JPH0748369Y2 - 平面研摩機 - Google Patents

平面研摩機

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JPH0748369Y2
JPH0748369Y2 JP1987162588U JP16258887U JPH0748369Y2 JP H0748369 Y2 JPH0748369 Y2 JP H0748369Y2 JP 1987162588 U JP1987162588 U JP 1987162588U JP 16258887 U JP16258887 U JP 16258887U JP H0748369 Y2 JPH0748369 Y2 JP H0748369Y2
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JP
Japan
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polishing
swing arm
polishing surface
crank
mounting block
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JP1987162588U
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JPH0166963U (ja
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義博 相良
昌弘 近藤
洋 若林
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TDK Corp
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【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案は、磁気ヘッドその他の小型部品のスライダ面等
の研摩を行うための平面研摩機に関する。
(従来の技術及び問題点) 研摩用定盤上に対接する被加工物を保持した治具を揺動
アーム等で支持する平面研摩機は、従来より知られてい
が、従来の平面研摩機は、定盤上における治具の移動軌
跡の自由度が少なく、被加工物に応じた移動軌跡を任意
に選定することができず、研摩条件の細かい設定が出来
ない欠点がある。
(問題点を解決するための手段) 本考案は、上記の点に鑑み、被加工物を保持した治具の
定盤上における移動軌跡の自由度が大きく、被加工物に
応じた移動軌跡の選定が容易で、研摩条件の細かい設定
が可能な平面研摩機を提供しようとするものである。
本考案の平面研摩機は、ベースに上面が研摩面となった
円盤を接合し、内部に一定温度の液体の供給を受ける液
体通路を有し、回転駆動される研摩用定盤と、該定盤か
ら所定間隔離れた位置に枢支されていて前記研摩面に垂
直な揺動支点軸と、該揺動支点軸に固定された空気圧式
ロータリーアクチュエータと、該ロータリーアクチュエ
ータの前記揺動支点軸に直交する回転軸に固定された揺
動アーム取付ブロックと、該揺動アーム取付ブロックに
取付位置が調整自在な如く固定されていて前記回転軸の
回転に伴い前記研摩面に垂直な面内で回動自在な揺動ア
ームと、前記研摩面上に対接する被加工物を保持してい
て前記揺動アームの先端側に設けられた治具と、前記揺
動アームの先端側に設けられたウェイトと、前記揺動ア
ームの後端側に設けられたカウンタウェイトと、前記揺
動支点軸に対し前記研摩面に平行な面内での取付角度が
調整自在な如く固着された連結部材取付ブロックと、該
連結部材取付ブロックに固定された連結部材と、回転駆
動されるクランクと、該クランクに一端が枢着されかつ
他端が前記連結部材に枢着されていて長さ調整部を有し
かつ当該クランクへの枢着点の偏芯位置が調整自在なク
ランクロッドとを備え、 前記クランクの回転により前記クランクロッドを介して
前記揺動支点軸を揺動支点として前記揺動アームの先端
に前記研摩面に平行な面内での揺動運動を行わせる構成
とするとともに、前記ウェイト、カウンタウェイト及び
前記ロータリーアクチュエータにかかる空気圧を調整す
ることで前記治具への研摩荷重を調整自在に構成したこ
とにより、上記従来技術の問題点を解消している。
(作用) 本考案の平面研摩機においては、揺動アーム先端の運動
軌跡、すなわち被加工物を保持した治具の動きを被加工
物に応じて種々変更でき、研摩条件の細かい設定が出来
るとともに、定盤温度を一定に保つことにより高精度の
研摩加工が可能である。さらに、前記治具に加える研摩
荷重の設定の自由度も大きく、被加工物に応じて適切な
研摩荷重を設定できる。
(実施例) 以下、本考案に係る平面研摩機の実施例を図面に従って
説明する。
第1図及び第2図は実施例の全体構成を示す。これらの
図において、本体テーブル1には3個の研摩用定盤2が
配置され、個々の定盤2に対して揺動アーム3等を有す
るオスカー機構(揺動機構)4が設けられている。第2
図のように本体テーブル1には個々の定盤2を回転駆動
するためにそれぞれスピンドル5が設置されており、各
スピンドル5はそれぞれスピンドルモータ6により回転
駆動される。定盤2はスピンドル5上部に一体のスピン
ドルテーブル7に対して固着される。前記揺動アーム3
の先端には被加工物を前記定盤上面の研摩面に対接させ
るように保持した治具8が装着されている。
