JPH075008A - 空気流なくして質量空気流センサの時間応答を較正する方法 - Google Patents

空気流なくして質量空気流センサの時間応答を較正する方法

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JPH075008A
JPH075008A JP6062941A JP6294194A JPH075008A JP H075008 A JPH075008 A JP H075008A JP 6062941 A JP6062941 A JP 6062941A JP 6294194 A JP6294194 A JP 6294194A JP H075008 A JPH075008 A JP H075008A
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resistor
bridge
bridge offset
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James M Sherman
マシュー シャーマン ジェームズ
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Ford Motor Co
Original Assignee
Ford Motor Co
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Publication date
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    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 質量空気流センサの開示された応答時間較正
にあたり、空気流或いは空気流における段階変化が要求
されないようにすること。 【構成】 質量空気流センサの応答時間を較正するため
の方法であって、この方法においては、ブリッジオフセ
ット電圧が測定されそして定数ＣI がブリッジオフセッ
ト電圧の初期値から計算される。ＣI は、等式ＲＨ＝Ｃ
＋（１／ＩH ）Ｃ I における加熱抵抗の抵抗値の定数で
ある。質量空気流センサの応答時間はＣIの関数であ
る。ＣI に所望値を与えるために要求されるブリッジオ
フセット電圧が計算される。ブリッジオフセット電圧の
監視された値が所望値に等しくなるまでブリッジオフセ
ット電圧の値を監視している間、一対のバイアス抵抗が
トリミングされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、質量空気流センサの分
野に係り、特に、質量空気流センサの時間応答を較正す
るための方法に関する。
【０００２】
【従来技術】過去においては、質量空気流センサの時間
応答の較正は、時間を消費する操作であって、量産に十
分には適してはいなかった。時間応答較正処理が現今に
おいて使用されている生産においては、質量空気流セン
サが、二つの異なった精度よく制御される空気流の割合
の間にて質量空気流センサにより感知される空気流を迅
速に変化させる能力を有してなる試験固定具上に装備さ
れ、そして応答時間が測定される。その時間応答を制御
する抵抗素子はそれからレーザトリミングされて質量空
気流センサの応答時間を指定された限界内に調整する。
その処理は、それから、少なくとも一度繰り返されて、
質量空気流センサの応答時間が指定された限界内にある
ことを保証する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、質量空気流
センサに空気流を受けることを要求しない質量空気流セ
ンサの応答時間を較正する方法である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、加熱抵抗セン
サ素子、低温抵抗及び平衡ブリッジ制御回路を有する形
式の質量空気流センサの応答時間を較正するための方法
である。当該平衡ブリッジ制御回路は、正の入力、負の
