度を望み得べくもない。

そこで、第22図に示すような連結部材８を介して、振動
子５と検知手段６とを連結する方法が提案されており、
この連結部材８を用いる方法によれば、振動子５および
検知手段６のそれぞれの電極の一部を、連結部材８に設
けられて、相互に直交する方向に向く面のそれぞれに接
着することによって、振動子５と検知手段６とを、比較
的容易に、高い直角度をもって連結することが可能とな
る。ところがこの場合には、連結部材８の、振動子接着
面と検知手段接着面とが相互に直交する方向に向いてい
ることから、振動子５と検知手段６との連結部材８への
接着を同時に行うためには、接着剤が硬化するまで、振
動子５および検知手段６のそれぞれを、連結部材８に、
所定の相対関係の下で正確に位置決め保持するために必
要となる治具の構造が複雑になるとともに、治具が大型
化して作業性が悪くなり、また、このような接着作業を
二工程に分けて行うときには、作業工数が著しく嵩むこ
とになる。

〔背景技術〕

一般に、一端を片持ち固定した圧電体バイモルフ素子
に、第23図に示すような力Ｆを加えてそれを撓ませた場
合は、シリーズ型バイモルフ13を例にとると、近似的に
は、Ｖ＝（3g₃₁・ｌ・Ｆ）／（2t・ｗ） g₃₁：電圧出力係数 l :長さ t :厚み w :幅で表される電圧Ｖを発生する。これに対し、第24図に示
すように、白抜矢印で示す方向に分極させるとともに、
上下面に図示しない電極を設けた、すべり振動子として
作用する圧電材料14に、力Ｆを加えて剪断変形させた場
合は、同様に、Ｖ′＝（ｔ′・g₁₅・Ｆ）／（ｌ′・ｗ′） g₁₅ :電圧出力係数ｌ′：長さｔ′：厚みｗ′：幅で表される電圧Ｖ′を発生する。

ここで、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）その他をもって
代表される圧電セラミック材料を例にとると、電圧出力
係数g₃₁,g₁₅は、比にしてg₁₅/g₃₁３程度であり、加え
られた力に対し、電圧出力係数に関してはすべり振動子
の方が有利ではあるが、それぞれの圧電材料の厚みt,
t′，幅w,w′，長さl,l′を考慮すると、前記二式から
明らかなように、出力電圧としては、すべり振動子が常
に有利であるとはいえない。

しかるに、第25図に示すように、固定手段４に駆動用振
動子５の一端部を連結し、その振動子５に交流電圧を印
加してＹ軸方向へ振動させながら、固定手段４をＺ軸の
周りに角速度ωで回動させると、発生したコリオリの力
Fcは、固定手段４の、振動子５との連結部９に、破線矢
印で示す剪断応力の他に、実線矢印で示すねじりモーメ
ントＭを作用させて、固定手段４を捩る方向の力を生じ
させる。従って、このねじりモーメントＭを積極的に利
用してコリオリの力Fcを測定することにより、振動ジャ
イロの製造上の作業性を向上させることができるととも
に、それの小型化を実現することができ、しかも、高い
測定精度をもたらすことができる。

この発明は、かかる点に着目してなされたものであり、
従来にない新規な振動ジャイロを提供するものである。

これをさらに詳述すると、第26図に示すように、基台10
とアーム12とを、第27図に示すような、長辺長さがａ、
短辺長さがｂの長方形輪郭を有する中間部材11を介して
連結した場合に、アーム12の先端にＸ軸方向の力Ｆを加
えると、中間部材11には、剪断応力τ＝F/a・ｂととも
に、Ｙ軸を回転軸とするねじりモーメントＭ＝Ｆ・Ｌ′
が作用し、このねじりモーメントＭによって、中間部材
11に、座標軸X,Y,Zの交点Ｏを中心とするねじり剪断応
力τ′が生じる。このねじり剪断応力τ′は、第27図に
示す中間部材11の、長辺の中点Ａにおいて最大となり、
その値は、 τ′max＝Ｆ・Ｌ′／α・ａ・b² α：長辺と短辺の長さの比a/bによって定まる定数となる。