第3図は研摩用定盤2の構造を示すもので、定盤2はベ
ース10に上面が研摩面となった錫円盤11を接合したもの
であり、一定温度の液体としての恒温水の供給を受ける
液体通路を内部に有している。
第4図は被加工物を前記定盤上面の研摩面に対接させる
ように保持した治具8を所定の運動軌跡で動かすための
オスカー機構4を示す。この図において、クランク軸15
は、本体テーブル1に対して軸受16で回転自在に支持さ
れ、巻き掛け伝動機構等を介して前記スピンドルモータ
6の回転駆動力を受けるようになっている。従って、オ
スカー機構4の動きは定盤2の動作に連動し、定盤2が
停止したときにはオスカー機構4も停止する。
前記クランク軸15の上端にはクランク20が固着され、第
5図のように該クランク20には直径方向溝21が形成さ
れ、さらに溝21に沿って目盛り板22が配設されている。
その溝21には位置調整用スライド部材23が嵌合し、該ス
ライド部材23にはボルト24が螺合しており、当該ボルト
24に螺合するスペーサ25とスライド部材23でクランク20
の一部(溝21の縁部)を挟持することでクランク20に対
するスライド部材23の位置が固定される。また、ボルト
24を利用してクランクロッド26の一端が枢着される。ク
ランクロッド26は、雄螺子部材27と雌螺子部材28とを組
み合わせた長さ調整部29を有している。長さの固定は、
雄螺子部材27に螺合するナット30を雌螺子部材28の両側
に配置して締め付けることにより行う。
また、本体テーブル1の前記定盤から所定間隔離れた位
置には軸受31を介して揺動支点軸32の上端に固定された
ブラケット33に空気圧式ロータリーアクチュエータ34が
固定されている。ここで、空気圧式ロータリーアクチュ
エータ34は、空気圧式揺動形アクチュエータあるいは揺
動モータとも呼ばれるもので、その空気圧によってその
回転軸35を回転させ、揺動運動を外部に伝達可能であ
る。但し、前記揺動支点軸32は前記定盤2の研摩面に垂
直な向きで、回転軸35は前記揺動支点軸32と直交してい
る。そして、ロータリーアクチュエータ34の回転軸35に
は方形枠部を一体に有する揺動アーム取付ブロック36が
一体に回転するように固定され、該取付ブロック36の方
形枠部に揺動アーム3がセットボルト37、圧接部材38を
介して押圧、固定される。揺動アーム3の側面には目盛
り39が刻設されており、前記セットボルト37を緩めるこ
とにより支点軸32から揺動アーム3先端までの長さを調
整可能になっている。
なお、スプリングピン40がブラケト33に取り付けられて
おり、揺動アーム3が第4図一点鎖線Xのように傾斜し
て(定盤研摩面に垂直な面内で回動して)その先端が持
ち上げられた時に、ピン40先端が取付ブロック36の凹部
41に嵌入して揺動アームを持ち上げ状態に保持するよう
にしている。研摩時はスプリングピン40と凹部41との嵌
合は外れている。
ブラケット33の下側には、第7図のように、2分割され
たブロック42A,42Bをビス43で締め付けて支点軸32に固
着一体化した連結アーム取付ブロック(連結部材取付ブ
ロック)42が配設され、この取付ブロック42に連結部材
としての連結アーム44の一端がビスで固定される。連結
アーム44の他端はクランクロッド26の端部に枢着されて
いる。この場合にも、ビス43を緩めて支点軸32に対する
取付ブロック42の回転方向位置(研摩面に平行な面内で
の取付角度)を変化させることにより、揺動アーム3の
先端位置をずらせることができる。
第4図のように、揺動アーム3の先端には治具装着部材
45が垂直に固定され、治具装着部材45の下端に被加工物
を保持した治具8が装着される。すなわち、治具8は、
揺動アーム3の水平面(定盤研摩面に平行な面)内での
揺動運動を治具装着部材45を介して受けるようになって
いる。揺動アーム3の先端上には所定のウィエト46が載
置され、揺動アーム3の後端にはカウンタウェイト47が
設けられ、これらのウェイト46,47はナットで固定され
る。ウェイト46,47で治具8に加わる研摩荷重が設定さ
れる。また、ウェイト46による荷重以上に研摩荷重が必
要な場合は、ロータリーアクチュエータ34の回転力を利
用して荷重を加えることも可能である。荷重は、ロータ
ーリアクチュエータ34にかかる空気圧を調整することに
より、可変可能である。
なお、研摩用定盤2の液体通路には、恒温水装置より一
定温度の恒温水が供給されていて、研摩加工中定盤2の
温度を一定に保って精密な研摩加工を行い得るようにし
ている。また、定盤上面の研摩面には研摩液が等時間お
きに一定量供給されるようになっている。
以上の実施例の構成において、(a)まず、ボルト24を
緩めてクランク20に対するクランクロッド26の枢着点位
置(偏心位置)を適当に設定してからボルト24を締め、
被加工物を保持した治具8の振り角度を設定する。
(b)クランクロッド26の雌螺子部材28を回転して長さ
調整部29の長さを変えて治具8の振り状態を設定する。
(c)セットボルト37を緩めて揺動アーム3を取付ブロ
ック36より出し入れして適当長としてからセットボルト
37を締めて治具8の振り幅を設定する。(d)そして
(a)乃至(c)の条件を変えずに支点軸32をつかんで
いる連結アーム取付ブロック42のビス43を緩めて支点軸
32とブロック42の相対位置を変えてからビス43を締める
ことにより治具8の振り位置を変えることもできる。そ