入力及び加熱抵抗と低温抵抗に電力を提供する出力をも
つ演算増幅器を有する。その制御回路は、さらに、演算
増幅器の正入力を基準電圧に接続する第１のバイアス抵
抗及び演算増幅器への負入力を基準電圧に接続する第２
のバイアス抵抗を有する。第１及び第２のバイアス抵抗
は、加熱抵抗及び低温抵抗を通り流れる電流により発生
されるブリッジオフセット電圧を制御する。
【０００５】その方法は、質量空気流センサに電力を加
えること及びブリッジオフセット電圧を測定することか
らなる。それから、プログラムされたマイクロプロセッ
サを使用して、加熱抵抗の抵抗値の定数ＣI の初期値が
計算され、ここにおいて制御ブリッジにおける加熱抵抗
ＲＨの抵抗値が次の等式により与えられる。
【数５】 ここにおいて、Ｃは、加熱抵抗の加熱抵抗値に近似的に
等しい定数であり、ＣI は、質量空気流センサの応答時
間を制御する小さな定数であり、そしてＩH は、加熱抵
抗を通る電流である。
【０００６】その方法は、それから、指定された限界内
の時間応答を生ずる定数ＣI に対する所望値を使用し
て、ブリッジオフセット電圧に対して要求される値を計
算する。ブリッジオフセット電圧に対する所望値はそれ
から初期ブリッジオフセット電圧の値と比較され、そし
て第１のバイアス抵抗が、所望値よりも大きい初期値に
応答して、ブリッジオフセット電圧の値を所望値に減少
させるようにレーザトリンミングされるか、或いは初期
値が所望値よりも小さいときにブリッジオフセット電圧
の値を所望値に増加させるように第２のバイアス抵抗を
レーザトリンミングする。
【０００７】質量空気流センサの開示された応答時間較
正の利点は、空気流或いは空気流における段階変化が要
求されないということである。
【０００８】もう一つの利点は、その方法が、従来技術
により要求される時間の一部のみにおいて空気流センサ
が較正されることを許容するということである。
【０００９】質量空気流センサの応答時間を較正するた
めの開示された方法のこれら及び他の利点は図面との関
連にて明細書を読むことから、より一層明らかになるで
あろう。
【００１０】
【実施例】本発明を実施するための最良のモード 加熱線の質量空気流センサ１０が図１において示されて
いる。質量空気流センサは、内燃機関の吸気システムの
センサ装備部材１００上に装備可能なベース１２、電子
的なハウジング１４、センサヘッド１６及び電気的なコ
ネクタ１８を有する。センサヘッド１６は、センサ装備
部材１００のセンサ空気通路１０２内に延出しそしてそ
れを通る質量空気流を感知する。
【００１１】機関への主な空気流は非常により大きな空
気通路１０４を通る。センサヘッド１６は、吸気システ
ム内の空気流に晒される加熱抵抗ＲＨ及び低温抵抗ＲＣ
を有する。電子的なハウジング１４は図２にて示される
破線による箱内に含まれる電子的回路２０を収容する。
電気的なコネクタ１８は、外部源から電力を受けそして
質量空気流センサにより発生される出力信号を機関の電
子的燃料制御システムに送り、この電子的燃料制御シス
テムは、感知される質量空気流の割合の関数として機関
へ引き渡されるべき燃料の量を計算する。
【００１２】電子的回路２０は平衡ブリッジ回路であっ
て、この平衡ブリッジ回路は、平衡ブリッジの一枝路内
に加熱抵抗ＲＨを有しそして他の枝路内に低温抵抗ＲＣ
を有する。加熱抵抗ＲＨ及び低温抵抗ＲＣは、演算増幅
器２２の出力から電力を受ける。加熱抵抗ＲＨは抵抗Ｒ
１を介しグラウンドに接続されており、一方、低温抵抗
ＲＣは各抵抗Ｒ２及びＲ３を介しグラウンドに接続され
ている。
【００１３】より好ましい実施例においては、加熱抵抗
ＲＨは、近似的に２０オームの低温抵抗値を有しそして
低温抵抗ＲＣは４５０オームの低温抵抗値を有する。各
抵抗Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の抵抗値は、それぞれ、１０オ
ーム、２００オーム及び２３０オームである。加熱抵抗
ＲＨ及び抵抗Ｒ１の間の接続点２４は、抵抗Ｒ４を介し
て演算増幅器２２への正入力に接続されており、一方、
