JPH0748462A - 帯電防止透明シートの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】導電性、透明性、耐擦過傷性、及び硬度に優れ
た帯電防止透明シートの製造方法。 【構成】透明シートの一面に、無機導電性塗料を塗布
後、活性光線を照射し、硬化させ、積層体を得る第１工
程及び有機導電性塗料を第一層導電性塗膜上に塗布後、
活性光線を照射し、硬化させ、帯電防止透明シートを得
る第２工程からなる帯電防止透明シートの製造方法であ
って、無機導電性塗料が、（メタ）アクリレート化合
物、金属酸化物を主成分とする導電性粉末及び光重合開
始剤からなり、有機導電性塗料が、（メタ）アクリレー
ト化合物、共役系化合物の重合体及び光重合開始剤から
なる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、導電性、耐擦過傷性、
硬度、透明性に優れた帯電防止透明シートの製造方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】導電性合成樹脂成形体は、その性質を生
かし、半導体ウエハー保存容器、電子・電気部材、半導
体製造工場の床材や壁材等に用いられている。従来か
ら、合成樹脂成形体に導電性を付与するために、合成樹
脂成形体を、カーボン粉末や金属粉末入り塗料でコーテ
ィングしたり、あるいはカーボン粉末、カーボン繊維及
び金属繊維等を合成樹脂に練り込んで成形することが行
われている。

【０００３】しかし、これらの従来法では得られる塗膜
及び合成樹脂成形品自体が着色しているため不透明であ
り、内容物を透視することができず、帯電防止の必要な
部所を窓部にすることができないという問題があった。

【０００４】又、近年、半導体産業では、クリーンルー
ムから金属成分を排除しようとする傾向があり、有機化
合物を用いた導電材料が望まれている。

【０００５】又、特開昭６１−２８５２１６号公報に
は、窒素又は硫黄を有する複素環モノマーを成形体表面
に施し、酸化剤によって重合させ、有機導電性ポリマー
層を成形体上に形成する方法が開示されているが、ポリ
マー層の強度に欠け、容易に擦傷若しくは剥離するとい
う問題があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、導電
性を有すると共に、透明性、擦過傷性、硬度及び耐薬品
性に優れた帯電防止透明シートを容易に製造し得る方法
を提供することにある。

【０００７】

【問題を解決するための手段】本発明の第１工程で用い
られる無機導電性塗料は、（メタ）アクリレート化合
物、金属酸化物を主成分とする導電性粉末及び光重合開
始剤よりなる。

【０００８】上記（メタ）アクリレート化合物は、分子
内に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メ
タ）アクリレート化合物である。このような（メタ）ア
クリレート化合物としては、例えば、エチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ノナエチレングリコールジ（メタ）
アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アク
リレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、テトラプロピレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、ノナプロピレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、２，２−ビス［４−（（メタ）アクリロキシジエト
キシ）フェニル］プロパン、１，６─ビス（３─アクリ
ロキシ─２─ヒドロキシプロピル）ヘキシルエーテル等
の２官能（メタ）アクリレート、もしくはペンタエリス
リトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプ
ロパントリ（メタ）アクリレート、グリセロールトリ
（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸トリス（（メ
タ）アクリロキシエチル）等の３官能（メタ）アクリレ
ート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー
ト等の４官能以上の（メタ）アクリレート等が挙げられ
る。

【０００９】更に、上記以外の（メタ）アクリレート化
合物として、分子末端に（メタ）アクリロイル基を２個
以上有し、分子内にウレタン結合を有するアクリル系ウ
レタンオリゴマーも、得られる第一層導電性塗膜が、耐
擦過傷性に優れ好適である。このようなアクリル系ウレ
タンオリゴマーは、例えば、１分子内に２個以上のイソ
シアネート基を有する化合物と活性水素を有する（メ
タ）アクリレート化合物を作用させて調製される。

【００１０】１分子内に２個以上のイソシアネート基を
有する化合物としては、例えば、ｍ−フェニレンジイソ
シアネート、ｐ−フェニレンジイソシアネート、トルエ
ン−２，４−ジイソシアネート、トルエン−２，６−ジ
イソシアネート、トルエン−２，５−ジイソシアネー
ト、トルエン−３，５−ジイソシアネート、ｍ−キシリ
レン ジイソシアネート、ｐ−キシリレンジイソシアネ
ート、ヘキサメチレンジイソシアンート、トリメチルヘ
キサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシア
ネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネー
ト、４，４’−ジイソシアネート−３，３’−ジメチル
ビフェニル、４，４’−ジイソシアネート−３，３’−
ジメチルビフェニルメタン等が挙げられる。