このτ′maxはτに対し、τ′max/τ＝Ｌ′/a・ｂの相
対関係を有することから、ねじり剪断応力τ′を測定す
ることは極めて効果的である。

なお、ここでは、説明を容易ならしめるべく、中間部材
11を、ａ＞ｂの長方形輪郭形状としたが、第27図におい
てａ＜ｂであれば、中点Ｂに最大ねじり剪断応力が作用
することになり、ａ＝ｂであれば、両中点A,Bに最大ね
じり剪断応力が作用することになる。ところで、ねじり
剪断応力τ′で、中間部材11の中心Ｏと四隅において零
となり、辺の中点において高い値となる分布を示す。

以上に述べたように、中間部材11には、剪断応力τの
他、ねじり剪断応力τ′が作用する結果、その中間部材
11は、第28図に示すように、剪断応力τによる剪断歪γ
と、ねじり剪断応力τ′による剪断歪γ′とを生じるこ
とになる。

ここで、引張および剪断応力と電気変位との関連につい
てみるに、圧電材料に応力Ｔと電界Ｅが加わった場合に
発生する電気変位Ｄを式にて表現すると、となり、圧電材料としてチタン酸ジルコン酸鉛を例にと
ると、応力Ｔだけが加わった場合の電気変位は、で表される。なお、ここにおいては、加わる応力T₁〜T₆
は、第29図および第30図で示される方向に作用している
ものとし、圧電材料は白抜矢印で示すように、第３軸方
向に分極されているものとする。

以上のことから、第１軸と直交する面に電極を設けた場
合には、応力による第１軸方向の電気変位D₁は、 D₁＝d₁₅・T₅ となり、これは第２軸の周りの剪断応力T₅に対して電気
変位を発生するすべり振動子となる。

次に、第31図に示すように、Ｘ軸と直交する平面x₁,x₂
と、Ｙ軸と直交する平面y₁,y₂と、Ｚ軸と直交する平面z
₁,z₂とで形成される直六面体の圧電材料14に、その中心
を通るＹ軸の周りのねじりモーメントＭにより、Ｙ軸と
直交する面内にねじり剪断応力τ′が作用することで発
生する電気変位を考える。

ねじりモーメントＭによって、Ｙ軸と直交する面内にね
じり剪断応力τ′が生じると、このねじり剪断応力と直
交する面上に、大きさが等しくモーメントが逆の直交剪
断応力が共存するようになる。

すなわち、Ｙ軸方向に分極した圧電材料14の平面y₂上の
点P₂に作用する、図に破線矢印で示すねじり剪断応力
τ′p₂の方向がＸ軸に対してβの角度をなすとすると、
平面y₁上の、点P₂と対抗する点P₁には、そのねじり剪断
応力τ′p₂と大きさが等しく方向が逆のねじり剪断応力
が作用し、点P₁,P₂を結ぶ領域で、ねじり剪断応力τ′p
₂に直交する面、いいかえれば、Ｙ軸を含んでＸ軸と
（β＋π/2）の角度をなす面に、図に実線矢印で示すよ
うな直交剪断応力τ′p₂が作用することになる。

従って、領域P₁,P₂での、Ｙ軸と直交し、Ｘ軸と角度α
をなす方向への電気変位は、 Dp＝d₁₅τ′p₂cos（α−β）となる。また、Ｙ軸に対し、点P₂とは軸対称の位置にあ
る点P₂′においては、P₂に作用するねじり剪断応力と大
きさが等しく方向が逆のねじり剪断応力が、そして、
P₂′と対抗するP₁′には、その点P₂′に作用する剪断応
力と大きさが等しく方向が逆のねじり剪断応力がそれぞ
れ作用することから、点P₁′，点P₂′を結ぶ領域にもま
た同様の直交剪断応力τ′p₂が作用し、領域P₁′，P₂′
での、Ｙ軸と直交し、Ｘ軸とαの角度をなす方向への電
気変位は、 Dp′＝d₁₅τ′p₂cos（α−β−π）＝−d₁₅τ′p₂cos（α−β）となる。

