JPH075367A - 赤外顕微鏡 - Google Patents
赤外顕微鏡Info
- Publication number
- JPH075367A JPH075367A JP19162792A JP19162792A JPH075367A JP H075367 A JPH075367 A JP H075367A JP 19162792 A JP19162792 A JP 19162792A JP 19162792 A JP19162792 A JP 19162792A JP H075367 A JPH075367 A JP H075367A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture
- image
- optical system
- optical axis
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造が簡単で、かつ視野全体とマスキングア
パーチャーの位置とを同時観察ができ、しかも、像の劣
化が少ない赤外顕微鏡を提供することを目的とする。 【構成】 赤外顕微鏡において、測定光軸上に開口部を
有するアパーチャーの可視像を、上記アパーチャーと対
物光学系との間に測定光軸上に斜めに出入自在に設けら
れたハーフミラーと、測定光軸外に設けた凹面鏡とによ
って、可視観察用光学系に結像させると共に、試料の顕
微鏡像を上記ハーフミラーで可視観察用光学系に結像さ
せることで、両像を赤外測定時と同じ位置関係で観察で
きるようにした。
パーチャーの位置とを同時観察ができ、しかも、像の劣
化が少ない赤外顕微鏡を提供することを目的とする。 【構成】 赤外顕微鏡において、測定光軸上に開口部を
有するアパーチャーの可視像を、上記アパーチャーと対
物光学系との間に測定光軸上に斜めに出入自在に設けら
れたハーフミラーと、測定光軸外に設けた凹面鏡とによ
って、可視観察用光学系に結像させると共に、試料の顕
微鏡像を上記ハーフミラーで可視観察用光学系に結像さ
せることで、両像を赤外測定時と同じ位置関係で観察で
きるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微小な異物の同定など
に用いる赤外顕微鏡に関する。
に用いる赤外顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微赤外測定装置の一般的構造を図４に
示す。干渉計からの赤外光は、透過測定か反射測定かに
よって、透過／反射切替ミラー８０で、透過照明光学系
か反射照明光学系かに光路を切替え、コンデンサー６若
しくは対物光学系５によって集光され、試料を照射す
る。試料を透過（反射）した赤外光は対物光学系５で集
められ、ＭＴＣ検出器８５に導かれている。分析に当た
っては、試料像を可視光で観察しながら、試料中の分析
領域を決める。分析を行う場合、分析領域外の光が測定
系に入らないようにするために、可変型マスキングアパ
ーチャー１を使用して分析領域の大きさに合わせてマス
キングする必要があるが、試料のマスキングアパーチャ
ーでマスクされた部分は見えないため、分析領域にアパ
ーチャーの大きさを合わせることが難しく、アパーチャ
ーが分析領域内に侵入した状態、つまりアパーチャーを
狭く設定し過ぎると言う問題があった。そこで、マスキ
ングアパーチャーの前で光路を２つに分け、アパーチャ
ーを通った光と、通らない光をもう１度合成することに
より、視野全体とアパーチャーを同時に見ることを可能
とする提案もあるが、この方法では、アパーチャーでマ
スクされた試料の像と、アパーチャーでマスクされない
像を重ねているために、光路が複雑となることに加え、
試料の測定しようとする部分（マスクされない部分）で
は、同じ像が２つ重ね合わせられることとなるため、わ
ずかな光軸のずれにより測定しようとする部分の像が著
しく劣化し、目視観察に不便となると言う問題があっ
た。
示す。干渉計からの赤外光は、透過測定か反射測定かに
よって、透過／反射切替ミラー８０で、透過照明光学系
か反射照明光学系かに光路を切替え、コンデンサー６若
しくは対物光学系５によって集光され、試料を照射す
る。試料を透過（反射）した赤外光は対物光学系５で集
められ、ＭＴＣ検出器８５に導かれている。分析に当た
っては、試料像を可視光で観察しながら、試料中の分析
領域を決める。分析を行う場合、分析領域外の光が測定
系に入らないようにするために、可変型マスキングアパ
ーチャー１を使用して分析領域の大きさに合わせてマス
キングする必要があるが、試料のマスキングアパーチャ
ーでマスクされた部分は見えないため、分析領域にアパ
ーチャーの大きさを合わせることが難しく、アパーチャ
ーが分析領域内に侵入した状態、つまりアパーチャーを
狭く設定し過ぎると言う問題があった。そこで、マスキ
ングアパーチャーの前で光路を２つに分け、アパーチャ
ーを通った光と、通らない光をもう１度合成することに
より、視野全体とアパーチャーを同時に見ることを可能
とする提案もあるが、この方法では、アパーチャーでマ
スクされた試料の像と、アパーチャーでマスクされない