【００１１】活性水素含有の（メタ）アクリレート化合
物としては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）ア
クリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレ
ート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、１，６−ビ
ス（３−アクリロキシ−２−ヒドロキシプロピル）−ヘ
キシルエーテル、ペンタエリスリトールトリ（メタ）ア
クリレート、（メタ）アクリル酸等が挙げられる。上記
（メタ）アクリレート化合物は単独で用いられても併用
されてもよい。

【００１２】又、分子内に１個の（メタ）アクリロイル
基を有する（メタ）アクリレート化合物を添加すると、
得られる第一層導電性塗膜に柔軟性、強靭性が付与され
好適である。

【００１３】上記導電性粉末としては、金属酸化物を主
成分とするものであればよく、特に限定されない。例え
ば、アンチモン含有酸化錫、アンチモン含有酸化錫でコ
ートされている硫酸バリウム、酸化錫含有酸化インジウ
ム、酸化錫等が挙げられる。アンチモン含有酸化錫の平
均粒径は、大きいと、導電性粉末が可視光線を散乱し、
得られる第一層導電性塗膜の透明性が低下し、又、小さ
いと、得られる第一層導電性塗膜の導電性が低下し、該
酸化錫が沈降しやすくなると共に、塗料がゲル化しやす
くなるので、０．０１μｍ〜０．４μｍが好ましい。

【００１４】アンチモンの含有量は、少ないと得られる
第一層導電性塗膜の導電性が低下し、多いと得られる第
一層導電性塗膜の透明性が低下するので、０．１〜２０
重量％が好ましい。このようなアンチモン含有酸化錫と
しては、三菱マテリアル社から商品名Ｔ−１で販売され
ている。

【００１５】アンチモン含有酸化錫でコートされている
硫酸バリウムの平均粒径は、小さくなると、得られる第
一層導電性塗膜の透明性が低下し、又、大きくなると第
一層導電性塗膜表面の平滑性の低下を生じるので、０．
１μｍ〜２μｍが好ましい。このようなアンチモン含有
酸化錫でコートされている硫酸バリウムとしては、三井
金属社から商品名パストランＴｙｐｅ−ＩＶで販売され
ている。

【００１６】酸化錫含有酸化インジウムの粒径は、大き
いと、導電性粉末が可視光線を散乱し、得られる第一層
導電性塗膜の透明性が低下し、又、小さいと、得られる
第一層導電性塗膜の導電性が低下し、該酸化インジウム
が沈降しやすくなると共に、塗料がゲル化しやすくなる
ので、０．０１μｍ〜０．４μｍが好ましい。

【００１７】酸化錫含有酸化インジウムの酸化錫の含有
量は、少ないと得られる第一層導電性塗膜の導電性が低
下し、多いと得られる第一層導電性塗膜の透明性が低下
するので、０．１〜２０重量％が好ましい。

【００１８】酸化錫の粒径は、大きいと、導電性粉末が
可視光線を散乱し、得られる第一層導電性塗膜の透明性
が低下し、又、小さいと、得られる第一層導電性塗膜の
導電性が低下し、該酸化錫が沈降しやすくなると共に、
塗料がゲル化しやすくなるので、０．０１μｍ〜０．４
μｍが好ましい。

【００１９】導電性粉末の添加量は、上記（メタ）アク
リレート化合物１００重量部に対して、１００〜１００
００重量部に限定される。１００００重量部より多い
と、得られる第一層導電性塗膜の透明性が低下し、１０
０重量部より少ないと、得られる第一層導電性塗膜の導
電性が低下する。

