JPH074967U - ゲートバルブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、装置全体の簡素化を図ることによ
り、その構造を簡単にでき、しかも、ゲートを長期にわ
たって確実に閉塞できるようにして高精度で高い信頼性
が得られるにもかかわらずコストの削減を図ることがで
きるゲートバルブ装置を提供する。 【構成】 流体流通用のゲート16を開閉自在に閉塞する
ための弁体８と、該弁体17を第１アクチュエーター19に
より該ゲート16の周縁に形成された弁座15に沿う方向に
移動させる弁軸７とを備えたゲートバルブ装置におい
て、前記弁軸７は弁体17を弁座15に接離する方向に揺動
自在に枢支され、該弁軸６を揺動させるための第２アク
チュエーター31が設けられてなることにある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば、真空用チャンバーに形成されたゲートを開閉するために最 適なゲートバルブ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

近年、例えば半導体製造用等の真空用チャンバーのゲートを開閉するゲートバ ルブ装置は、図５に示すように、弁体50が流体流通用のゲート51を形成する弁座 52に対して離間した非接触状態でエアーシリンダー装置53により昇降自在に設け られ、該弁体50が最下端に位置する場合に、該弁体50の背面側をリンク機構によ り押圧してゲート51を完全に閉塞すると共に、弁体開放時には、該リンク機構に より押圧していた弁体50をスプリングにより戻して該弁体50を弁座52から離間さ せるようにしたようにしたものがある。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記従来のゲートバルブ装置において、リンク機構により弁体 50を作動させてゲート51を確実且つ効率良く閉塞するには、その構造が複雑とな ると共に、高精度が要求されることから、非常に高価になるという欠点があった 。

【０００４】 また、スプリングにより弁体を戻す場合に、該スプリングの弾性力ではピンと リンクの回転をスムーズに行うことができず、弁体50を弁座52から確実に離間さ せることができないおそれがある。この結果、ゲート51を開放すべく、エアーシ リンダー装置53により弁体50を上昇させる際に、該弁体50のシールリングと弁座 52とが摺動し、シールリングを傷つけたり、弁座52を摩耗させたりするため、再 度閉塞状態にした時、シールリングの傷からリークが生じ、確実な閉塞ができな くなる欠点があった。

【０００５】 本考案は、上記の如き従来の問題点に鑑みてなされたもので、装置全体の簡素 化を図ることにより、その構造を簡単にでき、しかも、ゲートを長期にわたって 確実に閉塞できるようにして高精度で高い信頼性が得られるにもかかわらずコス トの削減を図ることができるゲートバルブ装置を提供することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案が、上記課題を解決するために講じた技術的手段は、流体流通用のゲー ト16を開閉自在に閉塞するための弁体８と、該弁体17を第１アクチュエーター19 により該ゲート16の周縁に形成された弁座15に沿う方向に移動させる弁軸７とを 備えたゲートバルブ装置において、前記弁軸７は弁体17を弁座15に接離する方向 に揺動自在に枢支され、該弁軸６を揺動させるための第２アクチュエーター31が 設けられてなることにある。

【０００７】 また、流体流通用のゲート16を開閉自在に閉塞するための弁体17と、該弁体17 を第１アクチュエーター19により該ゲート16の周縁に形成された弁座15に沿う方 向に移動させる弁軸７とを備えたゲートバルブ装置において、前記弁軸７は弁ケ ーシング１に挿入されると共に弁体17を弁座15に接離すべく揺動自在に枢支され 、該弁ケーシング１には、弁軸６を揺動させるためのピストン29，29a が摺動自 在に内装されるシリンダー室５，5aが設けられてなることにある。

【０００８】

【作用】

本考案のゲートバルブ装置において、先ず、ゲート16を閉塞する場合には、第 １アクチュエーター19を作動させることにより、弁体17をゲート16の前方に位置 させ、更に、第２アクチュエーター31を作動させると、該第２アクチュエーター 31は弁軸６を揺動させ、弁体17を弁座15に押圧するため、該ゲート16を強固な押 圧力にて確実に閉塞することができる。

【０００９】 次に、ゲート16を開放する場合には、前記とは反対に、先ず、第２アクチュエ ーター31の作動により、弁軸６を揺動させて弁体17を弁座15から確実に離間させ た後に、第１アクチュエーター19の作動により、弁体17を無摺動な状態で弁座15 に沿って移動させ、該ゲート16全体を開放することができる。

【００１０】

【実施例】

以下、本考案の実施例について図面に従って説明する。 図１〜図３において、１は一対のシリンダー板2,2 を有する弁ケーシングで、 その上面には、真空用チャンバー４の下面にボルト等により固定されるベースプ レート３が取付けられている。