各抵抗Ｒ３及びＲ４の間の接続点２６は抵抗Ｒ５を介し
て演算増幅器２２の負入力に接続されている。演算増幅
器２２の正入力はまた、ＶREF と表される入力端子にて
抵抗Ｒ６を介し受信される基準電圧ＶREF に接続されて
いる。この基準電圧ＶREF はまた、抵抗Ｒ７を介し、演
算増幅器２２の負入力に接続されている。演算増幅器へ
の入力はまた、端子３０にて質量空気流信号を出力する
増幅器２８に接続されている。
【００１４】この回路の作動において、各抵抗ＲＣ、Ｒ
２及びＲ３は、各抵抗ＲＨ及びＲ１に対する加熱割合を
セットアップするために使用される。各抵抗ＲＣ、Ｒ２
及びＲ３を通り流れる電流は、接続点２６にて電圧を発
生し、この電圧は演算増幅器２２への負入力に印加され
る。その回路に加えられる電力を伴うことなく、各抵抗
ＲＣ＋Ｒ３のＲ２に対する値の比は近似的に３．４：１
であり、一方、抵抗ＲＨのＲ１に対する値の比は２：１
である。効果的には、初期のパワーアップ状態のもとで
は、接続点２６における電圧は演算増幅器２２の出力電
圧Ｖo の約２３パーセントでありそして接続点２４にお
ける電圧は出力電圧Ｖo の約３０パーセントである。演
算増幅器２２への正及び負の入力の間のこの電圧の差は
その出力電圧Ｖo における増加に帰着する。この電圧が
増加するにつれて、各抵抗ＲＨ及びＲＣにより消費され
る電力は増加してそれらの温度を上昇させる。
【００１５】両抵抗ＲＨ及びＲＣは抵抗の正の温度係数
を有するので、それらのそれぞれの抵抗はそれらの温度
における増加と共に増加する。抵抗ＲＨのより低い抵抗
のために、その温度は、演算増幅器２２の正入力に印加
される接続点２６における電圧が接続点２６における電
圧から所定電圧だけオフセットされるまで、ＲＣの温度
よりもより早い速度にて増加する。この値は、演算増幅
器２２の各入力に接続される各抵抗Ｒ６及びＲ７を通し
て受け取られる調整電圧ＶREF の影響により修正され
る。
【００１６】空気流がなくそしてそこにおいて各抵抗Ｒ
Ｈ、ＲＣ、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の値が上述のように与え
られている場合において、抵抗ＲＨの温度は、周囲温度
＋２００℃に近似的に等しく、一方、抵抗ＲＣの温度
は、周囲温度＋６℃に近似的に等しい。
【００１７】機関の吸気システムにおける空気流は、そ
のより高い温度のために抵抗ＲＣ以上に抵抗ＲＨを冷却
する。従って、演算増幅器２２の正及び負の入力の間の
オフセット電圧Ｖ0S及びその出力電圧ＶO は、ブリッジ
回路が再び平衡するまで増加する。
【００１８】各抵抗Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６及びＲ７は質量空
気流センサの応答時間を調整するために使用される。
【００１９】本発明は、その回路が、演算増幅器２２へ
の正及び負の入力の間に印加されるオフセット電圧Ｖ0S
を含む加熱抵抗ＲＨの値を如何に制御するかの経験的な
試験から導出される。次の等式が、平衡ブリッジ回路２
０における加熱抵抗ＲＨの抵抗値を決定するために使用
され得る。
【数６】 ここにおいて、Ｃはその回路により制御される抵抗ＲＨ
の近似された加熱抵抗値であり、ＣI は回路素子及びオ
フセット電圧Ｖ0Sに基づき質量空気流センサの応答時間
を制御する小さな定数であり、そしてＩH は加熱抵抗Ｒ
Ｈを通る電流である。
【００２０】定数Ｃは次の等式から決定され得る。
【数７】 ここにおいて、
【数８】 定数ＣI は次の等式から決定され得る。
【数９】
【００２１】図３は、等式（１）に応じた電流ＩH の関
数として加熱抵抗ＲＨの抵抗値の変を示すグラフであ
る。
【００２２】曲線３２は、ＣI が意味のある値、例えば
ＣI ≒０．１０を有するとき電流Ｉ H の関数として加熱
抵抗ＲＨの抵抗値を表す。曲線３４は、ＣI が零に近づ
く値を有するとき電流ＩH の関数として加熱抵抗ＲＨの
抵抗値を表し、そして曲線３６は、ＣI が負の値を有す
るとき加熱抵抗ＲＨの抵抗値を表す。
【００２３】図３にて示される曲線３８は、最初の質量