【００２０】光重合開始剤は、紫外線等の活性光線によ
り、上記（メタ）アクリレート化合物の光重合を開始さ
せる性質のものであれば良く、特に限定されない。例え
ば、ジメチルジチオカルバミン酸ナトリウム、ジフェニ
ルモノサルファイド、ジベンゾチアゾイルモノサルファ
イド及びサルファイド類；チオキサントン、２−エチル
チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−
ジエチルチオキサントン等のチオキサントン誘導体；ヒ
ドラゾン、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ化合
物；ベンゼンジアゾニウム塩等のジアゾ化合物；ベンゾ
イン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエ
ーテル、ベンゾフェノン、ジメチルアミノベンゾフェノ
ン、ミヒラーケトン、ベンジルアントラキノン、ｔ−ブ
チルアントラキノン、２−メチルアントラキノン、２−
エチルアントラキノン、２−アミノアントラキノン、２
−クロロアントラキノン等の芳香族カルボニル化合物；
ｐ−ジメチルアミノ安息香酸メチル、ｐ−ジメチルアミ
ノ安息香酸エチル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸ブチ
ル、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸イソプロピル等のジア
ルキルアミノ安息香酸エステル；ベンゾイルパーオキサ
イド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオ
キサイド、キュメンハイドロパーオキサイド等の過酸化
物；９−フェニルアクリジン、９−ｐ−メトキシフェニ
ルアクリジン、９−アセチルアミノアクリジン、ベンズ
アクリジン等のアクリジン誘導体；９，１０−ジメチル
ベンズフェナジン、９−メチルベンズフェナジン、１０
−メトキシベンズフェナジン等のフェナジン誘導体；
６，４^, ，４^,,−トリメトキシ−２，３−ジフェニルキ
ノキサリン等のキノキサリン誘導体；２，４，５−トリ
フェニルイミダゾイル二量体、２−ニトロフルオレン、
２，４，６−トリフェニルピリリウム四フッ化ホウ素
塩、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−１，
３，５−トリアジン、３，３^, −カルボニルビスクマリ
ン、チオミヒラーケトン等が挙げられる。

【００２１】光重合開始剤の添加量は、少ないと上記
（メタ）アクリレート化合物の光重合が完全に進まず、
得られる第一層導電性塗膜の硬度及び耐擦過傷性が低下
し、又、多いと得られる第一層導電性塗膜の耐候性が低
下するので、（メタ）アクリレート化合物１００重量部
に対して、０．１〜２０重量部が好ましい。

【００２２】本発明で用いられる無機導電性塗料は、上
記金属酸化物を主成分とする導電性粉末、（メタ）アク
リレート化合物及び光重合開始剤よりなるが、必要に応
じて、物性を損なわない範囲内で、有機溶剤、分散剤、
増感剤、紫外線吸収剤、熱重合禁止剤、酸化防止剤、表
面改質剤、脱泡剤等が添加されてもよい。

【００２３】上記有機溶剤は、無機導電性塗料の塗料粘
度の調整のため添加される。例えば、メタノール、メチ
ルエチルケトン、シクロヒキサノン、エチレングリコー
ルモノメチルエーテル（メチルセロソルブ）、エチレン
グリコールモノエチルエーテル、（エチルセロソルブ）
等が挙げられる。

【００２４】有機溶剤の添加量は、少ないと得られる第
一層導電性塗膜の透明性が低下し、又、多いと塗料の粘
度が低くなり塗工性が低下したり、得ようとする膜厚よ
り薄い第一層導電性塗膜しか形成できない等の問題点を
生じるので、導電性粉末１００重量部に対して、１００
〜２０００重量部が好ましい。

【００２５】又、上記分散剤は、導電性粉末の分散性を
向上させるために添加されるが、分散剤としては、例え
ば、オレイン酸、酢酸、（メタ）アクリル酸、ｐ−スチ
レンスルホン酸等の有機酸やポリビニルブチラール及び
ポリアセトアセタール（ポリビニルアルコールとアセト
アルデヒドを縮合反応させてアセタール化したもの）等
のポリビニルアセタール、メタクリル酸メチルとメタク
リル酸２─ヒドロキシエチルの共重合体、塩化ビニルと
酢酸ビニルとの共重合体等の高分子化合物等が挙げられ
る。

【００２６】上記増感剤は、光重合開始剤の感度を向上
させるために添加されるが、増感剤としては、例え
ば、、ジメチルアミノアセトフェノン、ミヒラーケト
ン、２─ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジメチル
アミノ安息香酸エチル等が挙げられる。

【００２７】無機導電性塗料の製造方法は、任意の方法
が採用されてよく、例えば、上記金属酸化物を主成分と
する導電性粉末、（メタ）アクリレート化合物及び光重
合開始剤等を、サンドミル、ボールミル、アトライタ
ー、ホモジナイザー、ディゾルバー等に供給し、混合分
散することにより調製される。