このように、領域P₁,P₂と領域P₁′，P₂′には、大きさ
が等しく極性が異なる電気変位が発生するので、例え
ば、角度αが零、すなわち、平面x₁と平面x₂のそれぞれ
の全面に電極を設けても、発生した電荷が相互に打ち消
し合うことにより、電極間にはねじりモーメントＭの作
用に基づく電圧が発生することがなく、たとえ、第26図
に示した中間部材11を、そのような構成のすべり振動子
として用いても、ねじり剪断応力τ′は検出されず、単
純剪断応力τだけが電圧として検出されるので、検出応
力が小さく、高い検出感度を得ることができない。

そこで、この発明は、特定の電気変位を優先的に取り出
す構成とすることによって、ねじりモーメントＭの、高
い感度での検出を可能ならしめるとともに、小型で、生
産性に優れた高精度の振動ジャイロを提供する。

〔課題を解決するための手段〕

この発明の振動ジャイロは、とくに、圧電材料を、三次
元座標系のＹ軸方向に分極させるとともに、その圧電材
料の、Ｙ軸と平行をなす、少なくとも相対抗する二面に
電極を形成してなるすべり振動子を、駆動用振動子の一
端部を固定する固定手段の少なくとも一部として配設
し、そのすべり振動子の、相対抗する電極の少なくとも
一方の電極を、ねじりモーメントによる電気変位が打ち
消されないように、それの一部において欠落させ、圧電
材料の対抗面にそれぞれ形成した電極相互間の差動出力
に基づいて前記コリオリの力を検出するように構成した
ものである。

なおここで、少なくとも一方の電極の一部を欠落させる
代わりに、相対抗する電極の少なくとも一方の電極をＹ
軸を含む面で複数に分割すること、または、すべり振動
子それ自体を、Ｙ軸を含む面で複数に分割することも可
能である。

また好ましくは、一の固定手段に、二枚の振動子を音叉
状に取付ける。

〔作用〕

この振動ジャイロでは、コリオリの力を、すべり振動子
に作用する単純剪断応力と、そのコリオリの力によって
発生するねじりモーメントに基づく、すべり振動子のね
じり剪断応力との双方をもって検知することにより、従
来技術におけるように、検知手段６の撓み力を検知する
場合に比し、検知感度を大きく向上させることができ、
このことは、相対抗する電極の少なくとも一方の電極の
一部を欠落させた場合、対抗電極の少なくとも一方の電
極もしくはすべり振動子それ自体を複数に分割した場合
のいずれにおいても同様である。

また、駆動用の二枚の振動子を固定手段に音叉状に取付
けた振動ジャイロでは、検知感度を倍増させることがで
きるとともに、外部の振動ノイズに対するS/N比を向上
させることができる。

一方において、この振動ジャイロでは、すべり振動子
を、駆動用振動子の固定手段の少なくとも一部として配
設することにより、従来技術で述べた検知手段６を不要
ならしめて、装置を十分に小型化することができる他、
電極を固定手段の近傍に集中させることにより、線材の
引き回しに伴う不都合を有効に取り除くことができる。

しかも、ここでは、振動ジャイロの組み立てに際し、駆
動用振動子の一端部を、固定手段に面接着することがで
きるので、それら両者の位置決めおよび精度保持が極め
て容易であり、それ故に、性能のばらつきが小さく、安
定した性能の振動ジャイロを、安価にしかも大量に供給
することが可能となる。