【００１１】 ６は前記弁ケーシング１内に挿入された筒状の軸ガイドで、該軸ガイド６に、 前記弁軸７が挿通されている。即ち、該弁軸７の下端側はベースプレート３に形 成された挿通孔3aを介して軸ガイド６に挿入され、軸ガイド６上部には、一対の 枢支部９が水平に突設され、各枢支部９は、図３（イ）に示す如くオイルレスフ ランジブッシュ10を介して前記シリンダー板2,2 の上部を連結する支持板11に枢 支されており、弁軸７は軸ガイド６と共に該枢支部９を支点にして揺動自在に設 けられている。

【００１２】 該弁軸７の上端には弁体押え13がボルト14を介して固定され、該弁体押え13に は、前記真空用チャンバー４に開口形成された帯状の流体流通用のゲート16を閉 塞すべく、弁座15に対して接離自在な帯状の弁体17が取付けられている。

【００１３】 19は前記弁軸７を上下方向に移動させるための第１アクチュエーターとしての エアーシリンダーで、そのシリンダー本体19a のフランジ19b が前記軸ガイド６ の下端に設けられたフランジ18に取付けられている。該第１エアーシリンダー19 のロッド20の上端は前記弁軸７の下端に螺合されると共に、ロックナット21によ り固定されており、従って、該ロッド20を出退させることにより、弁体17が上昇 してゲート16の前方に位置する上昇位置と、下降して前記ゲート16を全面に開放 する下降位置とに移動自在に設けられている。

【００１４】 尚、第１エアーシリンダー19のロッド20が上下端に位置する際に、シリンダー 本体19a から下方に突出するロッド20の下端に設けられた円板23を、該シリンダ ー本体19a にブラケット24を介して取付けられた上下一対のマイクロスイッチ26 ，26ａに接触させることにより、このロッド20の上下位置の位置を検知して確認 できるようになっている。

【００１５】 前記各シリンダー板2,2 には、軸ガイド６側に開口する一対のシリンダー室5, 5aが形成されており、各シリンダー室5,5aに、前記弁軸７を揺動すべく該軸ガイ ド６を押圧するためのピストン29，29a が、ピストンパッキン30を介して摺動自 在に内装されている。また、各シリンダー板2,2 には、図３（ロ）に示す如く各 ピストン29，29a の背面側にエアーを供給できるように、シリンダー室5,5aに連 通するエアー供給口32がそれぞれ形成されている。尚、上記シリンダー室5,5aを 形成するシリンダー板2,2 及びピストン29，29a により、第２アクチュエーター としての第２エアーシリンダー31が構成されている。

【００１６】 前記両ピストン29，29a は、図３（ロ）に示す如く一対の連結金具34により連 動連結されており、各連結金具34に形成された挿通孔35には、前記軸ガイド６に 形成された膨出部37に突設された突起軸38が挿通されている。また、各ピストン 29，29a の背面には、クッション材28が取付けられており、ピストン29，29a が 各シリンダー板2,2 に接触する際の緩衝を図っている。

【００１７】 次に、以上の構成における実施例の使用例について説明する。 先ず、真空用チャンバー４のゲート16を閉塞する場合には、第１エアーシリン ダー19のロッド20を上方に進出させると、弁体17と真空用チャンバー４との間に は間隙Ｌがあるため、弁体17は、該真空用チャンバー４に接触することなく上昇 して所定の上昇位置で停止し、弁体17の位置は円板23が上方のマイクロスイッチ 26に接触することにより検知され確認することができる。このとき、弁体17は、 上昇位置に達してゲート16の前方に位置する。

【００１８】 更に、閉塞用としての一方のピストン29側のシリンダー室５に圧縮エアーが供 給されると、該ピストン29は進出して軸ガイド６を押圧するため、軸ガイド６は 枢支部９を支点にして図１に示す矢印ａ方向に揺動する。この結果、弁体17は真 空用チャンバー４の弁座15に押圧されることとなり、該ゲート16を強固且つ確実 に閉塞することができる。

【００１９】 次に、ゲート16を開放させて真空用チャンバー４内部と大気とを連通する場合 には、先ず、開放用としての他方のピストン29a 側のシリンダー室29a に圧縮エ アーを供給すると、前記とは反対方向に該ピストン29a が軸ガイド６を押圧付勢 するため、該軸ガイド６と共に弁軸７が、枢支部９を支点にして前記と反対方向 に揺動する。

【００２０】 この結果、弁体17は真空用チャンバー４から離れ、両者間に再び間隙Ｌが生じ る。更に、エアーシリンダー19の作動により、ロッド20が下方に後退すると、弁 体17は所定の下降位置で停止し、弁体17の位置は、円板23が下方のマイクロスイ ッチ26に接触するため、確認することができる。このとき、弁体17は真空用チャ ンバー４に接触することなく、下降することとなり、ゲート16全体を開放するこ とができるのである。