【００２８】本発明で用いられる透明シートには、プレ
ート及びフィルムも含まれる。透明シートには、例え
ば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、
ポリカーボネート、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂等からな
る合成樹脂シート、合成樹脂プレート及び合成樹脂フィ
ルムが挙げられる。又、ガラス等の無機物質であっても
よい。

【００２９】本発明の第１工程は、透明シートの一面
に、上記無機導電性塗料を塗布後、活性光線を照射し、
硬化させ、第一層導電性塗膜が形成された積層体を得る
工程である。

【００３０】透明シートの一面に上記無機導電性塗料を
塗布する方法としては、特に限定されず、一般的な塗布
方法が用いられる。例えば、スピンコート法、スプレー
法、ロールコーター法、バーコート法、ドクターブレー
ド法、ディッピング法等が挙げられる。無機導電性塗料
を透明シートの一面に塗布後、有機溶剤を添加した場合
は、熱風、赤外線等で乾燥し、次に高圧水銀ランプやメ
タルハライドランプ等を用いて活性光線を照射し、硬化
させ、第一層導電性塗膜を形成する。

【００３１】第一層導電性塗膜の膜厚は、薄いと得られ
る第一層導電性塗膜の導電性及び耐擦過傷性が低下し、
又、厚いと得られる第一層導電性塗膜の透明性が低下す
るので、０．５〜３μｍが好ましい。活性光線の照射量
は、少ないと第一層導電性塗膜の硬化が不充分となり、
得られる第一層導電性塗膜の耐擦過傷性、硬度及び透明
シートへの密着性が低下するので、積算露光量が、５０
０ｍＪ／ｃｍ² 以上になるように活性光線を照射するの
が好ましい。

【００３２】本発明の第２工程で用いられる有機導電性
塗料は、（メタ）アクリレート化合物、共役系化合物の
重合体及び光重合開始剤よりなる。上記（メタ）アクリ
レート化合物及び光重合開始剤は、無機導電性塗料と同
様のものが用いられる。

【００３３】上記共役系化合物の重合体は、導電性を有
するものであれば良く、特に限定されない。例えば、ピ
ロール、チオフェン、フラン、セレノフェン等の複素五
員環式化合物、Ｎ─アルキルチオフェン、３─アルキル
ピロール、３─アルキルチオフェン、３，４─ジアルキ
ルチオフェン等の複素五員環式化合物誘導体、ベンゼ
ン、ビフェニル及びタ─フェニル並びにこれらの誘導
体、ナフタレン及びアントラセン等の多核芳香族化合
物、アニリン、ピリダジン及びアズレン並びにこれらの
誘導体等の重合体が用いられる。

【００３４】重合体を調製する方法は、特に限定され
ず、一般的な方法が用いられる。例えば、電解重合法及
び過硫酸塩を酸化剤として用いた化学重合法等が挙げら
れる。

【００３５】共役系化合物からなる重合体の添加量は、
（メタ）アクリレート化合物１００重量部に対して、５
〜１００重量部に限定される。５重量部より少なくなる
と、得られる導電性塗膜の導電性が不十分となり、１０
０重量部より多くなると得られる導電性塗膜の塗膜強度
が低下する。

【００３６】有機導電性塗料は，上記（メタ）アクリレ
ート化合物、共役系化合物の重合体及び光重合開始剤よ
りなるが、必要に応じて、物性を損なわない範囲内で、
無機導電性塗料と同様に、有機溶剤、分散剤、増感剤、
紫外線吸収剤、熱重合禁止剤、酸化防止剤、表面改質
剤、脱泡剤等が添加されてもよい。

【００３７】有機導電性塗料は、無機導電性塗料と同様
の方法で調整される。本発明の第２工程は、有機導電性
塗料を第一層導電性塗膜上に塗布後、活性光線を照射
し、硬化させ、第一層導電性塗膜上に第二層導電性塗膜
が積層されてなる帯電防止透明シートを得る工程であ
る。