空気流の割合に対する熱力学的な見地から加熱抵抗ＲＨ
の抵抗値ＲＨTHを表す。その抵抗値ＲＨTHは次の等式か
ら導出され得る。
【数１０】 ここにおいて、αA は抵抗ＲＨの抵抗温度係数であり、
ＩH は抵抗ＲＨを通る電流であり、Ｈは全体に亘る熱伝
達率であり、そしてＲA は周囲温度における抵抗ＲＨの
抵抗値である。
【００２４】曲線４０は、曲線３８の質量空気流の割合
よりもより大きな質量空気流の割合に対する加熱抵抗Ｒ
Ｈの抵抗値ＲＨTHを表す。曲線３８或いは４０の曲線３
２或いは３４との交差点は、ＲＨの値及び電流ＩH を示
し、ここにおいて、質量空気流センサ１０が与えられた
質量空気流の割合に対して作動する。この点において、
各等式（１）及び（５）から導出される抵抗値は等し
い。
【００２５】応答時間と定数ＣI との間の関係は図４に
て示される曲線４２により示される。ＣI の値が大きい
程応答時間がより長くなる。ＣI の値が小さい程応答時
間がより短くなりそしてＣI の負の値が平衡ブリッジ回
路を振動させる。指定された範囲内にあるべき質量空気
流センサ１０の応答時間を較正するために、ＣI は、予
め選択された低い正の値をもつように調整されねばなら
ない。
【００２６】ＣI の値は、抵抗Ｒ6 或いはＲ7 をレーザ
トリミングすることにより調整され得る。指定限界内に
あるように空気流なくして応答時間を較正するために、
ＣIの現行の値を決定することが必要である。ＣI の現
行の値は、そのブリッジオフセット電圧Ｖbrに対する関
係により決定されることができ、このブリッジオフセッ
ト電圧Ｖbrは、接続点２４における電圧Ｖ1 と接続点２
６における電圧Ｖ2 との間の電圧における差である。Ｃ
I の値に影響を与えるすべての抵抗値は較正の開始にて
知られそして演算増幅器２２への各入力の間のオフセッ
ト電圧ＶOSの値が各電圧Ｖ1 及びＶ2 の初期値により決
定され得る。ここにおいて、
【数１１】
【００２７】等式（４）にて与えられるＣI 及びＶOSの
間の関係及び等式（６）にて与えられるＶbrのＶOSに対
する直線的な関係に起因して、ＣI の初期値が決定され
そして質量空気流センサの応答時間が、ブリッジオフセ
ット電圧Ｖbrの初期値を監視しそしてＲ6 或いはＲ7 の
いずれかをレーザトリンミングすることにより所望の範
囲内にあるように較正されて、ＣI に対し所望の値を発
生するように選択される所定値をブリッジオフセット電
圧Ｖbrの値にもたせるように調整し得る。特に、レーザ
トリンミングしたＲ6 はその抵抗値を増加させそしてブ
リッジオフセット電圧Ｖbrを増加させ、一方、レーザト
リンミングしたＲ7 はその抵抗値を増加させそしてブリ
ッジオフセット電圧Ｖbrを減少させる。従って、選択さ
れた低い正の値をもつＣI に帰着するブリッジオフセッ
ト電圧Ｖbrが監視されている間、Ｒ6 或いはＲ7 のいず
れかが所定値にレーザトリミングされ得る。先に示され
たように、ＣI が選択された低い正の値をもつとき、応
答時間が指定された範囲内にある。
【００２８】質量空気流センサの応答時間を較正するた
めの処理が、図４にて示されるフローチャートとの関連
にて議論される。その方法は試験台上に質量空気流セン
サ１０を装備しそしてブロック４４にて示されるように
電力を加えることにより開始する。
【００２９】初期のブリッジ電圧Ｖbrの値は、ブロック
４６にて示されるように測定される。その初期のブリッ
ジ電圧は接続点２６にて測定される電圧Ｖ2 と接続点２
４にて測定される電圧Ｖ1 との間の差である。各テスト
ポイントＶ1 及びＶ2 が質量空気流センサ回路２０上に
設けられてこれらの測定を促進する。Ｖbrの現実の値が
決定された後、オフセット電圧ＶOSが等式（６）を使用
して計算され、それからＣI の初期値がブロック４８に
て示されるように等式（４）を使用して計算される。
【００３０】ＣI の初期値が計算された後、各計算が、
要求されるブリッジオフセット電圧Ｖbrを決定するよう
に逆になされて、ブロック５０により示されるように、
指定された範囲内で応答時間を質量空気流センサに与え