〔実施例〕

以下にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、この発明の要部であるすべり振動子を例示す
る斜視図である。

これは、平面x₁,x₂,y₁,y₂,z₁,z₂で構成される直六面体
の圧電材料14をＹ軸と平行をなす方向へ分極させるとと
もに、平面x₁,x₂のそれぞれに、図に斜線で示すように
電極15a,16aを形成し、平面x₁上の任意の点をQ₁、平面x
₂の上の、それと対抗する点をQ₂としたときに、少なく
とも一方の電極、図に示すところでは、電極16aの点Q₂
部分を局部的に欠落させたすべり振動子１を示す。

このようなすべり振動子１は、たとえば第４図に示すよ
うに、それを基台２の、Ｙ軸と直交する一方の面に取付
けることによって固定手段３を構成する。そして、かか
る固定手段３への振動子５の連結は、一枚の振動子５の
一端部、図では下端部を、接着剤その他によって、すべ
り振動子１に固着することによって行うことができる。

ここで、振動子５に交流電圧を印加して、それをＹ軸方
向に強制振動させるとともに、固定手段３をＺ軸の周り
に角速度ωで回動させてコリオリの力Fcを発生させる
と、圧電材料14には、ねじりモーメントＭにより、Ｙ軸
と直交する面内のねじり剪断応力と、このねじり剪断応
力に応じた大きさの直交剪断応力が作用し、電極15a,16
a間には、点Q₁,Q₂間に発生した電気変位によって打ち消
されることのない電気変位が発生し、それが両電極間の
電圧として検出されるこのような電極構成において、ねじりモーメントＭに対
する検出感度が高く、実用性の高い構成は、平面x₁,x₂
の少なくとも一方の面における電極が、それらの面の半
分にのみ形成されており、しかも、半分の電極の欠落辺
縁がＹ軸と平行になるよう構成したもの、または、平面
z₁,z₂の少なくとも一方の面における電極が、それらの
面の半分にのみ形成され、かつ、半分の電極の欠落辺縁
がＹ軸と平行になるように構成したものであり、第２図
および第３図にその構成例を示す。

第２図に示す構成は、平面x₂上の電極16bを、その平面x
₂の半分の面積とすると共に、電極16bの欠落辺縁17bを
Ｙ軸と平行にしたものであり、また、第３図に示す構成
は、両平面x₁,x₂上の各電極15c,16cをともに、それらの
平面x₁,x₂の半分の面積として相互に対抗させ、併せて
それぞれの欠落辺縁17c,17dをＹ軸と平行にしたもので
ある。

第5,6,7図は、それぞれ、すべり振動子の他の適用例、
言い換えればこの発明の他の実施例を示す斜視図であ
る。

第５図は、基台２の、Ｙ軸と直交する二面にすべり振動
子１を取付けて固定手段３を構成するとともに、二枚の
振動子５を、その下端部で、固定手段３のすべり振動子
１に音叉状に取付けたものであり、第６図に示す例は、
一枚のすべり振動子１を基台間に挟み込むことによって
固定手段３を構成し、各基台２の、Ｙ軸と直交するそれ
ぞれの面に、二枚の振動子５の各下端部を音叉状に固定
したものである。そして、第７図に示す例は、すべり振
動子１だけで固定手段３を構成したものである。

ここで、たとえば第５図に示す振動ジャイロにあって
は、第８図に例示するような検出回路を構成することに
より、二個の圧電材料14の出力電圧を差動的に取出すこ
とができ、外部の振動ノイズに対するS/N比を向上させ
ることができるとともに、コリオリの力Fcの検出感度を
倍増させることができる。

また、第９図に示すように、固定手段３に取付けた支持
棒７によって全体を支持した場合には、振動子５の強制
振動を安定させて、共振下での効率のよい作動を担保す
ることができる。