【００３８】有機導電性塗料を塗布、活性光線を照射
し、硬化させる方法として、無機導電性塗料と同様の方
法が用いられる。

【００３９】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。 （実施例 １）ジペンタエリスリトールヘキサアクリレ
ート３５重量部、ヒドロキノン０．１重量部、エチルセ
ロソルブ３５０重量部、２，４─ジエチルチオキサント
ン１重量部、ジメチルアミノアセトフェノン１重量部
を、アトライターに供給し、混合分散した。更に、分散
液を攪拌しながら、更に、アンチモンが含有された、平
均粒径０．０２μｍの酸化錫（三菱マテリアル社製 商
品名Ｔ−１）１００重量部及び全水酸基に対する残存水
酸基の割合３４％、ブチルアルデヒドによるアセタール
化度６５％、全水酸基に対するアセチル基の割合１％、
平均重合度１９００のポリビニルブチラール１６重量部
を、２０分かけて分散液に添加した。更に、１０時間分
散し、無機導電性塗料を得た。

【００４０】得られた無機導電性塗料を、アクリル樹脂
プレートの一面に、第一層導電性塗膜の膜厚が１．５μ
ｍとなるようにスピンコート法を用いて、塗布し、５０
℃で１０分間熱風乾燥させた後、高圧水銀ランプ（３０
０Ｗ）を用いて、活性光線の積算露光量が、１８００ｍ
Ｊ／ｃｍ² になるように、活性光線を照射し、硬化さ
せ、アクリル樹脂プレートの一面に第一層導電性塗膜が
形成された積層体を得た。

【００４１】次に、冷却器、攪拌機及び滴下ロートを備
えたセパラブルフラスコ反応容器に、３５重量％塩酸５
００ｍｌ及びアニリン３６．５ｍｌを供給し、更に、水
浴で昇温をおさえつつ、ペルオキソ二硫酸アンモニウム
９１重量部が含有された３５重量％塩酸５００ｍｌを３
０分かけて添加し、３時間攪拌した。得られた沈殿を濾
取し、緑色のポリアニリン塩酸塩を得た。得られたポリ
アニリン塩酸塩を１０重量％の水酸化ナトリウム水溶液
で洗浄後、更に、水洗、メタノール洗浄し、ポリアニリ
ン粉末を得た。

【００４２】得られたポリアニリン粉末５重量部、ペン
タエリスリトールトリアクリレート５０重量部、１，６
─ビス（３─アクリロキシ─２─ヒドロキシプロピル）
ヘキシルエーテル５０重量部、ベンゾフェノン３重量
部、ミヒラーケトン１重量部、ヒドロキノン１重量部、
エチルセロソルブ１５０重量部をアトライターに供給
し、１２時間攪拌し、有機導電性塗料を得た。

【００４３】得られた有機導電性塗料を用いて、無機導
電性塗料と同様にして、第一層導電性塗膜上に、塗布、
活性光線を照射、硬化させ、第一層導電性塗膜上に第二
層導電性塗膜が積層されてなる帯電防止透明シートを得
た。

【００４４】得られた帯電防止透明シートの導電性、透
明性、硬度、耐擦過傷性を下記の方法で測定し、結果を
表１に示した。 （導電性）表面固有抵抗をＡＳＴＭ−Ｄ２５７に従って
測定した。 （透明性）曇価を、ＡＳＴＭ−Ｄ１００３に従って測定
した。

【００４５】（硬度）鉛筆硬度をＪＩＳ Ｋ５４００に
従って測定した。 （耐擦過傷性）ＪＩＳ Ｋ７２０４に従った試験後の表
面固有抵抗、鉛筆硬度及び曇価を測定した。（テーバー
摩耗輪ＣＳ１０×５００ｇ荷重×１００回）

【００４６】（実施例２）実施例１で得られた積層体に
形成された第一導電性塗膜をバフ処理したこと以外は、
実施例１と同様にして帯電防止透明シートを得た。得ら
れた帯電防止透明シートの導電性、透明性、硬度、耐擦
過傷性を実施例１と同様の方法で測定し、結果を表１に
示した。

【００４７】（比較例１）実施例１で得られた無機導電
性塗料を、第一層導電性塗膜の膜厚が３μｍとなるよう
に、実施例１と同様の方法で、アクリル樹脂プレートの
一面に塗布、乾燥、活性光線を照射し、アクリル樹脂プ
レートの一面に第一層導電性塗膜が形成された積層体を
得た。得られた積層体の導電性、透明性、硬度、耐擦過
傷性を実施例１と同様の方法で測定し、結果を表１に示
した。