るＣI に対しての所望値を発生する。もしも測定された
ブリッジオフセット電圧Ｖbrが、要求されたブリッジオ
フセット電圧よりも大きいならば、その処理はそのとき
には決定ブロック５２を調べるために進む。もしも測定
されたブリッジオフセット電圧Ｖbrが、要求されたＶbr
よりも大きいならば、抵抗Ｒ7 はレーザトリミングされ
てその抵抗値を増加させ、この抵抗値はブロック５４に
て示されるようにブリッジオフセット電圧Ｖbrの値を低
下させる。ブリッジオフセット電圧は、連続的に監視さ
れ、そしてＲ7 のレーザトリミングが測定されたブリッ
ジオフセット電圧Ｖbrを、要求されたＶbrに等しくなる
ように低下させるまで、要求されたブリッジオフセット
電圧と決定ブロック５６にて比較される。
【００３１】測定されたブリッジオフセット電圧Ｖ
brが、要求されたブリッジオフセット電圧以下のとき、
決定ブロック５２に戻ると、抵抗Ｒ6 が、測定されたブ
リッジオフセット電圧Ｖbrが、決定ブロック６０にて示
されるように、要求されたブリッジオフセット電圧Ｖbr
に等しくなるまで、ブロック５８により示されるように
レーザトリミングされる。測定されたブリッジオフセッ
ト電圧Ｖbrが、要求されたブリッジオフセット電圧に等
しくなると、決定ブロック５６或いは６０にて、質量空
気流センサの応答時間の較正が完了される。
【００３２】質量空気流センサの応答時間の計算は、レ
ーザトリンミング抵抗Ｒ6 或いはＲ 7 の作用を制御する
ことのみならず、フローチャートにて先に述べた要求さ
れる計算及び決定動作を実行するマイクロプロセッサを
もつことにより完全に自動化され得る。
【００３３】空気流を要求して、質量空気流センサの応
答時間を較正するための方法が開示されているが、この
技術の当業者は、添付の請求項の範囲内で開示された方
法に対し変更或いは改良を加えることができるであろ
う。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例における質量空気流センサの
正面図である。
【図２】該実施例における平衡ブリッジ回路の回路図で
ある。
【図３】該平衡ブリッジ回路においてそしてヒータ電流
の関数として熱力学的見地から加熱抵抗の抵抗を示すグ
ラフである。
【図４】ブリッジオフセット電圧の関数として定数ＣI
の値を示すグラフである。
【図５】較正処理のフローチャートである。
【符号の説明】
１０ 質量空気流センサ ２０ 電子的な回路 ２２ 演算増幅器 Ｒ1 〜Ｒ6 抵抗 ＲＨ 加熱抵抗 ＲＣ 低温抵抗

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 加熱抵抗、低温抵抗並びにブリッジオフ
    セット電圧、基準電圧及び前記ブリッジオフセット電圧
    の値を制御する前記基準電圧に接続された第１及び第２
    のバイアス抵抗をもつ平衡ブリッジ回路を有してなる質
    量空気流センサの時間応答を較正するための方法であっ
    て、 前記ブリッジオフセット電圧Ｖbrの初期値を測定し、 前記ブリッジオフセット電圧の前記初期値から前記平衡
    ブリッジ回路の時間応答との関連で前記加熱抵抗の定数
    ＣI の初期値を計算し、 指定された限界内で前記質量空気流センサのための応答
    時間を生ずる前記定数ＣI の所望値を発生するように、
    前記ブリッジオフセット電圧Ｖbrの値を計算し、 前記要求されたブリッジオフセット電圧よりも大きな前
    記測定されたブリッジオフセット電圧に応答して、前記
    測定されたブリッジオフセット電圧を前記要求されたブ
    リッジオフセット電圧に減少させるように前記第１のバ
    イアス抵抗をレーザトリンミングし、そして前記要求さ
    れたブリッジオフセット電圧よりも低い前記測定された
    ブリッジオフセット電圧に応答して、前記測定されたブ
    リッジオフセット電圧を前記要求されたブリッジオフセ
    ット電圧に増加させるように前記第２のバイアス抵抗を
    レーザトリンミングする各ステップを含む質量空気流セ
