JPH075299A - ゾーンプレートの製造方法 - Google Patents
ゾーンプレートの製造方法Info
- Publication number
- JPH075299A JPH075299A JP5144072A JP14407293A JPH075299A JP H075299 A JPH075299 A JP H075299A JP 5144072 A JP5144072 A JP 5144072A JP 14407293 A JP14407293 A JP 14407293A JP H075299 A JPH075299 A JP H075299A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zone plate
- visible light
- ray
- manufacturing
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- Withdrawn
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 アライメントマーク３を描画し、Ｘ線用ゾー
ンプレート部１と可視光用ゾーンプレート部２の中心一
を一致させて加工する。 【効果】 Ｘ線用として高分解能で、可視光用としてＸ
線用と同焦点で大口径のゾーンプレートが得られる。
ンプレート部１と可視光用ゾーンプレート部２の中心一
を一致させて加工する。 【効果】 Ｘ線用として高分解能で、可視光用としてＸ
線用と同焦点で大口径のゾーンプレートが得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はゾーンプレートの製造
方法に関するものである。
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線用ゾーンプレートを用いたＸ線顕微
鏡などで光学調整を行なう際には、そのゾーンプレート
と同焦点距離・同心円の可視光ゾーンプレートを用いれ
ば、可視光で容易に光学調整を行なうことができること
が知られている。従来、このようなＸ線用・可視光用ゾ
ーンプレートについては、光学調整のしやすさの観点か
ら報告そのものはなされていたが、実際の製造方法につ
いては報告されていなかった。
鏡などで光学調整を行なう際には、そのゾーンプレート
と同焦点距離・同心円の可視光ゾーンプレートを用いれ
ば、可視光で容易に光学調整を行なうことができること
が知られている。従来、このようなＸ線用・可視光用ゾ
ーンプレートについては、光学調整のしやすさの観点か
ら報告そのものはなされていたが、実際の製造方法につ
いては報告されていなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、上記のＸ線用・
可視光用を同心円で持つゾーンプレートを高性能品とし
て得るためには、次のようなことが必要不可欠になって
くる。すなわち、まずＸ線用ゾーンプレートにおいて
は、高分解能を得るために最外周が１００ｎｍＬ＆Ｓ、
または、さらにそれ以下が要求されている。可視光用ゾ
ーンプレートでは、Ｘ線用ゾーンプレートと同心円状で
あって、しかも、同焦点距離であるために大口径化が要
求される。しかしながら、これまでは、このような要求
をみたすための製造方法は実現されてきていないのが実
情であった。そこで、この発明は、Ｘ線用・可視光用両
者の要求を満たすことのできるゾーンプレートの新しい
製造方法を提供することを目的としている。
可視光用を同心円で持つゾーンプレートを高性能品とし
て得るためには、次のようなことが必要不可欠になって
くる。すなわち、まずＸ線用ゾーンプレートにおいて
は、高分解能を得るために最外周が１００ｎｍＬ＆Ｓ、
または、さらにそれ以下が要求されている。可視光用ゾ
ーンプレートでは、Ｘ線用ゾーンプレートと同心円状で
あって、しかも、同焦点距離であるために大口径化が要
求される。しかしながら、これまでは、このような要求
をみたすための製造方法は実現されてきていないのが実
情であった。そこで、この発明は、Ｘ線用・可視光用両
者の要求を満たすことのできるゾーンプレートの新しい
製造方法を提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するためになされたものであって、Ｘ線用ゾーン
プレート部とこれに同心円状の可視光用ゾーンプレート
部とからなるゾーンプレートの製造において、アライメ
ントマークを描画し、Ｘ線用ゾーンプレート部と可視光
用ゾーンプレート部の中心位置をこのアライメントマー
クによって一致させて加工することを特徴とするゾーン
プレートの製造方法を提供する。
を解決するためになされたものであって、Ｘ線用ゾーン
プレート部とこれに同心円状の可視光用ゾーンプレート
部とからなるゾーンプレートの製造において、アライメ
ントマークを描画し、Ｘ線用ゾーンプレート部と可視光
用ゾーンプレート部の中心位置をこのアライメントマー
クによって一致させて加工することを特徴とするゾーン
プレートの製造方法を提供する。
【０００５】そして、より具体的には、この発明の方法
では、Ｘ線用ゾーンプレートには１００ｎｍ以下の線幅
を得ることができる露光装置を、また、可視光用ゾーン
プレートには大口径化できる露光装置を用いる。これら
２回の露光間の露光位置合わせには、アライメントマー
クを用いて対処する。
では、Ｘ線用ゾーンプレートには１００ｎｍ以下の線幅
を得ることができる露光装置を、また、可視光用ゾーン
プレートには大口径化できる露光装置を用いる。これら
２回の露光間の露光位置合わせには、アライメントマー
クを用いて対処する。
【０００６】
【作用】この発明での方法によってゾーンプレートを製
造することにより、Ｘ線用としては高分解能が得られ、
可視光用としてはＸ線用と同焦点距離で大口径のものが
作製でき、アライメントマークを用いることによって、
両者を同心円状に形成することができる。
造することにより、Ｘ線用としては高分解能が得られ、
可視光用としてはＸ線用と同焦点距離で大口径のものが
作製でき、アライメントマークを用いることによって、
両者を同心円状に形成することができる。
【０００７】
【実施例】以下、実施例を示し、さらに詳しくこの発明
について説明する。図１は、この発明の方法により製造
したゾーンプレートの模式図である。図２は、その製造
について示したこの発明の一実施例の模式図である。こ
の図１および図２に沿って説明すると、まず、図２
（ａ）に示したように、電子線描画装置を用いてＸ線用
ゾーンプレート（１）を描画する。この時、可視光用ゾ
ーンプレート（２）との露光時の位置合わせのため、ア