像を重ねているために、光路が複雑となることに加え、
試料の測定しようとする部分（マスクされない部分）で
は、同じ像が２つ重ね合わせられることとなるため、わ
ずかな光軸のずれにより測定しようとする部分の像が著
しく劣化し、目視観察に不便となると言う問題があっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】構造が簡単で、かつ視
野全体とマスキングアパーチャーの位置とを同時観察が
でき、しかも、像の劣化が少ない赤外顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
野全体とマスキングアパーチャーの位置とを同時観察が
でき、しかも、像の劣化が少ない赤外顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】赤外顕微鏡において、測
定光軸上に開口部を有するアパーチャーと、測定光軸上
に出入自在に設けられた同アパーチャーの照射用可視光
源と、上記アパーチャーと対物光学系との間に測定光軸
上に斜めに出入自在に設けられたハーフミラーと、測定
光軸外に設けた凹面鏡と、測定光軸に対して同凹面鏡と
反対側に設けた可視観察用光学系を有し、上記凹面鏡に
よってアパーチャーの可視像を可視観察用光学系の光軸
上に形成させ、アパーチャーを通らない試料の顕微鏡像
とアパーチャーの像を、可視観察用光学系の光軸上に形
成して、両者を赤外測定時と同じ位置関係になるように
合成し、アパーチャーでマスクされた部分の像も観察し
ながら、アパーチャーの大きさを調整できるようにし
た。
定光軸上に開口部を有するアパーチャーと、測定光軸上
に出入自在に設けられた同アパーチャーの照射用可視光
源と、上記アパーチャーと対物光学系との間に測定光軸
上に斜めに出入自在に設けられたハーフミラーと、測定
光軸外に設けた凹面鏡と、測定光軸に対して同凹面鏡と
反対側に設けた可視観察用光学系を有し、上記凹面鏡に
よってアパーチャーの可視像を可視観察用光学系の光軸
上に形成させ、アパーチャーを通らない試料の顕微鏡像
とアパーチャーの像を、可視観察用光学系の光軸上に形
成して、両者を赤外測定時と同じ位置関係になるように
合成し、アパーチャーでマスクされた部分の像も観察し
ながら、アパーチャーの大きさを調整できるようにし
た。
【０００５】
【作用】アパーチャーを通らない試料の像とアパーチャ
ーだけの像とを、ハーフミラーを使って合成することに
より同時に見えるようにすることで、試料像の二重性が
なくなり、試料像においてアパーチャーがマキシングし
ている領域を正確に視認することができるようになっ
た。しかも、アパーチャーの像と試料の像とが独立して
いるため、アパーチャー用照明光の色や光量，照射場所
を変えたり、アパーチャーの縁や全体に着色したり、フ
ィルターを入れる等の方法により、試料の種類に合わせ
て観察用合成像を、測定しようとする部分が一番はっき
り見えるように容易に変えることができる。
ーだけの像とを、ハーフミラーを使って合成することに
より同時に見えるようにすることで、試料像の二重性が
なくなり、試料像においてアパーチャーがマキシングし
ている領域を正確に視認することができるようになっ
た。しかも、アパーチャーの像と試料の像とが独立して
いるため、アパーチャー用照明光の色や光量，照射場所
を変えたり、アパーチャーの縁や全体に着色したり、フ
ィルターを入れる等の方法により、試料の種類に合わせ
て観察用合成像を、測定しようとする部分が一番はっき
り見えるように容易に変えることができる。
【０００６】
【実施例】図１に本発明の一実施例における透過測定モ
ードで可視観察をする場合の光学系配置図を示す。図１
において、Ｓは試料、１は可視光を照射する可視観察用
光源で、可変マスキングアパーチャー２を照射してい
る。このアパーチャー２は測定光学系の光軸上で試料像
の位置に置かれている。可変マスキングアパーチャー２
は、開口部の大きさを変化させることができる。３はハ
ーフミラー、４は凹面鏡であり、その曲率中心は可変マ
スキングアパーチャー２の開口中心とハーフミラー３の
鏡面に対して対称な位置（像面Ｉの位置）にあり、光源
８で照明された可変マスキングアパーチャー２の像が、
その像面Ｉに結像され、可視観察用光学系７に送られ
る。６はコンデンサーで光源（不図示）からの光を試料
Ｓに集光する。５は対物光学系で、試料Ｓの像をアパー
チャー２の位置に結像させるが、同時に可視観察測定時
では、途中に配置されたハーフミラー３により、像面Ｉ
にも結像され、可視観察用光学系７に送られ、可視観察
用光学系７において、アパーチャー２像が試料Ｓ像と重
畳して観察できる。ハーフミラー３は可動式で、必要に
応じて光軸上に出入される。可視観察用光学系７におい
て、アパーチャー像が試料像とより識別されるように照
明する方が良いが、アパーチャー２の照明は、試料照明
と独立しているので、フィルターを介在させて、アパー
チャー用照明の色を変えたり、アパーチャーの縁や全
体，ミラー４の裏に着色して、アパーチャー像を着色し
ても良く、試料の種類に合わせて合成像を容易に変える