れから、揺動アーム3の前後のウィエト46,47を設定し
て研摩荷重を設定する。これらの条件の設定後、研摩用
定盤2及びオスカー機構4の動作を開始し、治具8で保
持された被加工物の定盤研摩面での研摩加工を実行す
る。
治具8及び定盤2の交換は、人手により揺動アーム3の
先端を持ち上げ、スプリングピン40によりロックするこ
とによって実行する。
第8図及び第9図は本考案の他の実施例を示す。この場
合、各研摩用定盤2に対して2個のオスカー機構4A,4B
を設け、2つの治具8を動かすようにしている。各オス
カー機構4A,4Bはクランク20を共用することができる。
その他の構成は、前述の実施例の同様である。
(考案の効果) 以上説明したように、本考案の平面研摩機によれば、回
転する研摩用定盤と、該定盤上に対接する被加工物を保
持した治具を先端側に設けた揺動アームと、クランクロ
ッドを介して前記揺動アームの先端に揺動運動を行わせ
るクランクとを備え、前記クランクに対するクランクロ
ッド枢着点の偏芯位置、前記クランクロッド長さ、前記
揺動アームの支点から先端までの長さ及び前記揺動アー
ムの回転方向の位置を調整自在したので、被加工物を保
持した治具の定盤上における移動軌跡の自由度を大きく
することができ、被加工物に応じた移動軌跡の選定が容
易で、研摩条件の細かい設定が可能である。また、定盤
温度を一定に保つことにより高精度の研摩加工が可能で
ある。さらに、前記揺動アームの先端側のウェイト、後
端側のカウンタウェイト、及び空気圧式ロータリーアク
チュエータの空気圧を調節することで前記治具に加える
研摩荷重を広範囲に調整でき、被加工物に対応させて適
切な研摩荷重に設定できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る平面研摩機の実施例の全体構成を
示す平面図、第2図は同側面図、第3図は研摩用定盤の
正断面図、第4図はオスカー機構の一部を断面とした側
面図、第5図はクランクの平面図、第6図は揺動アーム
取付部分の断面図、第7図は連結アーム取付ブロック部
分の断面図、第8図は他の実施例の平面図、第9図は同
正面図である。 1……本体テーブル、2……研摩用定盤、3……揺動ア
ーム、4,4A,4B……オスカー機構、8……治具、20……
クランク、26……クランクロッド、29……長さ調整部、
32……支点軸、34……ロータリーアクチュエータ、36…
…揺動アーム取付ブロック、42……連結アーム取付ブロ
ック、44……連結アーム、46,47……ウェイト。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 若林 洋 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 ティ ーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−20855(JP,A) 特開 昭60−62459(JP,A) 実開 昭59−183748(JP,U)

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】ベースに上面が研摩面となった円盤を接合
    し、内部に一定温度の液体の供給を受ける液体通路を有
    し、回転駆動される研摩用定盤と、該定盤から所定間隔
    離れた位置に枢支されていて前記研摩面に垂直な揺動支
    点軸と、該揺動支点軸に固定された空気圧式ロータリー
    アクチュエータと、該ロータリーアクチュエータの前記
    揺動支点軸に直交する回転軸に固定された揺動アーム取
    付ブロックと、該揺動アーム取付ブロックに取付位置が
    調整自在な如く固定されていて前記回転軸の回転に伴い
    前記研摩面に垂直な面内で回動自在な揺動アームと、前
    記研摩面上に対接する被加工物を保持していて前記揺動
    アームの先端側に設けられた治具と、前記揺動アームの
    先端側に設けられたウェイトと、前記揺動アームの後端
    側に設けられたカウンタウェイトと、前記揺動支点軸に
    対し前記研摩面に平行な面内での取付角度が調整自在な
    如く固着された連結部材取付ブロックと、該連結部材取
    付ブロックに固定された連結部材と、回転駆動されるク
    ランクと、該クランクに一端が枢着されかつ他端が前記
    連結部材に枢着されていて長さ調整部を有しかつ当該ク
    ランクへの枢着点の偏芯位置が調整自在なクランクロッ
    ドとを備え、 前記クランクの回転により前記クランクロッドを介して
    前記揺動支点軸を揺動支点として前記揺動アームの先端
    に前記研摩面に平行な面内での揺動運動を行わせる構成
    とするとともに、前記ウェイト、カウンタウェイト及び
    前記ロータリーアクチュエータにかかる空気圧を調整す
    ることで前記治具への研摩荷重を調整自在としたことを
    特徴とする平面研摩機。
JP1987162588U 1987-10-26 1987-10-26 平面研摩機 Expired - Lifetime JPH0748369Y2 (ja)

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JPH0166963U JPH0166963U (ja) 1989-04-28
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