【００４８】（比較例２）比較例１で得られた積層体に
形成された第一層導電性塗膜をバフ処理し、バフ仕上げ
積層体を得た。得られたバフ仕上げ積層体の導電性、透
明性、硬度、耐擦過傷性を実施例１と同様の方法で測定
し、結果を表１に示した。

【００４９】（実施例３）ペンタエチスリトールトリア
クリレート１００重量部、ヒドロキノン０．２重量部、
２，４─ジエチルチオキサントン４重量部、ｐ─ジメチ
ルアミノ安息香酸エチル４重量部をシクロヘキサノン１
４００重量部に添加し、これをアトライターに供給し
た。これを攪拌させながら、更に、アンチモンが含有さ
れた酸化錫でコートされている、平均粒径０．２μｍの
硫酸バリウム（三井金属社製 商品名パストラン Ｔｙ
ｐｅ−ＩＶ）４００重量部及び全水酸基に対する残存水
酸基の割合３５％、平均重合度２４００のポリアセトア
セタール３０重量部を添加して、１０時間分散し、無機
導電性塗料を得た。

【００５０】得られた無機導電性塗料を、第一層導電性
塗膜の膜厚が３μｍとなるように塗布した以外は、実施
例１と同様にして積層体を得た。実施例１で得られた有
機導電性塗料を用いて、第二層導電性塗膜の膜厚が、３
μｍとなるように塗布する以外は、実施例１と同様にし
て、帯電防止透明シートを得た。

【００５１】得られた帯電防止透明シートの導電性、透
明性、硬度、耐擦過傷性を実施例１と同様の方法で測定
し、結果を表２に示した。

【００５２】（実施例４）実施例３で得られた積層体に
形成された第一層導電性塗膜をバフ処理した以外は、実
施例３と同様にして、帯電防止透明シートを得た。

【００５３】得られた帯電防止透明シートの導電性、透
明性、硬度、耐擦過傷性を実施例１と同様の方法で測定
し、結果を表２に示した。

【００５４】（比較例３）実施例３で得られた無機導電
性塗料を、第一層導電性塗膜の膜厚が６μｍとなるよう
に、実施例３と同様の方法で、アクリル樹脂プレートの
一面に塗布、乾燥、活性光線を照射し、アクリル樹脂プ
レートの一面に第一層導電性塗膜が形成された積層体を
得た。

【００５５】得られた積層体の導電性、透明性、硬度、
耐擦過傷性を実施例１と同様の方法で測定し、結果を表
２に示した。

【００５６】（比較例４）比較例３で得られた積層体に
形成された第一層導電性塗膜をバフ処理し、バフ仕上げ
積層体を得た。得られたバフ仕上げ積層体の導電性、透
明性、硬度、耐擦過傷性を実施例１と同様の方法で測定
し、結果を表２に示した。

【００５７】

【表１】

【００５８】

【表２】

【００５９】

【発明の効果】本発明の帯電防止透明シートの製造方法
の構成は、上記の通りであり、得られる帯電防止透明シ
ートは、導電性を有すると共に、透明性及び耐擦過傷性
性に優れている。又、表面の導電性塗膜に無機導電材料
を使用していないので、不純物の放出がなく、半導体関
連製品等の帯電防止材料として好適に用いることができ
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｃ０９Ｄ 4/02 ＰＤＶ 5/24 ＰＱＷ

Claims (1)

【請求の範囲】 【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明シートの一面に、無機導電性塗料を塗
   布後、活性光線を照射し、硬化させ、第一層導電性塗膜
   が形成された積層体を得る第１工程及び有機導電性塗料
   を第一層導電性塗膜上に塗布後、活性光線を照射し、硬
   化させ、第一層導電性塗膜上に第二層導電性塗膜が積層
   されてなる帯電防止透明シートを得る第２工程からなる
   帯電防止透明シートの製造方法であって、無機導電性塗
   料が、分子内に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有
   する（メタ）アクリレート化合物１００重量部、金属酸
   化物を主成分とする導電性粉末１００〜１００００重量
   部及び光重合開始剤からなり、有機導電性塗料が、分子
   内に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メ
   タ）アクリレート化合物１００重量部、共役系化合物の
   重合体５〜１００重量部及び光重合開始剤からなること
   を特徴とする帯電防止透明シートの製造方法。