    ンサの時間応答を較正するための方法。
  2. 【請求項２】 前記ブリッジ回路が前記加熱抵抗を通る
    電流を表す第１の電圧Ｖ1 及び前記低温抵抗を通る電流
    を表す第２の電圧Ｖ2 を発生し、前記ブリッジオフセッ
    ト電圧の初期値を測定する前記ステップが、 前記第１の電圧Ｖ1 の値を測定し、 前記第２の電圧Ｖ2 の値を測定し、そして前記ブリッジ
    オフセット電圧の前記初期値をＶ1 及びＶ2 の各値にお
    ける差として計算する請求項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】 前記平衡ブリッジ回路が、演算増幅器へ
    の正及び負の各入力の間に印加されるオフセット電圧Ｖ
    OSに応答して前記加熱抵抗及び低温抵抗を通る前記電流
    を制御する各回路素子及び前記演算増幅器を有し、前記
    定数ＣI の初期値を計算する前記ステップが、 前記ブリッジオフセット電圧Ｖbrの前記値から前記オフ
    セット電圧ＶOSの初期値を計算し、そして前記各回路素
    子の値及び前記オフセット電圧ＶOSの前記初期値から前
    記定数Ｃ I の前記初期値を計算する請求項２に記載の方
    法。
  4. 【請求項４】 前記各回路素子が、前記加熱抵抗とグラ
    ウンド電位との間に接続される第１の抵抗Ｒ1 、前記低
    温抵抗と前記グラウンド電位との間にて第３の抵抗Ｒ3
    と直列に接続される第２の抵抗Ｒ2 、前記加熱抵抗及び
    前記第１の抵抗Ｒ1 の接続点と前記演算増幅器への前記
    正入力との間に接続される第４の抵抗Ｒ4 、並びに前記
    各抵抗Ｒ2 及びＲ3 の間の接続点を前記演算増幅器の前
    記負入力に接続する第５の抵抗Ｒ5 を含み、前記定数Ｃ
    I の前記初期値を計算する前記ステップが、次の第１の
    等式、 【数１】 を含み、ここにおいて、 Ｒ6 は前記第１のブリッジバイアス抵抗の値であり、 Ｒ7 は前記第２のブリッジバイアス抵抗の値であり、 ＲＣ3 は直列に接続された前記低温抵抗及び前記第３の
    抵抗Ｒ3 の抵抗値であり、 【数２】 そして、 【数３】 であるようにした請求項３に記載の方法。
  5. 【請求項５】 前記オフセット電圧ＶOSの初期値を計算
    する前記ステップが、第２の等式、 【数４】 を解くことを含む請求項４に記載の方法。
  6. 【請求項６】 前記定数ＣI のための所望値を生ずるよ
    うに要求されるブリッジオフセット電圧を計算する前記
    ステップが、 前記所望値を有する前記定数ＣI でもって前記第１の等
    式を解き前記オフセット電圧ＶOSのために要求される値
    を発生し、そして前記オフセット電圧ＶOSのための前記
    要求された値でもって前記ブリッジオフセット電圧Ｖbr
    の前記要求された値に対して前記第２の等式を解く各ス
    テップを含む請求項５に記載の方法。
  7. 【請求項７】 前記第１のバイアス抵抗をレーザトリン
    ミングする前記ステップが、 前記初期ブリッジオフセット電圧を前記要求されたブリ
    ッジオフセット電圧と比較してどちらがより大きい値を
    有するかを決定し、 前記初期ブリッジオフセット電圧が前記要求されたブリ
    ッジオフセット電圧よりも大きいとき前記第１のバイア
    ス抵抗をレーザトリンミングして前記初期ブリッジオフ
    セット電圧を減少させ、そして前記要求されたオフセッ
    ト電圧に等しくなるように減少される前記初期ブリッジ
    オフセット電圧に応答して前記第１のバイアス抵抗の前
    記レーザトリンミングを終了する各ステップを含む請求
    項５に記載の方法。
  8. 【請求項８】 前記第２のブリッジバイアス抵抗をレー
    ザトリンミングする前記ステップが、 前記ブリッジオフセット電圧Ｖbrの前記初期値が前記要
    求されたブリッジオフセット電圧の前記値よりも小さい
    とき前記第２のバイアス抵抗をレーザトリンミングして