ライメントマーク（３）も描画しておく。
について説明する。図１は、この発明の方法により製造
したゾーンプレートの模式図である。図２は、その製造
について示したこの発明の一実施例の模式図である。こ
の図１および図２に沿って説明すると、まず、図２
（ａ）に示したように、電子線描画装置を用いてＸ線用
ゾーンプレート（１）を描画する。この時、可視光用ゾ
ーンプレート（２）との露光時の位置合わせのため、ア
ライメントマーク（３）も描画しておく。
【０００８】そして、Ｘ線用ゾーンプレート（１）をミ
リング工程等により完成させたのち、図２（ｂ）に示し
たように、再度フォトレジストを塗布し、アライメント
マーク（３）を用いてステッパー等の光露光装置を利用
して可視光用ゾーンプレート（２）を露光し、ミリング
工程等により可視光用ゾーンプレートを完成させる。な
お、先に可視光用を作製しあとでＸ線用を作製すること
も可能である。
リング工程等により完成させたのち、図２（ｂ）に示し
たように、再度フォトレジストを塗布し、アライメント
マーク（３）を用いてステッパー等の光露光装置を利用
して可視光用ゾーンプレート（２）を露光し、ミリング
工程等により可視光用ゾーンプレートを完成させる。な
お、先に可視光用を作製しあとでＸ線用を作製すること
も可能である。
【０００９】また、電子線用・光用共通ポジ型レジスト
を用いれば、最初に露光・現像した後、すぐに次の露光
ができ、ミリング工程をＸ線用ゾーンプレート・可視光
用ゾーンプレート同時に行なうことができる。さらに、
露光時にレジストパタンを逆に作れば、メッキ工程を用
いてＮｉ、Ｃｒ等でゾーンプレートパタンを作製でき、
位相ゾーンプレート化することができる。
を用いれば、最初に露光・現像した後、すぐに次の露光
ができ、ミリング工程をＸ線用ゾーンプレート・可視光
用ゾーンプレート同時に行なうことができる。さらに、
露光時にレジストパタンを逆に作れば、メッキ工程を用
いてＮｉ、Ｃｒ等でゾーンプレートパタンを作製でき、
位相ゾーンプレート化することができる。
【００１０】もちろんこの実施例は、この発明でのゾー
ンプレート製造法の一実施例であり、露光装置の選択等
はこれの限りではない。
ンプレート製造法の一実施例であり、露光装置の選択等
はこれの限りではない。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、この発明の方法により、
Ｘ線用としては高分解能が得られ、可視光用としてはＸ
線用と同焦点距離で大口径のゾーンプレートが作製で
き、アライメントマークを用いることによって、両者を
同心円状に形成することができる。そして、ゾーンプレ
ートを用いたＸ線顕微鏡などで光学調整を行なう際、こ
の発明のゾーンプレートを用いれば、可視光で容易に光
学調整を行なうことができる。
Ｘ線用としては高分解能が得られ、可視光用としてはＸ
線用と同焦点距離で大口径のゾーンプレートが作製で
き、アライメントマークを用いることによって、両者を
同心円状に形成することができる。そして、ゾーンプレ
ートを用いたＸ線顕微鏡などで光学調整を行なう際、こ
の発明のゾーンプレートを用いれば、可視光で容易に光
学調整を行なうことができる。
【図１】この発明により製造したゾーンプレートの模式
図である。
図である。
【図２】この発明の実施例におけるゾーンプレート製造
方法の模式図である。
方法の模式図である。
１ Ｘ線用ゾーンプレート ２ 可視光用ゾーンプレート ３ アライメントマーク
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線用ゾーンプレート部とこれに同心円
状の可視光用ゾーンプレート部とからなるゾーンプレー
トの製造において、アライメントマークを描画し、Ｘ線
用ゾーンプレート部と可視光用ゾーンプレート部の中心
位置をこのアライメントマークによって一致させて加工
することを特徴とするゾーンプレートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5144072A JPH075299A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | ゾーンプレートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5144072A JPH075299A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | ゾーンプレートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075299A true JPH075299A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15353636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5144072A Withdrawn JPH075299A (ja) | 1993-06-15 | 1993-06-15 | ゾーンプレートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075299A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6123481A (en) * | 1997-05-16 | 2000-09-26 | Nsk Ltd. | Elastic shaft joint |
| US9522664B2 (en) | 2010-11-17 | 2016-12-20 | Honda Motor Co., Ltd. | Electric brake actuator, and vehicle brake system |
-
1993
- 1993-06-15 JP JP5144072A patent/JPH075299A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6123481A (en) * | 1997-05-16 | 2000-09-26 | Nsk Ltd. | Elastic shaft joint |
| US9522664B2 (en) | 2010-11-17 | 2016-12-20 | Honda Motor Co., Ltd. | Electric brake actuator, and vehicle brake system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |