JPH0894518A - 赤外顕微鏡 - Google Patents
赤外顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0894518A JPH0894518A JP19213295A JP19213295A JPH0894518A JP H0894518 A JPH0894518 A JP H0894518A JP 19213295 A JP19213295 A JP 19213295A JP 19213295 A JP19213295 A JP 19213295A JP H0894518 A JPH0894518 A JP H0894518A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture
- sample
- image
- optical system
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 構造が簡単で、かつ、視野全体とマスキング
アパーチャーの位置とを同時観察ができ、しかも、像の
劣化が少ない赤外顕微鏡を提供する。 【解決手段】 試料の分析領域を設定する可変のアパー
チャーを照明する手段を別途設け、アパーチャーを通ら
ない試料顕微鏡像とアパーチャーだけの像を可視観察用
光学系に赤外測定時と同じ位置関係となるように合成し
て観察できるようにした赤外顕微鏡。
アパーチャーの位置とを同時観察ができ、しかも、像の
劣化が少ない赤外顕微鏡を提供する。 【解決手段】 試料の分析領域を設定する可変のアパー
チャーを照明する手段を別途設け、アパーチャーを通ら
ない試料顕微鏡像とアパーチャーだけの像を可視観察用
光学系に赤外測定時と同じ位置関係となるように合成し
て観察できるようにした赤外顕微鏡。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微赤外測定装置
等に用いられる赤外顕微鏡に関する。
等に用いられる赤外顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】顕微赤外測定装置の一般的構造を図８に
示す。干渉計からの赤外単色光は、透過測定か反射測定
かによって、透過／反射切替ミラー８０で、透過照明光
学系か反射照明光学系かに光路を切替え、コンデンサー
２若しくは対物光学系３によって集光され、試料を照射
する。試料を透過（反射）した赤外干渉光は対物光学系
３で集められ、ＭＴＣ検出器８５に導かれている。
示す。干渉計からの赤外単色光は、透過測定か反射測定
かによって、透過／反射切替ミラー８０で、透過照明光
学系か反射照明光学系かに光路を切替え、コンデンサー
２若しくは対物光学系３によって集光され、試料を照射
する。試料を透過（反射）した赤外干渉光は対物光学系
３で集められ、ＭＴＣ検出器８５に導かれている。
【０００３】分析に当たっては、試料像を可視光で観察
しながら、試料中の分析領域を決める。分析を行う場
合、分析領域外の光が測定系に入らないようにするため
に、可変型マスキングアパーチャー９を使用して分析領
域の大きさに合わせてマスキングする必要があるが、試
料のマスキングアパーチャーでマスクされた部分は見え
ないため、分析領域にアパーチャーの大きさを合わせる
ことが難しく、アパーチャーが分析領域内に侵入した状
態、つまりアパーチャーを狭く設定し過ぎると言う問題
があった。
しながら、試料中の分析領域を決める。分析を行う場
合、分析領域外の光が測定系に入らないようにするため
に、可変型マスキングアパーチャー９を使用して分析領
域の大きさに合わせてマスキングする必要があるが、試
料のマスキングアパーチャーでマスクされた部分は見え
ないため、分析領域にアパーチャーの大きさを合わせる
ことが難しく、アパーチャーが分析領域内に侵入した状
態、つまりアパーチャーを狭く設定し過ぎると言う問題
があった。
【０００４】そこで、マスキングアパーチャーの前で光
路を２つに分け、アパーチャーを通った光と、通らない
光をもう１度合成することにより、視野全体とアパーチ
ャーを同時に見ることを可能とした実施例もあるが、こ
の方法では、アパーチャーでマスクされた試料の像と、
アパーチャーでマスクされない像を重ねているために、
光路が複雑となることに加え、試料の測定しようとする
部分（マスクされない部分）では、同じ像が２つ重ね合
わせられることとなるため、わずかな光軸のずれにより
測定しようとする部分の像が著しく劣化し、目視観察に
不便となると言う問題があった。
路を２つに分け、アパーチャーを通った光と、通らない
光をもう１度合成することにより、視野全体とアパーチ
ャーを同時に見ることを可能とした実施例もあるが、こ
の方法では、アパーチャーでマスクされた試料の像と、
アパーチャーでマスクされない像を重ねているために、
光路が複雑となることに加え、試料の測定しようとする
部分（マスクされない部分）では、同じ像が２つ重ね合
わせられることとなるため、わずかな光軸のずれにより
測定しようとする部分の像が著しく劣化し、目視観察に
不便となると言う問題があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】構造が簡単で、かつ視
野全体とマスキングアパーチャーの位置とを同時観察が
でき、しかも、像の劣化が少ない赤外顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
野全体とマスキングアパーチャーの位置とを同時観察が
でき、しかも、像の劣化が少ない赤外顕微鏡を提供する
ことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】顕微赤外測定装置におい
て、試料の分析領域を設定する可変のアパーチャーを照
明する手段と、上記アパーチャーを通らない試料顕微鏡
像とアパーチャー像を可視観察用光学系に赤外測定時と
同じ位置関係となるように合成して導入するミラー群と
ハーフミラーとを設けた。
て、試料の分析領域を設定する可変のアパーチャーを照
明する手段と、上記アパーチャーを通らない試料顕微鏡
像とアパーチャー像を可視観察用光学系に赤外測定時と
同じ位置関係となるように合成して導入するミラー群と
ハーフミラーとを設けた。
【０００７】アパーチャーを通らない試料の像とアパー
チャーだけの像とを、ハーフミラーを使って合成するこ
とにより同時に見えるようにすることで、そのものの二
重性がなくなり、試料像においてアパーチャーがマキシ
ングしている領域を正確に視認することができるように
なった。しかも、アパーチャーの像と試料の像とが独立
しているため、図２に示すように、アパーチャー用照明
の色や光量、照射場所を変えたり、アパーチャーの縁や
全体、ｎ１の裏に着色したり、フィルターを入れる等の
方法により、試料の種類に合わせて観察用合成像を、測
定しようとする部分が一番はっきり見えるように容易に
変えることができる。
チャーだけの像とを、ハーフミラーを使って合成するこ
とにより同時に見えるようにすることで、そのものの二
重性がなくなり、試料像においてアパーチャーがマキシ
ングしている領域を正確に視認することができるように
なった。しかも、アパーチャーの像と試料の像とが独立
しているため、図２に示すように、アパーチャー用照明
の色や光量、照射場所を変えたり、アパーチャーの縁や
全体、ｎ１の裏に着色したり、フィルターを入れる等の
方法により、試料の種類に合わせて観察用合成像を、測
定しようとする部分が一番はっきり見えるように容易に
変えることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１に本発明の一実施例における
透過観察モードの光学系配置図を示す。図１において、
Ｓは試料、１は可視光と赤外光を切換えて照射する光源
で、図では可視光を照射している。２はコンデンサーで
光源１からの光を試料Ｓに集光する。３は対物光学系で
試料Ｓの像をアパーチャー９の位置に結像させる。試料
Ｓを透過した光は両面ミラー４、ミラー５、ハーフミラ
ー６を介して可視観察用光学系に送られる。光源８はア
パーチャー９の照明用光源で、光源８で照明されたアパ
ーチャー像がミラー７、ハーフミラー６を介して可視観
察用光学系に送られ、可視観察用光学系においてアパー
チャー９が試料像と重畳して観察できる。ミラー４とミ
ラー７は可動式で、必要に応じて光軸上に出入される。
アパーチャー９の照明は、試料照明と独立しているの
で、可視観察用光学系において、アパーチャー像が試料
像とより識別されるように照明する方が良いので、図２
に示すように、照射場所を変えて、ミラー４で反射させ
てアパーチャー９を照明しても良く、また、図３に示す
ように、フィルターＦを介在させて、アパーチャー用照
明の色を変えたり、アパーチャーの縁や全体、ミラー４
の裏に着色して、アパーチャー像を着色しても良く、ま
た、点線に示すように、試料像側にフィルターＦを入れ
て、試料像を着色しても良く、試料の種類に合わせて合
成像を容易に変えることができ、アパーチャー像と試料
像とが識別し易くなる。１０は反射測定及び反射観察モ
ードで用いられる反射光光源で、光源１０から照射され
る光は、コンデンサー１１で集光され、切替ミラー１２
で反射され、対物光学系３を介して試料Ｓの上表面に集
光される。
透過観察モードの光学系配置図を示す。図１において、
Ｓは試料、１は可視光と赤外光を切換えて照射する光源
で、図では可視光を照射している。２はコンデンサーで
光源１からの光を試料Ｓに集光する。３は対物光学系で
試料Ｓの像をアパーチャー９の位置に結像させる。試料
Ｓを透過した光は両面ミラー４、ミラー５、ハーフミラ
ー６を介して可視観察用光学系に送られる。光源８はア
パーチャー９の照明用光源で、光源８で照明されたアパ
ーチャー像がミラー７、ハーフミラー６を介して可視観
察用光学系に送られ、可視観察用光学系においてアパー
チャー９が試料像と重畳して観察できる。ミラー４とミ
ラー７は可動式で、必要に応じて光軸上に出入される。
アパーチャー９の照明は、試料照明と独立しているの
で、可視観察用光学系において、アパーチャー像が試料
像とより識別されるように照明する方が良いので、図２
に示すように、照射場所を変えて、ミラー４で反射させ
てアパーチャー９を照明しても良く、また、図３に示す
ように、フィルターＦを介在させて、アパーチャー用照
明の色を変えたり、アパーチャーの縁や全体、ミラー４
の裏に着色して、アパーチャー像を着色しても良く、ま
た、点線に示すように、試料像側にフィルターＦを入れ
て、試料像を着色しても良く、試料の種類に合わせて合
成像を容易に変えることができ、アパーチャー像と試料
像とが識別し易くなる。１０は反射測定及び反射観察モ
ードで用いられる反射光光源で、光源１０から照射され
る光は、コンデンサー１１で集光され、切替ミラー１２
で反射され、対物光学系３を介して試料Ｓの上表面に集
光される。
【０００９】図４は透過測定モードの光学系配置図で、
ミラー４、７と切替ミラー１２を光軸上から外し、試料
像が赤外検出用光学系に導入されるように配置してあ
る。光源１からは赤外光が照射され、コンデンサー２で
試料Ｓに集光され、試料Ｓを透過した光即ち試料透過像
が、対物光学系３でアパーチャー９の配置してある対物
焦点面に結像され、アパーチャー９で視野が制限された
後、赤外検出用光学系に導かれる。
ミラー４、７と切替ミラー１２を光軸上から外し、試料
像が赤外検出用光学系に導入されるように配置してあ
る。光源１からは赤外光が照射され、コンデンサー２で
試料Ｓに集光され、試料Ｓを透過した光即ち試料透過像
が、対物光学系３でアパーチャー９の配置してある対物
焦点面に結像され、アパーチャー９で視野が制限された
後、赤外検出用光学系に導かれる。
【００１０】図５は反射観察モードの光学系配置図で、
切替ミラー１２をハーフミラーに切替え、光源１の代わ
りに光源１０から照明し、光源１０からの光はコンデン
サー１１を介し、ミラー１２の鏡面部１２Ａで反射さ
れ、対物光学系３で試料Ｓに集光される。試料Ｓからの
反射光は、対物光学系３を通り、ミラー１２の切欠部１
２Ｂを通過して、ミラー４、ミラー５、ハーフミラー６
を介して可視観察用光学系に送られる。アパーチャー９
側では、光源８からミラー４に投光され、その反射光が
アパーチャー９を照明し、アパーチャー像をミラー７、
ハーフミラー６を介して可視観察用光学系に送られてい
る。
切替ミラー１２をハーフミラーに切替え、光源１の代わ
りに光源１０から照明し、光源１０からの光はコンデン
サー１１を介し、ミラー１２の鏡面部１２Ａで反射さ
れ、対物光学系３で試料Ｓに集光される。試料Ｓからの
反射光は、対物光学系３を通り、ミラー１２の切欠部１
２Ｂを通過して、ミラー４、ミラー５、ハーフミラー６
を介して可視観察用光学系に送られる。アパーチャー９
側では、光源８からミラー４に投光され、その反射光が
アパーチャー９を照明し、アパーチャー像をミラー７、
ハーフミラー６を介して可視観察用光学系に送られてい
る。
【００１１】図６は反射測定モードの光学系配置図で、
ミラー４、７を光軸上から外し、切替ミラー１２を図７
に示すような半円鏡の切欠ミラーに切替え、試料像が赤
外検出用光学系に導入されるように配置してある。光源
１０から赤外光が照射され、光源１０からの光はコンデ
ンサー１１を介し、ミラー１２の鏡面部１２Ａで反射さ
れ、対物光学系３で試料Ｓに集光される。試料Ｓからの
反射光即ち試料反射像は、対物光学系３を通り、ミラー
１２の切欠部１２Ｂを通過してアパーチャー９の配置し
てある対物焦点面に結像され、アパーチャー９で視野が
制限された後、赤外検出用光学系に導かれる。
ミラー４、７を光軸上から外し、切替ミラー１２を図７
に示すような半円鏡の切欠ミラーに切替え、試料像が赤
外検出用光学系に導入されるように配置してある。光源