    前記初期ブリッジオフセット電圧の値を増加させ、そし
    て前記要求されたブリッジオフセット電圧の前記値に等
    しくなるように増加される前記初期ブリッジオフセット
    電圧の前記値に応答して前記第２のバイアス抵抗の前記
    レーザトリミングを終了する各ステップを含む請求項７
    に記載の方法。
  9. 【請求項９】 加熱抵抗、低温抵抗及び平衡ブリッジ回
    路を有し、当該平衡ブリッジ回路が正の入力、負の入力
    及び前記加熱抵抗及び前記低温抵抗に接続された出力を
    有する演算増幅器を含み、前記回路がさらに前記演算増
    幅器の正入力を基準電圧に接続する第１のバイアス抵抗
    及び前記演算増幅器の前記負入力をグラウンドに接続す
    る第２のバイアス抵抗を有し、前記第１及び第２のバイ
    アス抵抗の各抵抗値が前記加熱抵抗及び前記低温抵抗を
    通る電流の流れにより発生されるブリッジオフセット電
    圧を制御するようにした質量空気流センサの時間応答を
    較正するための方法であって、 前記質量空気流センサに電力を加え、 前記ブリッジオフセット電圧の初期値を測定し、 前記ブリッジオフセット電圧の前記初期値から前記加熱
    抵抗の抵抗の定数ＣIの初期値を計算し、ここにおいて
    前記加熱抵抗が、値、ＲＨ＝Ｃ＋（１／ＩH ）ＣI を有
    し、そして、ここにおいて、Ｃは前記平衡ブリッジ回路
    により制御される前記加熱抵抗の近似された加熱抵抗値
    に等しい定数であり、ＣI は前記質量空気流センサの応
    答時間を制御する小さな定数であり、そしてＩH は前記
    加熱抵抗を通る電流であり、 要求された前記ブリッジオフセット電圧Ｖbrに対し要求
    される値を計算して前記定数ＣI の所望値を発生し、前
    記定数ＣI の前記値が前記質量空気流センサに所望の応
    答時間を与えるように選択され、 前記ブリッジオフセット電圧Ｖbrのために前記要求され
    た値を前記初期値と比較してどちらがより大きいかを決
    定し、 前記要求された値よりも大きい前記初期値に応答して、
    前記ブリッジオフセット電圧Ｖbrの前記初期値を前記所
    望値に等しくなるように減少させるべく前記第１のバイ
    アス抵抗をレーザトリンミングし、そして前記所望値よ
    りも小さい前記初期値に応答して、前記ブリッジオフセ
    ット電圧Ｖbrの前記初期値を前記要求された値に等しく
    なるように増加させるべく前記第２のバイアス抵抗をレ
    ーザトリンミングする各ステップを含む質量空気流セン
    サの時間応答を較正するための方法。
  10. 【請求項１０】 前記ブリッジオフセット電圧の初期値
    を測定するステップが、 前記加熱抵抗を通る電流を表す第１の電圧Ｖ1 を測定
    し、 前記低温抵抗を通る電流を表す第２の電圧Ｖ2 を測定
    し、そして値、Ｖbr＝Ｖ2 −Ｖ1 を有する前記ブリッジ
    オフセット電圧Ｖbrを計算する各ステップを含む請求項
    ９に記載の方法。
  11. 【請求項１１】 前記定数ＣI の初期値を計算する前記
    ステップが、 前記ブリッジオフセット電圧から前記演算増幅器の前記
    正及び負の各入力の間のオフセット電圧ＶOSの値を計算
    し、そして前記定数ＣI の前記値が前記オフセット電圧
    ＶOSの前記値の関数である等式を解いて前記定数ＣI の
    ための初期値を決定する各ステップを含む請求項１０に
    記載の方法。
  12. 【請求項１２】 前記ブリッジオフセット電圧の要求さ
    れた値を計算する前記ステップが、 所望値を有する前記定数ＣI でもって前記等式を解き前
    記オフセット電圧ＶOSの要求された値を発生し、そして
    前記所望のオフセット電圧から前記ブリッジオフセット
    電圧の前記所望値を計算する各ステップを含む請求項１
    １に記載の方法。
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