ことができ、アパーチャー像と試料像とが識別し易くな
る。
ードで可視観察をする場合の光学系配置図を示す。図１
において、Ｓは試料、１は可視光を照射する可視観察用
光源で、可変マスキングアパーチャー２を照射してい
る。このアパーチャー２は測定光学系の光軸上で試料像
の位置に置かれている。可変マスキングアパーチャー２
は、開口部の大きさを変化させることができる。３はハ
ーフミラー、４は凹面鏡であり、その曲率中心は可変マ
スキングアパーチャー２の開口中心とハーフミラー３の
鏡面に対して対称な位置（像面Ｉの位置）にあり、光源
８で照明された可変マスキングアパーチャー２の像が、
その像面Ｉに結像され、可視観察用光学系７に送られ
る。６はコンデンサーで光源（不図示）からの光を試料
Ｓに集光する。５は対物光学系で、試料Ｓの像をアパー
チャー２の位置に結像させるが、同時に可視観察測定時
では、途中に配置されたハーフミラー３により、像面Ｉ
にも結像され、可視観察用光学系７に送られ、可視観察
用光学系７において、アパーチャー２像が試料Ｓ像と重
畳して観察できる。ハーフミラー３は可動式で、必要に
応じて光軸上に出入される。可視観察用光学系７におい
て、アパーチャー像が試料像とより識別されるように照
明する方が良いが、アパーチャー２の照明は、試料照明
と独立しているので、フィルターを介在させて、アパー
チャー用照明の色を変えたり、アパーチャーの縁や全
体，ミラー４の裏に着色して、アパーチャー像を着色し
ても良く、試料の種類に合わせて合成像を容易に変える
ことができ、アパーチャー像と試料像とが識別し易くな
る。
【０００７】図２は透過測定モードで測定時の光学系配
置図で、可視観察用光源１を光軸上から退避させ、赤外
検出用光学系８をその跡に進出させ、ハーフミラー３を
光軸上から外し、試料像が赤外検出用光学系８に導入さ
れるようにする。下方の光源（不図示）からは赤外光が
照射され、コンデンサー６で試料Ｓに集光され、試料Ｓ
を透過した光即ち試料透過像が、対物光学系５でアパー
チャー２の配置してある対物像面に結像され、アパーチ
ャー２で視野が制限された後、赤外検出用光学系８に導
かれる。
置図で、可視観察用光源１を光軸上から退避させ、赤外
検出用光学系８をその跡に進出させ、ハーフミラー３を
光軸上から外し、試料像が赤外検出用光学系８に導入さ
れるようにする。下方の光源（不図示）からは赤外光が
照射され、コンデンサー６で試料Ｓに集光され、試料Ｓ
を透過した光即ち試料透過像が、対物光学系５でアパー
チャー２の配置してある対物像面に結像され、アパーチ
ャー２で視野が制限された後、赤外検出用光学系８に導
かれる。
【０００８】測定と可視観察との切換えに当り、上述し
たように、可視観察用光源１と赤外検出用光学系８との
位置を交代させる代わりに、図３に示すように、測定光
学系の光軸上に４５°の傾きで、全反射ミラー９を出入
させるようにしてもよい。また、上述説明は透過測定の
場合についてのみ行ったが、図３に示すように、対物光
学系５とハーフミラー３との間に反射測定時の試料照明
光導入用のハーフミラー１０を挿入することで、試料照
明光を対物光学系５により試料Ｓ上に集光し、試料Ｓか
らの反射光を対物光学系５、ハーフミラー１０を通し、
上述した所を同様にして観察測定することができる。
たように、可視観察用光源１と赤外検出用光学系８との
位置を交代させる代わりに、図３に示すように、測定光
学系の光軸上に４５°の傾きで、全反射ミラー９を出入
させるようにしてもよい。また、上述説明は透過測定の
場合についてのみ行ったが、図３に示すように、対物光
学系５とハーフミラー３との間に反射測定時の試料照明
光導入用のハーフミラー１０を挿入することで、試料照
明光を対物光学系５により試料Ｓ上に集光し、試料Ｓか
らの反射光を対物光学系５、ハーフミラー１０を通し、
上述した所を同様にして観察測定することができる。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、アパーチャーを通らな
い試料の像とアパーチャーの像とを、赤外測定時と同じ
位置関係となるように合成することにより、マキシング
アパーチャーを試料の大きさに合わせることや、視野全
体に対する測定部分の位置を知ることが容易に行える。
しかも、構造が簡単で、わずかな光軸のずれによる試料
の像の劣化もない。更に、フィルター等を用いることに
より、試料の像とアパーチャーの像を独立して変化さ
せ、試料ごとに最も観察しやすい合成像を得ることがで
きる。
い試料の像とアパーチャーの像とを、赤外測定時と同じ
位置関係となるように合成することにより、マキシング
アパーチャーを試料の大きさに合わせることや、視野全
体に対する測定部分の位置を知ることが容易に行える。
しかも、構造が簡単で、わずかな光軸のずれによる試料
の像の劣化もない。更に、フィルター等を用いることに
より、試料の像とアパーチャーの像を独立して変化さ
せ、試料ごとに最も観察しやすい合成像を得ることがで
きる。