１０から赤外光が照射され、光源１０からの光はコンデ
ンサー１１を介し、ミラー１２の鏡面部１２Ａで反射さ
れ、対物光学系３で試料Ｓに集光される。試料Ｓからの
反射光即ち試料反射像は、対物光学系３を通り、ミラー
１２の切欠部１２Ｂを通過してアパーチャー９の配置し
てある対物焦点面に結像され、アパーチャー９で視野が
制限された後、赤外検出用光学系に導かれる。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、アパーチャーを通らな
い試料の像とアパーチャーの像とを、赤外測定時と同じ
位置関係となるように合成することにより、マキシング
アパーチャーを試料の大きさに合わせることや、視野全
体に対する測定部分の位置を知ることが容易に行える。
しかも、構造が簡単で、わずかな光軸のずれによる試料
の像の劣化もない。更に、フィルター等を用いることに
より、試料の像とアパーチャーの像を独立して変化さ
せ、試料ごとに最も観察しやすい合成像を得ることがで
きる。
い試料の像とアパーチャーの像とを、赤外測定時と同じ
位置関係となるように合成することにより、マキシング
アパーチャーを試料の大きさに合わせることや、視野全
体に対する測定部分の位置を知ることが容易に行える。
しかも、構造が簡単で、わずかな光軸のずれによる試料
の像の劣化もない。更に、フィルター等を用いることに
より、試料の像とアパーチャーの像を独立して変化さ
せ、試料ごとに最も観察しやすい合成像を得ることがで
きる。
【図１】本発明の一実施例の透過観察モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図２】上記実施例におけるアパーチャーの照明光源配
置図
置図
【図３】上記実施例におけるフィルターの配置図
【図４】本発明の一実施例の透過測定モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図５】本発明の一実施例の反射観察モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図６】本発明の一実施例の反射測定モードにおける光
学系配置図
学系配置図
【図７】上記実施例における切替ミラーの詳細説明図
【図８】従来例の構成図
Ｓ 試料 １ 光源 ２ コンデンサー ３ 対物光学系 ４ ミラー ５ ミラー ６ ハーフミラー ７ ミラー ８ 光源 ９ アパーチャー １０ 光源 １１ コンデンサー １２ 切替ミラー
Claims (1)
- 【請求項１】 顕微赤外測定装置において、試料の分析
領域を設定する可変のアパーチャーをアパーチャーの出
射側からフィルタを介して照明する手段と、上記アパー
チャーを通らない試料顕微鏡像とアパーチャー像を可視
観察用光学系に赤外測定時と同じ位置関係となるように
合成して導入するミラー群とハーフミラーとを設けたこ
とを特徴とする赤外顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19213295A JPH0894518A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19213295A JPH0894518A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 赤外顕微鏡 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3358486A Division JP2575981B2 (ja) | 1991-12-28 | 1991-12-28 | 赤外顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0894518A true JPH0894518A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=16286219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19213295A Pending JPH0894518A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0894518A (ja) |
-
1995
- 1995-07-27 JP JP19213295A patent/JPH0894518A/ja active Pending
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