なお、第３図に示すようなすべり振動子１を用いる場合
には、電極を形成しない部分は、そこで発生した電気変
位を信号として利用し得ないことから必ずしも必要では
ないので、第10図に示すように、電極15c,16cに挟まれ
ない部分を、他の間隔部材18にて構成することができ、
その間隔部材18を基台２に一体成形することもできる。

第11図は、他のすべり振動子を例示する図であり、第３
図に示すすべり振動子において、電極15c,16cを形成し
ていない部分に発生する電気変位を有効に利用すべく、
分極方向をＹ軸方向とするとともに、平面x₁上の電極お
よび平面x₂上の電極のそれぞれを、Ｙ軸と平行な抜きパ
ターン19a,19bのそれぞれによって分割して、電極15dと
16dおよび電極15eと16eとを相互に対抗させ、同様に平
面z₁上の電極を抜きパターン19cによって電極15f,15g
に、平面z₂上の電極を抜きパターン19dによって電極16
f,16gにそれぞれ分割して、電極15fと16f及び電極15eと
16eとを相互に対抗させたものである。

なお、圧電材料14の各隅部20,21,22,23にては、隣接す
る電極は相互に絶縁されている。

このすべり振動子１では、そこにねじりモーメントＭが
作用すると、対抗する電極間において、電極15e,15f,16
d,16gに向けた電気変位は同極性となるので、たとえば
第12図に示すような検出回路を構成することにより、ね
じりモーメントＭによる発生電荷量を増加させることが
できるとともに、振動ノイズに対するS/N比を向上させ
ることができる。従って、このすべり振動子によって第
４〜７図に示すような振動ジャイロを構成することによ
り、優れた性能を発揮させることができる。

なおここで、抜きパターンの位置や数は、検出効率の良
い一例を示したにすぎないので、図示例のみに限定され
ることなく、種々に変更し得ることはもちろんである。
また、平面x₁もしくは平面x₂のいずれか一方、または／
および平面z₁もしくは平面z₂のいずれか一方の面上の電
極を分割しないままとすることも可能である。

第13図は、さらに他のすべり振動子を例示する斜視図で
あり、これは、分極方向をＹ軸方向とし、座標原点位置
で、Ｚ軸と直交する面にて二分割された二個の圧電材料
14の、それぞれの平面x₁，平面x₂に、電極15h,15iおよ
び16h,16iを形成したものである。

このすべり振動子１は、たとえば、第14図、第15図に示
すような回路構成の下で、逆極性の電気変位を有効に取
り出すことにより、ねじりモーメントＭによる発生電荷
量を増加し、振動ノイズに対するS/N比を良好ならしめ
ることができる。

ところで、このすべり振動子１の分割の位置および角度
などは、所要に応じて適宜に変更することができる。な
お、分割は、両平面y₁,y₂を横切る面をもって、Ｙ軸と
直交する面内で行うことが必要である。

第16図は、その一例を示す図であり、Ｙ軸方向に分極さ
せた圧電材料14を、Ｙ軸を含み、Ｘ軸に対して＋π/4お
よび−π/4をなすそれぞれの面によって、Ｙ軸と直交す
る面内で四個に分割したものである。

第17〜20図は、それぞれ、上述したような分割すべり振
動子、ここでは第13図に示した振動子の適用例を示す図
であり、これらのいずれの振動ジャイロによっても、優
れた性能をもたらすことができる。

なお、以上に述べたところでは、説明を簡単にするため
に、圧電材料14の基本形状を直六面体形状としたが、そ
の他の形状であってもこの発明の所期した作用効果を達
成し得ることはもちろんである。また、圧電材料とし
て、チタン酸鉛、チタン酸バリウムなどを用いても同様
の作用効果をもたらすことができる。