【図１】本発明の一実施例の透過観察モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図２】本発明の一実施例の透過測定モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図３】従来例の構成図
Ｓ 試料 Ｉ 像面 １ 可視観察用光源 ２ 可変マキシングアパーチャー ３ ハーフミラー ４ 球面鏡 ５ 対物光学系 ６ コンデンサ光学系 ７ 可視観察用光学系
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１１月９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の透過観察モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図２】本発明の一実施例の透過測定モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図３】本発明の別実施例の光学系配置図
【図４】従来例の構成図
【符号の説明】 Ｓ 試料 Ｉ 像面 １ 可視観察用光源 ２ 可変マキシングアパーチャー ３ ハーフミラー ４ 球面鏡 ５ 対物光学系 ６ コンデンサ光学系 ７ 可視観察用光学系
Claims (1)
- 【請求項１】測定光軸上に開口部を有するアパーチャー
と、測定光軸上に出入自在に設けられた同アパーチャー
の照射用可視光源と、上記アパーチャーと対物光学系と
の間に測定光軸上に斜めに出入自在に設けられたハーフ
ミラーと、測定光軸外に設けた凹面鏡と、測定光軸に対
して同凹面鏡と反対側に設けた可視観察用光学系を有
し、上記凹面鏡によってアパーチャーの可視像を可視観
察用光学系の光軸上に形成させ、アパーチャーを通らな
い試料の顕微鏡像とアパーチャーの像を、可視観察用光
学系の光軸上に形成して、両者を赤外測定時と同じ位置
関係になるように合成し、アパーチャーでマスクされた
部分の像も観察しながら、アパーチャーの大きさを調整
できるようにしたことを特徴とする赤外顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19162792A JPH075367A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19162792A JPH075367A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 赤外顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075367A true JPH075367A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=16277794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19162792A Pending JPH075367A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075367A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082950A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Olympus Corp | 顕微分光装置 |
| JP2008286584A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置およびフォーカス調整方法 |
| JP2008286583A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置および測定方法 |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP19162792A patent/JPH075367A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008082950A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Olympus Corp | 顕微分光装置 |
| JP2008286584A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置およびフォーカス調整方法 |
| JP2008286583A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置および測定方法 |
| KR101423339B1 (ko) * | 2007-05-16 | 2014-07-24 | 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 피측정물로부터의 반사광을 이용하는 광학 특성 측정 장치및 그것에 있어서의 포커스 조정 방법 |
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