【００２１】 以上のように、上記実施例では、弁ケーシング１にシリンダー室5,5aを設けて 、該シリンダー室5,5aのそれぞれにピストン29，29a を内装しているので、装置 全体の小型化を図ることができる。また、ピストン29，29a にて軸ガイド６及び 弁軸７を揺動させることにより、弁体８を弁座15に押圧または離間させる構成な ので、確実に且つ効率良くゲート16を閉塞できると共に、弁体８の開閉動作を確 実に行うことが可能となり、信頼性を向上することができる利点がある。

【００２２】 図４は本考案の他の実施例を示し、流体流通用のゲート16を有するバルブケー シング40に弁体17が取付けられた弁軸７が挿入されている。該弁軸７は枢支軸42 を支点にして揺動自在に設けられ、該弁軸７とバルブケーシング40との間は、ジ ャバラ41により密封されている。また、前記弁軸７の下端は第１エアーシリンダ ー19により連結されており、該弁軸７の枢支軸42よりも下方には、弁軸７を揺動 させるための第２アクチュエーターとしての第２シリンダー43が連結されている 。

【００２３】 本実施例では、市販されている汎用のシリンダー43を弁軸７に連結10すること ができ、より安価になるという利点がある。

【００２４】 尚、本考案のゲートバルブ装置は上記実施例に限定されるものではなく、例え ば第１及び第２アクチュエーターとしてエアーシリンダーを例示したが、第１及 び第２アクチュエーターは、エアー以外に油圧にて作動するシリンダーであって も良く、或いは、電動機構により作動する構成のものであっても良く、その他、 シリンダー19，31の形状等の具体的な構成も決して上記実施例に限定されないこ とは無論であり、弁体17は上下に移動させる以外に横方向及び斜め方向に移動さ せる構成であっても良い。

【００２５】

【考案の効果】

以上のように本考案は、弁体を弁座に接離する方向に弁軸が揺動自在に枢支さ れ、弁軸を揺動させるための第２アクチュエーターが設けられているので、従来 のリンク機構により弁体を弁座に接離するようにした構成のものに比し、装置全 体の簡素化を図ることにより、その構造を簡単にでき、コストの削減を図ること ができる。

【００２６】 しかも、第２のアクチュエーターで確実に弁体を弁座に押圧させたり、離間さ せることが可能となり、弁体のシールリングを傷つけたり、弁座を摩耗させたり することがなく、長期にわたってリークの発生を防止して確実な閉塞ができ、高 精度で高い信頼性が得られ、その実用的価値は著大である。

【００２７】 また、前記弁軸は弁ケーシングに挿入されると共に弁体を弁座に接離すべく揺 動自在に枢支され、該弁ケーシングには、弁軸を揺動させるためのピストンが摺 動自在に内装されるシリンダー室が設けられているので、弁ケーシングは、弁軸 の保持とシリンダーの構成部材とを兼用させることができ、装置の小型化を図る ことが可能となり、特に、該装置の設置スペースの制限があるようにな場合に効 果的である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す断面側面図。

【図２】同一部断面正面図。

【図３】（イ）は図１のＡ─Ａ矢視断面図、（ロ）は図
１のＢ−Ｂ線矢視断面図。

【図４】本考案の他の実施例を示す一部断面正面図。

【図５】従来例を示す断面図。

【符号の説明】

１…弁ケーシング、5,5a…シリンダー室、７…弁軸、15
…弁座、16…ゲート、19…第１エアーシリンダー（第１
アクチュエーター）、29，29a …ピストン、31…第２エ
アーシリンダー（第２アクチュエーター）

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体流通用のゲート（16）を開閉自在に
   閉塞するための弁体（17）と、該弁体（17）を第１アク
   チュエーター（19）により該ゲート（16）の周縁に形成
   された弁座（15）に沿う方向に移動させる弁軸（７）と
   を備えたゲートバルブ装置において、前記弁軸（７）は
   弁体（17）を弁座（15）に接離する方向に揺動自在に枢
   支され、該弁軸（７）を揺動させるための第２アクチュ
   エーター（31）が設けられてなることを特徴とするゲー
   トバルブ装置。
2. 【請求項２】 流体流通用のゲート（16）を開閉自在に
   閉塞するための弁体（17）と、該弁体（17）を第１アク
   チュエーター（19）により該ゲート（16）の周縁に形成
   された弁座（15）に沿う方向に移動させる弁軸（７）と
   を備えたゲートバルブ装置において、前記弁軸（７）は
   弁ケーシング（１）に挿入されると共に弁体（17）を弁
   座（15）に接離すべく揺動自在に枢支され、該弁ケーシ
   ング（１）には、弁軸（６）を揺動させるためのピスト
   ン（29），（29a ）が摺動自在に内装されるシリンダー
   室（５），（5a）が設けられてなることを特徴とするゲ
   ートバルブ装置。