〔発明の効果〕

かくしてこの発明によれば、検知感度を大きく向上させ
ることができる他、振動ジャイロの十分なる小型化およ
びそれの生産性の向上を実現することができ、さらに
は、品質の安定化と精度の向上とをもたらすことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１〜３図はそれぞれ、この発明に係るすべり振動子を
例示する斜視図、第４〜７図および第9,10図はそれぞれ、この発明の振動
ジャイロを例示する斜視図、第８図は、検出回路を例示する図、第11図は、他のすべり振動子を例示する斜視図、第12図は、コリオリの力の他の検出回路を例示する斜視
図、第13図は、さらに他のすべり振動子を例示する斜視図、第14,15図はそれぞれ、さらに他の検出回路を例示する
斜視図、第16図は、圧電材料の分割例を示す斜視図、第17〜20図はそれぞれ、分割タイプのすべり振動子を用
いた振動ジャイロを例示する斜視図、第21図は、従来技術を例示する斜視図、第22図は、従来の連結部材を例示する斜視図、第23〜31図はそれぞれ、この発明の作用を説明するため
の図である。１……すべり振動子、２……基台、３……固定手段、５
……振動子、14……圧電材料、15a〜15i,16a〜16i……
電極、17b〜17d……欠落辺縁、19a〜19d……抜きパター
ン。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】振動子の一端部を、三次元座標系内で、固
定手段の、Ｙ軸と直交する面に固定してなり、その振動
子のＹ軸方向への振動下での、前記固定手段の、Ｚ軸の
周りでの回動運動によって、Ｘ軸方向に生じるコリオリ
の力を検知する振動ジャイロにおいて、圧電材料をＹ軸方向に分極させるとともに、その圧電材
料の、Ｙ軸と平行をなす、少なくとも相対抗する二面に
電極を形成してなるすべり振動子を、前記固定手段の少
なくとも一部として配設し、そのすべり振動子の相対抗
する電極の少なくとも一方の電極を、ねじりモーメント
による電気変位が打ち消されないように、それの一部に
おいて欠落させ、圧電材料の両面にそれぞれ形成した電
極相互間の差動出力に基づいて前記コリオリの力を検出
するように構成したことを特徴とする振動ジャイロ。
【請求項２】振動子の一端部を、三次元座標系内で、固
定手段の、Ｙ軸と直交する面に固定してなり、その振動
子のＹ軸方向への振動下での、前記固定手段の、Ｚ軸の
周りでの回動運動によって、Ｘ軸方向に生じるコリオリ
の力を検知する振動ジャイロにおいて、圧電材料をＹ軸方向に分極させるとともに、その圧電材
料の、Ｙ軸と平行をなす、少なくとも相対抗する二面に
電極を形成してなるすべり振動子を、前記固定手段の少
なくとも一部として配設し、そのすべり振動子の相対抗
する電極の少なくとも一方の電極を、Ｙ軸を含む面で複
数に分割し、圧電材料の対抗面にそれぞれ形成した電極
相互間の差動出力に基づいて前記コリオリの力を検出す
るようにしたことを特徴とする振動ジャイロ。
【請求項３】振動子の一端部を、三次元座標系内で、固
定手段の、Ｙ軸と直交する面に固定してなり、その振動
子のＹ軸方向への振動下での、前記固定手段の、Ｚ軸の
周りでの回動運動によって、Ｘ軸方向に生じるコリオリ
の力を検知する振動ジャイロにおいて、圧電材料をＹ軸方向に分極させるとともに、その圧電材
料の、Ｙ軸と平行をなす、少なくとも相対抗する二面に
電極を形成してなるすべり振動子を、前記固定手段の少
なくとも一部として配設し、そのすべり振動子を、Ｙ軸
を含む面で複数に分割し、各分割体の対抗面に形成した
電極相互間の差動出力に基づいて前記コリオリの力を検
出するようにしたことを特徴とする振動ジャイロ。
【請求項４】前記振動子の二枚を、固定手段に音叉状に
取付けてなる請求項１〜３のいずれかに記載の振動ジャ
イロ。